電解再生処理装置
【課題】小型化が可能で、しかも浴量を少なくすることができる電解再生処理装置を提供する。
【解決手段】再生処理部１９は、アノードとして機能する内周面を有する筒状部２３と、筒状部２３内に配設され、内周面３１と離隔した状態で筒状部２３の延設方向に沿って延びるカソード２５とを含む。デスミア処理に用いられた処理液は、筒状部２３の内周面３１とカソード２５との隙間を通じて送液される。送り側導管１５は、下流側端部１５ｂが筒状部２３に接続され、デスミア処理槽１３から排出される前記処理液を再生処理部１９に導く。戻し側導管１７は、上流側端部１７ａが筒状部２３に接続され、再生処理部１９から排出される前記処理液をデスミア処理槽１３に導く。
【解決手段】再生処理部１９は、アノードとして機能する内周面を有する筒状部２３と、筒状部２３内に配設され、内周面３１と離隔した状態で筒状部２３の延設方向に沿って延びるカソード２５とを含む。デスミア処理に用いられた処理液は、筒状部２３の内周面３１とカソード２５との隙間を通じて送液される。送り側導管１５は、下流側端部１５ｂが筒状部２３に接続され、デスミア処理槽１３から排出される前記処理液を再生処理部１９に導く。戻し側導管１７は、上流側端部１７ａが筒状部２３に接続され、再生処理部１９から排出される前記処理液をデスミア処理槽１３に導く。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線基板などを製造する製造工程において、デスミア処理に用いられる処理液を電解して再生するための電解再生処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線基板に用いられる樹脂基板にスルーホールやビアを形成する際には、ドリルやレーザーと樹脂との摩擦熱によって樹脂カスであるスミアが生成する。プリント配線基板の電気的接続信頼性を維持するためには、スルーホールやビアに生成したスミアを化学的処理方法などにより除去（デスミア処理）する必要がある。
【０００３】
一般に、前記化学的処理方法においては、過マンガン酸ナトリウムや過マンガン酸カリウムなどの過マンガン酸塩の溶液が処理液として用いられる。この処理液は、デスミア処理槽に貯留される。前記樹脂基板をデスミア処理槽内の処理液に浸漬してデスミア処理を施すと、スミアが酸化されてスルーホールやビアからスミアが除去される一方で、処理液中の過マンガン酸塩はマンガン酸塩となる。そして、この処理後の処理液をスミア除去に再利用するために、処理液中のマンガン酸塩を過マンガン酸塩にする電解再生処理が行われる。
【０００４】
従来の電解再生処理装置は、処理液を貯留する電解再生槽と、この電解再生槽内の処理液中に浸漬された電極と、デスミア処理槽から排出された処理液を電解再生槽に送液する送り側導管と、電解再生処理後の処理液をデスミア処理槽に送液する戻し側導管とを備えている。処理液は、デスミア処理槽と電解再生槽との間を循環する。このような電解再生処理装置では、再生効率を向上させるために、通常、電解再生槽内に複数の電極が配設される（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３３０１３４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記のように電解再生槽内に複数の電極を配設する方式では、電解再生槽の容量を大きくする必要があるので（デスミア処理槽の１〜２倍程度の容量）、電解再生槽を設置するための設置面積の確保が必要になるとともに、浴量が多くなる。
【０００７】
そこで、本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、小型化が可能で、しかも浴量を少なくすることができる電解再生処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）本発明の電解再生処理装置は、デスミア処理槽においてデスミア処理に用いられた処理液を電解して再生するためのものである。前記電解再生処理装置は、再生処理部と、送り側導管と、戻し側導管とを備えている。前記再生処理部は、アノードとして機能する内周面を有する筒状部と、前記筒状部内に配設され、前記内周面と離隔した状態で前記筒状部の延設方向に沿って延びるカソードとを含む。この再生処理部では、前記筒状部の前記内周面と前記カソードとの隙間を通じて前記処理液が送液される。前記送り側導管は、下流側端部が前記筒状部に接続され、前記デスミア処理槽から排出される前記処理液を前記再生処理部に導く。前記戻し側導管は、上流側端部が前記筒状部に接続され、前記再生処理部から排出される前記処理液を前記デスミア処理槽に導く。
【０００９】
この構成では、送り側導管の下流側端部が再生処理部の筒状部に接続される。したがって、デスミア処理槽から排出された処理液は、送り側導管を通じて筒状部に直接流入する。そして、筒状部内に流入した前記処理液は、筒状部の内周面とカソードとの隙間を通じて送液される間に電解されて再生処理される。再生処理されて再生処理部から排出された前記処理液は、戻し側導管を通じてデスミア処理槽に導かれる。
【００１０】
この構成では、電解再生槽内に処理液を貯留してこの処理液にカソード及びアノードを浸漬するという従来の構成とは異なり、デスミア処理槽から排出された処理液を、送り側導管を通じて筒状部に直接流入させる。そして、再生処理部において電解された処理液を、筒状部に接続された戻し側導管に直接流出させ、デスミア処理槽側に送液する。すなわち、この構成では、前記筒状部は、アノードとしての機能と、送り側導管と戻し側配管との間に介在し、アノードとカソードとの隙間を処理液が流れるようにするための流路としての機能とを兼ね備えている。したがって、この構成では、従来のような前記電解再生槽を必要としないので、電解再生処理装置を小型化することができ、しかも浴量を少なくすることができる。
【００１１】
（２）また、前記電解再生処理装置において、前記筒状部は、アノードとして機能する内周面を有する第１配管と、アノードとして機能する内周面を有する第２配管とを含み、前記カソードは、前記第１配管内に配設され、前記第１配管の内周面と離隔した状態で前記第１配管の延設方向に沿って延びる第１カソードと、前記第２配管内に配設され、前記第２配管の内周面と離隔した状態で前記第２配管の延設方向に沿って延びる第２カソードとを含んでいるのが好ましく、この場合において、前記第２配管は、その延設方向が前記第１配管の延設方向と平行で、かつ幅方向に前記第１配管と隣り合うように前記第１配管と並設されており、前記送り側導管の前記下流側端部は、第１配管の一端部に接続され、前記第１配管の他端部は、前記第２配管の一端部と連通しているのが好ましい。
【００１２】
この構成では、第１配管と第２配管の端部同士が連通していることにより、第１配管と第２配管とは、処理液が流通する１つの流路を形成している。すなわち、前記１つの流路は、送り側導管の下流側端部が接続される第１配管の一端部を処理液の入口とし、第１配管の他端部、第２配管の一端部及び第２配管の他端部の順に処理液が流れる流路である。そして、第２配管は、第１配管と平行に並設されている。したがって、この構成では、第１配管の流路長と第２配管の流路長とを足し合わせた長さの直線状の流路を１本の配管により形成する場合に比べて、電解再生処理の効率を同程度に維持しつつ、配管の延設方向の長さを小さくすることができる。
【００１３】
（３）また、第１配管と第２配管が前記１つの流路を形成している場合において、前記第２配管は、前記第１配管よりも上方に配置されているのが好ましい。
【００１４】
この構成では、下流側にある第２配管が上流側にある第１配管よりも上方に配置されているので、再生処理部において処理液が電解されることにより生じるガスは、処理液の流れる方向に逆らうことなく処理液の流れに沿って移動しながら再生処理部内を上昇することができる。これにより、電解により生じる前記ガスは、処理液の流れに沿って再生処理部の下流側に円滑に移動するので、再生処理部内に滞留するのが抑制される。
【００１５】
（４）前記電解再生処理装置において、前記筒状部は、アノードとして機能する内周面を有する第１配管と、アノードとして機能する内周面を有する第２配管とを含み、前記カソードは、前記第１配管内に配設され、前記第１配管の内周面と離隔した状態で前記第１配管の延設方向に沿って延びる第１カソードと、前記第２配管内に配設され、前記第２配管の内周面と離隔した状態で前記第２配管の延設方向に沿って延びる第２カソードとを含んでいるのが好ましく、この場合において、前記送り側導管の前記下流側端部は、第１配管の上流側端部と接続され、前記第１配管の下流側端部は、前記第２配管の上流側端部と接続されており、前記第２配管は、その延設方向が前記第１配管の延設方向と鋭角をなすように前記第１配管に対して傾斜した状態で配設されているのが好ましい。
【００１６】
この構成では、第１配管の下流側端部が第２配管の上流側端部と接続されていることにより、第１配管と第２配管とは、処理液が流通する１つの流路を形成している。すなわち、前記１つの流路は、送り側導管の下流側端部が接続される第１配管の上流側端部を処理液の入口とし、第１配管の下流側端部、第２配管の上流側端部及び第２配管の下流側端部の順に処理液が流れる流路である。そして、第２配管は、その延設方向が第１配管の延設方向と鋭角をなすように第１配管に対して傾斜した状態で配設されている。したがって、この構成では、第１配管の流路長と第２配管の流路長とを足し合わせた長さの直線状の流路を１本の配管により形成する場合に比べて、電解再生処理の効率を同程度に維持しつつ、配管の延設方向の長さを小さくすることができる。
【００１７】
（５）また、第１配管に対して傾斜した状態で第２配管が配設される場合において、前記第２配管は、前記第１配管よりも上方に配置されており、前記第１配管は、その下流側端部が上流側端部よりも高くなるように水平方向に対して傾斜しており、前記第２配管は、その下流側端部が上流側端部よりも高くなるように水平方向に対して傾斜しているのが好ましい。
【００１８】
この構成では、下流側にある第２配管が上流側にある第１配管よりも上方に配置されているので、再生処理部において処理液が電解されることにより生じるガスは、処理液の流れる方向に逆らうことなく処理液の流れに沿って移動しながら再生処理部内を上昇することができる。これにより、電解により生じる前記ガスは、処理液の流れに沿って再生処理部の下流側に円滑に移動するので、再生処理部内に滞留するのが抑制される。しかも、この構成では、各配管が上記のように水平方向に対して傾斜しているので、前記ガスが各配管内を下流側に向かってより円滑に移動しやすくなる。
【００１９】
（６）また、前記電解再生処理装置において、前記筒状部は、アノードとして機能する内周面を有する第１配管と、アノードとして機能する内周面を有する第２配管とを含み、前記カソードは、前記第１配管内に配設され、前記第１配管の内周面と離隔した状態で前記第１配管の延設方向に沿って延びる第１カソードと、前記第２配管内に配設され、前記第２配管の内周面と離隔した状態で前記第２配管の延設方向に沿って延びる第２カソードとを含んでいるのが好ましく、この場合において、前記送り側導管を流れる前記処理液が前記第１配管における前記延設方向の一端部及び前記第２配管における前記延設方向の一端部にそれぞれ導かれ、前記第１配管における前記延設方向の他端部及び前記第２配管における前記延設方向の他端部から前記処理液が前記戻し側導管に排出されるように構成されているのが好ましい。
【００２０】
この構成では、筒状部の第１配管と第２配管とが１つの流路を形成している上述の構成に比べて、電解再生処理の効率を向上させることができる。その理由について、処理液が過マンガン酸塩の水溶液である場合を例に挙げて説明する。
【００２１】
デスミア処理槽においてデスミア処理に用いられた処理液は、過マンガン酸塩の一部がマンガン酸塩に還元されている。デスミア処理槽から排出され、送り側導管を通じて再生処理部に送液された処理液は、筒状部の上流側から下流側に向かって流れる過程において、電解される。これにより、処理液中のマンガン酸塩は、酸化されて過マンガン酸塩となる。したがって、筒状部の下流側におけるマンガン酸塩の濃度は、筒状部の上流側におけるマンガン酸塩の濃度に比べて低くなるので、筒状部の下流側における電解再生処理の効率は、筒状部の上流側における電解再生処理の効率に比べて低くなる。
【００２２】
この構成では、前記送り側導管を流れる前記処理液は、前記第１配管における前記延設方向の一端部及び前記第２配管における前記延設方向の一端部にそれぞれ導かれるので、マンガン酸塩の濃度が高い電解再生処理前の処理液を、第１配管及び第２配管にそれぞれ流入させることができる。したがって、第１配管と第２配管が前記１つの流路を形成している上述の構成に比べて、電解再生処理の効率を向上させることができる。
【００２３】
（７）前記電解再生処理装置において、前記筒状部は、アノードとして機能する内周面を有する上流側第１配管とアノードとして機能する内周面を有する下流側第１配管とが直列に接続された第１配管ブロックと、アノードとして機能する内周面を有する上流側第２配管とアノードとして機能する内周面を有する下流側第２配管とが直列に接続された第２配管ブロックと、を含み、前記カソードは、前記上流側第１配管内に配設され、前記上流側第１配管の内周面と離隔した状態で前記上流側第１配管の延設方向に沿って延びる上流側第１カソードと、前記下流側第１配管内に配設され、前記下流側第１配管の内周面と離隔した状態で前記下流側第１配管の延設方向に沿って延びる下流側第１カソードと、前記上流側第２配管内に配設され、前記上流側第２配管の内周面と離隔した状態で前記上流側第２配管の延設方向に沿って延びる上流側第２カソードと、前記下流側第２配管内に配設され、前記下流側第２配管の内周面と離隔した状態で前記下流側第２配管の延設方向に沿って延びる下流側第２カソードと、を含んでいるのが好ましく、この場合において、前記送り側導管を流れる前記処理液が前記第１配管ブロックの上流側端部及び前記第２配管ブロックの上流側端部にそれぞれ導かれ、前記第１配管ブロックの下流側端部及び前記第２配管ブロックの下流側端部から前記処理液が前記戻し側導管に排出されるように、前記第１配管ブロックと前記第２配管ブロックが並列に接続されているのが好ましい。
【００２４】
この構成では、上流側配管と下流側配管とが直列に接続されることにより、単一の配管のみ（上流側配管のみ又は下流側配管のみ）の場合に比べて流路長が大きくなり電解再生処理能力が高められた配管ブロックを用いている。そして、必要とされる電解再生処理能力に応じた個数の前記配管ブロックを用いて再生処理部が構築される。その際には、送り側導管を流れる処理液が第１配管ブロックの上流側端部及び第２配管ブロックの上流側端部にそれぞれ導かれるように、第１配管ブロックと第２配管ブロックとは並列に接続される。したがって、電解再生処理前の処理液、すなわちマンガン酸塩の濃度が高い処理液を、第１配管ブロック及び第２配管ブロックにそれぞれ流入させることができる。よって、第１配管ブロックと第２配管ブロックとが直列に接続されて１つの流路を形成している構成に比べて、電解再生処理の効率を向上させることができる。
【００２５】
また、上流側配管と下流側配管とが直列に接続された配管ブロックを予め複数用意しておくことにより、再生処理部を構築する際には上記のように第１配管ブロックと第２配管ブロックとを並列に接続すればよいので、作業性を向上させることができる。
【００２６】
また、この構成では、送液用のポンプを設ける場合、送り側導管又は戻し側導管に１つのポンプを設けるだけで第１配管ブロック及び第２配管ブロックに処理液を流入させることができる。また、フィルターを設ける場合、戻し側導管に１つのフィルターを設けるだけで第１配管ブロック及び第２配管ブロックを通過した処理液を濾過することができる。したがって、部品点数を少なくすることができる。
【００２７】
（８）前記筒状部が第１配管ブロックと第２配管ブロックとを含む場合において、前記下流側第１配管は、その延設方向が前記上流側第１配管の延設方向と平行で、かつ幅方向に前記上流側第１配管と隣り合うように前記上流側第１配管と並設されており、前記下流側第２配管は、その延設方向が前記上流側第２配管と平行で、かつ幅方向に前記上流側第２配管と隣り合うように前記上流側第２配管と並設されているのが好ましい。
【００２８】
この構成では、第１ブロックにおいて下流側第１配管は上流側第１配管と平行に並設されており、第２ブロックにおいて下流側第２配管は上流側第２配管と平行に並設されている。すなわち、第１ブロックにおいて２つの配管がＵ字状に配置され、第２ブロックにおいて２つの配管がＵ字状に配置されているので、２つの配管を足し合わせた長さの直線状の流路を１本の配管により形成する場合に比べて、電解再生処理の効率を同程度に維持しつつ、配管の延設方向の長さを小さくすることができる。
【００２９】
（９）前記筒状部が第１配管ブロックと第２配管ブロックとを含む場合において、前記下流側第１配管は、その延設方向が前記上流側第１配管の延設方向と鋭角をなすように前記上流側第１配管に対して傾斜した状態で配設されており、前記下流側第２配管は、その延設方向が前記上流側第２配管の延設方向と鋭角をなすように前記上流側第２配管に対して傾斜した状態で配設されていてもよい。
【００３０】
この構成では、第１ブロックにおいて下流側第１配管は上流側第１配管に対して上記のように傾斜して配設され、第２ブロックにおいて下流側第２配管は上流側第２配管に対して上記のように傾斜して配設されている。すなわち、第１ブロックにおいて２つの配管がＶ字状に配置され、第２ブロックにおいて２つの配管がＶ字状に配置されているので、２つの配管を足し合わせた長さの直線状の流路を１本の配管により形成する場合に比べて、電解再生処理の効率を同程度に維持しつつ、配管の延設方向の長さを小さくすることができる。
【００３１】
（１０）前記電解再生処理装置において、前記第１配管ブロックへの前記処理液の流入を規制可能な第１バルブと、前記第２配管ブロックへの前記処理液の流入を規制可能な第２バルブと、をさらに備えているのが好ましい。
【００３２】
この構成では、例えば第１配管ブロックのメンテナンスを行う場合には、第１バルブを閉じて第１配管ブロックへの処理液の流入を規制することにより、第１配管ブロックの各配管や各カソードのメンテナンスを行うことができる。しかも、第１配管ブロックのメンテナンス中には、第１配管ブロックへの処理液の流入が規制されるので、第２配管ブロックは電解再生処理に使用可能である。
【００３３】
（１１）また、前記電解再生処理装置において、前記筒状部は、その延設方向の両端に開口部を有し、前記再生処理部は、各開口部の近傍に配設されたシール部材をさらに含んでいるのが好ましく、この場合において、前記シール部材は、前記カソードが挿通された貫通孔を有する筒形状をなし、前記筒状部の前記内周面と前記カソードとの間に介在し、絶縁材料により形成されているのが好ましい。
【００３４】
この構成では、筒状部における各開口部の近傍に配設されたシール部材の貫通孔にカソードを挿通することにより、カソードをアノード（筒状部の内周面）と絶縁した状態で筒状部に支持させることができる。
【００３５】
（１２）前記電解再生処理装置において、前記筒状部は、その延設方向の一端に開口部を有し、前記延設方向の他端が閉じられており、前記カソードは、前記筒状部の前記一端に取り付けられる基部と、前記開口部から前記筒状部内に挿入され、前記基部から前記筒状部の延設方向に沿って延びる延出部と、を含む構成であってもよい。
【００３６】
この構成では、筒状部の一端に開口部が設けられ、他端が閉じられている。したがって、カソードを筒状部に取り付ける際には、カソードの延出部を筒状部の開口部から筒状部内に挿入し、カソードの基部を筒状部の一端に取り付けることにより、延出部を筒状部内の所望の位置に位置決めできる。すなわち、カソードの取り付け作業は筒状部の一端においてのみ行えばよいので、筒状部の両端に開口部が設けられている場合に比べて、筒状部に対するカソードの取付作業や交換作業が容易になる。また、筒状部に対するカソードの取り付け部位が筒状部の一端のみであるので、筒状部の両端に開口部が設けられて筒状部に対する取り付け部位が両端にある場合に比べて、取り付け部位からの液漏れの可能性をより低減することができる。
【００３７】
