電子部品の周波数調整装置及びそれを用いた電子部品の周波数調整方法
イオンビームエッチングにより生じるパーティクルが製品の特性に悪影響を与えるおそれのない信頼性の高い電子部品の周波数調整装置及び該周波数調整装置を用いた電子部品の周波数調整方法を提供する。 イオンビーム電流（イオン又は電子）を検知する制御コレクタ４の、少なくともイオンビームが照射される部分を無機絶縁体１２から構成する。 制御コレクタ４の、イオンビーム５が照射されない部分の少なくとも一部を導電体１３から構成する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、イオンビームエッチングにより、弾性表面波フィルタや圧電フィルタなどの電子部品の周波数を調整する周波数調整装置及びそれを用いた電子部品の周波数調整方法に関し、詳しくは、イオンビーム電流（イオン又は電子）をモニタする制御コレクタに特徴を有する電子部品の周波数調整装置及びそれを用いた電子部品の周波数調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
発振子や圧電フィルタ、弾性表面波フィルタの周波数を調整して所望の特性を得るために用いられる従来の電子部品の周波数調整装置としては、例えば、イオンビームを用いて圧電素子をエッチングすることにより周波数の調整を行うようにした圧電素子の周波数調整装置がある。
【０００３】
この周波数調整装置は、図８に示すようにイオンガン５１の近傍にタングステンフィラメントによるニュートラライザ５２を配置するとともに、シャッター５８とイオンガン５１の間に制御コレクタ５４を配置し、この制御コレクタ５４によりイオンビーム電流を検知し、フィードバック回路５９によってニュートラライザ５２の電力を制御するように構成されている。
なお、この周波数調整装置においては、シャッター５８を閉とするときには、スイッチ６２をオフにすることにより、イオンビーム５５の照射を停止し、かつスイッチ６３をオフにすることによりニュートラライザ５２からの電子放出を停止するように構成されている
【０００４】
この周波数調整装置を用いて周波数を調整するにあたっては、まず、キャリヤー６５に搭載した、コレクタ電流の設定値を求めるための試験用のコレクタ６０をバイアス電源６１によって、本来の加工対象である圧電素子のエッチング面と同電位にし、このときのイオンビーム電流とニュートラライザ５２の電子電流が相殺されてゼロになるようにコレクタ電流の設定値を定める。
【０００５】
このようして、コレクタ電流の設定値を定めた後に、切り替え手段によって、コレクタ電流の設定値を求めるための試験用のコレクタ６０を取り外し、圧電素子５３を搭載したキャリヤー６５を所定の位置に配置する。
【０００６】
次に、コレクタ電流が常に設定値になるようにフィードバック回路５９、フィードバック回路６４によって、フィードバック制御を行いながらイオンビーム５５を照射し、イオンビームエッチングすることにより周波数調整を行う（例えば特許文献１参照）。
【０００７】
また、プラズマエッチング装置において、プラズマによりチャンバ内の部材が侵食され、ウェハを汚染するのを防止するために、プラズマが照射される部分の少なくとも表面をポリイミド樹脂により形成して、プラズマエッチングによる反応生成物の付着を抑制し、パーティクルが発生することを防止するようにしたプラズマエッチング装置が提案されている（例えば特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００１−２５７５４９号公報
【特許文献２】特開平８−１４８４７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記特許文献１の圧電素子の周波数調整装置の場合、制御コレクタに流れる電流を検出し、電流の大きさによってイオンビームを制御するようにしているため、制御コレクタは導電性を有している必要があり、絶縁体のみで制御コレクタを構成することができず、制御コレクタがイオンビームにより浸食されることで発生した導電性物質（パーティクル）がワークなどに付着し、電気的短絡などを引き起こす原因になるという問題点がある。すなわち、制御コレクタは、電流をモニタするための機能だけではなく、イオンビームを集束する機能を果たすものであるため、直接イオンビームにさらされることになり、イオンビームのエネルギーによって制御コレクタは少しずつ削られ、パーティクルが発生する。
【０００９】
また、上述のように、制御コレクタはイオンビームのエネルギーによって削られるため、イオンビームに直接さらされる部分は消耗が激しく、寿命が短いという問題点がある。
【００１０】
また、特許文献１の圧電素子の周波数調整装置において、制御コレクタのイオンビームが照射される部分の表面を、特許文献２のように、絶縁体であるポリイミド樹脂で形成することも考えられるが、その場合、一時的にはイオンビームによる反応生成物の付着を抑制し、パーティクルの発生を防止することが可能になるが、イオンビームが照射される部分の表面をポリイミド樹脂で形成しただけでは、制御コレクタとして十分な寿命を得ることができないという問題点がある。すなわち、ポリイミド樹脂は、従来制御コレクタに用いられている材料、例えば、ステンレス、耐熱性などを考慮したＭｏ（モリブデン）、耐エッチング性を考慮したＣ（炭素）などに比べて、エッチングレートが高く、寿命も短いものと考えられる。
【００１１】
本願発明は上記実情に鑑みてなされたものであり、制御コレクタの寿命が長く、しかも、イオンビームエッチングにより生じるパーティクルが製品の特性に悪影響を与えるおそれのない信頼性の高い電子部品の周波数調整装置及び該周波数調整装置を用いた電子部品の周波数調整方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、本願発明（請求項１）の電子部品の周波数調整装置は、
電子部品素子をイオンエッチングすることにより、電子部品の周波数調整を行う電子部品の周波数調整装置において、
イオンビームが通過する開口部を有し、イオンビーム電流を検知する制御コレクタの、少なくともイオンビームが照射される部分が無機絶縁体から構成されていることを特徴としている。
【００１３】
また、請求項２の電子部品の周波数調整装置は、請求項１の電子部品の周波数調整装置において、前記制御コレクタの、イオンビームが照射されない部分の少なくとも一部が導電体から構成されていることを特徴としている。
【００１４】
また、本願発明（請求項３）の電子部品の周波数調整装置は、
電子部品素子をイオンエッチングすることにより、電子部品の周波数調整を行う電子部品の周波数調整装置において、
イオンビームが通過する開口部を有し、イオンビーム電流を検知する制御コレクタが、無機絶縁体層と導電体層を交互に積層することにより形成され、少なくともイオンビームが照射される側の最外層が無機絶縁体層である積層構造体から形成されていること
を特徴としている。
【００１５】
また、請求項４の電子部品の周波数調整装置は、請求項１〜３のいずれかに記載の電子部品の周波数調整装置において、前記制御コレクタの開口部の、イオンビームの入口側の径を、出口側の径より大きくしたことを特徴としている。
