電気泳動表示装置及びその製造方法
【課題】所望の面押し耐性強度を備えるとともにコントラストの低下を防止して所望の色表示が可能な電気泳動表示装置及び既存の技術を利用して容易に製造することができる電気泳動表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の電気泳動表示装置は、互いに対向配置された第１基板及び第２基板の間に配置され、画素領域に対応するセルを複数有するとともに反射性を有した隔壁と、各セル内に電気泳動材料が保持されてなる電気泳動層と、第１基板の電気泳動層側の面に設けられた第１電極と、第２基板の電気泳動層側の面に設けられた第２電極と、隔壁内にセルごとに対応して設けられ、基板面に垂直な法線方向に対してセル側へ所定の角度θで傾斜する傾斜面を有した反射部とを備える。
【解決手段】本発明の電気泳動表示装置は、互いに対向配置された第１基板及び第２基板の間に配置され、画素領域に対応するセルを複数有するとともに反射性を有した隔壁と、各セル内に電気泳動材料が保持されてなる電気泳動層と、第１基板の電気泳動層側の面に設けられた第１電極と、第２基板の電気泳動層側の面に設けられた第２電極と、隔壁内にセルごとに対応して設けられ、基板面に垂直な法線方向に対してセル側へ所定の角度θで傾斜する傾斜面を有した反射部とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気泳動表示装置及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電気泳動表示装置には、一対の基板間に形成した隔壁によって区画形成される各セル内に、電気泳動分散液（電気泳動粒子を分散媒に分散させたもの）を封入した構成が知られている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
ところで、隔壁の幅が大きいと表示に関与できる部分が少なくなり、開口率が低下し、暗い表示、コントラストの低い表示となってしまう。そこで、隔壁の断面形状を観察面側で狭く、観察面の反対側で広くした台形形状にした構成が知られている（例えば、特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−４７７３号公報
【特許文献２】特開２００３−２０８１０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、観察面側での隔壁の幅を狭くし過ぎると、面押し耐性強度が弱くなってしまい、例えば電気泳動表示装置をペン入力機能付きの電子ペーパー等に応用する場合に、ペンの圧力で隔壁が容易に潰されてしまうといった問題がある。すなわち、開口率を上げることと面押し耐性強度を高めることが両立しないといった課題が生じている。
【０００６】
また、隔壁型の電気泳動表示装置では、外部から入射した光のうちその全てが各セル内に入射するのではなく、隔壁内へ入射する場合がある。透明な隔壁に入射した光は、バックプレーンにおいて反射されて白色の光がそのまま外部へ出射することになる。電気泳動層（セル）を透過しないため、全体として所望の色表示を得ることができない。樹脂からなる隔壁に入射した光は減衰しながら透過するため、白表示を行う場合は光量が低下してしまうという問題があり、黒表示を行う場合は、黒地に白色が混色するためはっきりとした黒表示が得られないという問題がある。このように表示色のコントラストが低下するという他の課題も生じている。
【０００７】
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み成されたものであって、所望の面押し耐性強度を備えるとともにコントラストの低下を防止して所望の色表示が可能な電気泳動表示装置及び既存の技術を利用して容易に製造することができる電気泳動表示装置の製造方法を提供することを目的の一つとしている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の電気泳動表示装置は、互いに対向配置された第１基板及び第２基板と、前記第１基板及び前記第２基板の間に配置され、セルを複数有するとともに反射性を有した隔壁と、各セル内に電気泳動材料が保持されてなる電気泳動層と、前記第１基板の前記電気泳動層側の面に設けられた第１電極と、前記第２基板の前記電気泳動層側の面に設けられた第２電極と、前記隔壁内に設けられる反射部と、を備え、前記隔壁は、少なくとも前記反射部よりも表示面側が透明部材から構成されることを特徴とする。
【０００９】
これによれば、外部から隔壁内に入射した光を反射部において反射させてセル内へ導光させることで、外部から入射した光を表示に有効的に利用することが可能となり、開口率を上げることでコントラストの向上が図れる。また、反射部を設けることで隔壁の幅を狭くすること無く、開口率を向上できるので、面押し耐性強度を高めることができる。
【００１０】
また、上記電気泳動表示装置においては、前記反射部は、前記セルごとに対応して設けられるのが好ましい。
これによれば、反射部がセルごとに対応して設けられるので、各セル内へ効率的に導光することができる。
【００１１】
また、上記電気泳動表示装置においては、前記透明部材は、前記電気泳動材料と略同じ屈折率を有するのが好ましい。
これによれば、透明部材と電気光学部材との界面で光の反射が起こりにくくすることができる。
また、上記電気泳動表示装置においては、前記電気泳動材料は、分散媒と電気泳動粒子とを含むのが好ましい。さらに、前記分散媒又は前記電気泳動粒子が前記透明部材と略同じ屈折率を有するのがより好ましい。
これによれば、透明部材と電気光学部材に含まれる分散媒又は電気泳動粒子との界面で光の反射が起こりにくくすることができる。
【００１２】
また、上記電気泳動表示装置においては、前記第１基板から前記反射部の先端までの高さｈは、セルギャップｄに対して、ｄ／２≦ｈ≦ｄの範囲内であるのが好ましい。
これによれば、第２基板側から隔壁内に入射した外光を減衰させることなくセル内へと導光させることができるので、輝度の低下を防止できる。
【００１３】
また、上記電気泳動表示装置においては、前記反射部は、前記セル内に光を散乱させる散乱面を含むのが好ましい。
これによれば、隔壁内に設けられた散乱面によって外部から隔壁内に入射した光を良好に反射させることでセル内へ導光することができる。
【００１４】
また、上記電気泳動表示装置においては、前記反射部は、前記隔壁内に設けられた光学部材から構成されるのが好ましい。
これによれば、隔壁内に設けられた光学部材によって外部から隔壁内に入射した光を良好に反射させることでセル内へ導光することができる。
【００１５】
また、上記電気泳動表示装置においては、複数の前記光学部材が基板面に垂直な法線方向に対して前記セル側へ所定角度で傾斜した方向に沿って前記隔壁内に分散されているのがより望ましい。
これによれば、隔壁内に所定角度で傾斜した方向に沿って複数の光学部材が分散されているので、隔壁内に入射した光をセル内に効率的に反射させることができる。
【００１６】
また、本発明の電気泳動表示装置は、互いに対向配置された第１基板及び第２基板と、前記第１基板及び前記第２基板の間に配置され、セルを複数有するとともに反射性を有した隔壁と、各セル内に電気泳動材料が保持されてなる電気泳動層と、前記第１基板の前記電気泳動層側の面に設けられた第１電極と、前記第２基板の前記電気泳動層側の面に設けられた第２電極と、前記隔壁内に前記セルごとに対応して設けられ、基板面に垂直な法線方向に対して前記セル側へ所定の角度θで傾斜する傾斜面を有した反射部と、を備えることを特徴とする。
【００１７】
これによれば、外部から前記隔壁内に入射した光を反射部において反射させてセル内へ導光させることができる。これにより、外部から入射した光を表示に有効的に利用することが可能となり、コントラストの向上が図れる。また、複数の画素が１つのセルに対応している場合でも、隔壁に接している画素において上記した効果が得られる。
なお、１つの画素が１つのセルに対応する隔壁の構造としてもよい。
【００１８】
また、前記角度θが、３０°≦θ≦６０°の範囲内である構成としてもよい。
これによれば、第２基板側から隔壁内に入射した外光をセル内へと効率よく導光させることができる。
【００１９】
また、一方向に並ぶ前記複数のセルに対応する前記反射部が同一方向へ傾斜する構成としてもよい。
これによれば、一方向に並ぶ複数のセル内に均等に外光を導入させることができる。
【００２０】
また、前記反射部は、当該隔壁を介して隣り合う一方の前記セル側へ傾斜する第１の前記傾斜面と、他方の前記セル側へ傾斜する第２の前記傾斜面と、を有する構成としてもよい。
これによれば、隔壁を介して隣り合う一対のセルに対して光を導光させることができる。
【００２１】
また、前記反射部が金属膜からなる構成としてもよい。
これによれば、反射部が金属膜からなるため、スパッタ法や蒸着法等を用いて容易に形成することができる。
【００２２】
また、前記隔壁が、第１隔壁部と、当該第１隔壁部に組み合わされる第２隔壁部とにより構成され、これら前記第１隔壁部と第２隔壁部との間に前記反射部が配置されている構成としてもよい。
これによれば、隔壁内の所定の位置に反射部を形成することが容易である。
【００２３】
また、前記隔壁に白顔料が含有されている構成としてもよい。
これによれば、隔壁内に入射した外光を散乱させて各セル内へと導光させることができる。
【００２４】
また、１つの画素に１つのセルが対応している構成としてもよい。
これにより、各画素の輝度を高めることができるので、コントラストをより向上させることが可能である。
【００２５】
また、前記反射部は、前記隔壁内に埋め込まれることで当該隔壁内に入射した光を前記セル内に導光させる白色微粒子又は金属微粒子を含む微粒子から構成されるとしてもよい。
これによれば、隔壁内に埋め込まれた微粒子により隔壁内に入射した外光を反射させて各セル内へと導光させることができる。
【００２６】
また、前記隔壁の前記第２基板側には、前記微粒子が存在しない微粒子不存在領域が設定されており、該微粒子不存在領域の高さは、前記隔壁の高さの１／８以上１／２以下の範囲内であるとしてもよい。
これによれば、第２基板側から隔壁内に入射した外光をセル内へと効率よく導光させることができる。
【００２７】
また、平面視した状態で前記隔壁内に配置可能な前記微粒子の量をａとしたとき、当該隔壁内に埋め込まれる前記微粒子の量は、２ａ以上８ａ以下の範囲内であるとしてもよい。
これによれば、隔壁内に微粒子が良好に配置されるので、隔壁内に入射した外光をセル内へと効率よく導光させることができる。
【００２８】
本発明の電気泳動表示装置の製造方法は、第１基材上に複数の画素領域を区画する第１隔壁部を形成するとともに、第２基板上に前記第１隔壁部に対応する前記第２隔壁部を形成する工程と、前記第１隔壁部の上面に第１係合部を形成するとともに、前記第２隔壁部の上面に前記第１係合部に対応する第２係合部を形成する工程と、前記第１係合部および前記第２係合部の少なくとも一方に反射部を形成する工程と、前記第１係合部及び前記第２係合部を対向させるようにして前記第１隔壁部及び前記第２隔壁部を組み合わせることによって隔壁を形成する工程と、前記隔壁を第１基板上に貼り合せる工程と、少なくとも前記隔壁と前記第１基板とによって囲まれたセル内に電気泳動材料を充填する工程と、前記第１基板上に前記隔壁を介して第２基板を貼り合せる工程と、を有することを特徴とする。
【００２９】
これによれば、隔壁内の所定の位置に反射部を形成することができるので、隔壁内に入射した外光を減衰させることなくセル内へと導光させることができる。
【００３０】
また、前記第１係合部が凸状を呈するとともに前記第２係合部が凹状を呈しており、前記隔壁を第１基板上に貼り合せる際、凸状の前記第１係合部を前記第１基板とは反対側に向けた状態で前記第１隔壁部を貼り合せる構成としてもよい。
これによれば、第１基板上に、凸状の第１係合部を第１基板とは反対側（つまり、第２基板側）に向けた状態で第２隔壁部を貼り合せることにより、第１隔壁部と第２隔壁部との間に存在する反射部によって、隔壁の両側に存在する各セル内へ光を導入させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の電気光学表示装置の一例である電気泳動表示装置の概略構成を示す断面図。