（１３）前記電解再生処理装置において、前記再生処理部は、前記筒状部内に配置されるとともに前記筒状部と電気的に接続された補助アノードをさらに含み、前記補助アノードは、前記カソードと離隔した状態で前記カソードに対向配置されているのが好ましい。
【００３８】
この構成では、再生処理部は、補助アノードをさらに含んでいるので、アノードとして機能する部位が筒状部の内周面だけである場合に比べてアノードの面積が増加している。これにより、再生処理部への通電量を増やすことができるので、電解再生処理の能力を高めることができる。
【００３９】
（１４）前記電解再生処理装置において、前記補助アノードは、前記カソードの周りを囲むように前記カソードに沿って延びる筒形状を有し、複数の貫通孔を有しているのが好ましい。
【００４０】
この構成では、補助アノードは複数の貫通孔を有しているので、カソードの周りを囲むように補助アノードが筒状部内に配置されていても、処理液は複数の貫通孔を通じて筒状部の内周面にも到達する。したがって、筒状部の内周面は依然としてアノードとして機能する。そして、補助アノードは、カソードの周りを囲むようにカソードに沿って延びる筒形状を有しているので、カソードの周囲において効果的にアノードの表面積を増やすことができる。
【００４１】
（１５）前記電解再生処理装置において、前記カソードと前記筒状部の内周面との接触を防止するために前記カソードに取り付けられ、前記カソードから前記筒状部の内周面に向かう絶縁部材をさらに備えているのが好ましい。
【００４２】
この構成では、前記絶縁部材がカソードに取り付けられているので、例えばカソードが撓み変形するなどしてカソードが筒状部の内周面に近づく方向に移動した場合であっても、カソードが筒状部の内周面に接触する前に絶縁部材が筒状部の内周面に接触する。これにより、カソードと筒状部の内周面との接触を防止することができる。
【００４３】
（１６）前記電解再生処理装置において、前記筒状部の温度を調節するための温度調節部をさらに備えているのが好ましい。
【００４４】
この構成では、前記温度調節部を備えているので、再生処理部において電解再生処理時に熱が発生する場合であっても、処理液の温度が上昇するのを抑制できるので、処理液の温度上昇に起因する処理液の品質低下などの不具合が生じるのを抑制でき、処理液の温度上昇に起因する装置の不具合が生じるのを抑制できる。また、温度調節部が筒状部を冷却する冷却手段だけでなく、加熱手段も備えている場合には、処理液の温度をより精密に管理することができる。
【００４５】
（１７）前記電解再生処理装置において、前記再生処理部において生じる気体を排出するための気体排出バルブをさらに備えているのが好ましい。
【００４６】
この構成では、再生処理部において処理液が電解されることにより生じる気体を、前記気体排出バルブを通じて装置外に排出することができる。
【発明の効果】
【００４７】
以上説明したように、本発明によれば、電解再生処理装置を小型化することができ、しかも電解再生処理装置の浴量を少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る電解再生処理装置と、この電解再生処理装置が接続されたデスミア処理槽とを示す概略図である。
【図２】（Ａ）は、前記電解再生処理装置における再生処理部を拡大した概略図であり、（Ｂ）は、前記再生処理部における配管及びカソードを底面側から見た概略図である。
【図３】図１のデスミア処理槽に、フィルター及びポンプを備えた配管を接続した構成を示す概略図である。
【図４】前記電解再生処理装置における再生処理部の変形例を示す概略図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る電解再生処理装置の再生処理部を示す概略図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る電解再生処理装置の再生処理部及びその近傍を示す概略図である。
【図７】（Ａ）は、本発明の第４実施形態に係る電解再生装置の再生処理部及び温度調節部を示す概略図であり、（Ｂ）は、前記再生処理部及び前記温度調節部の変形例１を示す断面図であり、（Ｃ）は、前記再生処理部及び前記温度調節部の変形例２を示す概略図である。
【図８】第４実施形態における前記再生処理部及び前記温度調節部の変形例３を示す概略図である。
【図９】本発明の第５実施形態に係る電解再生処理装置の再生処理部を示す断面図である。
【図１０】（Ａ）は、第５実施形態における補助アノードの一例を示す斜視図であり、（Ｂ）は、第５実施形態における補助アノードの他の例を示す斜視図である。
【図１１】本発明の第６実施形態に係る電解再生処理装置の再生処理部及び気体排出バルブを示す概略図である。
【図１２】（Ａ）は本発明の第７実施形態に係る電解再生処理装置の再生処理部を示す平面図であり、（Ｂ）はその正面図であり、（Ｃ）は（Ｂ）のXIIC-XIIC線断面図である。
【図１３】第７実施形態における再生処理部を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４９】
以下、本発明の実施形態に係る電解再生処理装置について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００５０】
＜第１実施形態＞
図１に示すように、本発明の第１実施形態に係る電解再生処理装置１１は、プリント配線基板を製造する工程において、デスミア処理に用いられた処理液をスミアの除去に再利用するために、処理液を電解して再生するためのものである。以下では、処理液Ｌとして、過マンガン酸ナトリウムや過マンガン酸カリウムなどの過マンガン酸塩の溶液を用いる場合を例に挙げて説明する。この処理液Ｌは、デスミア処理槽１３に貯留されている。
【００５１】
プリント配線基板の基板部分を構成する図略の樹脂基板は、デスミア処理槽１３内の処理液に浸漬されてデスミア処理が施される。これにより、前記樹脂基板のスルーホールやビアに存在するスミアが処理液Ｌによって酸化され、スルーホールやビアからスミアが除去される。一方、デスミア処理に用いられた処理液Ｌ中では、過マンガン酸塩の一部が還元されてマンガン酸塩となる。したがって、この処理液をスミア除去に再利用するために、処理液Ｌは、電解再生処理装置１１において、マンガン酸塩を過マンガン酸塩に酸化する電解再生処理が施される。
【００５２】
図１に示すように、電解再生処理装置１１は、送り側導管１５と、戻し側導管１７と、再生処理部１９と、ポンプ４１と、フィルター４３とを備えている。
【００５３】
送り側導管１５の上流側端部１５ａは、デスミア処理槽１３の側面に接続されている。送り側導管１５の下流側端部１５ｂは、再生処理部１９の上流側端部に接続されている。
【００５４】
戻し側導管１７の上流側端部１７ａは、再生処理部１９の下流側端部に接続されている。戻し側導管１７の下流側端部１７ｂは、デスミア処理槽１３内に処理液Ｌを流入させることができる位置に配設されている。本実施形態では、戻し側導管１７の下流側端部１７ｂは、デスミア処理槽１３に貯留された処理液Ｌの液面の上方又は処理液Ｌ内に配置されている。
【００５５】
図２に示すように、再生処理部１９は、筒状部としての３つの配管２３と、各配管２３内に１本ずつ配設された合計３つのカソード２５とを含む。３つの配管２３は、第１配管２３１、第２配管２３２及び第３配管２３３により構成されている。
【００５６】
各配管２３は、軸方向に長い円筒形状を有している。各配管２３は、長手方向（延設方向）の両端に開口部を有している。これらの配管２３は、長手方向が鉛直方向に向き、互いに平行に配置されている。これらの配管２３は、水平方向に並んで配置されている。
【００５７】
各配管２３の内周面３１は、アノードとして機能する。各配管２３は、導電性を有する材料により形成されている。各配管２３を構成する材料としては、例えばステンレス鋼などの金属材料が挙げられる。ステンレス鋼としては、例えばＳＵＳ３１６などが例示できる。
【００５８】
図２（Ａ），（Ｂ）に示すように、各配管２３内には、カソード２５が配設されている。各カソード２５は、配管２３の内周面３１と離隔した状態で配管２３の長手方向に沿って延びている。各カソード２５の両端部は、配管２３の両端の開口部からそれぞれ突出している。カソード２５は、導電性を有する材料により形成されている。カソード２５を構成する材料としては、例えば銅などの金属材料が挙げられる。カソード２５は、例えばポリテトラフルオロエチレンなどの絶縁体（不導体）により表面の一部を被覆して、カソード２５の表面積を調節して用いることもできる。本実施形態では、カソード２５は、円柱形状を有しているが、これに限定されず、例えば角柱形状などの他の形状であってもよい。
【００５９】
各配管２３の両端の開口部近傍には、その内周面３１とカソード２５との間に介在するシール部材３９がそれぞれ配設されている。各シール部材３９は、貫通孔を有する円筒形状をなし、その貫通孔にカソード２５が挿通されている。各シール部材３９は、各配管２３の両端の開口部を液密な状態となるように塞いでいる。
【００６０】
各配管２３の両端に配設されたシール部材３９は、カソード２５を内周面（アノード）３１から離隔した状態で支持している。各シール部材３９は、再生処理部１９内を流れる処理液が各配管２３の両端の開口部から漏れるのを防止する役割と、カソード２５とアノード（内周面３１）とを絶縁する役割とを果たしている。各シール部材３９を構成する材料としては、例えば絶縁性を有する合成樹脂、合成ゴムなどが挙げられる。前記合成樹脂としては、例えばポリテトラフルオロエチレンなどが例示できる。
【００６１】
各配管２３及び各カソード２５は、長手方向に垂直な断面の形状が長手方向のほぼ全体にわたってほぼ一定である。したがって、各配管２３の内周面３１とこれに対応するカソード２５との隙間である流路の断面形状も長手方向のほぼ全体にわたってほぼ一定である。
【００６２】
３本の配管２３のうち、第１配管２３１は、最上流に位置し、第３配管２３３は、最下流に位置している。第１配管２３１は、送り側導管１５の下流側端部１５ｂが接続されている接続部２７を有している。この接続部２７は、第１配管２３１の一端部（上流側端部）２３１ａに設けられている。この接続部２７は、第１配管２３１の側面から半径方向（幅方向）外側に突出する円筒形状を有している。接続部２７は、シール部材３９よりも長手方向の内側に設けられている。
【００６３】
第１配管２３１の他端部（下流側側部）２３１ｂは、第２配管２３２の一端部（上流側側部）２３２ａと連結管３５を介して連通している。第２配管２３２の他端部（下流側端部）２３２ｂは、第３配管２３３の一端部（上流側端部）２３３ａと連結管３７を介して連通している。
【００６４】
第３配管２３３は、戻し側導管１７の上流側端部１７ａが接続されている接続部２９を有している。この接続部２９は、第３配管２３３の他端部（下流側端部）２３３ｂに設けられている。この接続部２９は、第３配管２３３の側面から半径方向（幅方向）外側に突出する円筒形状を有している。接続部２９は、シール部材３９よりも長手方向の内側に設けられている。
【００６５】
各配管２３の内周面３１とカソード２５との隙間は、処理液Ｌの流路となる。各配管２３内には、各シール部材３９よりも長手方向の内側に処理液Ｌの流路が形成されている。各配管２３の内側空間及び連結管３５，３７の内側空間は、接続部２７及び接続部２９を通してのみ外部と連通している。第１配管２３１、第２配管２３２及び第３配管２３３は、接続部２７から接続部２９まで連続する１つの流路を形成している。接続部２７を通じて第１配管２３１内に流入した処理液Ｌは、その全量が第１配管２３１、連結管３５、第２配管２３２、連結管３７及び第３配管２３３の順に再生処理部１９内を流れて接続部２９を通じて戻し側導管１７に流出する。
【００６６】
なお、各配管２３の一端部及び他端部とは、必ずしも各配管２３の長手方向の最も端に位置する部位とは限られない。すなわち、図２（Ａ）に示すように、各配管２３の一端部は、各配管２３内における処理液Ｌの流路のうち、上流側のほぼ端の位置に対応する部位をいい、各配管２３の他端部は、各配管２３内における処理液Ｌの流路のうち、下流側のほぼ端の位置に対応する部位をいう。
【００６７】
図１に示すように、再生処理部１９のアノードとカソード２５との間には整流器２１により電圧が印加される。整流器２１は、図略の外部電源に接続されている。整流器２１の負極は、各カソード２５の上端に接続されており、整流器２１の正極は、第１配管２３１の外周面に接続されている。各配管２３及び連結管３５，３７は、全体が導電性材料により構成されているので、整流器２１の正極が第１配管２３１の外周面に接続されることにより、各配管２３の内周面３１をアノードとして機能させることができる。
【００６８】
各カソード２５の長さ及び各配管２３の長さは、特に限定されるものではないが、長くなる程たわみ変形しやすくなるので、本実施形態のように複数の配管２３を連結し、各配管２３内にカソード２５を配設する構成にするのが好ましい。これにより、合計長さを大きくしつつ、各カソード２５及び各配管２３の長さを小さく抑えることができる。
【００６９】
カソード２５とアノード３１との距離（極間距離）は、近くなるほどカソード２５の表面に生成するマンガン酸塩の堆積に起因する短絡が生じやすくなる一方、遠くなるほど電流が流れにくくなり、使用電圧が高くなる傾向になる。したがって、これらの点を考慮して極間距離が調整されるのであるが、本実施形態では、送り側導管１５が第１配管２３１に直接接続され、各配管２３の内周面３１とカソード２５との隙間である流路に処理液が直接流入される構成であるので、従来のように電解再生槽を用いる場合に比べて、各配管２３内の流路を流れる処理液の流速を大きくすることができる。したがって、本実施形態では、カソード２５の表面に生成するマンガン酸塩を大きな流速の処理液の流れによってカソード２５の表面から除去する効果が従来に比べて高い。よって、本実施形態では、従来に比べて極間距離を小さくすることも可能になる。
【００７０】
各配管２３の内径は、再生処理部１９における液量（浴量）を小さくするという観点では、小さい方が好ましいが、上記したカソード２５との極間距離などを考慮して適宜設計される。
【００７１】
各配管２３内の流路を流れる処理液Ｌの流速は、例えば５〜１００ｍｍ／秒程度に調整されるのが好ましい。流速が５ｍｍ／秒以上であることにより、カソード２５の表面に生成するスラッジをカソード２５の表面から除去する（押し流す）優れた効果を得ることができる。一方、流速が１００ｍｍ／秒以下であることにより、カソード２５と処理液Ｌとの接触時間が短くなりすぎるのを抑制することができる。これにより、処理液Ｌを再生する効率が低くなりすぎるのを抑制できる。
【００７２】
なお、再生処理中（整流器２１からの通電中）は、各配管２３の流路を流れる処理液Ｌの流速を小さくし、再生処理が終了（通電停止）した後には、カソード２５の表面からスラッジを除去する目的で流速を大きくしてもよい。この制御は、例えば所定時間毎に繰り返してもよい。また、この制御は、図略の制御手段によって自動で実行してもよく、作業者が手動で実行してもよい。
【００７３】
また、配管２３毎に流速を異ならせてもよい。このように配管２３毎に流速を変えるには、例えば配管２３の内径を異ならせるなどの方法を採用できる。
【００７４】
また、各配管２３の外周面は、断熱性を向上させたり、たわみ変形を抑制したりする目的で他の部材によって被覆されていてもよい。
【００７５】
本実施形態では、上記のような構成を備えているので、電解再生処理装置１１の浴量は、デスミア処理槽１３の浴量よりも小さくすることができる。具体的には、電解再生処理装置１１の浴量とデスミア処理槽１３の浴量の比は、１：２〜１：２０程度であるのが好ましく、１：３〜１：１０程度であるのがより好ましい。なお、電解再生処理装置１１の浴量には、再生処理部１９の浴量だけでなく、送り側導管１５の浴量及び戻し側導管１７の浴量も含まれる。なお、電解再生槽を用いた従来の装置では、電解再生処理装置の浴量（電解再生槽の浴量、送り側導管１５の浴量及び戻し側導管１７の浴量）とデスミア処理槽の浴量の比は、２：１〜１：１程度である。
【００７６】
陽極電流密度は、１〜３０Ａ／ｄｍ２程度であるのが好ましい。陽極電流密度が１Ａ／ｄｍ２以上であることにより、アノードとカソード２５間の電位を、マンガン酸イオンを過マンガン酸イオンに電解する再生電位（ＭｎＯ４２−→ＭｎＯ４−＋ｅ）まで十分に到達させることができる。これにより、再生効率が低下するのを抑制できる。一方、陽極電流密度が３０Ａ／ｄｍ２以下であることにより、水素の発生を抑制することができるので、再生効率が低下するのを抑制できる。また、陰極電流密度は、０．３〜３００００Ａ／ｄｍ２程度であるのが好ましい。
【００７７】
アノード３１とカソード２５との面積比は、３：１〜１０００：１程度であるのが好ましい。この比率は、例えば、上述したようにカソード２５の表面の一部を絶縁体で被覆するなどして調節することができる。カソード２５の面積が大きくなると、カソード２５の表面に生成するスラッジの量が多くなるので、カソード２５の面積はアノード３１の面積に比べて小さくするのが好ましい。
【００７８】
再生処理部１９における電解再生温度（処理液Ｌの温度）は、処理液Ｌとして、過マンガン酸ナトリウムや過マンガン酸カリウムなどの過マンガン酸塩の溶液を用いる場合には、３０℃〜９０℃程度であるのが好ましい。処理液Ｌの温度は、例えば各配管２３を加熱したり、送り側導管１５や戻し側導管１７を加熱したりすることにより調整できる。加熱手段としては、例えば蒸気や電熱線などの加熱源を有するジャケットによって各配管２３、送り側導管１５、戻し側導管１７などを被覆する方法が挙げられる。
【００７９】
ポンプ４１は、送り側導管１５の途中に配設されている。ポンプ４１が駆動すると、処理液Ｌは、デスミア処理槽１３から排出され、送り側導管１５を通じて再生処理部１９の第１配管２３１に送液される。処理液Ｌは、第１配管２３１の接続部２７を通じて第１配管２３１内に流入する。処理液Ｌは、整流器２１によりカソード２５とアノード３１との間に電圧がかけられた状態で各配管２３の流路を流れる過程で電解処理される。再生処理部１９において電解処理されて再生された処理液Ｌは、第３配管２３３から排出され、戻し側導管１７を通じてデスミア処理槽１３に送液される。
【００８０】
フィルター４３は、戻し側導管１７の途中に配設されている。再生処理部１９においては、電解再生処理によってカソード２５の表面にスラッジ（二酸化マンガン）が生成する。このスラッジは、処理液Ｌの流れによってカソード２５の表面から除去され、処理液Ｌとともに戻し側導管１７に送られる。フィルター４３は、処理液Ｌ中に含まれるスラッジを捕獲する。フィルター４３は定期的に交換されるか、又はフィルター４３に付着したスラッジが定期的に除去される。
【００８１】
なお、フィルター４３は、戻し側導管１７に複数設けてもよい。また、戻し側導管１７にフィルター４３を設けるのに代えて、戻し側導管１７に図略のスラッジ除去用の小さな槽を設けてもよい。
【００８２】
図３は、図１のデスミア処理槽１３に、スラッジ除去用の配管４５をさらに設けた形態を示す概略図である。この配管４５には、フィルター４７及びポンプ４９が設けられている。配管４５の基端部４５ａは、デスミア処理槽１３の側面に接続されている。配管４５の先端部４５ｂは、デスミア処理槽１３の上方に配置されている。このような配管４５、ポンプ４９及びフィルター４７を設けることにより、スラッジの除去効率をさらに高めることができる。
【００８３】
図４は、電解再生処理装置１１における再生処理部１９の変形例を示す概略図である。この変形例における再生処理部１９は、第１配管２３１、第２配管２３２及び第３配管２３３が、上流側の接続部２７から下流側の接続部２９までつながる１つの流路を形成している点で、図２に示す再生処理部１９と同様であるが、この変形例の再生処理部１９は、下流側の配管２３が上流側の配管２３よりも上方に配置されている点で図２に示す再生処理部１９と異なっている。すなわち、第２配管２３２は、第１配管２３１よりも上方に配置されており、第３配管２３３は、第２配管２３２よりも上方に配置されている。また、各配管２３は、その長手方向が水平方向に対して僅かに傾斜するように配置されている。
【００８４】