【００１６】
また、本願発明（請求項５）の電子部品の周波数調整方法は、請求項１〜４のいずれかに記載の電子部品の周波数調整装置を用いて電子部品素子をイオンエッチングすることにより周波数の調整を行うことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１７】
上述のように、本願発明（請求項１）の電子部品の周波数調整装置は、イオンビーム電流（イオン又は電子）を検知する制御コレクタの、少なくともイオンビームが照射される部分を無機絶縁体から構成するようにしているので、ポリイミドなどの樹脂よりもエッチングされにくい上に、イオンビームエッチングにより生じるパーティクルが製品の特性に悪影響を与えることを防止することが可能な信頼性の高い電子部品の周波数調整装置を実現することが可能になる。
すなわち、制御コレクタの、イオンビームが照射される部分を無機絶縁体から構成した場合、制御コレクタがイオンビームに照射され、パーティクルが発生しても、制御コレクタのイオンビームにさらされている部分が無機絶縁体であるため、パーティクルが絶縁物となる。したがって、本願発明の周波数調整装置を用いることにより、周波数調整の工程で発生したパーティクルが、周波数調整の対象となっている電子部品の電極などに付着した場合にも短絡などの問題が発生せず、所望の周波数に調整された信頼性の高い電子部品を提供することが可能になる。
なお、本願発明において、少なくともイオンビームが照射される部分が無機絶縁体から構成されているとは、少なくともイオンビームが照射される部分自体がアルミナなどの無機絶縁体から形成されている場合、アルミナ膜などの無機絶縁体膜で被覆されている場合、アルミナ基板などの無機絶縁体板が貼り付けられている場合などを含む広い概念である。
【００１８】
また、請求項２の電子部品の周波数調整装置のように、制御コレクタの、イオンビームが照射されない部分の少なくとも一部を導電体から構成することにより、制御コレクタに流れる電流を検出することが可能になるとともに、電流の大きさによってイオンビームを確実に制御することが可能になり、本願発明を実効あらしめることが可能になる。
なお、本願発明において、コレクタの、イオンビームが照射されない部分の少なくとも一部が導電体から構成されているとは、イオンビームが照射されない部分の少なくとも一部が、金属などの導電体から形成されている場合、金属膜などの導電体膜で被覆されている場合、金属板などの導電体板が貼り付けられている場合などを含む広い概念である。
【００１９】
また、本願発明（請求項３）の電子部品の周波数調整装置のように、制御コレクタを、無機絶縁体層と導電体層を積層し、少なくともイオンビームが照射される側の最外層が無機絶縁体層となるようにした積層構造体から形成するようにした場合、イオンビームが照射される側の最外層が無機絶縁体層であるため、パーティクルが発生しても、パーティクルは絶縁物となる。それゆえ、周波数調整の工程で発生したパーティクルが周波数調整の対象となっている電子部品の電極などに付着した場合にも、短絡などの問題の発生を抑制することが可能になり、また、制御コレクタの一部が、無機絶縁体層と交互に積層された導電体層により形成されているため、制御コレクタに流れる電流を検出し、電流の大きさによってイオンビームを制御することが可能になる。
したがって、制御コレクタの寿命が長く、しかも、イオンビームエッチングにより生じるパーティクルが製品の特性に悪影響を与えるおそれのない、信頼性の高い電子部品の周波数調整装置を実現することが可能になる。
なお、本願発明において、少なくともイオンビームが照射される側の最外層が無機絶縁体層であるとは、イオンビームが照射される側の最外層がアルミナなどの無機絶縁体層で、イオンビームが照射される側と反対側の最外層も無機絶縁体層である場合、及び、イオンビームが照射される側の最外層がアルミナなどの無機絶縁体層で、イオンビームが照射される側と反対側の最外層が導電体層である場合を含む概念である。
【００２０】
また、請求項４の電子部品の周波数調整装置のように、制御コレクタの開口部の、イオンビームの入口側の径を、出口側の径より大きくすることにより、開口部の内周面（テーパ部）において、テーパ部に露出した導電体層からの流入電流量を大きくとることが可能になり、イオンビーム電流の検出の感度を向上させることが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることができる。
【００２１】
また、本願発明（請求項５）の電子部品の周波数調整方法は、請求項１〜４のいずれかに記載の電子部品の周波数調整装置を用いて電子部品素子をイオンエッチングすることにより、周波数調整工程で発生したパーティクルが周波数調整を行っている電子部品の電極などに付着して短絡を発生したりすることを防止して、確実に電子部品の周波数を調整することが可能になり、所望の特性を備えた信頼性の高い電子部品を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
［図１］本願発明の一実施例にかかる電子部品の周波数調整装置の概略構成を示す図である。
［図２］本願発明の一実施例にかかる電子部品の周波数調整装置の要部を拡大して示す図である。
［図３］本願発明の電子部品の周波数調整装置において用いられる制御コレクタの変形例を示す図である。
［図４］（ａ）、（ｂ）は、本願発明の電子部品の周波数調整装置において用いられる制御コレクタの他の変形例を示す図である。
［図５］（ａ）、（ｂ）は、本願発明の電子部品の周波数調整装置において用いられる制御コレクタのさらに他の変形例を示す図である。
［図６］（ａ）、（ｂ）は、本願発明の電子部品の周波数調整装置において用いられる制御コレクタのさらに他の変形例を示す図である。
［図７］（ａ）〜（ｄ）は、本願発明の電子部品の周波数調整装置において用いられる制御コレクタのさらに他の変形例を示す図である。
［図８］従来の電子部品の周波数調整装置を示す図である。
【符号の説明】
【００２３】
１ イオンガン
２ ニュートラライザ
３ ワーク（弾性表面波フィルタ）
４ 制御コレクタ
５ イオンビーム
９ コントローラ
１０ 真空容器
１１ 開口部
１２ 無機絶縁体（アルミナ）
１２ａ 無機絶縁体層
１３ 導電体（銀（Ａｇ）薄膜）
１３ａ 導電体層
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本願発明の実施例を示して、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。
【実施例１】
【００２５】
この実施例では、水晶基板の表面にＴａからなるくし歯状電極が配設された構造を有する弾性表面波フィルタについて、水晶基板とくし歯状電極とをイオンエッチングすることにより周波数を調整する場合を例にとって説明する。
なお、上記の構造では、水晶基板とくし歯状電極とが同時に、ほぼ同じレートでエッチングされるが、Ｔａからなるくし歯状電極の比重が水晶基板よりもはるかに大きいため、くし歯状電極がエッチングされる効果が大きく、エッチングされることで周波数は高くなる。