【図２】隔壁の構成について反射部を中心に示す平面図。
【図３】電気泳動表示装置の概略構成について隔壁の構成を中心に示す断面図。
【図４】電気泳動表示装置の効果についての説明図。
【図５】反射部の断面形状を示す図。
【図６】隔壁の変形例を示す平面図。
【図７】反射部の別の形態に係る構成を示す図。
【図８】反射部の別の形態に係る構成を示す図。
【図９】電気泳動表示装置の製造工程のフローを示す図。
【図１０】電気泳動表示装置の製造工程を示す断面図。
【図１１】電気泳動表示装置の製造工程を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明の実施形態につき、図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００３３】
図１は、本発明の電気光学表示装置の一例である電気泳動表示装置の概略構成を示す断面図である。
図１に示すように、電気泳動表示装置（電気光学表示装置）１００は、第１基板３０及び画素電極（第１電極）３５を含む素子基板３００と、第２基板３１及び対向電極（第２電極）３７を含む対向基板３１０との間に電気泳動層３２が挟持されてなるものである。
図１では、各画素領域に対応する隔壁を形成しているが、これに限定されるものではなく、隔壁で囲まれた一つの領域内に複数の画素領域が存在していても良い。
【００３４】
第１基板３０上には、画素ごとに画素トランジスタ（例えば、ＴＦＴ（図示略））、画素電極３５および隔壁１４が設けられている。
第１基板３０には、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などの絶縁性の樹脂材料からなる基板（即ち、樹脂基板）、又は、ガラス基板が用いられ、１００から５００μｍの厚さを有している。なお、電気泳動表示装置１００に可撓性を付与する場合には、可撓性を有する樹脂基板を選択する。また、画素電極３５及び第１基板３０は、視認側ではないので必ずしも光透過性を有する材料を用いる必要はなく、非光透過性の材料を用いることも可能である。
【００３５】
画素トランジスタは、配線を介して画素電極３５にそれぞれ接続されており、当該画素トランジスタをオン、オフすることにより、画素電極３５に選択的に電圧を印加できるようになっている。
【００３６】
画素電極３５は、素子基板３００の電気泳動層３２と対向する側の面に形成されている。画素電極３５は厚さ５０ｎｍのＩＴＯからなるが、これに限定されるものではない。また、対向電極３７は、対向基板３１０の電気泳動層３２と対向する側の面に形成されている。画素電極３５は、画素ごとに形成された電極であり、対向電極３７は複数の画素に亘って共通に形成された電極である。このような画素電極３５と対向電極３７は、例えばアルミニウム（Ａｌ）等の光透過性に乏しい（不透明な）導電膜、又は、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の光透過性を有する導電膜で構成されている。
【００３７】
なお、素子基板３００が透明基板であり、画素電極３５がＩＴＯ等で構成されている場合は、画面に表示される文字、画像等を素子基板３００側から視認することができる。あるいは、図示しない対向電極３７が透明な基板であり、対向電極３７がＩＴＯ等で構成されている場合は、画面に表示される文字、画像等を対向基板３１０側から視認することができる。すなわち、対向基板３１０の表面は、電気泳動表示装置１００の表示面１００ａを構成している。
【００３８】
隔壁１４は、透明樹脂からなり、第１基板３０上において画素領域に対応する複数のセル１５を形成するとともに、各セル１５内に電気泳動材料を保持する。本実施形態では、１つの画素に１つのセル１５が対応する構成となっている。
隔壁１４を構成する材料としては、可撓性を有するもの、硬質なもののいずれであってもよく、例えば、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、メラミン系樹脂、フェノール系樹脂等の各種樹脂材料や、シリカ、アルミナ、チタニア等の各種セラミクス材料が挙げられる。ただし、電気泳動表示装置１００に可塑性を付与する場合には、可塑性を有する樹脂材料のものを選択する。
【００３９】
なお、隔壁１４を構成する材料として電気泳動層３２と親和性の高い材料のものを選択することが好ましい。例えば、電気泳動層３２が親油性の場合は、隔壁１４を親油性の材料で構成することが好ましい。この場合、隔壁１４自体を親油性の材料にしてもよいし、隔壁１４の表面だけを親油性にしてもよい。隔壁１４の表面だけを親油性にする方法としては、例えば、表面処理（すなわち、塗布、物理気相成長もしくは化学気相成長などの方法を用いて隔壁１４の表面に親油性の膜を形成する処理、又は、親油性の膜を貼付する処理）が挙げられる。
【００４０】
さらに、隔壁１４を構成する材料としては、後述する電気泳動層３２（分散媒２１等）と略屈折率が同じものを用いるのが好ましい。このようにすれば、隔壁１４と電気泳動層３２との界面で生じる光の反射を防止することができる。
【００４１】
本実施形態の隔壁１４の内部には、各セル１５に対応する反射部１６が複数設けられている。反射部１６は所定の角度で傾斜しており、対向基板３１０側から入射した光を各セル１５内へと導光させる機能を有する。
【００４２】
電気泳動層３２は、隔壁１４の各セル１５内に、複数の電気泳動粒子２６とこれら電気泳動粒子２６を分散させた分散媒２１とを有する電気泳動材料３２Ａが充填されてなるもので、画素領域に対応するセル１５ごとに所望の色表示を行う。
【００４３】
電気泳動粒子２６は、例えば、顔料粒子、樹脂粒子又はこれらの複合粒子である。顔料粒子を組成する顔料としては、例えば、アニリンブラック、カーボンブラックなどの黒色顔料、酸化チタン、酸化アンチモンなどの白色顔料などがある。また、樹脂粒子を組成する樹脂材料としては、例えば、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、尿素樹脂、エポキシ系樹脂、ポリスチレン、ポリエステルなどがある。複合粒子としては、例えば、顔料粒子の表面を樹脂材料や他の顔料で被覆したもの、樹脂粒子の表面を顔料で被覆したもの、顔料と樹脂粒子とを適当な組成比で混合した混合物で構成される粒子などがある。これらの各種材料からなる電気泳動粒子２６は、例えば正又は負に帯電した状態で分散媒中に分散されている。本実施形態に係る電気泳動粒子２６は、黒白色粒子２６ａ及び白白色粒子２６ｂを含む（図３参照）。黒白色粒子２６ａは光吸収性を有し、白白色粒子２６ｂは光反射性を有している。
【００４４】
分散媒２１は、例えば、親油性の炭化水素系の溶媒であり、例えば、アイソパー（登録商標）を含む。すなわち、分散媒２１は、例えば、アイソパーＥ、アイソパーＧ、アイソパーＨ、アイソパーＬ、アイソパーＭのうちのいずれか１種類を含む液体、もしくはこれらのうちの２種類以上を混合した液体、あるいは、これらのうちのいずれか１種類以上と他の種類の炭化水素系の溶媒とを混合した液体である。
本実施形態では、隔壁１４の構成材料として上記電気泳動粒子２６（粒子表面の材料）又は分散媒２１と略屈折率が同じものを用いており、これにより隔壁１４と電気泳動粒子２６又は分散媒２１との界面で生じる光の反射を防止している。
【００４５】
あるいは、分散媒２１は、例えば、ペンタン、ヘキサン、オクタン等の脂肪族炭化水素類、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂環式炭化水素類、ベンゼン、トルエン、キシレン、ヘキシルベンゼン、ヘプチルベンゼン、オクチルベンゼン、ノニルベンゼン、デシルベンゼン、ウンデシルベンゼン、ドデシルベンゼン、トリデシルベンゼン、テトラデシルベンゼンのような長鎖アルキル基を有するベンゼン類（アルキルベンゼン誘導体）等の芳香族炭化水素類、ピリジン、ピラジン、フラン、ピロール、チオフェン、メチルピロリドン等の芳香族複素環類、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、ギ酸エチル等ノエステル類、アセトン、メチルエチルケトン、ジエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ルチルイソプロピルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、アセトニトリル、プロピオニトリル、アクリロニトリル等のニトリル類、Ｎ、Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド等のアミド類、カルボン酸塩又はその他の各種油類等でも良く、これらを単独又は混合物として用いることができる。
【００４６】
図２は、隔壁の構成について反射部を中心に示す平面図、図３は電気泳動表示装置の概略構成について隔壁の構成を中心に示す断面図である。図４は本実施形態に係る電気泳動表示装置１００の効果を説明するための図である。
【００４７】
図２及び図３に示すように、平面視正方格子状を呈する隔壁１４は、素子基板３００の画素電極３５側の最上層に直接貼り付けられている。隔壁１４内に埋設された反射部１６は、対向基板３１０側へ突出する凸状（く字状）を呈し、隣り合う一方のセル１５Ａ側へ向かって傾斜する第１傾斜面（第１の傾斜面）１６ａと、他方のセル１５Ｂ側へ向かって傾斜する第２傾斜面（第２の傾斜面）１６ｂと、を有する。第１傾斜面１６ａ及び第２傾斜面１６ｂの基板面に垂直な法線方向に対する傾斜角度θは、３０°≦θ≦６０°の範囲が好ましく、３５°≦θ≦５０°がより好ましい。また、第１基板３０からの反射部１６の高さｈは、セルギャップｄに対して、ｄ／２≦ｈ≦ｄの範囲内で設定される。すなわち、反射部１６がセルギャップｄの半分よりも表示面１００ａ側に設けられている。なお、反射部１６の高さｈは、反射部１６の先端と第１基板３０との基板面との距離で設定される。
【００４８】
本実施形態に係る隔壁１４は上述のように透明樹脂から構成されているため、反射部１６よりも表示面１００ａ側が透明部材から構成されたものとなっている。これにより、外部から入射した光が隔壁１４を透過して反射部１６へと導かれるようになっている。
【００４９】
セル１５Ａの周囲は４つの第１傾斜面１６ａによって取り囲まれ、セル１５Ｂの周囲は４つの第２傾斜面１６ｂによって取り囲まれていることから、外部から隔壁１４内へ入射してきた外光が反射部１６の各傾斜面１６ａ，１６ｂにおいて反射されて、反射部１６（隔壁１４）を介して隣り合うセル１５Ａ，１５Ｂへと入射することになる。
【００５０】
本実施形態の構成によれば、外部から入射した外光のうち、隔壁１４内に入射した光を隔壁１４の内部に埋設された反射部１６によって反射させ、各セル１５内へと導光させることが可能になるので、外部から入射した光を各セルにおける表示に有効利用することができる。つまり、隔壁１４内に入射した外光を対向基板３１０側へ向かってそのまま反射させるのではなくセル１５内へと確実に反射させることができる。
【００５１】
外部からの光は、透明樹脂からなる隔壁１４の内部に入射し、反射部１６の各傾斜面１６ａ，１６ｂでそれぞれ反射されてセル１５Ａ，１５Ｂへと導かれる。
【００５２】
ここで、電気泳動表示装置１００は、黒表示を行う場合、表示面１００ａ側（対向電極３７側）に電気泳動粒子２６の黒白色粒子２６ａが移動し、表示面１００ａと反対側（画素電極３５側）に白粒子２６ｂが移動している。また、電気泳動表示装置１００は、白表示を行う場合、表示面１００ａ側（対向電極３７側）に電気泳動粒子２６の白粒子２６ｂが移動し、表示面１００ａと反対側（画素電極３５側）に黒白色粒子２６ａが移動している。
【００５３】
黒表示の場合、図４（ａ）に示すようにセル１５Ａ，１５Ｂへ導かれた光は、黒白色粒子２６ａで吸収される。反射部１６は上述のように表示面１００ａ側に配置されているので、反射部１６の傾斜面１６ａ，１６ｂで反射された光は表示面１００ａ側に移動している黒白色粒子２６ａにより確実に吸収されることとなる。
【００５４】
一方、白表示の場合、図４（ｂ）に示すようにセル１５Ａ，１５Ｂへ導かれた光は、白粒子２６ｂで反射される。また、反射部１６は上述のように表示面１００ａ側に配置されているので、反射部１６の傾斜面１６ａ，１６ｂで反射された光は表示面１００ａ側に移動している白粒子２６ｂにより確実に反射されることとなる。白粒子２６ｂで反射された光は、反射部１６の傾斜面１６ａ，１６ｂで再度反射されて隔壁１４内を透過して表示面１００ａから出射される。