具体的には、図４において、第１配管２３１は、接続部２７が設けられている上流側の部位よりも連結管３５が接続されている下流側の部位の方が上方に位置している（図４では、左斜め上方に傾斜している）。第２配管２３２は、連結管３５が接続されている上流側の部位よりも連結管３７が接続されている下流側の部位の方が上方に位置している（図４では、右斜め上方に傾斜している）。第３配管２３３は、連結管３７が接続されている上流側の部位よりも接続部２９が設けられている下流側の部位の方が上方に位置している（図４では、左斜め上方に傾斜している）。
【００８５】
したがって、この変形例では、電解により生じたガスは、処理液Ｌの流れに沿って再生処理部１９の下流側に移動し、第３配管２３３から排出されて戻し側導管１７を通じて処理液Ｌとともに下流側に送られる。そして、前記ガスは、戻し側導管１７の下流側端部１７ｂから排出され、必要に応じて捕集される。なお、再生処理部１９においてガス抜きをしてもよい。具体的には、例えば、再生処理部１９における配管２３や連結管３５，３７などにガス抜き用の排出口を別途設けてもよい。
【００８６】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る電解再生処理装置１１について説明する。図５は、第２実施形態に係る電解再生処理装置１１の再生処理部１９を示す概略図である。この第２実施形態の電解再生処理装置１１では、再生処理部１９以外の構成は、第１実施形態と同様であるので、その説明を省略する。
【００８７】
この第２実施形態では、送り側導管１５を流れる処理液Ｌは、第１配管２３１の上流側端部２３１ａ、第２配管２３２の上流側端部２３２ａ及び第３配管２３３の上流側端部２３３ａにそれぞれ導かれる。そして、処理液Ｌは、各配管２３内の流路を上流側から下流側に流れ、第１配管２３１の下流側端部２３１ｂ、第２配管２３２の下流側端部２３２ｂ及び第３配管２３３の下流側端部２３３ｂから戻し側導管１７に排出される。
【００８８】
図５に示すように、この第２実施形態では、再生処理部１９は、各配管２３の上流側端部２３１ａ，２３２ａ，２３３ａに連結された上流側分岐管部２３４と、各配管２３の下流側端部２３１ｂ，２３２ｂ，２３３ｂに連結された下流側分岐管部２３５とを有している。
【００８９】
上流側分岐管部２３４は、その上流側の部位が１本の管であり、下流側に向かう途中で３つの管に分岐した構造を有している。下流側分岐管部２３５は、その下流側の部位が１本の管であり、上流側に向かう途中で３つの管に分岐した構造を有している。上流側分岐管部２３４の上流側端部２３４ａは、送り側導管１５の下流側端部１５ｂに接続される。下流側分岐管部２３５の下流側端部２３５ｂは、戻し側導管１７の上流側端部１７ａに接続される。上流側分岐管部２３４の３つの下流側端部２３４ｂは、各配管２３の上流側端部２３１ａ，２３２ａ，２３３ａに接続されている。下流側分岐管部２３５の３つの上流側端部２３５ａは、各配管２３の下流側端部２３１ｂ，２３２ｂ，２３３ｂに接続されている。
【００９０】
各配管２３の内周面３１とカソード２５との隙間は、処理液Ｌの流路となる。各配管２３内には、各シール部材３９よりも長手方向の内側に処理液Ｌの流路が形成されている。各配管２３の内側空間、上流側分岐管部２３４の内部空間、及び下流側分岐管部２３５の内部空間は、上流側分岐管部２３４の上流側端部２３４ａ及び下流側分岐管部２３５の下流側端部２３５ｂを通してのみ外部と連通している。上流側分岐管部２３４の上流側端部２３４ａを通じて各配管２３内に流入した処理液Ｌは、その全量が下流側分岐管部２３５の下流側端部２３５ｂを通じて戻し側導管１７に流出する。
【００９１】
ポンプ４１は、第１実施形態と同様に、送り側導管１５に配設されている。すなわち、ポンプ４１は、分岐する手前の部位（分岐部よりも上流側の部位）に配設されているので、１台のポンプ４１によって各配管２３に処理液Ｌを送液できる。
【００９２】
また、この第２実施形態では、各配管２３内の流路を流れる処理液Ｌの流速を、第１実施形態における各配管２３内の流路を流れる処理液Ｌの流速と同じにした場合には、送り側導管１５及び戻し側導管１７を流れる処理液Ｌの流速を第１実施形態の場合の約３倍に高めることができる。これにより、第２実施形態では、第１実施形態に比べて再生処理部１９とデスミア処理槽１３との間を循環させる処理液Ｌの循環量を大きくできる。
【００９３】
なお、図５に示す形態では、再生処理部１９が上流側分岐管部２３４と、下流側分岐管部２３５とを有している場合を例示して説明したが、送り側導管１５及び戻し側導管１７が複数に分岐した構成であってもよい。具体的には、この場合、送り側導管１５は、分岐することにより形成された図略の３つの下流側端部を有し、これらの下流側端部が各配管２３の上流側端部に接続される。そして、戻し側導管１７は、分岐することにより形成された図略の３つの上流側端部を有し、これらの上流側端部が各配管２３の下流側端部に接続される。
【００９４】
＜第３実施形態＞
図６は、本発明の第３実施形態に係る電解再生処理装置１１の再生処理部１９を示す概略図である。図６に示すように、第３実施形態の電解再生処理装置１１は、再生処理部１９と、上流側分岐管２３４と、下流側分岐管２３５と、開閉バルブ６１，６２とを備えている。再生処理部１９は、第１配管ブロック１９１と、第２配管ブロック１９２と、第３配管ブロック１９３とを含む。各配管ブロックは、図４に示す再生処理部１９と同じ構造を有している。具体的には次の通りである。
【００９５】
第１配管ブロック１９１は、筒状部２３としての３つの配管２３１，２３２，２３３と、各配管内に１本ずつ配設された合計３つのカソード２５とを含む。第１配管ブロックの３つの配管は、上流側第１配管２３１、中央第１配管２３２及び下流側第１配管２３３である。これらの配管２３１，２３２，２３３は直列に接続されている。第１配管ブロックの３つのカソード２５は、配管２３１内に配設された上流側第１カソード２５１、配管２３２内に配設された中央第１カソード２５２及び配管２３３内に配設された下流側第１カソード２５３である。
【００９６】
第２配管ブロックについても同様であり、３つの配管は、直列に接続された上流側第２配管２３１、中央第２配管２３２及び下流側第２配管２３３であり、３つのカソードは、配管２３１内に配設された上流側第２カソード２５１、配管２３２内に配設された中央第２カソード２５２及び配管２３３内に配設された下流側第２カソード２５３である。
【００９７】
第３配管ブロックについても同様であり、３つの配管は、直列に接続された上流側第３配管２３１、中央第３配管２３２及び下流側第３配管２３３であり、３つのカソードは、配管２３１内に配設された上流側第３カソード２５１、配管２３２内に配設された中央第３カソード２５２及び配管２３３内に配設された下流側第３カソード２５３である。
【００９８】
第１配管ブロック１９１、第２配管ブロック１９２及び第３配管ブロック１９３は、上流側分岐管２３４及び下流側分岐管２３５によって並列に接続されている。上流側分岐管部２３４の上流側端部２３４ａは、送り側導管１５の下流側端部１５ｂに接続されている。下流側分岐管部２３５の下流側端部２３５ｂは、戻し側導管１７の上流側端部１７ａに接続されている。
【００９９】
送り側導管１５を流れる処理液Ｌは、上流側分岐管２３４により分岐し、第１配管ブロック１９１の上流側端部、第２配管ブロック１９２の上流側端部及び第３配管ブロック１９３の上流側端部にそれぞれ導かれる。各配管ブロックを通過した処理液Ｌは、第１配管ブロック１９１の下流側端部、第２配管ブロック１９２の下流側端部及び第３配管ブロック１９３の下流側端部から排出され、下流側分岐管２３５において合流し、戻し側導管１７に流出する。
【０１００】
各配管ブロックの上流側端部と上流側分岐管２３４との間には、開閉バルブ６１がそれぞれ設けられている。各配管ブロックの下流側端部と下流側分岐管２３５との間には、開閉バルブ６２がそれぞれ設けられている。各配管ブロックは、送り側導管１５及び戻り側導管１７に対して着脱可能である。具体的には、各配管ブロックの上流側端部は、開閉バルブ６１に接続された部分において着脱可能であり、各配管ブロックの下流側端部は、開閉バルブ６２に接続された部分において着脱可能である。
【０１０１】
上流側分岐管２３４は、その上流側の部位が１本の管であり、下流側に向かう途中で３つの管に分岐した構造を有している。下流側分岐管２３５は、その下流側の部位が１本の管であり、上流側に向かう途中で３つの管に分岐した構造を有している。
【０１０２】
第３実施形態では、例えば第１配管ブロック１９１のメンテナンスを行う場合には、第１配管ブロック１９１の開閉バルブ６１，６２を閉じた状態で第１配管ブロック１９１を開閉バルブ６１，６２から取り外す。第１配管ブロック１９１のメンテナンス中には、第２配管ブロック１９２及び第３配管ブロック１９３を電解再生処理に使用することができる。
【０１０３】
なお、第３実施形態では、各配管ブロックにおいて、各配管が互いに平行に並設されていてもよい。また、第３実施形態では、各配管ブロックにおいて、各配管が直線状に接続されていてもよい。
【０１０４】
＜第４実施形態＞
図７（Ａ）は、本発明の第４実施形態に係る電解再生装置における再生処理部１９の温度調節部７１を示す概略図である。図７（Ａ）に示すように、第４実施形態における温度調節部７１は、筒状部２３の各配管（図９では第３配管２３３）に巻き付けられたチューブ７１ａと、図略の送り機構とを含む。チューブ７１ａの内部は図略の送り機構により送り込まれる温度調節用流体（熱媒体）が流れる流路である。これにより、各筒状部２３を冷却及び／又は加熱することができるので、筒状部２３内を流れる処理液Ｌの温度を所望の範囲に調節することができる。温度調節用流体としては、水などの液体や空気などの気体を用いることができる。温度調節部７１は、温度調節用流体を循環させる経路をさらに備えているのが好ましい。
【０１０５】
図７（Ｂ）は、温度調節部７１の変形例１を示す断面図である。この変形例１における温度調節部７１は、筒状部２３の各配管（図９では第３配管２３３）に設けられたジャケット７１ｂと、図略の送り機構とを含む。ジャケット７１ｂは、各筒状部２３の外面との間に所定の隙間７１ｃをあけて筒状部２３の外面のほぼ全体を覆っている。隙間７１ｃは、図略の送り機構により送り込まれる温度調節用流体が流れる流路である。これにより、各筒状部２３を冷却及び／又は加熱することができる。温度調節部７１は、温度調節用流体を循環させる経路をさらに備えているのが好ましい。ジャケット７１ｂは、筒状部２３と一体成形されていてもよく、別体として成形された後に筒状部２３に取り付けられてもよい。
【０１０６】
図７（Ｃ）は、温度調節部７１の変形例２を示す概略図である。この変形例２における温度調節部７１は、筒状部２３の各配管（図９では第３配管２３３）の外面に設けられたフィン７１ｄを含む。フィン７１ｄは、各筒状部２３の外面から半径方向外側に起立する多数の起立片により構成されている。隣り合う起立片は互いに隙間をあけて配置されている。フィン７１ｄは、筒状部２３と一体成形されていてもよく、別体として成形された後に筒状部２３に取り付けられてもよい。
【０１０７】
このようなフィン７１ｄは大きな表面積を有しているので、筒状部２３の周囲の流体（空気など）との熱交換の効率を高めることができる。これにより、各筒状部２３を冷却することができる。また、フィン７１ｄに温風などを送ることにより、各筒状部２３を加熱することもできる。また、温度調節部７１は、フィン７１ｄに空気を送る図略の送風機をさらに備えているのが好ましい。これにより、温度調節の効率をさらに高めることができる。
【０１０８】
図８は、前記温度調節部の変形例３を示す概略図である。この変形例３では、温度調節部７１として冷却ファン７１ｅが再生処理部１９の近傍に配設されている。この冷却ファン７１ｅは、再生処理部１９に空気を送って再生処理部１９の筒状部２３を冷却することができる。
【０１０９】
＜第５実施形態＞
図９は、本発明の第５実施形態に係る電解再生処理装置１１の再生処理部１９を示す概略図である。図１０（Ａ）は、第５実施形態における補助アノード８１の一例を示す斜視図であり、図１０（Ｂ）は、第５実施形態における補助アノード８１の他の例を示す斜視図である。
【０１１０】
第５実施形態の再生処理部１９は、補助アノード８１を備えている。図９では、図２に示す再生処理部１９の第３配管２３３内に補助アノード８１を配設した状態を示している。図示を省略するが、補助アノード８１は、第１配管２３１及び第２配管２３２内にも配設されている。
【０１１１】
補助アノード８１は、カソード２５と離隔した状態でカソード２５に対向配置されている。補助アノード８１は、カソード２５の周りを囲むようにカソード２５に沿って延びる筒形状を有している。補助アノード８１は、筒状部２３の内周面３１に内接している。補助アノード８１は、筒状部２３の内周面３１に内接することにより筒状部２３の内周面３１と電気的に接続されている。
【０１１２】
補助アノード８１は、カソード２５の長手方向において、筒状部２３の上流側端部２３３ａに対応する位置から下流側端部２３３ｂに対応する位置まで設けられている。補助アノード８１は、全体にわたって複数の貫通孔８１ａが形成されている。このような複数の貫通孔８１ａが設けられていることにより、連結管３７を通じて補助アノード８１まで到達した処理液Ｌは、貫通孔８１ａを通じて補助アノード８１の内側に流入することができる。そして、処理液Ｌは、筒状部２３内において電解再生処理された後、貫通孔８１ａを通じて補助アノード８１の外側に流出し接続部２９から筒状部２３の外部に流出することができる。
【０１１３】
複数の貫通孔５１ｃが設けられた補助アノード８１としては、例えば図１０（Ａ）に示すような網状の導電性シートを円筒状に丸めたもの、図１０（Ｂ）に示すように導電性シートに複数の貫通孔５１ｃを形成したもの（パンチング板）などが例示できる。補助アノード８１は、導電性の材料により形成されている。導電性シートを構成する材料としては、例えばステンレス鋼、銅などの金属が挙げられるが、これに限定されず、他の金属であってもよく、金属以外の導電性材料であってもよい。ステンレス鋼としては例えばＳＵＳ３１６などが例示できる。
【０１１４】
補助アノード８１は、筒状部２３にカソード２５を取り付ける前に、筒状部２３の開口部から筒状部２３内に挿入される。その後、カソード２５が筒状部２３の端部に取り付けられる。
【０１１５】
なお、第５実施形態では、補助アノード８１の全体に複数の貫通孔８１ａが形成されている場合を例示したが、これに限定されない。複数の貫通孔８１ａは、補助アノード８１の一部分のみに形成されていてもよい。
【０１１６】
＜第６実施形態＞
図１１は、本発明の第６実施形態に係る電解再生処理装置の再生処理部１９を示す概略図である。図１１に示すように、第６実施形態では、図４に示す再生処理部１９にさらに気体排出バルブ８８を設けている。気体排出バルブ８８は接続部２９に設けられている。
【０１１７】
筒状部２３の各配管では、処理液Ｌが電解再生処理されることにより処理液Ｌ中のマンガン酸塩が過マンガン酸塩に再生される一方で、二酸化マンガン（ＭｎＯ２）を主成分とするスラッジがカソード２５の表面に生成する。このスラッジをカソード２５の表面から除去するために、再生処理部１９に定期的に過酸化水素溶液を流通させてカソード２５を洗浄する処理を行うのが好ましい。この洗浄処理を行うと、化学反応により気体が生成する。
【０１１８】
この第６実施形態では、気体排出バルブ８８が設けられているので、洗浄処理によって生じた気体を再生処理部１９の外部に排出することができる。気体排出バルブ８８としては、例えば接続部２９内の圧力が所定値を超えると開く圧力弁、自動制御される電磁弁などを用いることができる。
【０１１９】
特に、第６実施形態の再生処理部１９は、図１１に示すように接続部２９及び気体排出バルブ８８が上部に位置するように配置されているので、筒状部２３の各配管において発生した気体が処理液Ｌの流れ方向に沿って処理液Ｌとともに上方に送られ、接続部２９に到達する。したがって、発生した気体が筒状部２３内に滞留するなどの不具合が生じにくい。
【０１２０】
なお、洗浄処理の具体的な手順としては、例えばデスミア処理槽１３内に処理液Ｌの代わりに過酸化水素溶液を入れ、処理液Ｌを循環させる場合と同様にして過酸化水素溶液を再生処理部１９に流通させる方法が挙げられる。
【０１２１】
＜第７実施形態＞
図１２（Ａ）は本発明の第７実施形態に係る電解再生処理装置１１の再生処理部１９を示す平面図であり、図１２（Ｂ）はその正面図であり、図１２（Ｃ）は図１２（Ｂ）のXIIC-XIIC線断面図である。図１３は、第７実施形態における再生処理部１９を示す断面図である。
【０１２２】
第７実施形態における再生処理部１９では、筒状部２３の各配管は、その延設方向の一端に開口部を有し、延設方向の他端が閉じられている。また、この再生処理部１９におけるカソード２５は、筒状部２３の各配管の端部に取り付けられる基部２６と、配管の開口部から配管内に挿入され、基部２６から配管の延設方向に沿って延びる延出部２８と、基部２６の外面からこの外面に直交する方向に延出する配線接続部２４とを含む。
【０１２３】
再生処理部１９の筒状部２３は６つの配管を含み、これらの配管が直列に接続されている。筒状部２３の各配管は円筒形状を有している。筒状部２３の各配管は、長手方向（延設方向）において配管の大半の領域を占める円筒状の管本体部２３ａと、配管の長手方向の一端に設けられたフランジ部２３ｃと、このフランジ部２３ｃと管本体部２３ａとの間をつなぐ縮径部２３ｂとを含む。
【０１２４】
筒状部２３の各配管の長手方向の他端２３ｅ、すなわち管本体部２３ａの端部２３ｅは、開口しておらず閉じている。フランジ部２３ｃは、配管の開口部を囲むように半径方向外側に広がる円環状の部位である。縮径部２３ｂは、配管の一端の近傍において配管の内径及び外径を管本体部２３ａよりも小さくする役割を果たしている。これにより、フランジ部２３ｃの外径を小さくすることができるので、配管をコンパクトに形成することができ、また、開口部の開口径を小さくできるので、液漏れを防止する効果を高めることができる。
【０１２５】
最下部に位置する第１配管２３１の他端２３ｅ側の部位には、管本体部２３ａの下面から下方に延びる接続部２７が設けられている。この接続部２７は、前述した実施形態と同様に、送り側導管１５の下流側端部１５ｂが接続される。この接続部２７の先端にはフランジ部２７ａが設けられており、送り側導管１５の下流側端部１５ｂに設けられた図略のフランジ部と対向配置され、図略のボルト及びナットにより互いに連結される。第１配管２３１の下流側の部位は、その上部に位置する第２配管２３２の上流側の部位（第２配管２３２の他端２３ｅ側の部位）と連結管３５により連結されている。
【０１２６】
第２配管２３２とその上方に位置する第３配管２３３とは、上記と同様の連結管３５により第２配管２３２の下流側の部位と第３配管２３３の上流側の部位（第３配管２３３の他端２３ｅ側の部位）が連結されている。以降、同様にして隣り合う配管同士が連結されている。
【０１２７】
最上部の第６配管２３６の下流側の部位には、管本体部２３ａの上面から上方に延びる接続部２９が設けられている。この接続部２９は、前述した実施形態と同様に、戻し側導管１７の上流側端部１７ａが接続される。この接続部２９にも接続部２７と同様にフランジ部２９ａが設けられている。
【０１２８】
筒状部２３の各配管は、導電性を有する材料により形成されており、内周面３１がアノードとして機能する。導電性を有する材料としては、例えばステンレス鋼、銅などの金属が挙げられるが、これに限定されず、他の金属であってもよく、金属以外の導電性材料であってもよい。ステンレス鋼としては例えば耐アルカリ性などの耐薬品性に優れたＳＵＳ３１６などが例示できる。
【０１２９】
図１３に示すように、カソード２５の基部２６は、配管のフランジ部２３ｃに取り付けられるとともに配管の開口部を塞ぐ。延出部２８は、この基部２６から管本体部２３ａの延びる方向に沿って延びている。配線接続部２４は、整流器２１の配線が接続される。基部２６、延出部２８及び配線接続部２４は一体成形されている。
【０１３０】
基部２６は、配管のフランジ部２３ｃと同程度の外径を有する円盤形状を有している。基部２６は、基部２６と同程度の外径を有する円盤形状の絶縁パッキン９９を介してフランジ部２３ｃに対向配置されている。
【０１３１】