【００２６】
図１は、本願発明の一実施例にかかる電子部品の周波数調整装置を示す図であり、図２はその要部を拡大して示す図である。
図１及び２に示すように、この実施例の電子部品の周波数調整装置は、真空容器１０の内部に配設されたイオンガン１の近傍に、イオンビーム５の照射によるワーク（弾性表面波フィルタ）３のチャージアップを防止するために電子を放出する機能を果たすタングステンフィラメントからなるニュートラライザ２を配設するとともに、ワーク３とイオンガン１の間に制御コレクタ４を配設し、この制御コレクタ４によりイオンビーム５の電流を検知し、コントローラ９によってニュートラライザ２の電力を制御するように構成されている。
【００２７】
制御コレクタ４は、イオンビーム５の電流（イオン及び／又は電子）を検知するとともに、イオンビーム５を絞るように制御する機能を果たすものである。この制御コレクタ４は、図２に示すように、イオンビーム５が通過する開口部１１を有している。そして、この制御コレクタ４は、その主要部（本体）が無機絶縁体（この実施例ではアルミナ）１２から構成されており、無機絶縁体（この実施例ではアルミナ）１２の裏面側（イオンビーム５の照射面の反対側）には、導電体（この実施例では銀（Ａｇ）薄膜からなる電極膜）１３が配設されている。
【００２８】
なお、ニュートラライザ２としては、この実施例で用いられているようなフィラメントで熱電子を発生させるものが一般的であるが、これに限られるものではなく、他の方式のものを用いることも可能である。
【００２９】
上述のように構成された周波数調整装置を用いてワーク（弾性表面波フィルタ）３の周波数調整を行うにあたっては、真空容器１０の内部に配設されたイオンガン１からイオンビーム５を発生させてワーク３に照射し、ワーク３の水晶基板の表面及びくし歯状電極をイオンエッチングすることにより周波数の調整を行う。
このとき、制御コレクタ４の、イオンビーム５の照射面と反対側の面に配設された導電体１３を通じてイオンビーム電流を検知し、コントローラ９にてニュートラライザ２の出力を、ワーク３のチャージアップを防止することが可能な適切な値になるように制御する。
【００３０】
なお、このように、制御コレクタ４によりイオンビーム電流を検知し、ニュートラライザ２の出力を、ワーク３のチャージアップを防止することが可能な適切な値に制御するようにしているのは、以下の理由による。
すなわち、イオンビームエッチングにおいては、イオンビーム５の照射により、電荷を持ったイオンがワーク３に衝突して、ワーク３に電荷が蓄積された状態（チャージアップ状態）となる。そして、このチャージアップ状態になると、その後ワーク３に衝突すべきイオンが反発し、ワーク３への衝突が阻害されるばかりでなく、周波数測定にも影響を与え、場合によっては大量の電荷が測定器に入り込んで測定器を破壊するというような問題が生じる。そこで、ニュートラライザ２を用いて、電子を供給することにより、上述のような問題が発生することを防止して、確実にイオンエッチングによる周波数の調整を行うことができるようにしている。
【００３１】
上述のように構成された周波数調整装置においては、制御コレクタ４のイオンビーム５が照射される面が板状の無機絶縁体１２により形成されているので、制御コレクタ４の耐久性を向上させることが可能になるとともに、制御コレクタ４にイオンビーム５が照射されてパーティクルが発生しても、制御コレクタ４のイオンビーム５にさらされている部分が無機絶縁体１２から構成されているため、発生するパーティクルが絶縁物となる。したがって、この実施例の周波数調整装置を用いて電子部品の周波数調整を行った場合、発生したパーティクルがワーク（この実施例では弾性表面波フィルタ）３の電極や回路などに付着しても短絡などの問題が発生せず、所望の周波数に調整された信頼性の高い電子部品を効率よく製造することが可能になる。
【００３２】
なお、この実施例の周波数調整装置を用いて、水晶基板の表面にＴａからなるくし歯状電極が配設された構造を有する弾性表面波フィルタについて、水晶基板の表面及びくし歯状電極をイオンエッチングすることにより周波数の調整を行ったところ、短絡などの問題の発生を極めて少なくして、周波数を所望の値に調整することができることが確認されている。
【００３３】
また、主要部が無機絶縁体であるアルミナから構成され、裏面側に導電体（銀（Ａｇ）薄膜からなる電極膜）を配設してなる制御コレクタを用いた本願発明の実施例にかかる電子部品の周波数調整装置と、全体が金属（モリブデン）からなる制御コレクタを用いた従来の電子部品の周波数調整装置を用いて、前記の構造を有する弾性表面波フィルタ１０００個について、周波数の調整を行い、不良品の発生率を調べた結果、従来の電子部品の周波数調整装置を用いた場合には、不良品の発生数が３９個（不良品発生率３．９％）であったのに対して、本願発明の実施例にかかる電子部品の周波数調整装置を用いた場合には、不良品の発生数が２個（不良品発生率０．２％）であり、不良品発生率が大幅に減少することが確認された。
【００３４】
なお、上記実施例では、無機絶縁体１２の構成材料としてアルミナを用い、導電体（電極膜）１３の構成材料として銀（Ａｇ）を用いた場合を例にとって説明したが、無機絶縁体としては、アルミナ以外にも、ジルコニア、ＳｉＣ、ＳｉＯ２などの材料を用いることが可能であり、これらの中でもアルミナのようにエッチングブレートの低いものが好ましい。また、導電体としては、銀以外に、モリブデン、ステンレス、炭素（Ｃ）、その他の金属などの材料を用いることが可能であり、腐食性の問題のないものが望ましい。
【００３５】
なお、この実施例では、弾性表面波フィルタについて、水晶基板の表面及びＴａからなるくし歯状電極をイオンエッチングすることにより周波数を調整する場合を例にとって説明したが、例えば、水晶基板の表面にＡｌからなるくし歯状電極が配設された弾性表面波発振子の場合には、水晶基板の表面とＡｌからなるくし歯状電極をイオンエッチングすることにより周波数を調整することも可能である。このとき、水晶基板とＡｌからなるくし歯状電極はエッチングブレートが異なることを利用して周波数を調整する。
また、例えば、圧電基板の表裏両面に振動電極が配設された構造を有する圧電発振子の周波数を調整する場合には、振動電極をイオンエッチングすることにより周波数を調整することができる。
ただし、本願発明において、周波数を調整する際の具体的な態様は上記の例に限られるものではなく、さらにその他の態様で電子部品の周波数を調整する場合にも広く適用することが可能である。
【００３６】
［制御コレクタの変形例］
上記実施例では、イオンビーム５が照射される面を構成する部分が無機絶縁体（アルミナ）１２から構成され、無機絶縁体（アルミナ）１２の裏面側（イオンビーム５の照射面の反対側）に導電体（銀（Ａｇ）薄膜）１３が配設された構造を有する制御コレクタを用いているが、本願発明の電子部品の周波数調整装置においては、その他にも、以下に説明するような種々の構造を有する制御コレクタ（図３，４，５，６及び７参照）を用いることが可能である。
【００３７】