【００５５】
なお、反射部１６の断面形状は、素子基板３００側へへこんだ凹形状であっても良い。ここで、図５の実線Ａで示されるように、反射部１６を構成する傾斜面１６ａ，１６ｂのなす角度が９０度の場合、基板（対向基板３１０）のほぼ法線方向の光の多くを直接基板側に出射する構成となってしまう。そのため、図５の１点破線Ｂ及び２点破線Ｃで示されるように、傾斜面１６ａ，１６ｂのなす角度は９０度よりも大きい或いは小さくすることで、基板のほぼ法線方向の光の多くを直接基板側に出射することなく、他の角度方向に反射する構成とするのが望ましい。
【００５６】
また、反射部１６は必ずしも平面である必要はなく、曲面であっても構わない。例えば反射部１６の断面を楕円状の山型や谷(Ｕ字谷)型にしても良い。無論、隔壁１４の長手方向にうねりがあっても構わない。これは隔壁１４の断面位置によってその形状が若干変化することを許容することを意味する。
【００５７】
本実施形態によれば、白表示の場合、隔壁１４の部分は明るく見えるため、光量低下が防止された高輝度な表示を得ることができる。また、黒表示の場合、隔壁１４の部分は暗く見える。このように黒表示の時は隔壁部分が黒くなり、白表示の時は隔壁部分が明るくなるので、実効的な開口率が大きくなり、明るい表示と高コントラストを両立させることができる。したがって、コントラストの高い鮮やかな画像表示が行える。また、隔壁１４の幅を狭くすることなく、開口率を大きくすることができるので、隔壁１４の物理的な強度を低下させることも無い。また、隔壁１４の物理的な強度の低下が生じないので、本実施形態に係る電気泳動表示装置１００は、特に表示面１００ａに対する面押し耐性強度が要求される、例えばペン等による入力機能付き表示装置の用途として好適である。
【００５８】
なお、隔壁１４の平面視形状としては、例えば六角格子状（図６参照）または三角格子状であってもよく、これに限られることもない。
【００５９】
また、反射部１６の構成としては、上述したような対向基板３１０側へ突出した凸状を呈する構成を例として説明したが、図７（ａ）に示すように反射部１６が一方向に傾斜する構成としてもよい。この場合、一方向に並ぶ複数のセル１５に対応する個々の反射部１６が同一方向へ傾斜したものとなる。これによれば、一方向に並ぶ複数のセル１５内に均等に外光を導入させることができるので、表示装置における輝度ムラを解消することができる。
【００６０】
また、図７（ｂ）に示すように反射部１６を光散乱状態の面からなる構成としてもよい。このような光拡散機能を隔壁１４内に持たすことで、隔壁１４内にほぼ垂直に入射した光もその角度が変更され、セル１５内に入射させることができる。したがって、外部から入射した光は反射部１６の表面で散乱されることでセル１５Ａ，１５Ｂ内に良好に導くことができる。
【００６１】
また、図７（ｃ）に示すように、隔壁１４内に埋設した光反射性を有する複数のビーズ（光学部材）Ｂｚを用いて反射部１６を構成するようにしても構わない。本実施形態においては、複数のビーズＢｚが上記実施形態の第１傾斜面１６ａ及び第２傾斜面１６ｂと同様、基板面に垂直な法線方向に対して所定角度θで傾斜した方向に沿って隔壁１４内に分散されている。ここで、所定角度θとしては、３０°≦θ≦６０°の範囲が好ましく、３５°≦θ≦５０°がより好ましい。これによれば、複数のビーズＢｚによって隔壁１４内に入射した光をセル１５へと良好に反射することができる。
【００６２】
また、反射部１６の構成としては、図８に示すように隔壁１４内に埋め込まれることで当該隔壁１４内に入射した光をセル１５内に導光させる微粒子５０から構成してもよい。図８（ａ）は本構成の断面図を示すものであり、図８（ｂ）は本構成の平面図を示すものである。
【００６３】
微粒子５０は、白色微粒子又は金属微粒子を含む。微粒子５０は隔壁５０内において素子基板３００側に偏在した状態に設けられている。これにより、隔壁１４の上部には微粒子５０が存在しない領域（微粒子不存在領域）６０が設定されたものとなっている。ここで、微粒子不存在領域６０の高さＬは、図８（ａ）に示すように隔壁１４の高さをｄとした時、隔壁１４の高さの１／８以上１／２以下の範囲に設定されている。これによれば、隔壁１４内に入射した外光を微粒子５０がセル１５内に良好に取り込むことができる。
【００６４】
また、隔壁１４内に埋め込まれる微粒子５０の量は、平面視した状態（第２基板３１側から電気泳動表示装置１００を視た状態）で隔壁１４内に配置可能な微粒子５０の量をａとしたとき、２ａ以上８ａ以下の範囲に設定されている。これによれば、隔壁１４内に微粒子５０を良好に埋め込んだ状態とすることができる。
【００６５】
以上のように、図８に示した構成によれば、表示面１００ａ側から入射した外光が隔壁１４内に埋め込まれた微粒子５０によってセル１５内に反射されるので、コントラストの高い鮮やかな画像表示を行うことができる。また、隔壁１４内に微粒子５０を埋め込むことで反射部１６を簡便に構成することができる。なお、本説明では、微粒子５０が隔壁１４内において素子基板３００側に偏在した場合を例に挙げたが、隔壁１４の高さ方向の全域に亘って微粒子５０が埋め込まれた構成であっても良い。
【実施例１】
【００６６】
次に、実施例１における電気泳動表示装置の製造方法について述べる。
図９は、電気泳動表示装置の製造工程のフローを示す図である。図１０は、電気泳動表示装置の製造工程を示す断面図である。
図９及び図１０に示すように、実施例１に係る電気泳動表示装置の製造方法は、隔壁部形成工程Ｓ１、傾斜部形成工程Ｓ２、反射部形成工程Ｓ３、隔壁形成工程Ｓ４、隔壁及び第１基板貼り合せ工程Ｓ５、電気泳動材料充填工程Ｓ６、隔壁及び第２基板貼り合せ工程Ｓ７、を有する。
【００６７】
まず、隔壁部形成工程Ｓ１では、ＰＥＴ基板からなる第１基材４１Ａ上に複数の画素領域を区画する第１隔壁部４２Ａを形成するとともに、ＰＥＴ基板からなる第２基材４１Ｂ上に第１隔壁部４２Ａに対応する第２隔壁部４２Ｂを形成する。
【００６８】
具体的には、図９（ａ）に示すように、第１基材４１Ａ及び第２基材４１Ｂの表面上に、感光性樹脂材料（例えば、感光性エポキシ樹脂等）を、例えば厚さ１５〜３０μｍとなるように、スピンコートあるいは印刷法を用いて塗布する。乾燥させた塗布膜４２をレジストマスクＲＭを用いてフォトリソグラフィによって複数の画素領域を区画する格子状にパターニングし、図９（ｂ）に示すように第１基材４１Ａ及び第２基材４１Ｂ上に隔壁部４２´をそれぞれ形成する。
【００６９】
次に、傾斜部形成工程Ｓ２では、図９（ｃ）に示すように、第１隔壁部４２Ａの上面側からエッチングを施して面取りを行うことによって凸部（第１係合部）４３を形成し、図９（ｄ）に示すように、第２隔壁部４２Ｂの上面側からエッチングを施して凸部４３に対応する凹部（第２係合部）４４を形成する。
【００７０】
次に、反射部形成工程Ｓ３では、図９（ｅ）に示すように、第１隔壁部４２Ａの凸部４３の表面全体に金属膜を成膜し、反射部１６を形成する。凸部４３上に成膜する方法としては、スパッタ法や蒸着等の真空中での成膜、他の印刷方法を用いてもよい。
【００７１】
次に、隔壁形成工程Ｓ４では、図９（ｆ）に示すように、凸部４３と凹部４４とを組み合わせるように第１隔壁部４２Ａ上に第２隔壁部４２Ｂを対向配置して接着させることによって、反射部１６を有した隔壁１４を形成する。反射部１６は、第１隔壁部４２Ａの第２隔壁部４２Ｂとの境界部分に位置することとなる。第１隔壁部４２Ａと第２隔壁部４２Ｂとを貼り合せた後、第１基材４１Ａ及び第２基材４１Ｂを隔壁１４から剥離する。
【００７２】
なお、上記実施形態では、隔壁１４の全体を透明樹脂から構成し、内部に反射部１６を構成する部材を埋設する場合を例に説明したが、隔壁１４は反射部１６に対して表示面１００ａと反対側は必ずしも透明である必要は無い。すなわち、上記第２隔壁部４２Ｂのみを透明部材から構成し、第１隔壁部４２Ａについては透明でない部材から構成するようにしても構わない。
【００７３】
次に、隔壁−第１基板貼り合せ工程Ｓ５では、図１０（ａ）に示すように、別途用意しておいた素子基板３００に対して隔壁１４を貼り合せる。ここで、素子基板３００は、樹脂基板またはガラス基板からなる第１基板３０上に画素電極３５、トランジスタ等が画素領域ごとに形成されたものである。この素子基板３００の画素電極３５側の最上層に接着剤などを介して隔壁１４を貼り付ける。
【００７４】
次に、電気泳動材料を充填する工程Ｓ６では、図１０（ｂ）に示すように、隔壁１４の各セル１５内に電気泳動粒子２６を多数含む分散媒２１を供給する。分散媒２１の供給方法としては、例えば、ディスペンサを用いた滴下法、インクジェット法（液滴吐出法）、スピンコート法、ディップコート法等の各種塗布法が挙げられるが、これらの中でも滴下法またはインクジェット法を用いるのが好ましい。滴下法またはインクジェット法によれば、各セル１５に対して分散液を選択的に供給することができることから、セル１５内に無駄なく、より確実に供給することができる。
【００７５】
セル１５内に電気泳動材料３２Ａを供給した後で、一定の待機時間を設けることが好ましい。これにより、図１０（ｃ）に示すように、セル１５の中心部において電気泳動材料３２Ａの表面（液面）が低下してその断面視による形状が凹状になる。
【００７６】
この後、図１０（ｄ）に示すように、電気泳動材料３２Ａが供給された隔壁１４の開口側を封入膜５で覆うことで、電気泳動材料３２Ａを各セル１５内に封入するようにしても良い。封入膜５の形成方法としては、例えば、水溶性高分子を水または親水性の液体（一例として、メタノール又はエタノール）に溶かして液状にし、封入液を作成する。例えば、水溶性高分子としてＰＶＡを選択し、ＰＶＡを水に溶かして３［ｗｔ％］〜４０［ｗｔ％］（重量パーセント）の封入液を作成する。この封入液を、スキージ等を用いて電気泳動材料３２Ａが供給された後の隔壁１４の開口側に塗布し、乾燥させることによって封入膜５を形成する。電気泳動材料３２Ａが親油性である一方、封入液は親水性であるためこれらは混和しない。このように、隔壁１４の各セル１５内に供給された電気泳動材料３２Ａの液面を覆うようにして封入膜５を形成することにより、電気泳動材料３２Ａを各セル１５内に密閉性高く封入することができる。また、電気泳動材料３２Ａと対向電極３７とが直接接触することがないので対向電極３７の腐食を防ぐことができる。
【００７７】
次に、図１０（ｅ）に示すように、隔壁−第２基板貼り合せ工程Ｓ７では、予め、樹脂基板またはガラス基板からなる第２基板３１の表面全体にベタ状の対向電極３７と、ホットメルト導電接着膜３８とが形成された対向基板３１０を用意しておき、この対向基板３１０のホットメルト導電接着膜３８側の面を、素子基板３００の隔壁１４の上面に貼り合せることによって、対向基板３１０と素子基板３００とを接合させる。ホットメルト導電接着膜３８は、常温で固形状をなしている熱可塑性高分子に透明金属フィラーを複数分散させてなる接着性フィルムからなる。ここでは、真空ラミネート法を用いて対向基板３１０を貼り合せる。
【００７８】
このように、素子基板３００上に隔壁１４を介して対向基板３１０を貼り合せることによって、本実施形態の電気泳動表示装置１００が得られる。
【００７９】
本実施形態の電気泳動表示装置１００の製造方法によれば、第１隔壁部４２Ａの凸部４３上に反射部１６を形成した後、第１隔壁部４２Ａと第２隔壁部４２Ｂとを組み合わせることによって隔壁１４を得ていることから、隔壁１４内の所定位置に所望の反射部１６を形成することができる。これにより、隔壁１４内に入射した外光を効率よく各セル１５へと導光させることのできる電気泳動表示装置１００が得られる。
【実施例２】
【００８０】
次に、実施例２における電気泳動表示装置の製造方法について述べる。
実施例２では、隔壁部形成工程Ｓ１および傾斜部形成工程Ｓ２を同時に行うことで第１隔壁部と第２隔壁部を形成する。本実施例では、ナノインプリント法を用いて、凸部４３を有する第１隔壁部４２Ａと、凹部４４を有する第２隔壁部４２Ｂとを形成する。
まず、第１基材４１Ａおよび第２基材４１Ｂの表面にレジストをそれぞれ塗布し、第１隔壁部４２Ａの形状に対応した第１モールドを第１基材４１Ａ上のレジストに接触させて加圧し、第２隔壁部４２Ｂの形状に対応した第２モールドを第２基材４１Ｂ上のレジストに接触させて加圧することにより、各モールドの凹凸（転写パターン）をそれぞれのレジストに転写する。このようにして、第１基材４１Ａ上に凸部４３を有する第１隔壁部４２Ａを形成し、第２基材４１Ｂ上に凹部４４を有する第２隔壁部４２Ｂを形成する。その後の工程は、先に示した第１実施例と同様である。