基部２６には周方向に沿って複数のねじ挿通孔２６ａが形成されている。フランジ部２３ｃには基部２６のねじ挿通孔２６ａに対応する位置に複数のねじ挿通孔２３ｄが形成されている。これらのねじ挿通孔２６ａ，２３ｄの位置を合わせた状態でこれらのねじ挿通孔２６ａ，２３ｄに円筒形状の絶縁スリーブ９５が挿入されている。各絶縁スリーブ９５にはボルト９３が挿入され、その先端部にはナット９７が螺合されている。
【０１３２】
ボルト９３と基部２６との間には円環状の絶縁ワッシャ９０及びワッシャ９３ａが介在している。ナット９７とフランジ部２３ｃとの間には円環状の絶縁ワッシャ９６及びワッシャ９７ａが介在している。このように配管の開口部は基部２６及び絶縁パッキン９９によって液密な状態で塞がれている。各絶縁部材を構成する材料としては、例えば絶縁性を有する材料を用いることができ、例えば合成樹脂、合成ゴムなどが挙げられる。前記合成樹脂としては、例えばポリテトラフルオロエチレンなどが例示できる。
【０１３３】
延出部２８は、基部２６の内面からこの内面に直交する方向に延出している。延出部２８は、管本体部２３ａのほぼ中心を通るように配置され、配管の内周面３１と離隔している。延出部２８は、管本体部２３ａの長手方向の中央を超えた位置まで延びている。延出部２８は、配管の他端２３ｅの近傍まで延びている。延出部２８は、棒状、板状などの形状を有している。
【０１３４】
延出部２８には、延出部２８と配管の内周面３１との接触を防止するために絶縁部材９４が取り付けられている。この絶縁部材９４は、延出部２８から配管の内周面３１に向かう方向に延びている。延出部２８が長尺である場合には、延出部２８が重力や処理液Ｌの流れに起因する圧力などによって撓み変形しやすくなるので、延出部２８の先端部２８ａ又はその近傍に絶縁部材９４が設けられているのが好ましい。
【０１３５】
絶縁部材９４は、延出部２８の先端部２８ａから管本体部２３ａの半径方向外側に延びている。絶縁部材９４の形状としては、管本体部２３ａの内周面３１に向かって延出部２８から両側に棒状に延びる形状、管本体部２３ａの内周面３１に向かって延出部２８から放射状（例えば十字状）に延びる形状、円盤形状などが挙げられるが、管本体部２３ａにおける処理液Ｌの流れを円滑にする点で棒状又は放射状の形状であるのが好ましい。
【０１３６】
この第７実施形態では、絶縁部材９４を延出部２８の先端部に設けているが、絶縁部材９４は、必ずしも延出部２８の先端部に設けられていなくてもよい。なお、長尺の延出部２８が撓み変形したときには、延出部２８の先端部の位置が最も大きく変化するので、本実施形態では、延出部２８の先端部に絶縁部材５３が設けられている。
【０１３７】
第７実施形態の再生処理部１９は、上述したように複数の配管が直列に連結されることにより、図１２（Ｂ）に示すようにジグザグな形状（蛇行した形状）を有し、全体として１つの流路を形成している。この再生処理部１９は、支持部材により図１２（Ｂ）に示される姿勢で支持されている。前記支持部材は、板状のベース部材９１と、このベース部材９１の両サイドから上方にそれぞれ延びる一対の起立部９２，９２とを有している。一方の起立部９２には、各配管が挿通されて支持される図略の６つの挿通孔が形成されており、他方の起立部９２には、各配管が挿通されて支持される図略の６つの挿通孔が形成されている。ベース部材９１は、四隅にボルト挿通用の貫通孔９８を有しており、装置内の所望の場所に図略のボルトによって固定される。
【０１３８】
また、第７実施形態では、筒状部２３の各配管は、その長手方向が水平方向に対して僅かに傾斜するように配置されている。具体的には、図１２（Ｂ）において、第１配管２３１は、接続部２７が設けられている上流側の部位よりも連結管３５が接続されている下流側の部位の方が上方に位置している（図１２（Ｂ）では、左斜め上方に傾斜している）。第２配管２３２は、上流側の部位よりも下流側の部位の方が上方に位置している（図１２（Ｂ）では、右斜め上方に傾斜している）。以下同様に、第３〜第６配管２３３〜２３６は、上流側の部位よりも下流側の部位の方が上方に位置している。
【０１３９】
筒状部２３の各配管の傾斜角度、すなわち水平方向に対して配管の長手方向（延設方向）がなす角度θは、図１２（Ｂ）に示す形態では３度であるが、これに限定されるものではない。角度θを大きくする程、配管内の気体が下流側に移動しやすくなるというメリットがある。一方、角度θを小さくする程、再生処理部１９における上下方向のサイズをコンパクトにすることができるというメリットがある。
【０１４０】
また、図１２（Ｂ）に示す形態では、筒状部２３において、隣り合う配管同士のなす角度、すなわち配管の長手方向同士のなす角度は６度であるが、これに限定されるものではない。再生処理部１９をコンパクトにすることを優先する場合には、隣り合う配管同士は、互いに平行に配置されるか、互いのなす角度が数度程度（例えば０度より大きく１０度未満）になるように一方の配管に対して他方の配管を傾斜させて配置するのがよい。一方、筒状部２３内の気体が下流側に移動しやすくなることを優先する場合には、隣り合う配管において、互いのなす角度が鋭角となるように、具体的には例えば１０度以上９０度未満となるように一方の配管に対して他方の配管を傾斜させて配置するのがよい。
【０１４１】
なお、第７実施形態では、図１２（Ｂ）に示すように第１配管を最も下に配置し、第６配管を最も上に配置（再生処理部１９を上下方向に設置）する場合を例示したが、これに限定されない。例えば各配管が同じ高さとなるように再生処理部１９を水平に配置してもよく、また、再生処理部１９を水平方向に対して傾斜するように配置してもよい。
【０１４２】
また、第７実施形態では、筒状部２３の各配管は、一端に開口部を有し、他端が閉じられているが、両端に開口部を有していてもよい。
【０１４３】
＜実施形態の概要＞
以上説明したように、前記実施形態では、送り側導管１５の下流側端部１５ｂが再生処理部１９における筒状部としての配管２３に接続されている。したがって、デスミア処理槽１３から排出された処理液Ｌは、送り側導管１５を通じて配管２３に直接流入する。そして、配管２３内に流入した処理液Ｌは、配管２３の内周面３１とカソード２５との隙間を通じて送液される間に電解されて再生処理される。再生処理されて再生処理部１９から排出された処理液Ｌは、戻し側導管１７を通じてデスミア処理槽１３に導かれる。
【０１４４】
したがって、前記実施形態では、従来のような前記電解再生槽を必要としないので、電解再生処理装置を小型化することができ、装置の設置面積を小さくできる。また、浴量を少なくすることができる。
【０１４５】
また、従来のように電解再生槽を用いる場合には、電解再生槽の浴量が大きく、カソード及びアノードの周りを流れる処理液Ｌの流速が小さい。したがって、カソード及びアノードの周りの処理液は置き換わりが十分ではなく、電解が効率よく行われていない。一方、前記実施形態では、デスミア処理槽１３から排出された処理液Ｌは、送り側導管１５を通じて配管２３に直接流入し、配管２３の内周面３１とカソード２５との隙間を通じて送液される。すなわち、前記実施形態では、処理液Ｌがカソード２５及びアノード３１に沿って流れるので、カソード２５及びアノード３１の周りの処理液Ｌは、効率よく置き換わり、効率よく電解される。
【０１４６】
また、前記実施形態では、処理液Ｌが送り側導管１５から配管２３に直接流入し、配管２３とカソード２５との隙間（流路）を処理液Ｌが流れる構成であるので、流路を流れる処理液Ｌの流速を大きくすることができる。また、処理液Ｌは、カソード２５の長手方向に沿って流れる。これにより、カソード２５の表面に生成するスラッジは、従来に比べて、処理液Ｌの流れによって押し流されやすくなる。これにより、カソード２５にスラッジが溜まりにくくなる。カソード２５の表面から押し流されたスラッジは、前述のフィルター４３などによって捕捉される。したがって、フィルター４３を定期的に交換するだけで長期間にわたって装置を安定して運転できる。
【０１４７】
また、前記実施形態では、電極のメンテナンスが容易である。例えば、配管の上流側及び下流側にバルブなどを設けておき、これらのバルブを閉じることにより、配管及びカソードを装置から取り外すことができる。そして、取り外された配管及びカソードを別のものと交換したり、カソードに付着したスラッジを除去したりする作業が容易に行える。
【０１４８】
また、前記第１実施形態では、第１配管２３１、第２配管２３２及び第３配管２３３は、処理液Ｌが流通する１つの流路を形成している。そして、各配管２３は、平行に並設されている。したがって、この第１実施形態では、第１配管２３１、第２配管２３２及び第３配管２３３の各流路長を足し合わせた長さの流路を１本の配管により形成する場合に比べて、電解再生処理の効率を同程度に維持しつつ、配管の延設方向の長さを小さくすることができる。
【０１４９】
また、前記第１実施形態の変形例では、第１配管２３１、第２配管２３２及び第３配管２３３が１つの流路を形成し、かつ、下流側の配管２３が上流側の配管２３よりも上方に配置されている。したがって、再生処理部１９において処理液Ｌが電解されることにより生じるガスは、処理液Ｌの流れる方向に逆らうことなく処理液Ｌの流れに沿って移動しながら再生処理部１９内を上昇することができる。これにより、電解により生じる前記ガスは、処理液Ｌの流れに沿って再生処理部１９の下流側に円滑に移動するので、再生処理部１９内に滞留するのが抑制される。
【０１５０】
また、第２実施形態では、マンガン酸塩の濃度が高い電解再生処理前の処理液Ｌを、第１配管２３１、第２配管２３２及び第３配管２３３にそれぞれ流入させることができるので、第１配管２３１、第２配管２３２及び第３配管２３３が１つの流路を形成している第１実施形態に比べて、電解再生処理の効率を向上させることができる。
【０１５１】
また、第１実施形態の変形例、第６実施形態及び第７実施形態では、前記筒状部は、アノードとして機能する内周面を有する第１配管と、アノードとして機能する内周面を有する第２配管とを含み、前記カソードは、前記第１配管内に配設され、前記第１配管の内周面と離隔した状態で前記第１配管の延設方向に沿って延びる第１カソードと、前記第２配管内に配設され、前記第２配管の内周面と離隔した状態で前記第２配管の延設方向に沿って延びる第２カソードとを含み、前記送り側導管の前記下流側端部は、第１配管の上流側端部と接続され、前記第１配管の下流側端部は、前記第２配管の上流側端部と接続されており、前記第２配管は、その延設方向が前記第１配管の延設方向と鋭角をなすように前記第１配管に対して傾斜した状態で配設されている。
【０１５２】
これらの構成では、第１配管の下流側端部が第２配管の上流側端部と接続されていることにより、第１配管と第２配管とは、処理液が流通する１つの流路を形成している。すなわち、前記１つの流路は、送り側導管の下流側端部が接続される第１配管の上流側端部を処理液の入口とし、第１配管の下流側端部、第２配管の上流側端部及び第２配管の下流側端部の順に処理液が流れる流路である。そして、第２配管は、その延設方向が第１配管の延設方向と鋭角をなすように第１配管に対して傾斜した状態で配設されている。したがって、この構成では、第１配管の流路長と第２配管の流路長とを足し合わせた長さの直線状の流路を１本の配管により形成する場合に比べて、電解再生処理の効率を同程度に維持しつつ、配管の延設方向の長さを小さくすることができる。
【０１５３】
また、第１実施形態の変形例、第６実施形態及び第７実施形態では、前記第２配管は、前記第１配管よりも上方に配置されており、前記第１配管は、その下流側端部が上流側端部よりも高くなるように水平方向に対して傾斜しており、前記第２配管は、その下流側端部が上流側端部よりも高くなるように水平方向に対して傾斜している。
【０１５４】
これらの構成では、下流側にある第２配管が上流側にある第１配管よりも上方に配置されているので、再生処理部において処理液が電解されることにより生じるガスは、処理液の流れる方向に逆らうことなく処理液の流れに沿って移動しながら再生処理部内を上昇することができる。これにより、電解により生じる前記ガスは、処理液の流れに沿って再生処理部の下流側に円滑に移動するので、再生処理部内に滞留するのが抑制される。しかも、この構成では、各配管が上記のように水平方向に対して傾斜しているので、前記ガスが各配管内を下流側に向かってより円滑に移動しやすくなる。
【０１５５】
また、第３実施形態では、前記筒状部は、アノードとして機能する内周面を有する上流側第１配管とアノードとして機能する内周面を有する下流側第１配管とが直列に接続された第１配管ブロックと、アノードとして機能する内周面を有する上流側第２配管とアノードとして機能する内周面を有する下流側第２配管とが直列に接続された第２配管ブロックと、を含み、前記カソードは、前記上流側第１配管内に配設され、前記上流側第１配管の内周面と離隔した状態で前記上流側第１配管の延設方向に沿って延びる上流側第１カソードと、前記下流側第１配管内に配設され、前記下流側第１配管の内周面と離隔した状態で前記下流側第１配管の延設方向に沿って延びる下流側第１カソードと、前記上流側第２配管内に配設され、前記上流側第２配管の内周面と離隔した状態で前記上流側第２配管の延設方向に沿って延びる上流側第２カソードと、前記下流側第２配管内に配設され、前記下流側第２配管の内周面と離隔した状態で前記下流側第２配管の延設方向に沿って延びる下流側第２カソードと、を含み、前記送り側導管を流れる前記処理液が前記第１配管ブロックの上流側端部及び前記第２配管ブロックの上流側端部にそれぞれ導かれ、前記第１配管ブロックの下流側端部及び前記第２配管ブロックの下流側端部から前記処理液が前記戻し側導管に排出されるように、前記第１配管ブロックと前記第２配管ブロックが並列に接続されている。
【０１５６】
これらの構成では、上流側配管と下流側配管とが直列に接続されることにより、単一の配管のみ（上流側配管のみ又は下流側配管のみ）の場合に比べて流路長が大きくなり電解再生処理能力が高められた配管ブロックを用いている。そして、必要とされる電解再生処理能力に応じた個数の前記配管ブロックを用いて再生処理部が構築される。その際には、送り側導管を流れる処理液が第１配管ブロックの上流側端部及び第２配管ブロックの上流側端部にそれぞれ導かれるように、第１配管ブロックと第２配管ブロックとは並列に接続される。したがって、電解再生処理前の処理液、すなわちマンガン酸塩の濃度が高い処理液を、第１配管ブロック及び第２配管ブロックにそれぞれ流入させることができる。よって、第１配管ブロックと第２配管ブロックとが直列に接続されて１つの流路を形成している構成に比べて、電解再生処理の効率を向上させることができる。
【０１５７】
また、上流側配管と下流側配管とが直列に接続された配管ブロックを予め複数用意しておくことにより、再生処理部を構築する際には上記のように第１配管ブロックと第２配管ブロックとを並列に接続すればよいので、作業性を向上させることができる。
【０１５８】
また、この構成では、送液用のポンプを設ける場合、送り側導管又は戻し側導管に１つのポンプを設けるだけで第１配管ブロック及び第２配管ブロックに処理液を流入させることができる。また、フィルターを設ける場合、戻し側導管に１つのフィルターを設けるだけで第１配管ブロック及び第２配管ブロックを通過した処理液を濾過することができる。したがって、部品点数を少なくすることができる。
【０１５９】
また、第３実施形態では、前記下流側第１配管は、その延設方向が前記上流側第１配管の延設方向と鋭角をなすように前記上流側第１配管に対して傾斜した状態で配設されており、前記下流側第２配管は、その延設方向が前記上流側第２配管の延設方向と鋭角をなすように前記上流側第２配管に対して傾斜した状態で配設されている。
【０１６０】
この構成では、第１ブロックにおいて下流側第１配管は上流側第１配管に対して上記のように傾斜して配設され、第２ブロックにおいて下流側第２配管は上流側第２配管に対して上記のように傾斜して配設されている。すなわち、第１ブロックにおいて２つの配管がＶ字状に配置され、第２ブロックにおいて２つの配管がＶ字状に配置されているので、２つの配管を足し合わせた長さの直線状の流路を１本の配管により形成する場合に比べて、電解再生処理の効率を同程度に維持しつつ、配管の延設方向の長さを小さくしてコンパクトにすることができる。
【０１６１】
また、第３実施形態では、前記第１配管ブロックへの前記処理液の流入を規制可能な第１バルブと、前記第２配管ブロックへの前記処理液の流入を規制可能な第２バルブと、をさらに備えている。
【０１６２】
この構成では、例えば第１配管ブロックのメンテナンスを行う場合には、第１バルブを閉じて第１配管ブロックへの処理液の流入を規制することにより、第１配管ブロックの各配管や各カソードのメンテナンスを行うことができる。しかも、第１配管ブロックのメンテナンス中には、第１配管ブロックへの処理液の流入が規制されるので、第２配管ブロックは電解再生処理に使用可能である。
【０１６３】
また、第７実施形態では、前記筒状部は、その延設方向の一端に開口部を有し、前記延設方向の他端が閉じられており、前記カソードは、前記筒状部の前記一端に取り付けられる基部と、前記開口部から前記筒状部内に挿入され、前記基部から前記筒状部の延設方向に沿って延びる延出部と、を含む構成である。
【０１６４】
この構成では、筒状部の一端に開口部が設けられ、他端が閉じられている。したがって、カソードを筒状部に取り付ける際には、カソードの延出部を筒状部の開口部から筒状部内に挿入し、カソードの基部を筒状部の一端に取り付けることにより、延出部を筒状部内の所望の位置に位置決めできる。すなわち、カソードの取り付け作業は筒状部の一端においてのみ行えばよいので、筒状部の両端に開口部が設けられている場合に比べて、筒状部に対するカソードの取付作業や交換作業が容易になる。また、筒状部に対するカソードの取り付け部位が筒状部の一端のみであるので、筒状部の両端に開口部が設けられて筒状部に対する取り付け部位が両端にある場合に比べて、取り付け部位からの液漏れの可能性をより低減することができる。
【０１６５】
第５実施形態では、前記再生処理部は、前記筒状部内に配置されるとともに前記筒状部と電気的に接続された補助アノードをさらに含み、前記補助アノードは、前記カソードと離隔した状態で前記カソードに対向配置されている。
【０１６６】
この構成では、再生処理部は、補助アノードをさらに含んでいるので、アノードとして機能する部位が筒状部の内周面だけである場合に比べてアノードの面積が増加している。これにより、再生処理部への通電量を増やすことができるので、電解再生処理の能力を高めることができる。
【０１６７】
また、第５実施形態では、前記補助アノードは、前記カソードの周りを囲むように前記カソードに沿って延びる筒形状を有し、複数の貫通孔を有している。
【０１６８】
この構成では、補助アノードは複数の貫通孔を有しているので、カソードの周りを囲むように補助アノードが筒状部内に配置されていても、処理液は複数の貫通孔を通じて筒状部の内周面にも到達する。したがって、筒状部の内周面は依然としてアノードとして機能する。そして、補助アノードは、カソードの周りを囲むようにカソードに沿って延びる筒形状を有しているので、カソードの周囲において効果的にアノードの表面積を増やすことができる。
【０１６９】
前記第７実施形態では、前記カソードと前記筒状部の内周面との接触を防止するために前記カソードに取り付けられ、前記カソードから前記筒状部の内周面に向かう絶縁部材をさらに備えている。
【０１７０】
この構成では、前記絶縁部材がカソードに取り付けられているので、例えばカソードが撓み変形するなどしてカソードが筒状部の内周面に近づく方向に移動した場合であっても、カソードが筒状部の内周面に接触する前に絶縁部材が筒状部の内周面に接触する。これにより、カソードと筒状部の内周面との接触を防止することができる。
【０１７１】
第４実施形態では、前記筒状部の温度を調節するための温度調節部をさらに備えている。
【０１７２】
この構成では、再生処理部において電解再生処理時に熱が発生する場合であっても、処理液の温度が上昇するのを抑制できるので、処理液の温度上昇に起因する処理液の品質低下などの不具合が生じるのを抑制でき、処理液の温度上昇に起因する装置の不具合が生じるのを抑制できる。また、温度調節部が筒状部を冷却する冷却手段だけでなく、加熱手段も備えている場合には、処理液の温度をより精密に管理することができる。
【０１７３】
第６実施形態では、前記再生処理部において生じる気体を排出するための気体排出バルブをさらに備えている。