すなわち、本願発明の電子部品の周波数調整装置においては、上記実施例の制御コレクタ４（図１及び２参照）以外にも、図３に示すように、上記実施例の制御コレクタ４と同様に、主要部（本体）が無機絶縁体１２から構成され、この無機絶縁体（アルミナ）１２の、イオンビーム５が照射されない部分（イオンビーム５が照射される面の、実際にイオンビーム５が照射される領域及び制御コレクタ４の開口部１１の内周面を除く無機絶縁体１２の全面）が、導電体（電極膜）１３により被覆された構造を有する制御コレクタ４を用いることが可能である。
【００３８】
また、図４（ａ），（ｂ）に示すように、上記実施例の制御コレクタ４と同様に、主要部（本体）を無機絶縁体（この実施例ではアルミナ）１２から構成し、無機絶縁体（アルミナ）１２の裏面側に導電体１３が形成された構造とし、かつ、図４（ａ）に示すように開口部１１を直線的なテーパ形状（台形状）とし、あるいは、図４（ｂ）に示すように、開口部１１を曲線的なテーパ形状（凸状のテーパ）とした制御コレクタ４を用いることも可能である。
【００３９】
また、図５（ａ），（ｂ）に示すように、主要部（本体）を無機絶縁体１２から構成し、無機絶縁体（アルミナ）１２の、イオンビーム５が照射されない部分（イオンビーム５が照射される面の、実際にイオンビーム５が照射される領域及び制御コレクタ４の開口部１１の内周面を除く無機絶縁体１２の全面）を、導電体（電極膜）１３により被覆した構造を有し、かつ、図５（ａ）に示すように開口部１１を直線的なテーパ形状（台形状）とした制御コレクタ４、あるいは、図５（ｂ）に示すように、開口部１１を曲線的なテーパ形状（凸状のテーパ）とした制御コレクタ４を用いることも可能である。
【００４０】
また、図６（ａ）に示すように、主要部（本体）を導電体１３から構成し、イオンビーム５が照射される面の全面に無機絶縁体（この実施例ではアルミナ膜））１２を配設した制御コレクタ４、図６（ｂ）に示すように、主要部（本体）を導電体１３から構成し、イオンビーム５が照射される面の、イオンビーム５が実際に照射される領域に無機絶縁体（この実施例ではアルミナ膜）１２を配設した制御コレクタ４を用いることも可能である。なお、無機絶縁体の厚みは、通常数百μｍ程度であれば、実用上の耐用性を確保することが可能である。
【００４１】
さらに、図７（ａ）〜（ｄ）に示すように、無機絶縁体層１２ａと導電体層１３ａを交互に積層することにより形成され、イオンビーム５が照射される側の最外層が無機絶縁体層となるように構成された積層構造を有する制御コレクタを用いることも可能である。なお、図７（ａ）〜（ｄ）では、積層構造を有する制御コレクタの、イオンビーム５が照射される面とは逆側の面を構成する最外層も無機絶縁体層１２ａとなっている。
【００４２】
なお、図７（ａ）の制御コレクタ４は、導電体層１３ａを無機絶縁体層１２ａで挟み込んだ構造を有しており、図７（ｂ）の制御コレクタ４は、無機絶縁体層１２ａと導電体層１３ａを交互に積層するとともに、イオンビーム５の照射面及びその反対側の最外層を無機絶縁体層１２ａとした構造を有している。
【００４３】
また、図７（ｃ）の制御コレクタ４は、無機絶縁体層１２ａと導電体層１３ａを交互に積層するとともに、イオンビーム５の照射面及びその反対側の最外層を無機絶縁体層１２ａとし、かつ、開口部１１を直線的なテーパ形状（台形状）とした構造を有しており、図７（ｄ）の制御コレクタ４は、無機絶縁体層１２ａと導電体層１３ａを交互に積層するとともに、イオンビーム５の照射面及びその反対側の最外層を無機絶縁体層１２ａとし、かつ、開口部１１を曲線的なテーパ形状（凸状のテーパ）とした構造を有している。
なお、図７（ｃ），（ｄ）の制御コレクタ４においては、開口部１１の内周面（テーパ部）のテーパ部に露出した導電体層１３ａからの流入電流量を大きくとることが可能になるため、イオンビーム電流の検出の感度を向上させることが可能になる。
【００４４】
なお、本願発明の電子部品の周波数調整装置において用いることが可能な制御コレクタの具体的な構造や構成は、上述のようなものに限られるものではなく、さらに他の構造や構成のものを用いることも可能である。
【００４５】
また、上記実施例では、弾性表面波フィルタの周波数を調整する場合を例にとって説明したが、圧電フィルタやその他の種々の電子部品について、その周波数を調整する場合に広く適用することが可能である。
【００４６】
本願発明はさらにその他の点においても上記実施例に限定されるものではなく、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
上述のように、本願発明の周波数調整装置を用いることにより、イオンビームエッチングにより生じるパーティクルが製品の特性に悪影響を与えることを防止することが可能になり、周波数調整の工程で発生したパーティクルが、周波数調整の対象となっている電子部品の電極などに付着した場合にも短絡などの問題が発生することを防止して、所望の周波数に調整された信頼性の高い電子部品を得ることが可能になる。
したがって、本願発明は、イオンエッチングすることにより電子部品の周波数調整を行う周波数調整装置および弾性表面波フィルタや圧電フィルタなどの周波数の調整を行うことが必要な電子部品の製造工程などに広く利用することが可能である。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、イオンビームエッチングにより、弾性表面波フィルタや圧電フィルタなどの電子部品の周波数を調整する周波数調整装置及びそれを用いた電子部品の周波数調整方法に関し、詳しくは、イオンビーム電流（イオン又は電子）をモニタする制御コレクタに特徴を有する電子部品の周波数調整装置及びそれを用いた電子部品の周波数調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
発振子や圧電フィルタ、弾性表面波フィルタの周波数を調整して所望の特性を得るために用いられる従来の電子部品の周波数調整装置としては、例えば、イオンビームを用いて圧電素子をエッチングすることにより周波数の調整を行うようにした圧電素子の周波数調整装置がある。
【０００３】
この周波数調整装置は、図８に示すようにイオンガン５１の近傍にタングステンフィラメントによるニュートラライザ５２を配置するとともに、シャッター５８とイオンガン５１の間に制御コレクタ５４を配置し、この制御コレクタ５４によりイオンビーム電流を検知し、フィードバック回路５９によってニュートラライザ５２の電力を制御するように構成されている。
なお、この周波数調整装置においては、シャッター５８を閉とするときには、スイッチ６２をオフにすることにより、イオンビーム５５の照射を停止し、かつスイッチ６３をオフにすることによりニュートラライザ５２からの電子放出を停止するように構成されている
【０００４】
この周波数調整装置を用いて周波数を調整するにあたっては、まず、キャリヤー６５に搭載した、コレクタ電流の設定値を求めるための試験用のコレクタ６０をバイアス電源６１によって、本来の加工対象である圧電素子のエッチング面と同電位にし、このときのイオンビーム電流とニュートラライザ５２の電子電流が相殺されてゼロになるようにコレクタ電流の設定値を定める。