【００８１】
本実施例のように、ナノインプリント法を用いて第１隔壁部４２Ａおよび第２隔壁部４２Ｂを形成することにより、フォトリソグラフィよりも簡便に形成することができるとともに安価な装置により微細構造を形成することができる。
【実施例３】
【００８２】
実施例３では、隔壁部形成工程および傾斜部形成工程において、ＰＥＴ基板からなる第１基材４１Ａおよび第２基材４１Ｂの表面に白顔料を含有したレジストをそれぞれ塗布し、上記したナノインプリント法を用いて、白色の第１隔壁部４２Ａおよび第２隔壁部４２Ｂを形成する。その後は反射部形成工程を省略して隔壁形成工程へと移行する。第１隔壁部４２Ａと第２隔壁部４２Ｂとを組み合わせて隔壁１４を形成した後の工程は、上記した第１実施例と同様である。
【００８３】
白顔料としては、白ルチル型酸化チタン及びアナターゼ型酸化チタン等の酸化チタン、亜鉛華、鉛白、硫化亜鉛、酸化アルミニウム、酸化珪素、酸化ジルコニウム等が挙げられる。また、平均粒子径が揃っている白顔料を用いてもよいし、平均粒子径が異なる白顔料を用いてもよい。
【００８４】
本実施例のように、白顔料を含有したレジストを用いて形成した第１隔壁部４２Ａ及び第２隔壁部４２Ｂにより、散乱性を有した白色の隔壁１４を得ることができる。散乱性を有する隔壁１４によって隔壁１４内に入射した外光を散乱させて各セル内へと導光させることができる。また、本実施例によれば白顔料により散乱性を付与しているため反射部１６が不要であり、スパッタにより金属膜を形成する反射部形成工程を省略することができる。
【実施例４】
【００８５】
次に、実施例４における電気泳動表示装置の製造方法について述べる。
実施例４は、図８に示した構成と異なり、隔壁１４の高さ方向の全域に亘って埋め込まれた微粒子５０により構成された反射部１６を備えた電気泳動表示装置の製造方法に関するものである。
【００８６】
本実施例においては、反射部１６を形成するに際し、まず隔壁１４を形成する粘性材料（レジスト）に、白色微粒子又は金属微粒子を含む微粒子５０を所定量添加し、撹拌する。ここで、微粒子５０の添加量としては、上述のように２ａ以上８ａ以下の範囲に設定する。
【００８７】
続いて、ナノインプリント法を用いて、微粒子５０を含有する隔壁１４を形成する。具体的に、第１基材４１Ａ又は第２基材４１Ｂの表面にレジストを塗布し、隔壁１４の形状に対応したモールドを第１基材４１Ａ又は第２基材４１Ｂ上のレジストに接触させて加圧することにより、各モールドの凹凸（転写パターン）をレジストに転写し、熱硬化させる。このようにして、第１基材４１Ａ又は第２基材４１Ｂ上に微粒子５０が埋め込まれてなる隔壁１４を形成する。その後の工程は、先に示した実施例と同様である。
【実施例５】
【００８８】
次に、実施例５における電気泳動表示装置の製造方法について述べる。
実施例５は、図８に示した電気泳動表示装置の製造方法に関するものである。すなわち、実施例４と異なり、微粒子５０が隔壁１４内において偏在して配置されたものとなっている。
【００８９】
本実施例においては、実施例４と同様、微粒子５０を所定量添加したレジストを用意し、第１基材４１Ａの表面に該レジストを塗布し、隔壁１４の形状に対応したモールドを第１基材４１Ａ上のレジストに接触させて加圧することにより、モールドの凹凸（転写パターン）をレジストに転写し、熱硬化させることで第１基材４１Ａ上に微粒子５０が埋め込まれてなる隔壁１４の下部を形成する。
【００９０】
続いて、微粒子を添加しないレジストを用意し、第２基材４１Ｂの表面に該レジストを塗布し、隔壁１４の形状に対応したモールドを第２基材４１Ｂ上のレジストに接触させて加圧することにより、モールドの凹凸（転写パターン）をレジストに転写し、熱硬化させることで第２基材４１Ｂ上に微粒子５０を有しない隔壁１４の上部を形成する。
【００９１】
続いて、第１基材４１Ａ及び第２基材４１Ｂを貼り合せ、隔壁１４の上部及び下部からなる隔壁１４を形成することができる。
【実施例６】
【００９２】
次に、実施例６における電気泳動表示装置の製造方法について述べる。
実施例６は、実施例５の一部を変形した電気泳動表示装置の製造方法に関するものである。
【００９３】
本実施例においては、実施例４と同様、微粒子５０を所定量添加したレジストを用意し、第１基材４１Ａの表面に該レジストを塗布し、隔壁１４の形状に対応したモールドを第１基材４１Ａ上のレジストに接触させて加圧することにより、モールドの凹凸（転写パターン）をレジストに転写する。
【００９４】
本実施例では、凹凸を転写した後、所定時間放置する。これにより、レジスト材料内において微粒子５０を沈み込ませた後、熱硬化させることで隔壁１４を形成する。このようにして、微粒子５０が素子基板３００側に偏在した状態に内部に設けられた隔壁１４を形成することができる。
【００９５】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００９６】
例えば、第１隔壁部４２Ａ及び第２隔壁部４２Ｂの形成方法に制限はないが、上記したフォトリソグラフィ法やナノインプリント法の他、スクリーン印刷法、凸版印刷法、グラビア印刷法などの印刷プロセスで形成してもよい。
また、先の実施形態では、１つの画素に１つのセル１５が対応する隔壁構造となっていたが、複数の画素に１つのセル１５が対応する構成としてもよい。この構成であっても、隔壁に接している画素において上記した効果を得ることができる。
【００９７】
また、上記実施形態では、光学素子として電気泳動素子の場合を例に説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、電紙粉流体（登録商標）や、着色した油と顔料を分散させた水から画素を構成し、油と水との配置を入れ替えることでカラー表示を行うエレクトロウェッティング素子の場合についても本発明は反射部を埋設した隔壁を適用することが可能である。
【符号の説明】
【００９８】
ｄ…セルギャップ、ｈ…高さ、１４…隔壁、１４ａ…上面、１５（１５Ａ，１５Ｂ）…セル、１６…反射部、１６ａ…傾斜面、３０…第１基板、３１…第２基板、３２…電気泳動層、３２Ａ…電気泳動材料、３５…画素電極（第１電極）、３７…対向電極（第２電極）、４１Ａ…第１基材、４２Ａ…第１隔壁部、４２Ｂ…第２隔壁部、４３…凸部（第１係合部）、４４…凹部（第２係合部）、１００…電気泳動表示装置、１００ａ…表示面
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気泳動表示装置及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電気泳動表示装置には、一対の基板間に形成した隔壁によって区画形成される各セル内に、電気泳動分散液（電気泳動粒子を分散媒に分散させたもの）を封入した構成が知られている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
ところで、隔壁の幅が大きいと表示に関与できる部分が少なくなり、開口率が低下し、暗い表示、コントラストの低い表示となってしまう。そこで、隔壁の断面形状を観察面側で狭く、観察面の反対側で広くした台形形状にした構成が知られている（例えば、特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−４７７３号公報
【特許文献２】特開２００３−２０８１０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、観察面側での隔壁の幅を狭くし過ぎると、面押し耐性強度が弱くなってしまい、例えば電気泳動表示装置をペン入力機能付きの電子ペーパー等に応用する場合に、ペンの圧力で隔壁が容易に潰されてしまうといった問題がある。すなわち、開口率を上げることと面押し耐性強度を高めることが両立しないといった課題が生じている。
【０００６】
また、隔壁型の電気泳動表示装置では、外部から入射した光のうちその全てが各セル内に入射するのではなく、隔壁内へ入射する場合がある。透明な隔壁に入射した光は、バックプレーンにおいて反射されて白色の光がそのまま外部へ出射することになる。電気泳動層（セル）を透過しないため、全体として所望の色表示を得ることができない。樹脂からなる隔壁に入射した光は減衰しながら透過するため、白表示を行う場合は光量が低下してしまうという問題があり、黒表示を行う場合は、黒地に白色が混色するためはっきりとした黒表示が得られないという問題がある。このように表示色のコントラストが低下するという他の課題も生じている。
【０００７】
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み成されたものであって、所望の面押し耐性強度を備えるとともにコントラストの低下を防止して所望の色表示が可能な電気泳動表示装置及び既存の技術を利用して容易に製造することができる電気泳動表示装置の製造方法を提供することを目的の一つとしている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の電気泳動表示装置は、互いに対向配置された第１基板及び第２基板と、前記第１基板及び前記第２基板の間に配置され、セルを複数有するとともに反射性を有した隔壁と、各セル内に電気泳動材料が保持されてなる電気泳動層と、前記第１基板の前記電気泳動層側の面に設けられた第１電極と、前記第２基板の前記電気泳動層側の面に設けられた第２電極と、前記隔壁内に設けられる反射部と、を備え、前記隔壁は、少なくとも前記反射部よりも表示面側が透明部材から構成されることを特徴とする。
【０００９】
これによれば、外部から隔壁内に入射した光を反射部において反射させてセル内へ導光させることで、外部から入射した光を表示に有効的に利用することが可能となり、開口率を上げることでコントラストの向上が図れる。また、反射部を設けることで隔壁の幅を狭くすること無く、開口率を向上できるので、面押し耐性強度を高めることができる。
【００１０】
また、上記電気泳動表示装置においては、前記反射部は、前記セルごとに対応して設けられるのが好ましい。
これによれば、反射部がセルごとに対応して設けられるので、各セル内へ効率的に導光することができる。
【００１１】
また、上記電気泳動表示装置においては、前記透明部材は、前記電気泳動材料と略同じ屈折率を有するのが好ましい。
これによれば、透明部材と電気光学部材との界面で光の反射が起こりにくくすることができる。
また、上記電気泳動表示装置においては、前記電気泳動材料は、分散媒と電気泳動粒子とを含むのが好ましい。さらに、前記分散媒又は前記電気泳動粒子が前記透明部材と略同じ屈折率を有するのがより好ましい。
これによれば、透明部材と電気光学部材に含まれる分散媒又は電気泳動粒子との界面で光の反射が起こりにくくすることができる。
【００１２】
また、上記電気泳動表示装置においては、前記第１基板から前記反射部の先端までの高さｈは、セルギャップｄに対して、ｄ／２≦ｈ≦ｄの範囲内であるのが好ましい。
これによれば、第２基板側から隔壁内に入射した外光を減衰させることなくセル内へと導光させることができるので、輝度の低下を防止できる。
【００１３】
また、上記電気泳動表示装置においては、前記反射部は、前記セル内に光を散乱させる散乱面を含むのが好ましい。
これによれば、隔壁内に設けられた散乱面によって外部から隔壁内に入射した光を良好に反射させることでセル内へ導光することができる。
【００１４】
また、上記電気泳動表示装置においては、前記反射部は、前記隔壁内に設けられた光学部材から構成されるのが好ましい。
これによれば、隔壁内に設けられた光学部材によって外部から隔壁内に入射した光を良好に反射させることでセル内へ導光することができる。
【００１５】
また、上記電気泳動表示装置においては、複数の前記光学部材が基板面に垂直な法線方向に対して前記セル側へ所定角度で傾斜した方向に沿って前記隔壁内に分散されているのがより望ましい。
これによれば、隔壁内に所定角度で傾斜した方向に沿って複数の光学部材が分散されているので、隔壁内に入射した光をセル内に効率的に反射させることができる。
【００１６】