【０１７４】
この構成では、再生処理部において処理液が電解されることにより生じる気体を、前記気体排出バルブを通じて装置外に排出することができる。
【０１７５】
＜その他の実施形態＞
以上、本発明の実施形態に係る表面処理装置について説明したが、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更、改良等が可能である。例えば、前記実施形態では、処理液として過マンガン酸塩の溶液を用いる場合を例に挙げて説明したが、これに限定されない。
【０１７６】
また、前記実施形態では、再生処理部における筒状部として円柱形状の配管を用いる場合を例に挙げて説明したが、これに限定されない。前記筒状部は、例えば角柱形状、円錐台形状、角錐台形状、樽形状、Ｕ字管形状などであってもよい。
【０１７７】
また、前記実施形態では、再生処理部が第１配管、第２配管及び第３配管の３つの配管を有している場合を例に挙げて説明したが、配管の数は１つ又は２つであってもよく、４つ以上であってもよい。
【０１７８】
また、前記第２実施形態では、デスミア処理槽に接続された１本の送り側導管が途中で分岐して各配管に接続されている場合を例に挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、デスミア処理槽に複数の送り側導管が接続され、各送り側導管が対応する配管に接続されていてもよい。具体的には、例えばデスミア処理槽１３の側面に３本の送り側導管１５が接続されており、これらのうちの一つの送り側導管１５の下流側端部１５ｂが第１配管２３１の上流側端部に接続され、他の送り側導管１５の下流側端部１５ｂが第２配管２３２の上流側端部に接続され、残り一つの送り側導管１５の下流側端部１５ｂが第３配管２３３の上流側端部に接続された構成であってもよい。この場合において、戻り側導管１７についても同様に３本設けられていてもよい。
【０１７９】
前記第５実施形態では、補助アノード５１がカソード２５の延出部２８の周囲全体を覆うような筒形状である場合を例示したが、これに限定されない。補助アノード５１は、カソード２５の延出部２８の全周ではなく、延出部２８の一部分にのみ対向している形態などであってもよい。また、補助アノード５１が配管の内周面３１に内接している場合を例示したが、これに限定されない。補助アノード５１は、補助アノード５１を配管の内周面３１と電気的に接続する他の手段が施されていれば、必ずしも内接している必要はなく、例えば配管の内周面３１に近接して配置されていたり、配管の内周面３１とカソード２５との中央付近に配置されていたりしてもよい。
【０１８０】
また、前記第５実施形態では、アノードの表面積を増やすために補助アノードを設ける場合を例示したが、例えばアノード配管の内周面に複数の凹凸を設けることによりアノードの表面積を増やすこともできる。また、表面に複数の凹凸が設けられた補助アノードを用いてもよい。
【０１８１】
また、前記第７実施形態では、基部２６と延出部２８と配線接続部２７とが一体成形されているカソード２５を例示したが、これに限定されない。例えば、基部２６と延出部２８とが別体で形成されていてもよい。さらに、基部２６を絶縁性の材料により形成する場合には、前述の絶縁パッキン５９を省略することができる。
【０１８２】
以下、実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【実施例】
【０１８３】
表１〜３の実施例１〜１５及び比較例１，２に示す各条件で電解再生処理を行った。この電解再生処理に用いた水溶液としては、次のものを用いた。各試験では、水溶液の温度を７５℃とした。
【０１８４】
（水溶液中の成分）
過マンガン酸ナトリウム：２５ｇ／リットル
マンガン酸ナトリウム：１５ｇ／リットル
水酸化ナトリウム：８０ｇ／リットル
また、実施例１〜１５の電解再生処理では、図１及び図２に示す電解再生処理装置１１を用いた。
【０１８５】
比較例１，２の電解再生処理では、特許文献１（特許第３３０１３４１号公報）の図１に示されるような電解再生槽に前記水溶液を貯留し、この水溶液中にアノード及びカソードを浸漬したものを用いた。比較例１，２では、電解再生槽に前記水溶液を供給する送り側導管を、電解再生槽の一側面に接続し、電解再生槽から排出される前記水溶液をデスミア処理槽に戻す戻し側導管を、前記一側面に対向する側面に接続した。
【０１８６】
各表中の電解再生処理装置内の液量とは、実施例１〜１５では、再生処理部１９、送り側導管１５及び戻し側導管１７に存在する水溶液の量を意味しており、比較例１，２では、電解再生槽、送り側導管及び戻し側導管に存在する水溶液の量を意味している。
【０１８７】
各表中の電極対ａとは、図２に示す第１配管２３１の内周面（アノード）３１とこの第１配管２３１内に配設されたカソード２５とを意味し、電極対ｂとは、第２配管２３２の内周面（アノード）３１とこの第２配管２３２内に配設されたカソード２５とを意味し、電極対ｃとは、第３配管２３３の内周面（アノード）３１とこの第３配管２３３内に配設されたカソード２５とを意味している。
【０１８８】
各表中の電極通過流速とは、カソード及びアノードの近傍において、前記水溶液が１秒間に進む距離（ｍｍ／秒）のことであり、次のようにして算出される値である。再生処理部において前記水溶液が通過する流路の断面積をＡｍｍ２とし、ポンプ流量をＢｍＬ／秒とするとき、電極通過流速は、次式で表される。
【０１８９】
電極通過流速（ｍｍ／秒）＝Ｂ×１０００÷Ａ
実施例１〜１５では、流路の断面積Ａは、配管２３の長手方向に垂直な断面における配管２３とカソード２５との隙間の面積である。また、比較例１，２では、送り側導管が接続された電解再生槽の前記一側面に平行な断面における前記水溶液の面積を、流路の断面積Ａとした。
【０１９０】
各表中の過マンガン酸ナトリウムの再生率（ｇ／ＡＨ）は、処理時間１時間当たりの再生量を、使用電流量（Ａ）で割った値である。過マンガン酸ナトリウム再生量（ｇ）は、処理時間１時間当たりの再生量を示している。過マンガン酸ナトリウム再生量（ｇ／リットル）は、処理時間１時間当たりの再生量をさらに総液量で割った値である。
【０１９１】
表中のスラッジ量とは、処理時間５時間経過後に再生処理部１９に溜まったスラッジの量を示している。
【０１９２】
【表１】
【０１９３】
【表２】
【０１９４】
【表３】
【０１９５】
各試験の結果を表１〜３に示す。
【０１９６】
再生処理部１９が前記水溶液を配管２３１に直接流入させる構成である実施例１〜１５では、再生処理部１９において前記水溶液が流れる流路の断面積Ａが小さいので、ポンプ４１の流量を変えることにより、表１〜表３に示すように電極通過流速を、例えば１ｍｍ／秒〜３００ｍｍ／秒の幅広い範囲で調整することができる。
【０１９７】
一方、比較例１，２のように前記電解再生槽にカソード及びアノードを浸漬する構成の場合には、流路の断面積Ａが大きくなるので、電極通過流速を実施例のように幅広い範囲で調整するのは困難である。したがって、比較例１，２のような構成の場合には、電極通過流速を５ｍｍ／秒以上や２５ｍｍ／秒以上に大きくするのは困難である。
【０１９８】
表３に示すように、比較例１，２では、前記水溶液が貯留された電解再生槽と、前記水溶液中に浸漬されたカソード及びアノードとによって再生処理部が構成されているので、再生処理部の液量は、デスミア処理槽における液量の１．５倍である。一方、実施例１〜１５では、再生処理部１９の配管２３１に前記水溶液を直接流入させる構成であるので、再生処理部１９の液量は、デスミア処理槽における液量の１／１０である。
【０１９９】
実施例１では、スラッジ量が１．０ｇであるのに対して、比較例１，２では、スラッジ量が３．２ｇと大きな値となっている。その理由は、実施例１では、電極通過流速が５ｍｍ／秒であるのに対して、比較例１，２では、電極通過流速が２ｍｍ／秒と小さいため、スラッジがカソードに蓄積しやすいからであると考えられる。
【０２００】
また、実施例２〜１４では、電極通過流速を２５ｍｍ／秒以上の大きな値に設定しているので、スラッジ量がさらに小さい値に低減されている。特に電極通過流速が１００ｍｍ／秒以上の場合には、カソードにはスラッジがほとんど蓄積されていない。
【０２０１】
また、実施例１３では、電極通過流速を３００ｍｍ／秒と大きな値に設定していることに起因して、過マンガン酸ナトリウム再生率が若干低くなっている。
【０２０２】
また、実施例１５では、電極通過流速を１ｍｍ／秒として比較例１，２の電極通過流速よりも小さな値に設定しているが、この場合であってもスラッジ量は２．６ｇであり、比較例１，２の３．２ｇよりも小さい。その理由は、実施例１５では、再生処理部１９において前記水溶液がカソード２５の長手方向に沿って流れるのに対して、比較例１，２では、再生処理部において前記水溶液がカソードの長手方向に対して略垂直な方向に流れることが関係しているものと推測される。
【０２０３】
比較例２では、陽極電流密度を３０Ａ／ｄｍ２という大きな値に設定している。このように陽極電流密度を大きくすると、過マンガン酸ナトリウムの再生率が小さくなる傾向にある。一方、実施例７では、陽極電流密度を比較例２と同じ値（３０Ａ／ｄｍ２）に設定している。この実施例７では、過マンガン酸ナトリウム再生率は、他の実施例よりも小さな値（１．２１ｇ／Ａ・時）となっているものの、比較例２に比べると、過マンガン酸ナトリウムの再生率の低下度合いが小さく抑えられている。このことから、実施例７では、比較例２に比べて、過マンガン酸ナトリウムを再生する効率が優れていると言える。
【０２０４】
また、比較例１，２では、電解再生槽を用いているので、総液量が大きくなる。したがって、過マンガン酸ナトリウム再生量（ｇ／リットル）が小さくなり、効率がわるい。
【符号の説明】
【０２０５】
１１ 電解再生処理装置
１３ デスミア処理槽
１５ 送り側導管
１７ 戻し側導管
１９ 再生処理部
２１ 整流器
２３ 配管
２３１ 第１配管
２３２ 第２配管
２３３ 第３配管
２５ カソード
２７，２９ 接続部
３１ 内周面（アノード）
３５，３７ 連結管
３９ シール部材
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線基板などを製造する製造工程において、デスミア処理に用いられる処理液を電解して再生するための電解再生処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線基板に用いられる樹脂基板にスルーホールやビアを形成する際には、ドリルやレーザーと樹脂との摩擦熱によって樹脂カスであるスミアが生成する。プリント配線基板の電気的接続信頼性を維持するためには、スルーホールやビアに生成したスミアを化学的処理方法などにより除去（デスミア処理）する必要がある。
【０００３】
一般に、前記化学的処理方法においては、過マンガン酸ナトリウムや過マンガン酸カリウムなどの過マンガン酸塩の溶液が処理液として用いられる。この処理液は、デスミア処理槽に貯留される。前記樹脂基板をデスミア処理槽内の処理液に浸漬してデスミア処理を施すと、スミアが酸化されてスルーホールやビアからスミアが除去される一方で、処理液中の過マンガン酸塩はマンガン酸塩となる。そして、この処理後の処理液をスミア除去に再利用するために、処理液中のマンガン酸塩を過マンガン酸塩にする電解再生処理が行われる。
【０００４】
従来の電解再生処理装置は、処理液を貯留する電解再生槽と、この電解再生槽内の処理液中に浸漬された電極と、デスミア処理槽から排出された処理液を電解再生槽に送液する送り側導管と、電解再生処理後の処理液をデスミア処理槽に送液する戻し側導管とを備えている。処理液は、デスミア処理槽と電解再生槽との間を循環する。このような電解再生処理装置では、再生効率を向上させるために、通常、電解再生槽内に複数の電極が配設される（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３３０１３４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記のように電解再生槽内に複数の電極を配設する方式では、電解再生槽の容量を大きくする必要があるので（デスミア処理槽の１〜２倍程度の容量）、電解再生槽を設置するための設置面積の確保が必要になるとともに、浴量が多くなる。
【０００７】
そこで、本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、小型化が可能で、しかも浴量を少なくすることができる電解再生処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）本発明の電解再生処理装置は、デスミア処理槽においてデスミア処理に用いられた処理液を電解して再生するためのものである。前記電解再生処理装置は、再生処理部と、送り側導管と、戻し側導管とを備えている。前記再生処理部は、アノードとして機能する内周面を有する筒状部と、前記筒状部内に配設され、前記内周面と離隔した状態で前記筒状部の延設方向に沿って延びるカソードとを含む。この再生処理部では、前記筒状部の前記内周面と前記カソードとの隙間を通じて前記処理液が送液される。前記送り側導管は、下流側端部が前記筒状部に接続され、前記デスミア処理槽から排出される前記処理液を前記再生処理部に導く。前記戻し側導管は、上流側端部が前記筒状部に接続され、前記再生処理部から排出される前記処理液を前記デスミア処理槽に導く。
【０００９】
この構成では、送り側導管の下流側端部が再生処理部の筒状部に接続される。したがって、デスミア処理槽から排出された処理液は、送り側導管を通じて筒状部に直接流入する。そして、筒状部内に流入した前記処理液は、筒状部の内周面とカソードとの隙間を通じて送液される間に電解されて再生処理される。再生処理されて再生処理部から排出された前記処理液は、戻し側導管を通じてデスミア処理槽に導かれる。
【００１０】
この構成では、電解再生槽内に処理液を貯留してこの処理液にカソード及びアノードを浸漬するという従来の構成とは異なり、デスミア処理槽から排出された処理液を、送り側導管を通じて筒状部に直接流入させる。そして、再生処理部において電解された処理液を、筒状部に接続された戻し側導管に直接流出させ、デスミア処理槽側に送液する。すなわち、この構成では、前記筒状部は、アノードとしての機能と、送り側導管と戻し側配管との間に介在し、アノードとカソードとの隙間を処理液が流れるようにするための流路としての機能とを兼ね備えている。したがって、この構成では、従来のような前記電解再生槽を必要としないので、電解再生処理装置を小型化することができ、しかも浴量を少なくすることができる。
【００１１】
（２）また、前記電解再生処理装置において、前記筒状部は、アノードとして機能する内周面を有する第１配管と、アノードとして機能する内周面を有する第２配管とを含み、前記カソードは、前記第１配管内に配設され、前記第１配管の内周面と離隔した状態で前記第１配管の延設方向に沿って延びる第１カソードと、前記第２配管内に配設され、前記第２配管の内周面と離隔した状態で前記第２配管の延設方向に沿って延びる第２カソードとを含んでいるのが好ましく、この場合において、前記第２配管は、その延設方向が前記第１配管の延設方向と平行で、かつ幅方向に前記第１配管と隣り合うように前記第１配管と並設されており、前記送り側導管の前記下流側端部は、第１配管の一端部に接続され、前記第１配管の他端部は、前記第２配管の一端部と連通しているのが好ましい。
【００１２】
この構成では、第１配管と第２配管の端部同士が連通していることにより、第１配管と第２配管とは、処理液が流通する１つの流路を形成している。すなわち、前記１つの流路は、送り側導管の下流側端部が接続される第１配管の一端部を処理液の入口とし、第１配管の他端部、第２配管の一端部及び第２配管の他端部の順に処理液が流れる流路である。そして、第２配管は、第１配管と平行に並設されている。したがって、この構成では、第１配管の流路長と第２配管の流路長とを足し合わせた長さの直線状の流路を１本の配管により形成する場合に比べて、電解再生処理の効率を同程度に維持しつつ、配管の延設方向の長さを小さくすることができる。
【００１３】
（３）また、第１配管と第２配管が前記１つの流路を形成している場合において、前記第２配管は、前記第１配管よりも上方に配置されているのが好ましい。
【００１４】
この構成では、下流側にある第２配管が上流側にある第１配管よりも上方に配置されているので、再生処理部において処理液が電解されることにより生じるガスは、処理液の流れる方向に逆らうことなく処理液の流れに沿って移動しながら再生処理部内を上昇することができる。これにより、電解により生じる前記ガスは、処理液の流れに沿って再生処理部の下流側に円滑に移動するので、再生処理部内に滞留するのが抑制される。
【００１５】
（４）前記電解再生処理装置において、前記筒状部は、アノードとして機能する内周面を有する第１配管と、アノードとして機能する内周面を有する第２配管とを含み、前記カソードは、前記第１配管内に配設され、前記第１配管の内周面と離隔した状態で前記第１配管の延設方向に沿って延びる第１カソードと、前記第２配管内に配設され、前記第２配管の内周面と離隔した状態で前記第２配管の延設方向に沿って延びる第２カソードとを含んでいるのが好ましく、この場合において、前記送り側導管の前記下流側端部は、第１配管の上流側端部と接続され、前記第１配管の下流側端部は、前記第２配管の上流側端部と接続されており、前記第２配管は、その延設方向が前記第１配管の延設方向と鋭角をなすように前記第１配管に対して傾斜した状態で配設されているのが好ましい。
【００１６】
この構成では、第１配管の下流側端部が第２配管の上流側端部と接続されていることにより、第１配管と第２配管とは、処理液が流通する１つの流路を形成している。すなわち、前記１つの流路は、送り側導管の下流側端部が接続される第１配管の上流側端部を処理液の入口とし、第１配管の下流側端部、第２配管の上流側端部及び第２配管の下流側端部の順に処理液が流れる流路である。そして、第２配管は、その延設方向が第１配管の延設方向と鋭角をなすように第１配管に対して傾斜した状態で配設されている。したがって、この構成では、第１配管の流路長と第２配管の流路長とを足し合わせた長さの直線状の流路を１本の配管により形成する場合に比べて、電解再生処理の効率を同程度に維持しつつ、配管の延設方向の長さを小さくすることができる。
【００１７】
（５）また、第１配管に対して傾斜した状態で第２配管が配設される場合において、前記第２配管は、前記第１配管よりも上方に配置されており、前記第１配管は、その下流側端部が上流側端部よりも高くなるように水平方向に対して傾斜しており、前記第２配管は、その下流側端部が上流側端部よりも高くなるように水平方向に対して傾斜しているのが好ましい。
【００１８】
この構成では、下流側にある第２配管が上流側にある第１配管よりも上方に配置されているので、再生処理部において処理液が電解されることにより生じるガスは、処理液の流れる方向に逆らうことなく処理液の流れに沿って移動しながら再生処理部内を上昇することができる。これにより、電解により生じる前記ガスは、処理液の流れに沿って再生処理部の下流側に円滑に移動するので、再生処理部内に滞留するのが抑制される。しかも、この構成では、各配管が上記のように水平方向に対して傾斜しているので、前記ガスが各配管内を下流側に向かってより円滑に移動しやすくなる。
【００１９】
（６）また、前記電解再生処理装置において、前記筒状部は、アノードとして機能する内周面を有する第１配管と、アノードとして機能する内周面を有する第２配管とを含み、前記カソードは、前記第１配管内に配設され、前記第１配管の内周面と離隔した状態で前記第１配管の延設方向に沿って延びる第１カソードと、前記第２配管内に配設され、前記第２配管の内周面と離隔した状態で前記第２配管の延設方向に沿って延びる第２カソードとを含んでいるのが好ましく、この場合において、前記送り側導管を流れる前記処理液が前記第１配管における前記延設方向の一端部及び前記第２配管における前記延設方向の一端部にそれぞれ導かれ、前記第１配管における前記延設方向の他端部及び前記第２配管における前記延設方向の他端部から前記処理液が前記戻し側導管に排出されるように構成されているのが好ましい。
【００２０】
この構成では、筒状部の第１配管と第２配管とが１つの流路を形成している上述の構成に比べて、電解再生処理の効率を向上させることができる。その理由について、処理液が過マンガン酸塩の水溶液である場合を例に挙げて説明する。