【０００５】
このようして、コレクタ電流の設定値を定めた後に、切り替え手段によって、コレクタ電流の設定値を求めるための試験用のコレクタ６０を取り外し、圧電素子５３を搭載したキャリヤー６５を所定の位置に配置する。
【０００６】
次に、コレクタ電流が常に設定値になるようにフィードバック回路５９、フィードバック回路６４によって、フィードバック制御を行いながらイオンビーム５５を照射し、イオンビームエッチングすることにより周波数調整を行う（例えば特許文献１参照）。
【０００７】
また、プラズマエッチング装置において、プラズマによりチャンバ内の部材が侵食され、ウェハを汚染するのを防止するために、プラズマが照射される部分の少なくとも表面をポリイミド樹脂により形成して、プラズマエッチングによる反応生成物の付着を抑制し、パーティクルが発生することを防止するようにしたプラズマエッチング装置が提案されている（例えば特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００１−２５７５４９号公報
【特許文献２】特開平８−１４８４７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記特許文献１の圧電素子の周波数調整装置の場合、制御コレクタに流れる電流を検出し、電流の大きさによってイオンビームを制御するようにしているため、制御コレクタは導電性を有している必要があり、絶縁体のみで制御コレクタを構成することができず、制御コレクタがイオンビームにより浸食されることで発生した導電性物質（パーティクル）がワークなどに付着し、電気的短絡などを引き起こす原因になるという問題点がある。すなわち、制御コレクタは、電流をモニタするための機能だけではなく、イオンビームを集束する機能を果たすものであるため、直接イオンビームにさらされることになり、イオンビームのエネルギーによって制御コレクタは少しずつ削られ、パーティクルが発生する。
【０００９】
また、上述のように、制御コレクタはイオンビームのエネルギーによって削られるため、イオンビームに直接さらされる部分は消耗が激しく、寿命が短いという問題点がある。
【００１０】
また、特許文献１の圧電素子の周波数調整装置において、制御コレクタのイオンビームが照射される部分の表面を、特許文献２のように、絶縁体であるポリイミド樹脂で形成することも考えられるが、その場合、一時的にはイオンビームによる反応生成物の付着を抑制し、パーティクルの発生を防止することが可能になるが、イオンビームが照射される部分の表面をポリイミド樹脂で形成しただけでは、制御コレクタとして十分な寿命を得ることができないという問題点がある。すなわち、ポリイミド樹脂は、従来制御コレクタに用いられている材料、例えば、ステンレス、耐熱性などを考慮したＭｏ（モリブデン）、耐エッチング性を考慮したＣ（炭素）などに比べて、エッチングレートが高く、寿命も短いものと考えられる。
【００１１】
本願発明は上記実情に鑑みてなされたものであり、制御コレクタの寿命が長く、しかも、イオンビームエッチングにより生じるパーティクルが製品の特性に悪影響を与えるおそれのない信頼性の高い電子部品の周波数調整装置及び該周波数調整装置を用いた電子部品の周波数調整方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、本願発明（請求項１）の電子部品の周波数調整装置は、
電子部品素子をイオンエッチングすることにより、電子部品の周波数調整を行う電子部品の周波数調整装置において、
イオンビームが通過する開口部を有し、イオンビーム電流を検知する制御コレクタの、少なくともイオンビームが照射される部分が無機絶縁体から構成されていることを特徴としている。
【００１３】
また、請求項２の電子部品の周波数調整装置は、請求項１の電子部品の周波数調整装置において、前記制御コレクタの、イオンビームが照射されない部分の少なくとも一部が導電体から構成されていることを特徴としている。
【００１４】
また、本願発明（請求項３）の電子部品の周波数調整装置は、
電子部品素子をイオンエッチングすることにより、電子部品の周波数調整を行う電子部品の周波数調整装置において、
イオンビームが通過する開口部を有し、イオンビーム電流を検知する制御コレクタが、無機絶縁体層と導電体層を交互に積層することにより形成され、少なくともイオンビームが照射される側の最外層が無機絶縁体層である積層構造体から形成されていること
を特徴としている。
【００１５】
また、請求項４の電子部品の周波数調整装置は、請求項１〜３のいずれかに記載の電子部品の周波数調整装置において、前記制御コレクタの開口部の、イオンビームの入口側の径を、出口側の径より大きくしたことを特徴としている。
【００１６】
また、本願発明（請求項５）の電子部品の周波数調整方法は、請求項１〜４のいずれかに記載の電子部品の周波数調整装置を用いて電子部品素子をイオンエッチングすることにより周波数の調整を行うことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１７】
上述のように、本願発明（請求項１）の電子部品の周波数調整装置は、イオンビーム電流（イオン又は電子）を検知する制御コレクタの、少なくともイオンビームが照射される部分を無機絶縁体から構成するようにしているので、ポリイミドなどの樹脂よりもエッチングされにくい上に、イオンビームエッチングにより生じるパーティクルが製品の特性に悪影響を与えることを防止することが可能な信頼性の高い電子部品の周波数調整装置を実現することが可能になる。
すなわち、制御コレクタの、イオンビームが照射される部分を無機絶縁体から構成した場合、制御コレクタがイオンビームに照射され、パーティクルが発生しても、制御コレクタのイオンビームにさらされている部分が無機絶縁体であるため、パーティクルが絶縁物となる。したがって、本願発明の周波数調整装置を用いることにより、周波数調整の工程で発生したパーティクルが、周波数調整の対象となっている電子部品の電極などに付着した場合にも短絡などの問題が発生せず、所望の周波数に調整された信頼性の高い電子部品を提供することが可能になる。
なお、本願発明において、少なくともイオンビームが照射される部分が無機絶縁体から構成されているとは、少なくともイオンビームが照射される部分自体がアルミナなどの無機絶縁体から形成されている場合、アルミナ膜などの無機絶縁体膜で被覆されている場合、アルミナ基板などの無機絶縁体板が貼り付けられている場合などを含む広い概念である。
【００１８】
また、請求項２の電子部品の周波数調整装置のように、制御コレクタの、イオンビームが照射されない部分の少なくとも一部を導電体から構成することにより、制御コレクタに流れる電流を検出することが可能になるとともに、電流の大きさによってイオンビームを確実に制御することが可能になり、本願発明を実効あらしめることが可能になる。
なお、本願発明において、コレクタの、イオンビームが照射されない部分の少なくとも一部が導電体から構成されているとは、イオンビームが照射されない部分の少なくとも一部が、金属などの導電体から形成されている場合、金属膜などの導電体膜で被覆されている場合、金属板などの導電体板が貼り付けられている場合などを含む広い概念である。