また、本発明の電気泳動表示装置は、互いに対向配置された第１基板及び第２基板と、前記第１基板及び前記第２基板の間に配置され、セルを複数有するとともに反射性を有した隔壁と、各セル内に電気泳動材料が保持されてなる電気泳動層と、前記第１基板の前記電気泳動層側の面に設けられた第１電極と、前記第２基板の前記電気泳動層側の面に設けられた第２電極と、前記隔壁内に前記セルごとに対応して設けられ、基板面に垂直な法線方向に対して前記セル側へ所定の角度θで傾斜する傾斜面を有した反射部と、を備えることを特徴とする。
【００１７】
これによれば、外部から前記隔壁内に入射した光を反射部において反射させてセル内へ導光させることができる。これにより、外部から入射した光を表示に有効的に利用することが可能となり、コントラストの向上が図れる。また、複数の画素が１つのセルに対応している場合でも、隔壁に接している画素において上記した効果が得られる。
なお、１つの画素が１つのセルに対応する隔壁の構造としてもよい。
【００１８】
また、前記角度θが、３０°≦θ≦６０°の範囲内である構成としてもよい。
これによれば、第２基板側から隔壁内に入射した外光をセル内へと効率よく導光させることができる。
【００１９】
また、一方向に並ぶ前記複数のセルに対応する前記反射部が同一方向へ傾斜する構成としてもよい。
これによれば、一方向に並ぶ複数のセル内に均等に外光を導入させることができる。
【００２０】
また、前記反射部は、当該隔壁を介して隣り合う一方の前記セル側へ傾斜する第１の前記傾斜面と、他方の前記セル側へ傾斜する第２の前記傾斜面と、を有する構成としてもよい。
これによれば、隔壁を介して隣り合う一対のセルに対して光を導光させることができる。
【００２１】
また、前記反射部が金属膜からなる構成としてもよい。
これによれば、反射部が金属膜からなるため、スパッタ法や蒸着法等を用いて容易に形成することができる。
【００２２】
また、前記隔壁が、第１隔壁部と、当該第１隔壁部に組み合わされる第２隔壁部とにより構成され、これら前記第１隔壁部と第２隔壁部との間に前記反射部が配置されている構成としてもよい。
これによれば、隔壁内の所定の位置に反射部を形成することが容易である。
【００２３】
また、前記隔壁に白顔料が含有されている構成としてもよい。
これによれば、隔壁内に入射した外光を散乱させて各セル内へと導光させることができる。
【００２４】
また、１つの画素に１つのセルが対応している構成としてもよい。
これにより、各画素の輝度を高めることができるので、コントラストをより向上させることが可能である。
【００２５】
また、前記反射部は、前記隔壁内に埋め込まれることで当該隔壁内に入射した光を前記セル内に導光させる白色微粒子又は金属微粒子を含む微粒子から構成されるとしてもよい。
これによれば、隔壁内に埋め込まれた微粒子により隔壁内に入射した外光を反射させて各セル内へと導光させることができる。
【００２６】
また、前記隔壁の前記第２基板側には、前記微粒子が存在しない微粒子不存在領域が設定されており、該微粒子不存在領域の高さは、前記隔壁の高さの１／８以上１／２以下の範囲内であるとしてもよい。
これによれば、第２基板側から隔壁内に入射した外光をセル内へと効率よく導光させることができる。
【００２７】
また、平面視した状態で前記隔壁内に配置可能な前記微粒子の量をａとしたとき、当該隔壁内に埋め込まれる前記微粒子の量は、２ａ以上８ａ以下の範囲内であるとしてもよい。
これによれば、隔壁内に微粒子が良好に配置されるので、隔壁内に入射した外光をセル内へと効率よく導光させることができる。
【００２８】
本発明の電気泳動表示装置の製造方法は、第１基材上に複数の画素領域を区画する第１隔壁部を形成するとともに、第２基板上に前記第１隔壁部に対応する前記第２隔壁部を形成する工程と、前記第１隔壁部の上面に第１係合部を形成するとともに、前記第２隔壁部の上面に前記第１係合部に対応する第２係合部を形成する工程と、前記第１係合部および前記第２係合部の少なくとも一方に反射部を形成する工程と、前記第１係合部及び前記第２係合部を対向させるようにして前記第１隔壁部及び前記第２隔壁部を組み合わせることによって隔壁を形成する工程と、前記隔壁を第１基板上に貼り合せる工程と、少なくとも前記隔壁と前記第１基板とによって囲まれたセル内に電気泳動材料を充填する工程と、前記第１基板上に前記隔壁を介して第２基板を貼り合せる工程と、を有することを特徴とする。
【００２９】
これによれば、隔壁内の所定の位置に反射部を形成することができるので、隔壁内に入射した外光を減衰させることなくセル内へと導光させることができる。
【００３０】
また、前記第１係合部が凸状を呈するとともに前記第２係合部が凹状を呈しており、前記隔壁を第１基板上に貼り合せる際、凸状の前記第１係合部を前記第１基板とは反対側に向けた状態で前記第１隔壁部を貼り合せる構成としてもよい。
これによれば、第１基板上に、凸状の第１係合部を第１基板とは反対側（つまり、第２基板側）に向けた状態で第２隔壁部を貼り合せることにより、第１隔壁部と第２隔壁部との間に存在する反射部によって、隔壁の両側に存在する各セル内へ光を導入させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の電気光学表示装置の一例である電気泳動表示装置の概略構成を示す断面図。
【図２】隔壁の構成について反射部を中心に示す平面図。
【図３】電気泳動表示装置の概略構成について隔壁の構成を中心に示す断面図。
【図４】電気泳動表示装置の効果についての説明図。
【図５】反射部の断面形状を示す図。
【図６】隔壁の変形例を示す平面図。
【図７】反射部の別の形態に係る構成を示す図。
【図８】反射部の別の形態に係る構成を示す図。
【図９】電気泳動表示装置の製造工程のフローを示す図。
【図１０】電気泳動表示装置の製造工程を示す断面図。
【図１１】電気泳動表示装置の製造工程を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明の実施形態につき、図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００３３】
図１は、本発明の電気光学表示装置の一例である電気泳動表示装置の概略構成を示す断面図である。
図１に示すように、電気泳動表示装置（電気光学表示装置）１００は、第１基板３０及び画素電極（第１電極）３５を含む素子基板３００と、第２基板３１及び対向電極（第２電極）３７を含む対向基板３１０との間に電気泳動層３２が挟持されてなるものである。
図１では、各画素領域に対応する隔壁を形成しているが、これに限定されるものではなく、隔壁で囲まれた一つの領域内に複数の画素領域が存在していても良い。
【００３４】
第１基板３０上には、画素ごとに画素トランジスタ（例えば、ＴＦＴ（図示略））、画素電極３５および隔壁１４が設けられている。
第１基板３０には、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などの絶縁性の樹脂材料からなる基板（即ち、樹脂基板）、又は、ガラス基板が用いられ、１００から５００μｍの厚さを有している。なお、電気泳動表示装置１００に可撓性を付与する場合には、可撓性を有する樹脂基板を選択する。また、画素電極３５及び第１基板３０は、視認側ではないので必ずしも光透過性を有する材料を用いる必要はなく、非光透過性の材料を用いることも可能である。
【００３５】
画素トランジスタは、配線を介して画素電極３５にそれぞれ接続されており、当該画素トランジスタをオン、オフすることにより、画素電極３５に選択的に電圧を印加できるようになっている。
【００３６】
画素電極３５は、素子基板３００の電気泳動層３２と対向する側の面に形成されている。画素電極３５は厚さ５０ｎｍのＩＴＯからなるが、これに限定されるものではない。また、対向電極３７は、対向基板３１０の電気泳動層３２と対向する側の面に形成されている。画素電極３５は、画素ごとに形成された電極であり、対向電極３７は複数の画素に亘って共通に形成された電極である。このような画素電極３５と対向電極３７は、例えばアルミニウム（Ａｌ）等の光透過性に乏しい（不透明な）導電膜、又は、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の光透過性を有する導電膜で構成されている。
【００３７】
なお、素子基板３００が透明基板であり、画素電極３５がＩＴＯ等で構成されている場合は、画面に表示される文字、画像等を素子基板３００側から視認することができる。あるいは、図示しない対向電極３７が透明な基板であり、対向電極３７がＩＴＯ等で構成されている場合は、画面に表示される文字、画像等を対向基板３１０側から視認することができる。すなわち、対向基板３１０の表面は、電気泳動表示装置１００の表示面１００ａを構成している。
【００３８】
隔壁１４は、透明樹脂からなり、第１基板３０上において画素領域に対応する複数のセル１５を形成するとともに、各セル１５内に電気泳動材料を保持する。本実施形態では、１つの画素に１つのセル１５が対応する構成となっている。
隔壁１４を構成する材料としては、可撓性を有するもの、硬質なもののいずれであってもよく、例えば、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、メラミン系樹脂、フェノール系樹脂等の各種樹脂材料や、シリカ、アルミナ、チタニア等の各種セラミクス材料が挙げられる。ただし、電気泳動表示装置１００に可塑性を付与する場合には、可塑性を有する樹脂材料のものを選択する。
【００３９】
なお、隔壁１４を構成する材料として電気泳動層３２と親和性の高い材料のものを選択することが好ましい。例えば、電気泳動層３２が親油性の場合は、隔壁１４を親油性の材料で構成することが好ましい。この場合、隔壁１４自体を親油性の材料にしてもよいし、隔壁１４の表面だけを親油性にしてもよい。隔壁１４の表面だけを親油性にする方法としては、例えば、表面処理（すなわち、塗布、物理気相成長もしくは化学気相成長などの方法を用いて隔壁１４の表面に親油性の膜を形成する処理、又は、親油性の膜を貼付する処理）が挙げられる。
【００４０】
さらに、隔壁１４を構成する材料としては、後述する電気泳動層３２（分散媒２１等）と略屈折率が同じものを用いるのが好ましい。このようにすれば、隔壁１４と電気泳動層３２との界面で生じる光の反射を防止することができる。
【００４１】
本実施形態の隔壁１４の内部には、各セル１５に対応する反射部１６が複数設けられている。反射部１６は所定の角度で傾斜しており、対向基板３１０側から入射した光を各セル１５内へと導光させる機能を有する。
【００４２】
電気泳動層３２は、隔壁１４の各セル１５内に、複数の電気泳動粒子２６とこれら電気泳動粒子２６を分散させた分散媒２１とを有する電気泳動材料３２Ａが充填されてなるもので、画素領域に対応するセル１５ごとに所望の色表示を行う。
【００４３】
電気泳動粒子２６は、例えば、顔料粒子、樹脂粒子又はこれらの複合粒子である。顔料粒子を組成する顔料としては、例えば、アニリンブラック、カーボンブラックなどの黒色顔料、酸化チタン、酸化アンチモンなどの白色顔料などがある。また、樹脂粒子を組成する樹脂材料としては、例えば、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、尿素樹脂、エポキシ系樹脂、ポリスチレン、ポリエステルなどがある。複合粒子としては、例えば、顔料粒子の表面を樹脂材料や他の顔料で被覆したもの、樹脂粒子の表面を顔料で被覆したもの、顔料と樹脂粒子とを適当な組成比で混合した混合物で構成される粒子などがある。これらの各種材料からなる電気泳動粒子２６は、例えば正又は負に帯電した状態で分散媒中に分散されている。本実施形態に係る電気泳動粒子２６は、黒白色粒子２６ａ及び白白色粒子２６ｂを含む（図３参照）。黒白色粒子２６ａは光吸収性を有し、白白色粒子２６ｂは光反射性を有している。
【００４４】
分散媒２１は、例えば、親油性の炭化水素系の溶媒であり、例えば、アイソパー（登録商標）を含む。すなわち、分散媒２１は、例えば、アイソパーＥ、アイソパーＧ、アイソパーＨ、アイソパーＬ、アイソパーＭのうちのいずれか１種類を含む液体、もしくはこれらのうちの２種類以上を混合した液体、あるいは、これらのうちのいずれか１種類以上と他の種類の炭化水素系の溶媒とを混合した液体である。