【００２１】
デスミア処理槽においてデスミア処理に用いられた処理液は、過マンガン酸塩の一部がマンガン酸塩に還元されている。デスミア処理槽から排出され、送り側導管を通じて再生処理部に送液された処理液は、筒状部の上流側から下流側に向かって流れる過程において、電解される。これにより、処理液中のマンガン酸塩は、酸化されて過マンガン酸塩となる。したがって、筒状部の下流側におけるマンガン酸塩の濃度は、筒状部の上流側におけるマンガン酸塩の濃度に比べて低くなるので、筒状部の下流側における電解再生処理の効率は、筒状部の上流側における電解再生処理の効率に比べて低くなる。
【００２２】
この構成では、前記送り側導管を流れる前記処理液は、前記第１配管における前記延設方向の一端部及び前記第２配管における前記延設方向の一端部にそれぞれ導かれるので、マンガン酸塩の濃度が高い電解再生処理前の処理液を、第１配管及び第２配管にそれぞれ流入させることができる。したがって、第１配管と第２配管が前記１つの流路を形成している上述の構成に比べて、電解再生処理の効率を向上させることができる。
【００２３】
（７）前記電解再生処理装置において、前記筒状部は、アノードとして機能する内周面を有する上流側第１配管とアノードとして機能する内周面を有する下流側第１配管とが直列に接続された第１配管ブロックと、アノードとして機能する内周面を有する上流側第２配管とアノードとして機能する内周面を有する下流側第２配管とが直列に接続された第２配管ブロックと、を含み、前記カソードは、前記上流側第１配管内に配設され、前記上流側第１配管の内周面と離隔した状態で前記上流側第１配管の延設方向に沿って延びる上流側第１カソードと、前記下流側第１配管内に配設され、前記下流側第１配管の内周面と離隔した状態で前記下流側第１配管の延設方向に沿って延びる下流側第１カソードと、前記上流側第２配管内に配設され、前記上流側第２配管の内周面と離隔した状態で前記上流側第２配管の延設方向に沿って延びる上流側第２カソードと、前記下流側第２配管内に配設され、前記下流側第２配管の内周面と離隔した状態で前記下流側第２配管の延設方向に沿って延びる下流側第２カソードと、を含んでいるのが好ましく、この場合において、前記送り側導管を流れる前記処理液が前記第１配管ブロックの上流側端部及び前記第２配管ブロックの上流側端部にそれぞれ導かれ、前記第１配管ブロックの下流側端部及び前記第２配管ブロックの下流側端部から前記処理液が前記戻し側導管に排出されるように、前記第１配管ブロックと前記第２配管ブロックが並列に接続されているのが好ましい。
【００２４】
この構成では、上流側配管と下流側配管とが直列に接続されることにより、単一の配管のみ（上流側配管のみ又は下流側配管のみ）の場合に比べて流路長が大きくなり電解再生処理能力が高められた配管ブロックを用いている。そして、必要とされる電解再生処理能力に応じた個数の前記配管ブロックを用いて再生処理部が構築される。その際には、送り側導管を流れる処理液が第１配管ブロックの上流側端部及び第２配管ブロックの上流側端部にそれぞれ導かれるように、第１配管ブロックと第２配管ブロックとは並列に接続される。したがって、電解再生処理前の処理液、すなわちマンガン酸塩の濃度が高い処理液を、第１配管ブロック及び第２配管ブロックにそれぞれ流入させることができる。よって、第１配管ブロックと第２配管ブロックとが直列に接続されて１つの流路を形成している構成に比べて、電解再生処理の効率を向上させることができる。
【００２５】
また、上流側配管と下流側配管とが直列に接続された配管ブロックを予め複数用意しておくことにより、再生処理部を構築する際には上記のように第１配管ブロックと第２配管ブロックとを並列に接続すればよいので、作業性を向上させることができる。
【００２６】
また、この構成では、送液用のポンプを設ける場合、送り側導管又は戻し側導管に１つのポンプを設けるだけで第１配管ブロック及び第２配管ブロックに処理液を流入させることができる。また、フィルターを設ける場合、戻し側導管に１つのフィルターを設けるだけで第１配管ブロック及び第２配管ブロックを通過した処理液を濾過することができる。したがって、部品点数を少なくすることができる。
【００２７】
（８）前記筒状部が第１配管ブロックと第２配管ブロックとを含む場合において、前記下流側第１配管は、その延設方向が前記上流側第１配管の延設方向と平行で、かつ幅方向に前記上流側第１配管と隣り合うように前記上流側第１配管と並設されており、前記下流側第２配管は、その延設方向が前記上流側第２配管と平行で、かつ幅方向に前記上流側第２配管と隣り合うように前記上流側第２配管と並設されているのが好ましい。
【００２８】
この構成では、第１ブロックにおいて下流側第１配管は上流側第１配管と平行に並設されており、第２ブロックにおいて下流側第２配管は上流側第２配管と平行に並設されている。すなわち、第１ブロックにおいて２つの配管がＵ字状に配置され、第２ブロックにおいて２つの配管がＵ字状に配置されているので、２つの配管を足し合わせた長さの直線状の流路を１本の配管により形成する場合に比べて、電解再生処理の効率を同程度に維持しつつ、配管の延設方向の長さを小さくすることができる。
【００２９】
（９）前記筒状部が第１配管ブロックと第２配管ブロックとを含む場合において、前記下流側第１配管は、その延設方向が前記上流側第１配管の延設方向と鋭角をなすように前記上流側第１配管に対して傾斜した状態で配設されており、前記下流側第２配管は、その延設方向が前記上流側第２配管の延設方向と鋭角をなすように前記上流側第２配管に対して傾斜した状態で配設されていてもよい。
【００３０】
この構成では、第１ブロックにおいて下流側第１配管は上流側第１配管に対して上記のように傾斜して配設され、第２ブロックにおいて下流側第２配管は上流側第２配管に対して上記のように傾斜して配設されている。すなわち、第１ブロックにおいて２つの配管がＶ字状に配置され、第２ブロックにおいて２つの配管がＶ字状に配置されているので、２つの配管を足し合わせた長さの直線状の流路を１本の配管により形成する場合に比べて、電解再生処理の効率を同程度に維持しつつ、配管の延設方向の長さを小さくすることができる。
【００３１】
（１０）前記電解再生処理装置において、前記第１配管ブロックへの前記処理液の流入を規制可能な第１バルブと、前記第２配管ブロックへの前記処理液の流入を規制可能な第２バルブと、をさらに備えているのが好ましい。
【００３２】
この構成では、例えば第１配管ブロックのメンテナンスを行う場合には、第１バルブを閉じて第１配管ブロックへの処理液の流入を規制することにより、第１配管ブロックの各配管や各カソードのメンテナンスを行うことができる。しかも、第１配管ブロックのメンテナンス中には、第１配管ブロックへの処理液の流入が規制されるので、第２配管ブロックは電解再生処理に使用可能である。
【００３３】
（１１）また、前記電解再生処理装置において、前記筒状部は、その延設方向の両端に開口部を有し、前記再生処理部は、各開口部の近傍に配設されたシール部材をさらに含んでいるのが好ましく、この場合において、前記シール部材は、前記カソードが挿通された貫通孔を有する筒形状をなし、前記筒状部の前記内周面と前記カソードとの間に介在し、絶縁材料により形成されているのが好ましい。
【００３４】
この構成では、筒状部における各開口部の近傍に配設されたシール部材の貫通孔にカソードを挿通することにより、カソードをアノード（筒状部の内周面）と絶縁した状態で筒状部に支持させることができる。
【００３５】
（１２）前記電解再生処理装置において、前記筒状部は、その延設方向の一端に開口部を有し、前記延設方向の他端が閉じられており、前記カソードは、前記筒状部の前記一端に取り付けられる基部と、前記開口部から前記筒状部内に挿入され、前記基部から前記筒状部の延設方向に沿って延びる延出部と、を含む構成であってもよい。
【００３６】
この構成では、筒状部の一端に開口部が設けられ、他端が閉じられている。したがって、カソードを筒状部に取り付ける際には、カソードの延出部を筒状部の開口部から筒状部内に挿入し、カソードの基部を筒状部の一端に取り付けることにより、延出部を筒状部内の所望の位置に位置決めできる。すなわち、カソードの取り付け作業は筒状部の一端においてのみ行えばよいので、筒状部の両端に開口部が設けられている場合に比べて、筒状部に対するカソードの取付作業や交換作業が容易になる。また、筒状部に対するカソードの取り付け部位が筒状部の一端のみであるので、筒状部の両端に開口部が設けられて筒状部に対する取り付け部位が両端にある場合に比べて、取り付け部位からの液漏れの可能性をより低減することができる。
【００３７】
（１３）前記電解再生処理装置において、前記再生処理部は、前記筒状部内に配置されるとともに前記筒状部と電気的に接続された補助アノードをさらに含み、前記補助アノードは、前記カソードと離隔した状態で前記カソードに対向配置されているのが好ましい。
【００３８】
この構成では、再生処理部は、補助アノードをさらに含んでいるので、アノードとして機能する部位が筒状部の内周面だけである場合に比べてアノードの面積が増加している。これにより、再生処理部への通電量を増やすことができるので、電解再生処理の能力を高めることができる。
【００３９】
（１４）前記電解再生処理装置において、前記補助アノードは、前記カソードの周りを囲むように前記カソードに沿って延びる筒形状を有し、複数の貫通孔を有しているのが好ましい。
【００４０】
この構成では、補助アノードは複数の貫通孔を有しているので、カソードの周りを囲むように補助アノードが筒状部内に配置されていても、処理液は複数の貫通孔を通じて筒状部の内周面にも到達する。したがって、筒状部の内周面は依然としてアノードとして機能する。そして、補助アノードは、カソードの周りを囲むようにカソードに沿って延びる筒形状を有しているので、カソードの周囲において効果的にアノードの表面積を増やすことができる。
【００４１】
（１５）前記電解再生処理装置において、前記カソードと前記筒状部の内周面との接触を防止するために前記カソードに取り付けられ、前記カソードから前記筒状部の内周面に向かう絶縁部材をさらに備えているのが好ましい。
【００４２】
この構成では、前記絶縁部材がカソードに取り付けられているので、例えばカソードが撓み変形するなどしてカソードが筒状部の内周面に近づく方向に移動した場合であっても、カソードが筒状部の内周面に接触する前に絶縁部材が筒状部の内周面に接触する。これにより、カソードと筒状部の内周面との接触を防止することができる。
【００４３】
（１６）前記電解再生処理装置において、前記筒状部の温度を調節するための温度調節部をさらに備えているのが好ましい。
【００４４】
この構成では、前記温度調節部を備えているので、再生処理部において電解再生処理時に熱が発生する場合であっても、処理液の温度が上昇するのを抑制できるので、処理液の温度上昇に起因する処理液の品質低下などの不具合が生じるのを抑制でき、処理液の温度上昇に起因する装置の不具合が生じるのを抑制できる。また、温度調節部が筒状部を冷却する冷却手段だけでなく、加熱手段も備えている場合には、処理液の温度をより精密に管理することができる。
【００４５】
（１７）前記電解再生処理装置において、前記再生処理部において生じる気体を排出するための気体排出バルブをさらに備えているのが好ましい。
【００４６】
この構成では、再生処理部において処理液が電解されることにより生じる気体を、前記気体排出バルブを通じて装置外に排出することができる。
【発明の効果】
【００４７】
以上説明したように、本発明によれば、電解再生処理装置を小型化することができ、しかも電解再生処理装置の浴量を少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る電解再生処理装置と、この電解再生処理装置が接続されたデスミア処理槽とを示す概略図である。
【図２】（Ａ）は、前記電解再生処理装置における再生処理部を拡大した概略図であり、（Ｂ）は、前記再生処理部における配管及びカソードを底面側から見た概略図である。
【図３】図１のデスミア処理槽に、フィルター及びポンプを備えた配管を接続した構成を示す概略図である。
【図４】前記電解再生処理装置における再生処理部の変形例を示す概略図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る電解再生処理装置の再生処理部を示す概略図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る電解再生処理装置の再生処理部及びその近傍を示す概略図である。
【図７】（Ａ）は、本発明の第４実施形態に係る電解再生装置の再生処理部及び温度調節部を示す概略図であり、（Ｂ）は、前記再生処理部及び前記温度調節部の変形例１を示す断面図であり、（Ｃ）は、前記再生処理部及び前記温度調節部の変形例２を示す概略図である。
【図８】第４実施形態における前記再生処理部及び前記温度調節部の変形例３を示す概略図である。
【図９】本発明の第５実施形態に係る電解再生処理装置の再生処理部を示す断面図である。
【図１０】（Ａ）は、第５実施形態における補助アノードの一例を示す斜視図であり、（Ｂ）は、第５実施形態における補助アノードの他の例を示す斜視図である。
【図１１】本発明の第６実施形態に係る電解再生処理装置の再生処理部及び気体排出バルブを示す概略図である。
【図１２】（Ａ）は本発明の第７実施形態に係る電解再生処理装置の再生処理部を示す平面図であり、（Ｂ）はその正面図であり、（Ｃ）は（Ｂ）のXIIC-XIIC線断面図である。
【図１３】第７実施形態における再生処理部を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４９】
以下、本発明の実施形態に係る電解再生処理装置について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００５０】
＜第１実施形態＞
図１に示すように、本発明の第１実施形態に係る電解再生処理装置１１は、プリント配線基板を製造する工程において、デスミア処理に用いられた処理液をスミアの除去に再利用するために、処理液を電解して再生するためのものである。以下では、処理液Ｌとして、過マンガン酸ナトリウムや過マンガン酸カリウムなどの過マンガン酸塩の溶液を用いる場合を例に挙げて説明する。この処理液Ｌは、デスミア処理槽１３に貯留されている。
【００５１】
プリント配線基板の基板部分を構成する図略の樹脂基板は、デスミア処理槽１３内の処理液に浸漬されてデスミア処理が施される。これにより、前記樹脂基板のスルーホールやビアに存在するスミアが処理液Ｌによって酸化され、スルーホールやビアからスミアが除去される。一方、デスミア処理に用いられた処理液Ｌ中では、過マンガン酸塩の一部が還元されてマンガン酸塩となる。したがって、この処理液をスミア除去に再利用するために、処理液Ｌは、電解再生処理装置１１において、マンガン酸塩を過マンガン酸塩に酸化する電解再生処理が施される。
【００５２】
図１に示すように、電解再生処理装置１１は、送り側導管１５と、戻し側導管１７と、再生処理部１９と、ポンプ４１と、フィルター４３とを備えている。
【００５３】
送り側導管１５の上流側端部１５ａは、デスミア処理槽１３の側面に接続されている。送り側導管１５の下流側端部１５ｂは、再生処理部１９の上流側端部に接続されている。
【００５４】
戻し側導管１７の上流側端部１７ａは、再生処理部１９の下流側端部に接続されている。戻し側導管１７の下流側端部１７ｂは、デスミア処理槽１３内に処理液Ｌを流入させることができる位置に配設されている。本実施形態では、戻し側導管１７の下流側端部１７ｂは、デスミア処理槽１３に貯留された処理液Ｌの液面の上方又は処理液Ｌ内に配置されている。
【００５５】
図２に示すように、再生処理部１９は、筒状部としての３つの配管２３と、各配管２３内に１本ずつ配設された合計３つのカソード２５とを含む。３つの配管２３は、第１配管２３１、第２配管２３２及び第３配管２３３により構成されている。
【００５６】
各配管２３は、軸方向に長い円筒形状を有している。各配管２３は、長手方向（延設方向）の両端に開口部を有している。これらの配管２３は、長手方向が鉛直方向に向き、互いに平行に配置されている。これらの配管２３は、水平方向に並んで配置されている。
【００５７】
各配管２３の内周面３１は、アノードとして機能する。各配管２３は、導電性を有する材料により形成されている。各配管２３を構成する材料としては、例えばステンレス鋼などの金属材料が挙げられる。ステンレス鋼としては、例えばＳＵＳ３１６などが例示できる。
【００５８】
図２（Ａ），（Ｂ）に示すように、各配管２３内には、カソード２５が配設されている。各カソード２５は、配管２３の内周面３１と離隔した状態で配管２３の長手方向に沿って延びている。各カソード２５の両端部は、配管２３の両端の開口部からそれぞれ突出している。カソード２５は、導電性を有する材料により形成されている。カソード２５を構成する材料としては、例えば銅などの金属材料が挙げられる。カソード２５は、例えばポリテトラフルオロエチレンなどの絶縁体（不導体）により表面の一部を被覆して、カソード２５の表面積を調節して用いることもできる。本実施形態では、カソード２５は、円柱形状を有しているが、これに限定されず、例えば角柱形状などの他の形状であってもよい。
【００５９】
各配管２３の両端の開口部近傍には、その内周面３１とカソード２５との間に介在するシール部材３９がそれぞれ配設されている。各シール部材３９は、貫通孔を有する円筒形状をなし、その貫通孔にカソード２５が挿通されている。各シール部材３９は、各配管２３の両端の開口部を液密な状態となるように塞いでいる。
【００６０】
各配管２３の両端に配設されたシール部材３９は、カソード２５を内周面（アノード）３１から離隔した状態で支持している。各シール部材３９は、再生処理部１９内を流れる処理液が各配管２３の両端の開口部から漏れるのを防止する役割と、カソード２５とアノード（内周面３１）とを絶縁する役割とを果たしている。各シール部材３９を構成する材料としては、例えば絶縁性を有する合成樹脂、合成ゴムなどが挙げられる。前記合成樹脂としては、例えばポリテトラフルオロエチレンなどが例示できる。
【００６１】
各配管２３及び各カソード２５は、長手方向に垂直な断面の形状が長手方向のほぼ全体にわたってほぼ一定である。したがって、各配管２３の内周面３１とこれに対応するカソード２５との隙間である流路の断面形状も長手方向のほぼ全体にわたってほぼ一定である。
【００６２】
３本の配管２３のうち、第１配管２３１は、最上流に位置し、第３配管２３３は、最下流に位置している。第１配管２３１は、送り側導管１５の下流側端部１５ｂが接続されている接続部２７を有している。この接続部２７は、第１配管２３１の一端部（上流側端部）２３１ａに設けられている。この接続部２７は、第１配管２３１の側面から半径方向（幅方向）外側に突出する円筒形状を有している。接続部２７は、シール部材３９よりも長手方向の内側に設けられている。
【００６３】
第１配管２３１の他端部（下流側側部）２３１ｂは、第２配管２３２の一端部（上流側側部）２３２ａと連結管３５を介して連通している。第２配管２３２の他端部（下流側端部）２３２ｂは、第３配管２３３の一端部（上流側端部）２３３ａと連結管３７を介して連通している。
【００６４】
第３配管２３３は、戻し側導管１７の上流側端部１７ａが接続されている接続部２９を有している。この接続部２９は、第３配管２３３の他端部（下流側端部）２３３ｂに設けられている。この接続部２９は、第３配管２３３の側面から半径方向（幅方向）外側に突出する円筒形状を有している。接続部２９は、シール部材３９よりも長手方向の内側に設けられている。
【００６５】
各配管２３の内周面３１とカソード２５との隙間は、処理液Ｌの流路となる。各配管２３内には、各シール部材３９よりも長手方向の内側に処理液Ｌの流路が形成されている。各配管２３の内側空間及び連結管３５，３７の内側空間は、接続部２７及び接続部２９を通してのみ外部と連通している。第１配管２３１、第２配管２３２及び第３配管２３３は、接続部２７から接続部２９まで連続する１つの流路を形成している。接続部２７を通じて第１配管２３１内に流入した処理液Ｌは、その全量が第１配管２３１、連結管３５、第２配管２３２、連結管３７及び第３配管２３３の順に再生処理部１９内を流れて接続部２９を通じて戻し側導管１７に流出する。