【００１９】
また、本願発明（請求項３）の電子部品の周波数調整装置のように、制御コレクタを、無機絶縁体層と導電体層を積層し、少なくともイオンビームが照射される側の最外層が無機絶縁体層となるようにした積層構造体から形成するようにした場合、イオンビームが照射される側の最外層が無機絶縁体層であるため、パーティクルが発生しても、パーティクルは絶縁物となる。それゆえ、周波数調整の工程で発生したパーティクルが周波数調整の対象となっている電子部品の電極などに付着した場合にも、短絡などの問題の発生を抑制することが可能になり、また、制御コレクタの一部が、無機絶縁体層と交互に積層された導電体層により形成されているため、制御コレクタに流れる電流を検出し、電流の大きさによってイオンビームを制御することが可能になる。
したがって、制御コレクタの寿命が長く、しかも、イオンビームエッチングにより生じるパーティクルが製品の特性に悪影響を与えるおそれのない、信頼性の高い電子部品の周波数調整装置を実現することが可能になる。
なお、本願発明において、少なくともイオンビームが照射される側の最外層が無機絶縁体層であるとは、イオンビームが照射される側の最外層がアルミナなどの無機絶縁体層で、イオンビームが照射される側と反対側の最外層も無機絶縁体層である場合、及び、イオンビームが照射される側の最外層がアルミナなどの無機絶縁体層で、イオンビームが照射される側と反対側の最外層が導電体層である場合を含む概念である。
【００２０】
また、請求項４の電子部品の周波数調整装置のように、制御コレクタの開口部の、イオンビームの入口側の径を、出口側の径より大きくすることにより、開口部の内周面（テーパ部）において、テーパ部に露出した導電体層からの流入電流量を大きくとることが可能になり、イオンビーム電流の検出の感度を向上させることが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることができる。
【００２１】
また、本願発明（請求項５）の電子部品の周波数調整方法は、請求項１〜４のいずれかに記載の電子部品の周波数調整装置を用いて電子部品素子をイオンエッチングすることにより、周波数調整工程で発生したパーティクルが周波数調整を行っている電子部品の電極などに付着して短絡を発生したりすることを防止して、確実に電子部品の周波数を調整することが可能になり、所望の特性を備えた信頼性の高い電子部品を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
［図１］本願発明の一実施例にかかる電子部品の周波数調整装置の概略構成を示す図である。
［図２］本願発明の一実施例にかかる電子部品の周波数調整装置の要部を拡大して示す図である。
［図３］本願発明の電子部品の周波数調整装置において用いられる制御コレクタの変形例を示す図である。
［図４］（ａ）、（ｂ）は、本願発明の電子部品の周波数調整装置において用いられる制御コレクタの他の変形例を示す図である。
［図５］（ａ）、（ｂ）は、本願発明の電子部品の周波数調整装置において用いられる制御コレクタのさらに他の変形例を示す図である。
［図６］（ａ）、（ｂ）は、本願発明の電子部品の周波数調整装置において用いられる制御コレクタのさらに他の変形例を示す図である。
［図７］（ａ）〜（ｄ）は、本願発明の電子部品の周波数調整装置において用いられる制御コレクタのさらに他の変形例を示す図である。
［図８］従来の電子部品の周波数調整装置を示す図である。
【符号の説明】
【００２３】
１ イオンガン
２ ニュートラライザ
３ ワーク（弾性表面波フィルタ）
４ 制御コレクタ
５ イオンビーム
９ コントローラ
１０ 真空容器
１１ 開口部
１２ 無機絶縁体（アルミナ）
１２ａ 無機絶縁体層
１３ 導電体（銀（Ａｇ）薄膜）
１３ａ 導電体層
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本願発明の実施例を示して、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。
【実施例１】
【００２５】
この実施例では、水晶基板の表面にＴａからなるくし歯状電極が配設された構造を有する弾性表面波フィルタについて、水晶基板とくし歯状電極とをイオンエッチングすることにより周波数を調整する場合を例にとって説明する。
なお、上記の構造では、水晶基板とくし歯状電極とが同時に、ほぼ同じレートでエッチングされるが、Ｔａからなるくし歯状電極の比重が水晶基板よりもはるかに大きいため、くし歯状電極がエッチングされる効果が大きく、エッチングされることで周波数は高くなる。
【００２６】
図１は、本願発明の一実施例にかかる電子部品の周波数調整装置を示す図であり、図２はその要部を拡大して示す図である。
図１及び２に示すように、この実施例の電子部品の周波数調整装置は、真空容器１０の内部に配設されたイオンガン１の近傍に、イオンビーム５の照射によるワーク（弾性表面波フィルタ）３のチャージアップを防止するために電子を放出する機能を果たすタングステンフィラメントからなるニュートラライザ２を配設するとともに、ワーク３とイオンガン１の間に制御コレクタ４を配設し、この制御コレクタ４によりイオンビーム５の電流を検知し、コントローラ９によってニュートラライザ２の電力を制御するように構成されている。
【００２７】
制御コレクタ４は、イオンビーム５の電流（イオン及び／又は電子）を検知するとともに、イオンビーム５を絞るように制御する機能を果たすものである。この制御コレクタ４は、図２に示すように、イオンビーム５が通過する開口部１１を有している。そして、この制御コレクタ４は、その主要部（本体）が無機絶縁体（この実施例ではアルミナ）１２から構成されており、無機絶縁体（この実施例ではアルミナ）１２の裏面側（イオンビーム５の照射面の反対側）には、導電体（この実施例では銀（Ａｇ）薄膜からなる電極膜）１３が配設されている。
【００２８】
なお、ニュートラライザ２としては、この実施例で用いられているようなフィラメントで熱電子を発生させるものが一般的であるが、これに限られるものではなく、他の方式のものを用いることも可能である。
【００２９】
上述のように構成された周波数調整装置を用いてワーク（弾性表面波フィルタ）３の周波数調整を行うにあたっては、真空容器１０の内部に配設されたイオンガン１からイオンビーム５を発生させてワーク３に照射し、ワーク３の水晶基板の表面及びくし歯状電極をイオンエッチングすることにより周波数の調整を行う。
このとき、制御コレクタ４の、イオンビーム５の照射面と反対側の面に配設された導電体１３を通じてイオンビーム電流を検知し、コントローラ９にてニュートラライザ２の出力を、ワーク３のチャージアップを防止することが可能な適切な値になるように制御する。
【００３０】
なお、このように、制御コレクタ４によりイオンビーム電流を検知し、ニュートラライザ２の出力を、ワーク３のチャージアップを防止することが可能な適切な値に制御するようにしているのは、以下の理由による。