本実施形態では、隔壁１４の構成材料として上記電気泳動粒子２６（粒子表面の材料）又は分散媒２１と略屈折率が同じものを用いており、これにより隔壁１４と電気泳動粒子２６又は分散媒２１との界面で生じる光の反射を防止している。
【００４５】
あるいは、分散媒２１は、例えば、ペンタン、ヘキサン、オクタン等の脂肪族炭化水素類、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂環式炭化水素類、ベンゼン、トルエン、キシレン、ヘキシルベンゼン、ヘプチルベンゼン、オクチルベンゼン、ノニルベンゼン、デシルベンゼン、ウンデシルベンゼン、ドデシルベンゼン、トリデシルベンゼン、テトラデシルベンゼンのような長鎖アルキル基を有するベンゼン類（アルキルベンゼン誘導体）等の芳香族炭化水素類、ピリジン、ピラジン、フラン、ピロール、チオフェン、メチルピロリドン等の芳香族複素環類、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、ギ酸エチル等ノエステル類、アセトン、メチルエチルケトン、ジエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ルチルイソプロピルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、アセトニトリル、プロピオニトリル、アクリロニトリル等のニトリル類、Ｎ、Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド等のアミド類、カルボン酸塩又はその他の各種油類等でも良く、これらを単独又は混合物として用いることができる。
【００４６】
図２は、隔壁の構成について反射部を中心に示す平面図、図３は電気泳動表示装置の概略構成について隔壁の構成を中心に示す断面図である。図４は本実施形態に係る電気泳動表示装置１００の効果を説明するための図である。
【００４７】
図２及び図３に示すように、平面視正方格子状を呈する隔壁１４は、素子基板３００の画素電極３５側の最上層に直接貼り付けられている。隔壁１４内に埋設された反射部１６は、対向基板３１０側へ突出する凸状（く字状）を呈し、隣り合う一方のセル１５Ａ側へ向かって傾斜する第１傾斜面（第１の傾斜面）１６ａと、他方のセル１５Ｂ側へ向かって傾斜する第２傾斜面（第２の傾斜面）１６ｂと、を有する。第１傾斜面１６ａ及び第２傾斜面１６ｂの基板面に垂直な法線方向に対する傾斜角度θは、３０°≦θ≦６０°の範囲が好ましく、３５°≦θ≦５０°がより好ましい。また、第１基板３０からの反射部１６の高さｈは、セルギャップｄに対して、ｄ／２≦ｈ≦ｄの範囲内で設定される。すなわち、反射部１６がセルギャップｄの半分よりも表示面１００ａ側に設けられている。なお、反射部１６の高さｈは、反射部１６の先端と第１基板３０との基板面との距離で設定される。
【００４８】
本実施形態に係る隔壁１４は上述のように透明樹脂から構成されているため、反射部１６よりも表示面１００ａ側が透明部材から構成されたものとなっている。これにより、外部から入射した光が隔壁１４を透過して反射部１６へと導かれるようになっている。
【００４９】
セル１５Ａの周囲は４つの第１傾斜面１６ａによって取り囲まれ、セル１５Ｂの周囲は４つの第２傾斜面１６ｂによって取り囲まれていることから、外部から隔壁１４内へ入射してきた外光が反射部１６の各傾斜面１６ａ，１６ｂにおいて反射されて、反射部１６（隔壁１４）を介して隣り合うセル１５Ａ，１５Ｂへと入射することになる。
【００５０】
本実施形態の構成によれば、外部から入射した外光のうち、隔壁１４内に入射した光を隔壁１４の内部に埋設された反射部１６によって反射させ、各セル１５内へと導光させることが可能になるので、外部から入射した光を各セルにおける表示に有効利用することができる。つまり、隔壁１４内に入射した外光を対向基板３１０側へ向かってそのまま反射させるのではなくセル１５内へと確実に反射させることができる。
【００５１】
外部からの光は、透明樹脂からなる隔壁１４の内部に入射し、反射部１６の各傾斜面１６ａ，１６ｂでそれぞれ反射されてセル１５Ａ，１５Ｂへと導かれる。
【００５２】
ここで、電気泳動表示装置１００は、黒表示を行う場合、表示面１００ａ側（対向電極３７側）に電気泳動粒子２６の黒白色粒子２６ａが移動し、表示面１００ａと反対側（画素電極３５側）に白粒子２６ｂが移動している。また、電気泳動表示装置１００は、白表示を行う場合、表示面１００ａ側（対向電極３７側）に電気泳動粒子２６の白粒子２６ｂが移動し、表示面１００ａと反対側（画素電極３５側）に黒白色粒子２６ａが移動している。
【００５３】
黒表示の場合、図４（ａ）に示すようにセル１５Ａ，１５Ｂへ導かれた光は、黒白色粒子２６ａで吸収される。反射部１６は上述のように表示面１００ａ側に配置されているので、反射部１６の傾斜面１６ａ，１６ｂで反射された光は表示面１００ａ側に移動している黒白色粒子２６ａにより確実に吸収されることとなる。
【００５４】
一方、白表示の場合、図４（ｂ）に示すようにセル１５Ａ，１５Ｂへ導かれた光は、白粒子２６ｂで反射される。また、反射部１６は上述のように表示面１００ａ側に配置されているので、反射部１６の傾斜面１６ａ，１６ｂで反射された光は表示面１００ａ側に移動している白粒子２６ｂにより確実に反射されることとなる。白粒子２６ｂで反射された光は、反射部１６の傾斜面１６ａ，１６ｂで再度反射されて隔壁１４内を透過して表示面１００ａから出射される。
【００５５】
なお、反射部１６の断面形状は、素子基板３００側へへこんだ凹形状であっても良い。ここで、図５の実線Ａで示されるように、反射部１６を構成する傾斜面１６ａ，１６ｂのなす角度が９０度の場合、基板（対向基板３１０）のほぼ法線方向の光の多くを直接基板側に出射する構成となってしまう。そのため、図５の１点破線Ｂ及び２点破線Ｃで示されるように、傾斜面１６ａ，１６ｂのなす角度は９０度よりも大きい或いは小さくすることで、基板のほぼ法線方向の光の多くを直接基板側に出射することなく、他の角度方向に反射する構成とするのが望ましい。
【００５６】
また、反射部１６は必ずしも平面である必要はなく、曲面であっても構わない。例えば反射部１６の断面を楕円状の山型や谷(Ｕ字谷)型にしても良い。無論、隔壁１４の長手方向にうねりがあっても構わない。これは隔壁１４の断面位置によってその形状が若干変化することを許容することを意味する。
【００５７】
本実施形態によれば、白表示の場合、隔壁１４の部分は明るく見えるため、光量低下が防止された高輝度な表示を得ることができる。また、黒表示の場合、隔壁１４の部分は暗く見える。このように黒表示の時は隔壁部分が黒くなり、白表示の時は隔壁部分が明るくなるので、実効的な開口率が大きくなり、明るい表示と高コントラストを両立させることができる。したがって、コントラストの高い鮮やかな画像表示が行える。また、隔壁１４の幅を狭くすることなく、開口率を大きくすることができるので、隔壁１４の物理的な強度を低下させることも無い。また、隔壁１４の物理的な強度の低下が生じないので、本実施形態に係る電気泳動表示装置１００は、特に表示面１００ａに対する面押し耐性強度が要求される、例えばペン等による入力機能付き表示装置の用途として好適である。
【００５８】
なお、隔壁１４の平面視形状としては、例えば六角格子状（図６参照）または三角格子状であってもよく、これに限られることもない。
【００５９】
また、反射部１６の構成としては、上述したような対向基板３１０側へ突出した凸状を呈する構成を例として説明したが、図７（ａ）に示すように反射部１６が一方向に傾斜する構成としてもよい。この場合、一方向に並ぶ複数のセル１５に対応する個々の反射部１６が同一方向へ傾斜したものとなる。これによれば、一方向に並ぶ複数のセル１５内に均等に外光を導入させることができるので、表示装置における輝度ムラを解消することができる。
【００６０】
また、図７（ｂ）に示すように反射部１６を光散乱状態の面からなる構成としてもよい。このような光拡散機能を隔壁１４内に持たすことで、隔壁１４内にほぼ垂直に入射した光もその角度が変更され、セル１５内に入射させることができる。したがって、外部から入射した光は反射部１６の表面で散乱されることでセル１５Ａ，１５Ｂ内に良好に導くことができる。
【００６１】
また、図７（ｃ）に示すように、隔壁１４内に埋設した光反射性を有する複数のビーズ（光学部材）Ｂｚを用いて反射部１６を構成するようにしても構わない。本実施形態においては、複数のビーズＢｚが上記実施形態の第１傾斜面１６ａ及び第２傾斜面１６ｂと同様、基板面に垂直な法線方向に対して所定角度θで傾斜した方向に沿って隔壁１４内に分散されている。ここで、所定角度θとしては、３０°≦θ≦６０°の範囲が好ましく、３５°≦θ≦５０°がより好ましい。これによれば、複数のビーズＢｚによって隔壁１４内に入射した光をセル１５へと良好に反射することができる。
【００６２】
また、反射部１６の構成としては、図８に示すように隔壁１４内に埋め込まれることで当該隔壁１４内に入射した光をセル１５内に導光させる微粒子５０から構成してもよい。図８（ａ）は本構成の断面図を示すものであり、図８（ｂ）は本構成の平面図を示すものである。
【００６３】
微粒子５０は、白色微粒子又は金属微粒子を含む。微粒子５０は隔壁５０内において素子基板３００側に偏在した状態に設けられている。これにより、隔壁１４の上部には微粒子５０が存在しない領域（微粒子不存在領域）６０が設定されたものとなっている。ここで、微粒子不存在領域６０の高さＬは、図８（ａ）に示すように隔壁１４の高さをｄとした時、隔壁１４の高さの１／８以上１／２以下の範囲に設定されている。これによれば、隔壁１４内に入射した外光を微粒子５０がセル１５内に良好に取り込むことができる。
【００６４】
また、隔壁１４内に埋め込まれる微粒子５０の量は、平面視した状態（第２基板３１側から電気泳動表示装置１００を視た状態）で隔壁１４内に配置可能な微粒子５０の量をａとしたとき、２ａ以上８ａ以下の範囲に設定されている。これによれば、隔壁１４内に微粒子５０を良好に埋め込んだ状態とすることができる。
【００６５】
以上のように、図８に示した構成によれば、表示面１００ａ側から入射した外光が隔壁１４内に埋め込まれた微粒子５０によってセル１５内に反射されるので、コントラストの高い鮮やかな画像表示を行うことができる。また、隔壁１４内に微粒子５０を埋め込むことで反射部１６を簡便に構成することができる。なお、本説明では、微粒子５０が隔壁１４内において素子基板３００側に偏在した場合を例に挙げたが、隔壁１４の高さ方向の全域に亘って微粒子５０が埋め込まれた構成であっても良い。
【実施例１】
【００６６】
次に、実施例１における電気泳動表示装置の製造方法について述べる。
図９は、電気泳動表示装置の製造工程のフローを示す図である。図１０は、電気泳動表示装置の製造工程を示す断面図である。
図９及び図１０に示すように、実施例１に係る電気泳動表示装置の製造方法は、隔壁部形成工程Ｓ１、傾斜部形成工程Ｓ２、反射部形成工程Ｓ３、隔壁形成工程Ｓ４、隔壁及び第１基板貼り合せ工程Ｓ５、電気泳動材料充填工程Ｓ６、隔壁及び第２基板貼り合せ工程Ｓ７、を有する。
【００６７】
まず、隔壁部形成工程Ｓ１では、ＰＥＴ基板からなる第１基材４１Ａ上に複数の画素領域を区画する第１隔壁部４２Ａを形成するとともに、ＰＥＴ基板からなる第２基材４１Ｂ上に第１隔壁部４２Ａに対応する第２隔壁部４２Ｂを形成する。
【００６８】
具体的には、図９（ａ）に示すように、第１基材４１Ａ及び第２基材４１Ｂの表面上に、感光性樹脂材料（例えば、感光性エポキシ樹脂等）を、例えば厚さ１５〜３０μｍとなるように、スピンコートあるいは印刷法を用いて塗布する。乾燥させた塗布膜４２をレジストマスクＲＭを用いてフォトリソグラフィによって複数の画素領域を区画する格子状にパターニングし、図９（ｂ）に示すように第１基材４１Ａ及び第２基材４１Ｂ上に隔壁部４２´をそれぞれ形成する。
【００６９】
次に、傾斜部形成工程Ｓ２では、図９（ｃ）に示すように、第１隔壁部４２Ａの上面側からエッチングを施して面取りを行うことによって凸部（第１係合部）４３を形成し、図９（ｄ）に示すように、第２隔壁部４２Ｂの上面側からエッチングを施して凸部４３に対応する凹部（第２係合部）４４を形成する。
【００７０】
次に、反射部形成工程Ｓ３では、図９（ｅ）に示すように、第１隔壁部４２Ａの凸部４３の表面全体に金属膜を成膜し、反射部１６を形成する。凸部４３上に成膜する方法としては、スパッタ法や蒸着等の真空中での成膜、他の印刷方法を用いてもよい。