【００６６】
なお、各配管２３の一端部及び他端部とは、必ずしも各配管２３の長手方向の最も端に位置する部位とは限られない。すなわち、図２（Ａ）に示すように、各配管２３の一端部は、各配管２３内における処理液Ｌの流路のうち、上流側のほぼ端の位置に対応する部位をいい、各配管２３の他端部は、各配管２３内における処理液Ｌの流路のうち、下流側のほぼ端の位置に対応する部位をいう。
【００６７】
図１に示すように、再生処理部１９のアノードとカソード２５との間には整流器２１により電圧が印加される。整流器２１は、図略の外部電源に接続されている。整流器２１の負極は、各カソード２５の上端に接続されており、整流器２１の正極は、第１配管２３１の外周面に接続されている。各配管２３及び連結管３５，３７は、全体が導電性材料により構成されているので、整流器２１の正極が第１配管２３１の外周面に接続されることにより、各配管２３の内周面３１をアノードとして機能させることができる。
【００６８】
各カソード２５の長さ及び各配管２３の長さは、特に限定されるものではないが、長くなる程たわみ変形しやすくなるので、本実施形態のように複数の配管２３を連結し、各配管２３内にカソード２５を配設する構成にするのが好ましい。これにより、合計長さを大きくしつつ、各カソード２５及び各配管２３の長さを小さく抑えることができる。
【００６９】
カソード２５とアノード３１との距離（極間距離）は、近くなるほどカソード２５の表面に生成するマンガン酸塩の堆積に起因する短絡が生じやすくなる一方、遠くなるほど電流が流れにくくなり、使用電圧が高くなる傾向になる。したがって、これらの点を考慮して極間距離が調整されるのであるが、本実施形態では、送り側導管１５が第１配管２３１に直接接続され、各配管２３の内周面３１とカソード２５との隙間である流路に処理液が直接流入される構成であるので、従来のように電解再生槽を用いる場合に比べて、各配管２３内の流路を流れる処理液の流速を大きくすることができる。したがって、本実施形態では、カソード２５の表面に生成するマンガン酸塩を大きな流速の処理液の流れによってカソード２５の表面から除去する効果が従来に比べて高い。よって、本実施形態では、従来に比べて極間距離を小さくすることも可能になる。
【００７０】
各配管２３の内径は、再生処理部１９における液量（浴量）を小さくするという観点では、小さい方が好ましいが、上記したカソード２５との極間距離などを考慮して適宜設計される。
【００７１】
各配管２３内の流路を流れる処理液Ｌの流速は、例えば５〜１００ｍｍ／秒程度に調整されるのが好ましい。流速が５ｍｍ／秒以上であることにより、カソード２５の表面に生成するスラッジをカソード２５の表面から除去する（押し流す）優れた効果を得ることができる。一方、流速が１００ｍｍ／秒以下であることにより、カソード２５と処理液Ｌとの接触時間が短くなりすぎるのを抑制することができる。これにより、処理液Ｌを再生する効率が低くなりすぎるのを抑制できる。
【００７２】
なお、再生処理中（整流器２１からの通電中）は、各配管２３の流路を流れる処理液Ｌの流速を小さくし、再生処理が終了（通電停止）した後には、カソード２５の表面からスラッジを除去する目的で流速を大きくしてもよい。この制御は、例えば所定時間毎に繰り返してもよい。また、この制御は、図略の制御手段によって自動で実行してもよく、作業者が手動で実行してもよい。
【００７３】
また、配管２３毎に流速を異ならせてもよい。このように配管２３毎に流速を変えるには、例えば配管２３の内径を異ならせるなどの方法を採用できる。
【００７４】
また、各配管２３の外周面は、断熱性を向上させたり、たわみ変形を抑制したりする目的で他の部材によって被覆されていてもよい。
【００７５】
本実施形態では、上記のような構成を備えているので、電解再生処理装置１１の浴量は、デスミア処理槽１３の浴量よりも小さくすることができる。具体的には、電解再生処理装置１１の浴量とデスミア処理槽１３の浴量の比は、１：２〜１：２０程度であるのが好ましく、１：３〜１：１０程度であるのがより好ましい。なお、電解再生処理装置１１の浴量には、再生処理部１９の浴量だけでなく、送り側導管１５の浴量及び戻し側導管１７の浴量も含まれる。なお、電解再生槽を用いた従来の装置では、電解再生処理装置の浴量（電解再生槽の浴量、送り側導管１５の浴量及び戻し側導管１７の浴量）とデスミア処理槽の浴量の比は、２：１〜１：１程度である。
【００７６】
陽極電流密度は、１〜３０Ａ／ｄｍ２程度であるのが好ましい。陽極電流密度が１Ａ／ｄｍ２以上であることにより、アノードとカソード２５間の電位を、マンガン酸イオンを過マンガン酸イオンに電解する再生電位（ＭｎＯ４２−→ＭｎＯ４−＋ｅ）まで十分に到達させることができる。これにより、再生効率が低下するのを抑制できる。一方、陽極電流密度が３０Ａ／ｄｍ２以下であることにより、水素の発生を抑制することができるので、再生効率が低下するのを抑制できる。また、陰極電流密度は、０．３〜３００００Ａ／ｄｍ２程度であるのが好ましい。
【００７７】
アノード３１とカソード２５との面積比は、３：１〜１０００：１程度であるのが好ましい。この比率は、例えば、上述したようにカソード２５の表面の一部を絶縁体で被覆するなどして調節することができる。カソード２５の面積が大きくなると、カソード２５の表面に生成するスラッジの量が多くなるので、カソード２５の面積はアノード３１の面積に比べて小さくするのが好ましい。
【００７８】
再生処理部１９における電解再生温度（処理液Ｌの温度）は、処理液Ｌとして、過マンガン酸ナトリウムや過マンガン酸カリウムなどの過マンガン酸塩の溶液を用いる場合には、３０℃〜９０℃程度であるのが好ましい。処理液Ｌの温度は、例えば各配管２３を加熱したり、送り側導管１５や戻し側導管１７を加熱したりすることにより調整できる。加熱手段としては、例えば蒸気や電熱線などの加熱源を有するジャケットによって各配管２３、送り側導管１５、戻し側導管１７などを被覆する方法が挙げられる。
【００７９】
ポンプ４１は、送り側導管１５の途中に配設されている。ポンプ４１が駆動すると、処理液Ｌは、デスミア処理槽１３から排出され、送り側導管１５を通じて再生処理部１９の第１配管２３１に送液される。処理液Ｌは、第１配管２３１の接続部２７を通じて第１配管２３１内に流入する。処理液Ｌは、整流器２１によりカソード２５とアノード３１との間に電圧がかけられた状態で各配管２３の流路を流れる過程で電解処理される。再生処理部１９において電解処理されて再生された処理液Ｌは、第３配管２３３から排出され、戻し側導管１７を通じてデスミア処理槽１３に送液される。
【００８０】
フィルター４３は、戻し側導管１７の途中に配設されている。再生処理部１９においては、電解再生処理によってカソード２５の表面にスラッジ（二酸化マンガン）が生成する。このスラッジは、処理液Ｌの流れによってカソード２５の表面から除去され、処理液Ｌとともに戻し側導管１７に送られる。フィルター４３は、処理液Ｌ中に含まれるスラッジを捕獲する。フィルター４３は定期的に交換されるか、又はフィルター４３に付着したスラッジが定期的に除去される。
【００８１】
なお、フィルター４３は、戻し側導管１７に複数設けてもよい。また、戻し側導管１７にフィルター４３を設けるのに代えて、戻し側導管１７に図略のスラッジ除去用の小さな槽を設けてもよい。
【００８２】
図３は、図１のデスミア処理槽１３に、スラッジ除去用の配管４５をさらに設けた形態を示す概略図である。この配管４５には、フィルター４７及びポンプ４９が設けられている。配管４５の基端部４５ａは、デスミア処理槽１３の側面に接続されている。配管４５の先端部４５ｂは、デスミア処理槽１３の上方に配置されている。このような配管４５、ポンプ４９及びフィルター４７を設けることにより、スラッジの除去効率をさらに高めることができる。
【００８３】
図４は、電解再生処理装置１１における再生処理部１９の変形例を示す概略図である。この変形例における再生処理部１９は、第１配管２３１、第２配管２３２及び第３配管２３３が、上流側の接続部２７から下流側の接続部２９までつながる１つの流路を形成している点で、図２に示す再生処理部１９と同様であるが、この変形例の再生処理部１９は、下流側の配管２３が上流側の配管２３よりも上方に配置されている点で図２に示す再生処理部１９と異なっている。すなわち、第２配管２３２は、第１配管２３１よりも上方に配置されており、第３配管２３３は、第２配管２３２よりも上方に配置されている。また、各配管２３は、その長手方向が水平方向に対して僅かに傾斜するように配置されている。
【００８４】
具体的には、図４において、第１配管２３１は、接続部２７が設けられている上流側の部位よりも連結管３５が接続されている下流側の部位の方が上方に位置している（図４では、左斜め上方に傾斜している）。第２配管２３２は、連結管３５が接続されている上流側の部位よりも連結管３７が接続されている下流側の部位の方が上方に位置している（図４では、右斜め上方に傾斜している）。第３配管２３３は、連結管３７が接続されている上流側の部位よりも接続部２９が設けられている下流側の部位の方が上方に位置している（図４では、左斜め上方に傾斜している）。
【００８５】
したがって、この変形例では、電解により生じたガスは、処理液Ｌの流れに沿って再生処理部１９の下流側に移動し、第３配管２３３から排出されて戻し側導管１７を通じて処理液Ｌとともに下流側に送られる。そして、前記ガスは、戻し側導管１７の下流側端部１７ｂから排出され、必要に応じて捕集される。なお、再生処理部１９においてガス抜きをしてもよい。具体的には、例えば、再生処理部１９における配管２３や連結管３５，３７などにガス抜き用の排出口を別途設けてもよい。
【００８６】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る電解再生処理装置１１について説明する。図５は、第２実施形態に係る電解再生処理装置１１の再生処理部１９を示す概略図である。この第２実施形態の電解再生処理装置１１では、再生処理部１９以外の構成は、第１実施形態と同様であるので、その説明を省略する。
【００８７】
この第２実施形態では、送り側導管１５を流れる処理液Ｌは、第１配管２３１の上流側端部２３１ａ、第２配管２３２の上流側端部２３２ａ及び第３配管２３３の上流側端部２３３ａにそれぞれ導かれる。そして、処理液Ｌは、各配管２３内の流路を上流側から下流側に流れ、第１配管２３１の下流側端部２３１ｂ、第２配管２３２の下流側端部２３２ｂ及び第３配管２３３の下流側端部２３３ｂから戻し側導管１７に排出される。
【００８８】
図５に示すように、この第２実施形態では、再生処理部１９は、各配管２３の上流側端部２３１ａ，２３２ａ，２３３ａに連結された上流側分岐管部２３４と、各配管２３の下流側端部２３１ｂ，２３２ｂ，２３３ｂに連結された下流側分岐管部２３５とを有している。
【００８９】
上流側分岐管部２３４は、その上流側の部位が１本の管であり、下流側に向かう途中で３つの管に分岐した構造を有している。下流側分岐管部２３５は、その下流側の部位が１本の管であり、上流側に向かう途中で３つの管に分岐した構造を有している。上流側分岐管部２３４の上流側端部２３４ａは、送り側導管１５の下流側端部１５ｂに接続される。下流側分岐管部２３５の下流側端部２３５ｂは、戻し側導管１７の上流側端部１７ａに接続される。上流側分岐管部２３４の３つの下流側端部２３４ｂは、各配管２３の上流側端部２３１ａ，２３２ａ，２３３ａに接続されている。下流側分岐管部２３５の３つの上流側端部２３５ａは、各配管２３の下流側端部２３１ｂ，２３２ｂ，２３３ｂに接続されている。
【００９０】
各配管２３の内周面３１とカソード２５との隙間は、処理液Ｌの流路となる。各配管２３内には、各シール部材３９よりも長手方向の内側に処理液Ｌの流路が形成されている。各配管２３の内側空間、上流側分岐管部２３４の内部空間、及び下流側分岐管部２３５の内部空間は、上流側分岐管部２３４の上流側端部２３４ａ及び下流側分岐管部２３５の下流側端部２３５ｂを通してのみ外部と連通している。上流側分岐管部２３４の上流側端部２３４ａを通じて各配管２３内に流入した処理液Ｌは、その全量が下流側分岐管部２３５の下流側端部２３５ｂを通じて戻し側導管１７に流出する。
【００９１】
ポンプ４１は、第１実施形態と同様に、送り側導管１５に配設されている。すなわち、ポンプ４１は、分岐する手前の部位（分岐部よりも上流側の部位）に配設されているので、１台のポンプ４１によって各配管２３に処理液Ｌを送液できる。
【００９２】
また、この第２実施形態では、各配管２３内の流路を流れる処理液Ｌの流速を、第１実施形態における各配管２３内の流路を流れる処理液Ｌの流速と同じにした場合には、送り側導管１５及び戻し側導管１７を流れる処理液Ｌの流速を第１実施形態の場合の約３倍に高めることができる。これにより、第２実施形態では、第１実施形態に比べて再生処理部１９とデスミア処理槽１３との間を循環させる処理液Ｌの循環量を大きくできる。
【００９３】
なお、図５に示す形態では、再生処理部１９が上流側分岐管部２３４と、下流側分岐管部２３５とを有している場合を例示して説明したが、送り側導管１５及び戻し側導管１７が複数に分岐した構成であってもよい。具体的には、この場合、送り側導管１５は、分岐することにより形成された図略の３つの下流側端部を有し、これらの下流側端部が各配管２３の上流側端部に接続される。そして、戻し側導管１７は、分岐することにより形成された図略の３つの上流側端部を有し、これらの上流側端部が各配管２３の下流側端部に接続される。
【００９４】
＜第３実施形態＞
図６は、本発明の第３実施形態に係る電解再生処理装置１１の再生処理部１９を示す概略図である。図６に示すように、第３実施形態の電解再生処理装置１１は、再生処理部１９と、上流側分岐管２３４と、下流側分岐管２３５と、開閉バルブ６１，６２とを備えている。再生処理部１９は、第１配管ブロック１９１と、第２配管ブロック１９２と、第３配管ブロック１９３とを含む。各配管ブロックは、図４に示す再生処理部１９と同じ構造を有している。具体的には次の通りである。
【００９５】
第１配管ブロック１９１は、筒状部２３としての３つの配管２３１，２３２，２３３と、各配管内に１本ずつ配設された合計３つのカソード２５とを含む。第１配管ブロックの３つの配管は、上流側第１配管２３１、中央第１配管２３２及び下流側第１配管２３３である。これらの配管２３１，２３２，２３３は直列に接続されている。第１配管ブロックの３つのカソード２５は、配管２３１内に配設された上流側第１カソード２５１、配管２３２内に配設された中央第１カソード２５２及び配管２３３内に配設された下流側第１カソード２５３である。
【００９６】
第２配管ブロックについても同様であり、３つの配管は、直列に接続された上流側第２配管２３１、中央第２配管２３２及び下流側第２配管２３３であり、３つのカソードは、配管２３１内に配設された上流側第２カソード２５１、配管２３２内に配設された中央第２カソード２５２及び配管２３３内に配設された下流側第２カソード２５３である。
【００９７】
第３配管ブロックについても同様であり、３つの配管は、直列に接続された上流側第３配管２３１、中央第３配管２３２及び下流側第３配管２３３であり、３つのカソードは、配管２３１内に配設された上流側第３カソード２５１、配管２３２内に配設された中央第３カソード２５２及び配管２３３内に配設された下流側第３カソード２５３である。
【００９８】
第１配管ブロック１９１、第２配管ブロック１９２及び第３配管ブロック１９３は、上流側分岐管２３４及び下流側分岐管２３５によって並列に接続されている。上流側分岐管部２３４の上流側端部２３４ａは、送り側導管１５の下流側端部１５ｂに接続されている。下流側分岐管部２３５の下流側端部２３５ｂは、戻し側導管１７の上流側端部１７ａに接続されている。
【００９９】
送り側導管１５を流れる処理液Ｌは、上流側分岐管２３４により分岐し、第１配管ブロック１９１の上流側端部、第２配管ブロック１９２の上流側端部及び第３配管ブロック１９３の上流側端部にそれぞれ導かれる。各配管ブロックを通過した処理液Ｌは、第１配管ブロック１９１の下流側端部、第２配管ブロック１９２の下流側端部及び第３配管ブロック１９３の下流側端部から排出され、下流側分岐管２３５において合流し、戻し側導管１７に流出する。
【０１００】
各配管ブロックの上流側端部と上流側分岐管２３４との間には、開閉バルブ６１がそれぞれ設けられている。各配管ブロックの下流側端部と下流側分岐管２３５との間には、開閉バルブ６２がそれぞれ設けられている。各配管ブロックは、送り側導管１５及び戻り側導管１７に対して着脱可能である。具体的には、各配管ブロックの上流側端部は、開閉バルブ６１に接続された部分において着脱可能であり、各配管ブロックの下流側端部は、開閉バルブ６２に接続された部分において着脱可能である。
【０１０１】
上流側分岐管２３４は、その上流側の部位が１本の管であり、下流側に向かう途中で３つの管に分岐した構造を有している。下流側分岐管２３５は、その下流側の部位が１本の管であり、上流側に向かう途中で３つの管に分岐した構造を有している。
【０１０２】
第３実施形態では、例えば第１配管ブロック１９１のメンテナンスを行う場合には、第１配管ブロック１９１の開閉バルブ６１，６２を閉じた状態で第１配管ブロック１９１を開閉バルブ６１，６２から取り外す。第１配管ブロック１９１のメンテナンス中には、第２配管ブロック１９２及び第３配管ブロック１９３を電解再生処理に使用することができる。
【０１０３】
なお、第３実施形態では、各配管ブロックにおいて、各配管が互いに平行に並設されていてもよい。また、第３実施形態では、各配管ブロックにおいて、各配管が直線状に接続されていてもよい。
【０１０４】
＜第４実施形態＞
図７（Ａ）は、本発明の第４実施形態に係る電解再生装置における再生処理部１９の温度調節部７１を示す概略図である。図７（Ａ）に示すように、第４実施形態における温度調節部７１は、筒状部２３の各配管（図９では第３配管２３３）に巻き付けられたチューブ７１ａと、図略の送り機構とを含む。チューブ７１ａの内部は図略の送り機構により送り込まれる温度調節用流体（熱媒体）が流れる流路である。これにより、各筒状部２３を冷却及び／又は加熱することができるので、筒状部２３内を流れる処理液Ｌの温度を所望の範囲に調節することができる。温度調節用流体としては、水などの液体や空気などの気体を用いることができる。温度調節部７１は、温度調節用流体を循環させる経路をさらに備えているのが好ましい。
【０１０５】
図７（Ｂ）は、温度調節部７１の変形例１を示す断面図である。この変形例１における温度調節部７１は、筒状部２３の各配管（図９では第３配管２３３）に設けられたジャケット７１ｂと、図略の送り機構とを含む。ジャケット７１ｂは、各筒状部２３の外面との間に所定の隙間７１ｃをあけて筒状部２３の外面のほぼ全体を覆っている。隙間７１ｃは、図略の送り機構により送り込まれる温度調節用流体が流れる流路である。これにより、各筒状部２３を冷却及び／又は加熱することができる。温度調節部７１は、温度調節用流体を循環させる経路をさらに備えているのが好ましい。ジャケット７１ｂは、筒状部２３と一体成形されていてもよく、別体として成形された後に筒状部２３に取り付けられてもよい。
【０１０６】
図７（Ｃ）は、温度調節部７１の変形例２を示す概略図である。この変形例２における温度調節部７１は、筒状部２３の各配管（図９では第３配管２３３）の外面に設けられたフィン７１ｄを含む。フィン７１ｄは、各筒状部２３の外面から半径方向外側に起立する多数の起立片により構成されている。隣り合う起立片は互いに隙間をあけて配置されている。フィン７１ｄは、筒状部２３と一体成形されていてもよく、別体として成形された後に筒状部２３に取り付けられてもよい。
【０１０７】
このようなフィン７１ｄは大きな表面積を有しているので、筒状部２３の周囲の流体（空気など）との熱交換の効率を高めることができる。これにより、各筒状部２３を冷却することができる。また、フィン７１ｄに温風などを送ることにより、各筒状部２３を加熱することもできる。また、温度調節部７１は、フィン７１ｄに空気を送る図略の送風機をさらに備えているのが好ましい。これにより、温度調節の効率をさらに高めることができる。
【０１０８】
図８は、前記温度調節部の変形例３を示す概略図である。この変形例３では、温度調節部７１として冷却ファン７１ｅが再生処理部１９の近傍に配設されている。この冷却ファン７１ｅは、再生処理部１９に空気を送って再生処理部１９の筒状部２３を冷却することができる。