すなわち、イオンビームエッチングにおいては、イオンビーム５の照射により、電荷を持ったイオンがワーク３に衝突して、ワーク３に電荷が蓄積された状態（チャージアップ状態）となる。そして、このチャージアップ状態になると、その後ワーク３に衝突すべきイオンが反発し、ワーク３への衝突が阻害されるばかりでなく、周波数測定にも影響を与え、場合によっては大量の電荷が測定器に入り込んで測定器を破壊するというような問題が生じる。そこで、ニュートラライザ２を用いて、電子を供給することにより、上述のような問題が発生することを防止して、確実にイオンエッチングによる周波数の調整を行うことができるようにしている。
【００３１】
上述のように構成された周波数調整装置においては、制御コレクタ４のイオンビーム５が照射される面が板状の無機絶縁体１２により形成されているので、制御コレクタ４の耐久性を向上させることが可能になるとともに、制御コレクタ４にイオンビーム５が照射されてパーティクルが発生しても、制御コレクタ４のイオンビーム５にさらされている部分が無機絶縁体１２から構成されているため、発生するパーティクルが絶縁物となる。したがって、この実施例の周波数調整装置を用いて電子部品の周波数調整を行った場合、発生したパーティクルがワーク（この実施例では弾性表面波フィルタ）３の電極や回路などに付着しても短絡などの問題が発生せず、所望の周波数に調整された信頼性の高い電子部品を効率よく製造することが可能になる。
【００３２】
なお、この実施例の周波数調整装置を用いて、水晶基板の表面にＴａからなるくし歯状電極が配設された構造を有する弾性表面波フィルタについて、水晶基板の表面及びくし歯状電極をイオンエッチングすることにより周波数の調整を行ったところ、短絡などの問題の発生を極めて少なくして、周波数を所望の値に調整することができることが確認されている。
【００３３】
また、主要部が無機絶縁体であるアルミナから構成され、裏面側に導電体（銀（Ａｇ）薄膜からなる電極膜）を配設してなる制御コレクタを用いた本願発明の実施例にかかる電子部品の周波数調整装置と、全体が金属（モリブデン）からなる制御コレクタを用いた従来の電子部品の周波数調整装置を用いて、前記の構造を有する弾性表面波フィルタ１０００個について、周波数の調整を行い、不良品の発生率を調べた結果、従来の電子部品の周波数調整装置を用いた場合には、不良品の発生数が３９個（不良品発生率３．９％）であったのに対して、本願発明の実施例にかかる電子部品の周波数調整装置を用いた場合には、不良品の発生数が２個（不良品発生率０．２％）であり、不良品発生率が大幅に減少することが確認された。
【００３４】
なお、上記実施例では、無機絶縁体１２の構成材料としてアルミナを用い、導電体（電極膜）１３の構成材料として銀（Ａｇ）を用いた場合を例にとって説明したが、無機絶縁体としては、アルミナ以外にも、ジルコニア、ＳｉＣ、ＳｉＯ２などの材料を用いることが可能であり、これらの中でもアルミナのようにエッチングブレートの低いものが好ましい。また、導電体としては、銀以外に、モリブデン、ステンレス、炭素（Ｃ）、その他の金属などの材料を用いることが可能であり、腐食性の問題のないものが望ましい。
【００３５】
なお、この実施例では、弾性表面波フィルタについて、水晶基板の表面及びＴａからなるくし歯状電極をイオンエッチングすることにより周波数を調整する場合を例にとって説明したが、例えば、水晶基板の表面にＡｌからなるくし歯状電極が配設された弾性表面波発振子の場合には、水晶基板の表面とＡｌからなるくし歯状電極をイオンエッチングすることにより周波数を調整することも可能である。このとき、水晶基板とＡｌからなるくし歯状電極はエッチングブレートが異なることを利用して周波数を調整する。
また、例えば、圧電基板の表裏両面に振動電極が配設された構造を有する圧電発振子の周波数を調整する場合には、振動電極をイオンエッチングすることにより周波数を調整することができる。
ただし、本願発明において、周波数を調整する際の具体的な態様は上記の例に限られるものではなく、さらにその他の態様で電子部品の周波数を調整する場合にも広く適用することが可能である。
【００３６】
［制御コレクタの変形例］
上記実施例では、イオンビーム５が照射される面を構成する部分が無機絶縁体（アルミナ）１２から構成され、無機絶縁体（アルミナ）１２の裏面側（イオンビーム５の照射面の反対側）に導電体（銀（Ａｇ）薄膜）１３が配設された構造を有する制御コレクタを用いているが、本願発明の電子部品の周波数調整装置においては、その他にも、以下に説明するような種々の構造を有する制御コレクタ（図３，４，５，６及び７参照）を用いることが可能である。
【００３７】
すなわち、本願発明の電子部品の周波数調整装置においては、上記実施例の制御コレクタ４（図１及び２参照）以外にも、図３に示すように、上記実施例の制御コレクタ４と同様に、主要部（本体）が無機絶縁体１２から構成され、この無機絶縁体（アルミナ）１２の、イオンビーム５が照射されない部分（イオンビーム５が照射される面の、実際にイオンビーム５が照射される領域及び制御コレクタ４の開口部１１の内周面を除く無機絶縁体１２の全面）が、導電体（電極膜）１３により被覆された構造を有する制御コレクタ４を用いることが可能である。
【００３８】
また、図４（ａ），（ｂ）に示すように、上記実施例の制御コレクタ４と同様に、主要部（本体）を無機絶縁体（この実施例ではアルミナ）１２から構成し、無機絶縁体（アルミナ）１２の裏面側に導電体１３が形成された構造とし、かつ、図４（ａ）に示すように開口部１１を直線的なテーパ形状（台形状）とし、あるいは、図４（ｂ）に示すように、開口部１１を曲線的なテーパ形状（凸状のテーパ）とした制御コレクタ４を用いることも可能である。
【００３９】
また、図５（ａ），（ｂ）に示すように、主要部（本体）を無機絶縁体１２から構成し、無機絶縁体（アルミナ）１２の、イオンビーム５が照射されない部分（イオンビーム５が照射される面の、実際にイオンビーム５が照射される領域及び制御コレクタ４の開口部１１の内周面を除く無機絶縁体１２の全面）を、導電体（電極膜）１３により被覆した構造を有し、かつ、図５（ａ）に示すように開口部１１を直線的なテーパ形状（台形状）とした制御コレクタ４、あるいは、図５（ｂ）に示すように、開口部１１を曲線的なテーパ形状（凸状のテーパ）とした制御コレクタ４を用いることも可能である。
【００４０】
また、図６（ａ）に示すように、主要部（本体）を導電体１３から構成し、イオンビーム５が照射される面の全面に無機絶縁体（この実施例ではアルミナ膜））１２を配設した制御コレクタ４、図６（ｂ）に示すように、主要部（本体）を導電体１３から構成し、イオンビーム５が照射される面の、イオンビーム５が実際に照射される領域に無機絶縁体（この実施例ではアルミナ膜）１２を配設した制御コレクタ４を用いることも可能である。なお、無機絶縁体の厚みは、通常数百μｍ程度であれば、実用上の耐用性を確保することが可能である。
【００４１】
さらに、図７（ａ）〜（ｄ）に示すように、無機絶縁体層１２ａと導電体層１３ａを交互に積層することにより形成され、イオンビーム５が照射される側の最外層が無機絶縁体層となるように構成された積層構造を有する制御コレクタを用いることも可能である。なお、図７（ａ）〜（ｄ）では、積層構造を有する制御コレクタの、イオンビーム５が照射される面とは逆側の面を構成する最外層も無機絶縁体層１２ａとなっている。