【００７１】
次に、隔壁形成工程Ｓ４では、図９（ｆ）に示すように、凸部４３と凹部４４とを組み合わせるように第１隔壁部４２Ａ上に第２隔壁部４２Ｂを対向配置して接着させることによって、反射部１６を有した隔壁１４を形成する。反射部１６は、第１隔壁部４２Ａの第２隔壁部４２Ｂとの境界部分に位置することとなる。第１隔壁部４２Ａと第２隔壁部４２Ｂとを貼り合せた後、第１基材４１Ａ及び第２基材４１Ｂを隔壁１４から剥離する。
【００７２】
なお、上記実施形態では、隔壁１４の全体を透明樹脂から構成し、内部に反射部１６を構成する部材を埋設する場合を例に説明したが、隔壁１４は反射部１６に対して表示面１００ａと反対側は必ずしも透明である必要は無い。すなわち、上記第２隔壁部４２Ｂのみを透明部材から構成し、第１隔壁部４２Ａについては透明でない部材から構成するようにしても構わない。
【００７３】
次に、隔壁−第１基板貼り合せ工程Ｓ５では、図１０（ａ）に示すように、別途用意しておいた素子基板３００に対して隔壁１４を貼り合せる。ここで、素子基板３００は、樹脂基板またはガラス基板からなる第１基板３０上に画素電極３５、トランジスタ等が画素領域ごとに形成されたものである。この素子基板３００の画素電極３５側の最上層に接着剤などを介して隔壁１４を貼り付ける。
【００７４】
次に、電気泳動材料を充填する工程Ｓ６では、図１０（ｂ）に示すように、隔壁１４の各セル１５内に電気泳動粒子２６を多数含む分散媒２１を供給する。分散媒２１の供給方法としては、例えば、ディスペンサを用いた滴下法、インクジェット法（液滴吐出法）、スピンコート法、ディップコート法等の各種塗布法が挙げられるが、これらの中でも滴下法またはインクジェット法を用いるのが好ましい。滴下法またはインクジェット法によれば、各セル１５に対して分散液を選択的に供給することができることから、セル１５内に無駄なく、より確実に供給することができる。
【００７５】
セル１５内に電気泳動材料３２Ａを供給した後で、一定の待機時間を設けることが好ましい。これにより、図１０（ｃ）に示すように、セル１５の中心部において電気泳動材料３２Ａの表面（液面）が低下してその断面視による形状が凹状になる。
【００７６】
この後、図１０（ｄ）に示すように、電気泳動材料３２Ａが供給された隔壁１４の開口側を封入膜５で覆うことで、電気泳動材料３２Ａを各セル１５内に封入するようにしても良い。封入膜５の形成方法としては、例えば、水溶性高分子を水または親水性の液体（一例として、メタノール又はエタノール）に溶かして液状にし、封入液を作成する。例えば、水溶性高分子としてＰＶＡを選択し、ＰＶＡを水に溶かして３［ｗｔ％］〜４０［ｗｔ％］（重量パーセント）の封入液を作成する。この封入液を、スキージ等を用いて電気泳動材料３２Ａが供給された後の隔壁１４の開口側に塗布し、乾燥させることによって封入膜５を形成する。電気泳動材料３２Ａが親油性である一方、封入液は親水性であるためこれらは混和しない。このように、隔壁１４の各セル１５内に供給された電気泳動材料３２Ａの液面を覆うようにして封入膜５を形成することにより、電気泳動材料３２Ａを各セル１５内に密閉性高く封入することができる。また、電気泳動材料３２Ａと対向電極３７とが直接接触することがないので対向電極３７の腐食を防ぐことができる。
【００７７】
次に、図１０（ｅ）に示すように、隔壁−第２基板貼り合せ工程Ｓ７では、予め、樹脂基板またはガラス基板からなる第２基板３１の表面全体にベタ状の対向電極３７と、ホットメルト導電接着膜３８とが形成された対向基板３１０を用意しておき、この対向基板３１０のホットメルト導電接着膜３８側の面を、素子基板３００の隔壁１４の上面に貼り合せることによって、対向基板３１０と素子基板３００とを接合させる。ホットメルト導電接着膜３８は、常温で固形状をなしている熱可塑性高分子に透明金属フィラーを複数分散させてなる接着性フィルムからなる。ここでは、真空ラミネート法を用いて対向基板３１０を貼り合せる。
【００７８】
このように、素子基板３００上に隔壁１４を介して対向基板３１０を貼り合せることによって、本実施形態の電気泳動表示装置１００が得られる。
【００７９】
本実施形態の電気泳動表示装置１００の製造方法によれば、第１隔壁部４２Ａの凸部４３上に反射部１６を形成した後、第１隔壁部４２Ａと第２隔壁部４２Ｂとを組み合わせることによって隔壁１４を得ていることから、隔壁１４内の所定位置に所望の反射部１６を形成することができる。これにより、隔壁１４内に入射した外光を効率よく各セル１５へと導光させることのできる電気泳動表示装置１００が得られる。
【実施例２】
【００８０】
次に、実施例２における電気泳動表示装置の製造方法について述べる。
実施例２では、隔壁部形成工程Ｓ１および傾斜部形成工程Ｓ２を同時に行うことで第１隔壁部と第２隔壁部を形成する。本実施例では、ナノインプリント法を用いて、凸部４３を有する第１隔壁部４２Ａと、凹部４４を有する第２隔壁部４２Ｂとを形成する。
まず、第１基材４１Ａおよび第２基材４１Ｂの表面にレジストをそれぞれ塗布し、第１隔壁部４２Ａの形状に対応した第１モールドを第１基材４１Ａ上のレジストに接触させて加圧し、第２隔壁部４２Ｂの形状に対応した第２モールドを第２基材４１Ｂ上のレジストに接触させて加圧することにより、各モールドの凹凸（転写パターン）をそれぞれのレジストに転写する。このようにして、第１基材４１Ａ上に凸部４３を有する第１隔壁部４２Ａを形成し、第２基材４１Ｂ上に凹部４４を有する第２隔壁部４２Ｂを形成する。その後の工程は、先に示した第１実施例と同様である。
【００８１】
本実施例のように、ナノインプリント法を用いて第１隔壁部４２Ａおよび第２隔壁部４２Ｂを形成することにより、フォトリソグラフィよりも簡便に形成することができるとともに安価な装置により微細構造を形成することができる。
【実施例３】
【００８２】
実施例３では、隔壁部形成工程および傾斜部形成工程において、ＰＥＴ基板からなる第１基材４１Ａおよび第２基材４１Ｂの表面に白顔料を含有したレジストをそれぞれ塗布し、上記したナノインプリント法を用いて、白色の第１隔壁部４２Ａおよび第２隔壁部４２Ｂを形成する。その後は反射部形成工程を省略して隔壁形成工程へと移行する。第１隔壁部４２Ａと第２隔壁部４２Ｂとを組み合わせて隔壁１４を形成した後の工程は、上記した第１実施例と同様である。
【００８３】
白顔料としては、白ルチル型酸化チタン及びアナターゼ型酸化チタン等の酸化チタン、亜鉛華、鉛白、硫化亜鉛、酸化アルミニウム、酸化珪素、酸化ジルコニウム等が挙げられる。また、平均粒子径が揃っている白顔料を用いてもよいし、平均粒子径が異なる白顔料を用いてもよい。
【００８４】
本実施例のように、白顔料を含有したレジストを用いて形成した第１隔壁部４２Ａ及び第２隔壁部４２Ｂにより、散乱性を有した白色の隔壁１４を得ることができる。散乱性を有する隔壁１４によって隔壁１４内に入射した外光を散乱させて各セル内へと導光させることができる。また、本実施例によれば白顔料により散乱性を付与しているため反射部１６が不要であり、スパッタにより金属膜を形成する反射部形成工程を省略することができる。
【実施例４】
【００８５】
次に、実施例４における電気泳動表示装置の製造方法について述べる。
実施例４は、図８に示した構成と異なり、隔壁１４の高さ方向の全域に亘って埋め込まれた微粒子５０により構成された反射部１６を備えた電気泳動表示装置の製造方法に関するものである。
【００８６】
本実施例においては、反射部１６を形成するに際し、まず隔壁１４を形成する粘性材料（レジスト）に、白色微粒子又は金属微粒子を含む微粒子５０を所定量添加し、撹拌する。ここで、微粒子５０の添加量としては、上述のように２ａ以上８ａ以下の範囲に設定する。
【００８７】
続いて、ナノインプリント法を用いて、微粒子５０を含有する隔壁１４を形成する。具体的に、第１基材４１Ａ又は第２基材４１Ｂの表面にレジストを塗布し、隔壁１４の形状に対応したモールドを第１基材４１Ａ又は第２基材４１Ｂ上のレジストに接触させて加圧することにより、各モールドの凹凸（転写パターン）をレジストに転写し、熱硬化させる。このようにして、第１基材４１Ａ又は第２基材４１Ｂ上に微粒子５０が埋め込まれてなる隔壁１４を形成する。その後の工程は、先に示した実施例と同様である。
【実施例５】
【００８８】
次に、実施例５における電気泳動表示装置の製造方法について述べる。
実施例５は、図８に示した電気泳動表示装置の製造方法に関するものである。すなわち、実施例４と異なり、微粒子５０が隔壁１４内において偏在して配置されたものとなっている。
【００８９】
本実施例においては、実施例４と同様、微粒子５０を所定量添加したレジストを用意し、第１基材４１Ａの表面に該レジストを塗布し、隔壁１４の形状に対応したモールドを第１基材４１Ａ上のレジストに接触させて加圧することにより、モールドの凹凸（転写パターン）をレジストに転写し、熱硬化させることで第１基材４１Ａ上に微粒子５０が埋め込まれてなる隔壁１４の下部を形成する。
【００９０】
続いて、微粒子を添加しないレジストを用意し、第２基材４１Ｂの表面に該レジストを塗布し、隔壁１４の形状に対応したモールドを第２基材４１Ｂ上のレジストに接触させて加圧することにより、モールドの凹凸（転写パターン）をレジストに転写し、熱硬化させることで第２基材４１Ｂ上に微粒子５０を有しない隔壁１４の上部を形成する。
【００９１】
続いて、第１基材４１Ａ及び第２基材４１Ｂを貼り合せ、隔壁１４の上部及び下部からなる隔壁１４を形成することができる。
【実施例６】
【００９２】
次に、実施例６における電気泳動表示装置の製造方法について述べる。
実施例６は、実施例５の一部を変形した電気泳動表示装置の製造方法に関するものである。
【００９３】
本実施例においては、実施例４と同様、微粒子５０を所定量添加したレジストを用意し、第１基材４１Ａの表面に該レジストを塗布し、隔壁１４の形状に対応したモールドを第１基材４１Ａ上のレジストに接触させて加圧することにより、モールドの凹凸（転写パターン）をレジストに転写する。
【００９４】
本実施例では、凹凸を転写した後、所定時間放置する。これにより、レジスト材料内において微粒子５０を沈み込ませた後、熱硬化させることで隔壁１４を形成する。このようにして、微粒子５０が素子基板３００側に偏在した状態に内部に設けられた隔壁１４を形成することができる。
【００９５】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００９６】
例えば、第１隔壁部４２Ａ及び第２隔壁部４２Ｂの形成方法に制限はないが、上記したフォトリソグラフィ法やナノインプリント法の他、スクリーン印刷法、凸版印刷法、グラビア印刷法などの印刷プロセスで形成してもよい。
また、先の実施形態では、１つの画素に１つのセル１５が対応する隔壁構造となっていたが、複数の画素に１つのセル１５が対応する構成としてもよい。この構成であっても、隔壁に接している画素において上記した効果を得ることができる。
【００９７】
また、上記実施形態では、光学素子として電気泳動素子の場合を例に説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、電紙粉流体（登録商標）や、着色した油と顔料を分散させた水から画素を構成し、油と水との配置を入れ替えることでカラー表示を行うエレクトロウェッティング素子の場合についても本発明は反射部を埋設した隔壁を適用することが可能である。
【符号の説明】
【００９８】
ｄ…セルギャップ、ｈ…高さ、１４…隔壁、１４ａ…上面、１５（１５Ａ，１５Ｂ）…セル、１６…反射部、１６ａ…傾斜面、３０…第１基板、３１…第２基板、３２…電気泳動層、３２Ａ…電気泳動材料、３５…画素電極（第１電極）、３７…対向電極（第２電極）、４１Ａ…第１基材、４２Ａ…第１隔壁部、４２Ｂ…第２隔壁部、４３…凸部（第１係合部）、４４…凹部（第２係合部）、１００…電気泳動表示装置、１００ａ…表示面
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向配置された第１基板及び第２基板と、
前記第１基板及び前記第２基板の間に配置され、セルを複数有するとともに反射性を有した隔壁と、
各セル内に電気泳動材料が保持されてなる電気泳動層と、
前記第１基板の前記電気泳動層側の面に設けられた第１電極と、
前記第２基板の前記電気泳動層側の面に設けられた第２電極と、
前記隔壁内に設けられる反射部と、を備え、
前記隔壁は、少なくとも前記反射部よりも表示面側が透明部材から構成されることを特徴とする電気泳動表示装置。
【請求項２】
前記反射部は、前記セルごとに対応して設けられることを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示装置。
【請求項３】
前記透明部材は、前記電気泳動材料と略同じ屈折率を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の電気泳動表示装置。
【請求項４】
前記電気泳動材料は、分散媒と電気泳動粒子とを含むことを特徴とする請求項３に記載の電気泳動表示装置。
【請求項５】
前記分散媒又は前記電気泳動粒子が前記透明部材と略同じ屈折率を有することを特徴とする請求項４に記載の電気泳動表示装置。
【請求項６】
前記第１基板から前記反射部の先端までの高さｈは、セルギャップｄに対して、ｄ／２≦ｈ≦ｄの範囲内であることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項７】
前記反射部は、前記セル内に光を散乱させる散乱面を含むことを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項８】
前記反射部は、前記隔壁内に設けられた光学部材から構成されることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項９】
複数の前記光学部材が基板面に垂直な法線方向に対して前記セル側へ所定角度で傾斜した方向に沿って前記隔壁内に分散されていることを特徴とする請求項８に記載の電気泳動表示装置。
【請求項１０】
前記反射部は、基板面に垂直な法線方向に対して前記セル側へ所定角度で傾斜する傾斜面を有することを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項１１】
前記傾斜面の傾斜角度が、３０°≦θ≦６０°の範囲内であることを特徴とする請求項１０に記載の電気泳動表示装置。
【請求項１２】
一方向に並ぶ前記複数のセルに対応する前記反射部が同一方向へ傾斜することを特徴とする請求項１０又は１１に記載の電気泳動表示装置。
【請求項１３】
前記反射部は、当該隔壁を介して隣り合う一方の前記セル側へ傾斜する第１の前記傾斜面と、他方の前記セル側へ傾斜する第２の前記傾斜面と、を有することを特徴とする請求項１０又は１１に記載の電気泳動表示装置。
【請求項１４】
前記反射部が金属膜からなることを特徴とする請求項９から１３のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項１５】
前記隔壁が、第１隔壁部と、当該第１隔壁部に組み合わされて前記透明部材からなる第２隔壁部とにより構成され、これら前記第１隔壁部と第２隔壁部との間に前記反射部が配置されていることを特徴とする請求項９から１４のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項１６】
前記隔壁に白顔料が含有されていることを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示装置。
【請求項１７】
１つの画素に１つの前記セルが対応していることを特徴とする請求項１から１６のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項１８】
前記反射部は、前記隔壁内に埋め込まれることで当該隔壁内に入射した光を前記セル内に導光させる白色微粒子又は金属微粒子を含む微粒子から構成されることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項１９】
前記隔壁の前記第２基板側には、前記微粒子が存在しない微粒子不存在領域が設定されており、
該微粒子不存在領域の高さは、前記隔壁の高さの１／８以上１／２以下の範囲内であることを特徴とする請求項１８に記載の電気泳動表示装置。
【請求項２０】
平面視した状態で前記隔壁内に配置可能な前記微粒子の量をａとしたとき、当該隔壁内に埋め込まれる前記微粒子の量は、２ａ以上８ａ以下の範囲内であることを特徴とする請求項１８に記載の電気泳動表示装置。
【請求項２１】
第１基材上に複数の画素領域を区画する第１隔壁部を形成するとともに、第２基板上に前記第１隔壁部に対応する前記第２隔壁部を形成する工程と、
前記第１隔壁部の上面に第１係合部を形成するとともに、前記第２隔壁部の上面に前記第１係合部に対応する第２係合部を形成する工程と、
前記第１係合部および前記第２係合部の少なくとも一方に反射部を形成する工程と、
前記第１係合部及び前記第２係合部を対向させるようにして前記第１隔壁部及び前記第２隔壁部を組み合わせることによって隔壁を形成する工程と、
前記隔壁を第１基板上に貼り合せる工程と、
少なくとも前記隔壁と前記第１基板とによって囲まれたセル内に電気泳動材料を充填する工程と、
前記第１基板上に前記隔壁を介して第２基板を貼り合せる工程と、を有することを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項２２】
前記第１係合部が凸状を呈するとともに前記第２係合部が凹状を呈しており、
前記隔壁を第１基板上に貼り合せる際、凸状の前記第１係合部を前記第１基板とは反対側に向けた状態で前記第１隔壁部を貼り合せることを特徴とする請求項２１に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１】
互いに対向配置された第１基板及び第２基板と、
前記第１基板及び前記第２基板の間に配置され、セルを複数有するとともに反射性を有した隔壁と、
各セル内に電気泳動材料が保持されてなる電気泳動層と、
前記第１基板の前記電気泳動層側の面に設けられた第１電極と、
前記第２基板の前記電気泳動層側の面に設けられた第２電極と、
前記隔壁内に設けられる反射部と、を備え、
前記隔壁は、少なくとも前記反射部よりも表示面側が透明部材から構成されることを特徴とする電気泳動表示装置。
【請求項２】
前記反射部は、前記セルごとに対応して設けられることを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示装置。
【請求項３】
前記透明部材は、前記電気泳動材料と略同じ屈折率を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の電気泳動表示装置。
【請求項４】
前記電気泳動材料は、分散媒と電気泳動粒子とを含むことを特徴とする請求項３に記載の電気泳動表示装置。
【請求項５】
前記分散媒又は前記電気泳動粒子が前記透明部材と略同じ屈折率を有することを特徴とする請求項４に記載の電気泳動表示装置。
【請求項６】
前記第１基板から前記反射部の先端までの高さｈは、セルギャップｄに対して、ｄ／２≦ｈ≦ｄの範囲内であることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項７】
前記反射部は、前記セル内に光を散乱させる散乱面を含むことを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項８】
前記反射部は、前記隔壁内に設けられた光学部材から構成されることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項９】
複数の前記光学部材が基板面に垂直な法線方向に対して前記セル側へ所定角度で傾斜した方向に沿って前記隔壁内に分散されていることを特徴とする請求項８に記載の電気泳動表示装置。
【請求項１０】
前記反射部は、基板面に垂直な法線方向に対して前記セル側へ所定角度で傾斜する傾斜面を有することを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項１１】
前記傾斜面の傾斜角度が、３０°≦θ≦６０°の範囲内であることを特徴とする請求項１０に記載の電気泳動表示装置。
【請求項１２】
一方向に並ぶ前記複数のセルに対応する前記反射部が同一方向へ傾斜することを特徴とする請求項１０又は１１に記載の電気泳動表示装置。
【請求項１３】
前記反射部は、当該隔壁を介して隣り合う一方の前記セル側へ傾斜する第１の前記傾斜面と、他方の前記セル側へ傾斜する第２の前記傾斜面と、を有することを特徴とする請求項１０又は１１に記載の電気泳動表示装置。
【請求項１４】
前記反射部が金属膜からなることを特徴とする請求項９から１３のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項１５】
前記隔壁が、第１隔壁部と、当該第１隔壁部に組み合わされて前記透明部材からなる第２隔壁部とにより構成され、これら前記第１隔壁部と第２隔壁部との間に前記反射部が配置されていることを特徴とする請求項９から１４のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項１６】
前記隔壁に白顔料が含有されていることを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示装置。
【請求項１７】
１つの画素に１つの前記セルが対応していることを特徴とする請求項１から１６のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項１８】
前記反射部は、前記隔壁内に埋め込まれることで当該隔壁内に入射した光を前記セル内に導光させる白色微粒子又は金属微粒子を含む微粒子から構成されることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項１９】
前記隔壁の前記第２基板側には、前記微粒子が存在しない微粒子不存在領域が設定されており、
該微粒子不存在領域の高さは、前記隔壁の高さの１／８以上１／２以下の範囲内であることを特徴とする請求項１８に記載の電気泳動表示装置。
【請求項２０】
平面視した状態で前記隔壁内に配置可能な前記微粒子の量をａとしたとき、当該隔壁内に埋め込まれる前記微粒子の量は、２ａ以上８ａ以下の範囲内であることを特徴とする請求項１８に記載の電気泳動表示装置。
【請求項２１】
第１基材上に複数の画素領域を区画する第１隔壁部を形成するとともに、第２基板上に前記第１隔壁部に対応する前記第２隔壁部を形成する工程と、
前記第１隔壁部の上面に第１係合部を形成するとともに、前記第２隔壁部の上面に前記第１係合部に対応する第２係合部を形成する工程と、
前記第１係合部および前記第２係合部の少なくとも一方に反射部を形成する工程と、
前記第１係合部及び前記第２係合部を対向させるようにして前記第１隔壁部及び前記第２隔壁部を組み合わせることによって隔壁を形成する工程と、
前記隔壁を第１基板上に貼り合せる工程と、
少なくとも前記隔壁と前記第１基板とによって囲まれたセル内に電気泳動材料を充填する工程と、
前記第１基板上に前記隔壁を介して第２基板を貼り合せる工程と、を有することを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項２２】
前記第１係合部が凸状を呈するとともに前記第２係合部が凹状を呈しており、
前記隔壁を第１基板上に貼り合せる際、凸状の前記第１係合部を前記第１基板とは反対側に向けた状態で前記第１隔壁部を貼り合せることを特徴とする請求項２１に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１３−７９８５（Ｐ２０１３−７９８５Ａ）
【公開日】平成２５年１月１０日（２０１３．１．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１９８２９８（Ｐ２０１１−１９８２９８）
【出願日】平成２３年９月１２日（２０１１．９．１２）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年１月１０日（２０１３．１．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年９月１２日（２０１１．９．１２）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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