【００４２】
なお、図７（ａ）の制御コレクタ４は、導電体層１３ａを無機絶縁体層１２ａで挟み込んだ構造を有しており、図７（ｂ）の制御コレクタ４は、無機絶縁体層１２ａと導電体層１３ａを交互に積層するとともに、イオンビーム５の照射面及びその反対側の最外層を無機絶縁体層１２ａとした構造を有している。
【００４３】
また、図７（ｃ）の制御コレクタ４は、無機絶縁体層１２ａと導電体層１３ａを交互に積層するとともに、イオンビーム５の照射面及びその反対側の最外層を無機絶縁体層１２ａとし、かつ、開口部１１を直線的なテーパ形状（台形状）とした構造を有しており、図７（ｄ）の制御コレクタ４は、無機絶縁体層１２ａと導電体層１３ａを交互に積層するとともに、イオンビーム５の照射面及びその反対側の最外層を無機絶縁体層１２ａとし、かつ、開口部１１を曲線的なテーパ形状（凸状のテーパ）とした構造を有している。
なお、図７（ｃ），（ｄ）の制御コレクタ４においては、開口部１１の内周面（テーパ部）のテーパ部に露出した導電体層１３ａからの流入電流量を大きくとることが可能になるため、イオンビーム電流の検出の感度を向上させることが可能になる。
【００４４】
なお、本願発明の電子部品の周波数調整装置において用いることが可能な制御コレクタの具体的な構造や構成は、上述のようなものに限られるものではなく、さらに他の構造や構成のものを用いることも可能である。
【００４５】
また、上記実施例では、弾性表面波フィルタの周波数を調整する場合を例にとって説明したが、圧電フィルタやその他の種々の電子部品について、その周波数を調整する場合に広く適用することが可能である。
【００４６】
本願発明はさらにその他の点においても上記実施例に限定されるものではなく、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
上述のように、本願発明の周波数調整装置を用いることにより、イオンビームエッチングにより生じるパーティクルが製品の特性に悪影響を与えることを防止することが可能になり、周波数調整の工程で発生したパーティクルが、周波数調整の対象となっている電子部品の電極などに付着した場合にも短絡などの問題が発生することを防止して、所望の周波数に調整された信頼性の高い電子部品を得ることが可能になる。
したがって、本願発明は、イオンエッチングすることにより電子部品の周波数調整を行う周波数調整装置および弾性表面波フィルタや圧電フィルタなどの周波数の調整を行うことが必要な電子部品の製造工程などに広く利用することが可能である。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品素子をイオンエッチングすることにより、電子部品の周波数調整を行う電子部品の周波数調整装置において、
イオンビームが通過する開口部を有し、イオンビーム電流を検知する制御コレクタの、少なくともイオンビームが照射される部分が無機絶縁体から構成されていること
を特徴とする電子部品の周波数調整装置。
【請求項２】
前記制御コレクタの、イオンビームが照射されない部分の少なくとも一部が導電体から構成されていることを特徴とする請求項１記載の電子部品の周波数調整装置。
【請求項３】
電子部品素子をイオンエッチングすることにより、電子部品の周波数調整を行う電子部品の周波数調整装置において、
イオンビームが通過する開口部を有し、イオンビーム電流を検知する制御コレクタが、無機絶縁体層と導電体層を交互に積層することにより形成され、少なくともイオンビームが照射される側の最外層が無機絶縁体層である積層構造体から形成されていること
を特徴とする電子部品の周波数調整装置。
【請求項４】
前記制御コレクタの開口部の、イオンビームの入口側の径を、出口側の径より大きくしたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の電子部品の周波数調整装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の電子部品の周波数調整装置を用いて電子部品素子をイオンエッチングすることにより周波数の調整を行うことを特徴とする電子部品の周波数調整方法。
【請求項１】
電子部品素子をイオンエッチングすることにより、電子部品の周波数調整を行う電子部品の周波数調整装置において、
イオンビームが通過する開口部を有し、イオンビーム電流を検知する制御コレクタの、少なくともイオンビームが照射される部分が無機絶縁体から構成されていること
を特徴とする電子部品の周波数調整装置。
【請求項２】
前記制御コレクタの、イオンビームが照射されない部分の少なくとも一部が導電体から構成されていることを特徴とする請求項１記載の電子部品の周波数調整装置。
【請求項３】
電子部品素子をイオンエッチングすることにより、電子部品の周波数調整を行う電子部品の周波数調整装置において、
イオンビームが通過する開口部を有し、イオンビーム電流を検知する制御コレクタが、無機絶縁体層と導電体層を交互に積層することにより形成され、少なくともイオンビームが照射される側の最外層が無機絶縁体層である積層構造体から形成されていること
を特徴とする電子部品の周波数調整装置。
【請求項４】
前記制御コレクタの開口部の、イオンビームの入口側の径を、出口側の径より大きくしたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の電子部品の周波数調整装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の電子部品の周波数調整装置を用いて電子部品素子をイオンエッチングすることにより周波数の調整を行うことを特徴とする電子部品の周波数調整方法。
【国際公開番号】ＷＯ２００５／００６５４５
【国際公開日】平成１７年１月２０日（２００５．１．２０）
【発行日】平成１８年８月２４日（２００６．８．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−５１１４８９（Ｐ２００５−５１１４８９）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＪＰ２００４／００８３２４
【国際出願日】平成１６年６月１４日（２００４．６．１４）
【出願人】（０００００６２３１）株式会社村田製作所 (3,635)
【Ｆターム（参考）】
【国際公開日】平成１７年１月２０日（２００５．１．２０）
【発行日】平成１８年８月２４日（２００６．８．２４）
【国際特許分類】
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＪＰ２００４／００８３２４
【国際出願日】平成１６年６月１４日（２００４．６．１４）
【出願人】（０００００６２３１）株式会社村田製作所 (3,635)
【Ｆターム（参考）】
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