【０１０９】
＜第５実施形態＞
図９は、本発明の第５実施形態に係る電解再生処理装置１１の再生処理部１９を示す概略図である。図１０（Ａ）は、第５実施形態における補助アノード８１の一例を示す斜視図であり、図１０（Ｂ）は、第５実施形態における補助アノード８１の他の例を示す斜視図である。
【０１１０】
第５実施形態の再生処理部１９は、補助アノード８１を備えている。図９では、図２に示す再生処理部１９の第３配管２３３内に補助アノード８１を配設した状態を示している。図示を省略するが、補助アノード８１は、第１配管２３１及び第２配管２３２内にも配設されている。
【０１１１】
補助アノード８１は、カソード２５と離隔した状態でカソード２５に対向配置されている。補助アノード８１は、カソード２５の周りを囲むようにカソード２５に沿って延びる筒形状を有している。補助アノード８１は、筒状部２３の内周面３１に内接している。補助アノード８１は、筒状部２３の内周面３１に内接することにより筒状部２３の内周面３１と電気的に接続されている。
【０１１２】
補助アノード８１は、カソード２５の長手方向において、筒状部２３の上流側端部２３３ａに対応する位置から下流側端部２３３ｂに対応する位置まで設けられている。補助アノード８１は、全体にわたって複数の貫通孔８１ａが形成されている。このような複数の貫通孔８１ａが設けられていることにより、連結管３７を通じて補助アノード８１まで到達した処理液Ｌは、貫通孔８１ａを通じて補助アノード８１の内側に流入することができる。そして、処理液Ｌは、筒状部２３内において電解再生処理された後、貫通孔８１ａを通じて補助アノード８１の外側に流出し接続部２９から筒状部２３の外部に流出することができる。
【０１１３】
複数の貫通孔５１ｃが設けられた補助アノード８１としては、例えば図１０（Ａ）に示すような網状の導電性シートを円筒状に丸めたもの、図１０（Ｂ）に示すように導電性シートに複数の貫通孔５１ｃを形成したもの（パンチング板）などが例示できる。補助アノード８１は、導電性の材料により形成されている。導電性シートを構成する材料としては、例えばステンレス鋼、銅などの金属が挙げられるが、これに限定されず、他の金属であってもよく、金属以外の導電性材料であってもよい。ステンレス鋼としては例えばＳＵＳ３１６などが例示できる。
【０１１４】
補助アノード８１は、筒状部２３にカソード２５を取り付ける前に、筒状部２３の開口部から筒状部２３内に挿入される。その後、カソード２５が筒状部２３の端部に取り付けられる。
【０１１５】
なお、第５実施形態では、補助アノード８１の全体に複数の貫通孔８１ａが形成されている場合を例示したが、これに限定されない。複数の貫通孔８１ａは、補助アノード８１の一部分のみに形成されていてもよい。
【０１１６】
＜第６実施形態＞
図１１は、本発明の第６実施形態に係る電解再生処理装置の再生処理部１９を示す概略図である。図１１に示すように、第６実施形態では、図４に示す再生処理部１９にさらに気体排出バルブ８８を設けている。気体排出バルブ８８は接続部２９に設けられている。
【０１１７】
筒状部２３の各配管では、処理液Ｌが電解再生処理されることにより処理液Ｌ中のマンガン酸塩が過マンガン酸塩に再生される一方で、二酸化マンガン（ＭｎＯ２）を主成分とするスラッジがカソード２５の表面に生成する。このスラッジをカソード２５の表面から除去するために、再生処理部１９に定期的に過酸化水素溶液を流通させてカソード２５を洗浄する処理を行うのが好ましい。この洗浄処理を行うと、化学反応により気体が生成する。
【０１１８】
この第６実施形態では、気体排出バルブ８８が設けられているので、洗浄処理によって生じた気体を再生処理部１９の外部に排出することができる。気体排出バルブ８８としては、例えば接続部２９内の圧力が所定値を超えると開く圧力弁、自動制御される電磁弁などを用いることができる。
【０１１９】
特に、第６実施形態の再生処理部１９は、図１１に示すように接続部２９及び気体排出バルブ８８が上部に位置するように配置されているので、筒状部２３の各配管において発生した気体が処理液Ｌの流れ方向に沿って処理液Ｌとともに上方に送られ、接続部２９に到達する。したがって、発生した気体が筒状部２３内に滞留するなどの不具合が生じにくい。
【０１２０】
なお、洗浄処理の具体的な手順としては、例えばデスミア処理槽１３内に処理液Ｌの代わりに過酸化水素溶液を入れ、処理液Ｌを循環させる場合と同様にして過酸化水素溶液を再生処理部１９に流通させる方法が挙げられる。
【０１２１】
＜第７実施形態＞
図１２（Ａ）は本発明の第７実施形態に係る電解再生処理装置１１の再生処理部１９を示す平面図であり、図１２（Ｂ）はその正面図であり、図１２（Ｃ）は図１２（Ｂ）のXIIC-XIIC線断面図である。図１３は、第７実施形態における再生処理部１９を示す断面図である。
【０１２２】
第７実施形態における再生処理部１９では、筒状部２３の各配管は、その延設方向の一端に開口部を有し、延設方向の他端が閉じられている。また、この再生処理部１９におけるカソード２５は、筒状部２３の各配管の端部に取り付けられる基部２６と、配管の開口部から配管内に挿入され、基部２６から配管の延設方向に沿って延びる延出部２８と、基部２６の外面からこの外面に直交する方向に延出する配線接続部２４とを含む。
【０１２３】
再生処理部１９の筒状部２３は６つの配管を含み、これらの配管が直列に接続されている。筒状部２３の各配管は円筒形状を有している。筒状部２３の各配管は、長手方向（延設方向）において配管の大半の領域を占める円筒状の管本体部２３ａと、配管の長手方向の一端に設けられたフランジ部２３ｃと、このフランジ部２３ｃと管本体部２３ａとの間をつなぐ縮径部２３ｂとを含む。
【０１２４】
筒状部２３の各配管の長手方向の他端２３ｅ、すなわち管本体部２３ａの端部２３ｅは、開口しておらず閉じている。フランジ部２３ｃは、配管の開口部を囲むように半径方向外側に広がる円環状の部位である。縮径部２３ｂは、配管の一端の近傍において配管の内径及び外径を管本体部２３ａよりも小さくする役割を果たしている。これにより、フランジ部２３ｃの外径を小さくすることができるので、配管をコンパクトに形成することができ、また、開口部の開口径を小さくできるので、液漏れを防止する効果を高めることができる。
【０１２５】
最下部に位置する第１配管２３１の他端２３ｅ側の部位には、管本体部２３ａの下面から下方に延びる接続部２７が設けられている。この接続部２７は、前述した実施形態と同様に、送り側導管１５の下流側端部１５ｂが接続される。この接続部２７の先端にはフランジ部２７ａが設けられており、送り側導管１５の下流側端部１５ｂに設けられた図略のフランジ部と対向配置され、図略のボルト及びナットにより互いに連結される。第１配管２３１の下流側の部位は、その上部に位置する第２配管２３２の上流側の部位（第２配管２３２の他端２３ｅ側の部位）と連結管３５により連結されている。
【０１２６】
第２配管２３２とその上方に位置する第３配管２３３とは、上記と同様の連結管３５により第２配管２３２の下流側の部位と第３配管２３３の上流側の部位（第３配管２３３の他端２３ｅ側の部位）が連結されている。以降、同様にして隣り合う配管同士が連結されている。
【０１２７】
最上部の第６配管２３６の下流側の部位には、管本体部２３ａの上面から上方に延びる接続部２９が設けられている。この接続部２９は、前述した実施形態と同様に、戻し側導管１７の上流側端部１７ａが接続される。この接続部２９にも接続部２７と同様にフランジ部２９ａが設けられている。
【０１２８】
筒状部２３の各配管は、導電性を有する材料により形成されており、内周面３１がアノードとして機能する。導電性を有する材料としては、例えばステンレス鋼、銅などの金属が挙げられるが、これに限定されず、他の金属であってもよく、金属以外の導電性材料であってもよい。ステンレス鋼としては例えば耐アルカリ性などの耐薬品性に優れたＳＵＳ３１６などが例示できる。
【０１２９】
図１３に示すように、カソード２５の基部２６は、配管のフランジ部２３ｃに取り付けられるとともに配管の開口部を塞ぐ。延出部２８は、この基部２６から管本体部２３ａの延びる方向に沿って延びている。配線接続部２４は、整流器２１の配線が接続される。基部２６、延出部２８及び配線接続部２４は一体成形されている。
【０１３０】
基部２６は、配管のフランジ部２３ｃと同程度の外径を有する円盤形状を有している。基部２６は、基部２６と同程度の外径を有する円盤形状の絶縁パッキン９９を介してフランジ部２３ｃに対向配置されている。
【０１３１】
基部２６には周方向に沿って複数のねじ挿通孔２６ａが形成されている。フランジ部２３ｃには基部２６のねじ挿通孔２６ａに対応する位置に複数のねじ挿通孔２３ｄが形成されている。これらのねじ挿通孔２６ａ，２３ｄの位置を合わせた状態でこれらのねじ挿通孔２６ａ，２３ｄに円筒形状の絶縁スリーブ９５が挿入されている。各絶縁スリーブ９５にはボルト９３が挿入され、その先端部にはナット９７が螺合されている。
【０１３２】
ボルト９３と基部２６との間には円環状の絶縁ワッシャ９０及びワッシャ９３ａが介在している。ナット９７とフランジ部２３ｃとの間には円環状の絶縁ワッシャ９６及びワッシャ９７ａが介在している。このように配管の開口部は基部２６及び絶縁パッキン９９によって液密な状態で塞がれている。各絶縁部材を構成する材料としては、例えば絶縁性を有する材料を用いることができ、例えば合成樹脂、合成ゴムなどが挙げられる。前記合成樹脂としては、例えばポリテトラフルオロエチレンなどが例示できる。
【０１３３】
延出部２８は、基部２６の内面からこの内面に直交する方向に延出している。延出部２８は、管本体部２３ａのほぼ中心を通るように配置され、配管の内周面３１と離隔している。延出部２８は、管本体部２３ａの長手方向の中央を超えた位置まで延びている。延出部２８は、配管の他端２３ｅの近傍まで延びている。延出部２８は、棒状、板状などの形状を有している。
【０１３４】
延出部２８には、延出部２８と配管の内周面３１との接触を防止するために絶縁部材９４が取り付けられている。この絶縁部材９４は、延出部２８から配管の内周面３１に向かう方向に延びている。延出部２８が長尺である場合には、延出部２８が重力や処理液Ｌの流れに起因する圧力などによって撓み変形しやすくなるので、延出部２８の先端部２８ａ又はその近傍に絶縁部材９４が設けられているのが好ましい。
【０１３５】
絶縁部材９４は、延出部２８の先端部２８ａから管本体部２３ａの半径方向外側に延びている。絶縁部材９４の形状としては、管本体部２３ａの内周面３１に向かって延出部２８から両側に棒状に延びる形状、管本体部２３ａの内周面３１に向かって延出部２８から放射状（例えば十字状）に延びる形状、円盤形状などが挙げられるが、管本体部２３ａにおける処理液Ｌの流れを円滑にする点で棒状又は放射状の形状であるのが好ましい。
【０１３６】
この第７実施形態では、絶縁部材９４を延出部２８の先端部に設けているが、絶縁部材９４は、必ずしも延出部２８の先端部に設けられていなくてもよい。なお、長尺の延出部２８が撓み変形したときには、延出部２８の先端部の位置が最も大きく変化するので、本実施形態では、延出部２８の先端部に絶縁部材５３が設けられている。
【０１３７】
第７実施形態の再生処理部１９は、上述したように複数の配管が直列に連結されることにより、図１２（Ｂ）に示すようにジグザグな形状（蛇行した形状）を有し、全体として１つの流路を形成している。この再生処理部１９は、支持部材により図１２（Ｂ）に示される姿勢で支持されている。前記支持部材は、板状のベース部材９１と、このベース部材９１の両サイドから上方にそれぞれ延びる一対の起立部９２，９２とを有している。一方の起立部９２には、各配管が挿通されて支持される図略の６つの挿通孔が形成されており、他方の起立部９２には、各配管が挿通されて支持される図略の６つの挿通孔が形成されている。ベース部材９１は、四隅にボルト挿通用の貫通孔９８を有しており、装置内の所望の場所に図略のボルトによって固定される。
【０１３８】
また、第７実施形態では、筒状部２３の各配管は、その長手方向が水平方向に対して僅かに傾斜するように配置されている。具体的には、図１２（Ｂ）において、第１配管２３１は、接続部２７が設けられている上流側の部位よりも連結管３５が接続されている下流側の部位の方が上方に位置している（図１２（Ｂ）では、左斜め上方に傾斜している）。第２配管２３２は、上流側の部位よりも下流側の部位の方が上方に位置している（図１２（Ｂ）では、右斜め上方に傾斜している）。以下同様に、第３〜第６配管２３３〜２３６は、上流側の部位よりも下流側の部位の方が上方に位置している。
【０１３９】
筒状部２３の各配管の傾斜角度、すなわち水平方向に対して配管の長手方向（延設方向）がなす角度θは、図１２（Ｂ）に示す形態では３度であるが、これに限定されるものではない。角度θを大きくする程、配管内の気体が下流側に移動しやすくなるというメリットがある。一方、角度θを小さくする程、再生処理部１９における上下方向のサイズをコンパクトにすることができるというメリットがある。
【０１４０】
また、図１２（Ｂ）に示す形態では、筒状部２３において、隣り合う配管同士のなす角度、すなわち配管の長手方向同士のなす角度は６度であるが、これに限定されるものではない。再生処理部１９をコンパクトにすることを優先する場合には、隣り合う配管同士は、互いに平行に配置されるか、互いのなす角度が数度程度（例えば０度より大きく１０度未満）になるように一方の配管に対して他方の配管を傾斜させて配置するのがよい。一方、筒状部２３内の気体が下流側に移動しやすくなることを優先する場合には、隣り合う配管において、互いのなす角度が鋭角となるように、具体的には例えば１０度以上９０度未満となるように一方の配管に対して他方の配管を傾斜させて配置するのがよい。
【０１４１】
なお、第７実施形態では、図１２（Ｂ）に示すように第１配管を最も下に配置し、第６配管を最も上に配置（再生処理部１９を上下方向に設置）する場合を例示したが、これに限定されない。例えば各配管が同じ高さとなるように再生処理部１９を水平に配置してもよく、また、再生処理部１９を水平方向に対して傾斜するように配置してもよい。
【０１４２】
また、第７実施形態では、筒状部２３の各配管は、一端に開口部を有し、他端が閉じられているが、両端に開口部を有していてもよい。
【０１４３】
＜実施形態の概要＞
以上説明したように、前記実施形態では、送り側導管１５の下流側端部１５ｂが再生処理部１９における筒状部としての配管２３に接続されている。したがって、デスミア処理槽１３から排出された処理液Ｌは、送り側導管１５を通じて配管２３に直接流入する。そして、配管２３内に流入した処理液Ｌは、配管２３の内周面３１とカソード２５との隙間を通じて送液される間に電解されて再生処理される。再生処理されて再生処理部１９から排出された処理液Ｌは、戻し側導管１７を通じてデスミア処理槽１３に導かれる。
【０１４４】
したがって、前記実施形態では、従来のような前記電解再生槽を必要としないので、電解再生処理装置を小型化することができ、装置の設置面積を小さくできる。また、浴量を少なくすることができる。
【０１４５】
また、従来のように電解再生槽を用いる場合には、電解再生槽の浴量が大きく、カソード及びアノードの周りを流れる処理液Ｌの流速が小さい。したがって、カソード及びアノードの周りの処理液は置き換わりが十分ではなく、電解が効率よく行われていない。一方、前記実施形態では、デスミア処理槽１３から排出された処理液Ｌは、送り側導管１５を通じて配管２３に直接流入し、配管２３の内周面３１とカソード２５との隙間を通じて送液される。すなわち、前記実施形態では、処理液Ｌがカソード２５及びアノード３１に沿って流れるので、カソード２５及びアノード３１の周りの処理液Ｌは、効率よく置き換わり、効率よく電解される。
【０１４６】
また、前記実施形態では、処理液Ｌが送り側導管１５から配管２３に直接流入し、配管２３とカソード２５との隙間（流路）を処理液Ｌが流れる構成であるので、流路を流れる処理液Ｌの流速を大きくすることができる。また、処理液Ｌは、カソード２５の長手方向に沿って流れる。これにより、カソード２５の表面に生成するスラッジは、従来に比べて、処理液Ｌの流れによって押し流されやすくなる。これにより、カソード２５にスラッジが溜まりにくくなる。カソード２５の表面から押し流されたスラッジは、前述のフィルター４３などによって捕捉される。したがって、フィルター４３を定期的に交換するだけで長期間にわたって装置を安定して運転できる。
【０１４７】
また、前記実施形態では、電極のメンテナンスが容易である。例えば、配管の上流側及び下流側にバルブなどを設けておき、これらのバルブを閉じることにより、配管及びカソードを装置から取り外すことができる。そして、取り外された配管及びカソードを別のものと交換したり、カソードに付着したスラッジを除去したりする作業が容易に行える。
【０１４８】
また、前記第１実施形態では、第１配管２３１、第２配管２３２及び第３配管２３３は、処理液Ｌが流通する１つの流路を形成している。そして、各配管２３は、平行に並設されている。したがって、この第１実施形態では、第１配管２３１、第２配管２３２及び第３配管２３３の各流路長を足し合わせた長さの流路を１本の配管により形成する場合に比べて、電解再生処理の効率を同程度に維持しつつ、配管の延設方向の長さを小さくすることができる。
【０１４９】
また、前記第１実施形態の変形例では、第１配管２３１、第２配管２３２及び第３配管２３３が１つの流路を形成し、かつ、下流側の配管２３が上流側の配管２３よりも上方に配置されている。したがって、再生処理部１９において処理液Ｌが電解されることにより生じるガスは、処理液Ｌの流れる方向に逆らうことなく処理液Ｌの流れに沿って移動しながら再生処理部１９内を上昇することができる。これにより、電解により生じる前記ガスは、処理液Ｌの流れに沿って再生処理部１９の下流側に円滑に移動するので、再生処理部１９内に滞留するのが抑制される。
【０１５０】
また、第２実施形態では、マンガン酸塩の濃度が高い電解再生処理前の処理液Ｌを、第１配管２３１、第２配管２３２及び第３配管２３３にそれぞれ流入させることができるので、第１配管２３１、第２配管２３２及び第３配管２３３が１つの流路を形成している第１実施形態に比べて、電解再生処理の効率を向上させることができる。
【０１５１】
また、第１実施形態の変形例、第６実施形態及び第７実施形態では、前記筒状部は、アノードとして機能する内周面を有する第１配管と、アノードとして機能する内周面を有する第２配管とを含み、前記カソードは、前記第１配管内に配設され、前記第１配管の内周面と離隔した状態で前記第１配管の延設方向に沿って延びる第１カソードと、前記第２配管内に配設され、前記第２配管の内周面と離隔した状態で前記第２配管の延設方向に沿って延びる第２カソードとを含み、前記送り側導管の前記下流側端部は、第１配管の上流側端部と接続され、前記第１配管の下流側端部は、前記第２配管の上流側端部と接続されており、前記第２配管は、その延設方向が前記第１配管の延設方向と鋭角をなすように前記第１配管に対して傾斜した状態で配設されている。
【０１５２】
これらの構成では、第１配管の下流側端部が第２配管の上流側端部と接続されていることにより、第１配管と第２配管とは、処理液が流通する１つの流路を形成している。すなわち、前記１つの流路は、送り側導管の下流側端部が接続される第１配管の上流側端部を処理液の入口とし、第１配管の下流側端部、第２配管の上流側端部及び第２配管の下流側端部の順に処理液が流れる流路である。そして、第２配管は、その延設方向が第１配管の延設方向と鋭角をなすように第１配管に対して傾斜した状態で配設されている。したがって、この構成では、第１配管の流路長と第２配管の流路長とを足し合わせた長さの直線状の流路を１本の配管により形成する場合に比べて、電解再生処理の効率を同程度に維持しつつ、配管の延設方向の長さを小さくすることができる。
【０１５３】
また、第１実施形態の変形例、第６実施形態及び第７実施形態では、前記第２配管は、前記第１配管よりも上方に配置されており、前記第１配管は、その下流側端部が上流側端部よりも高くなるように水平方向に対して傾斜しており、前記第２配管は、その下流側端部が上流側端部よりも高くなるように水平方向に対して傾斜している。
【０１５４】
これらの構成では、下流側にある第２配管が上流側にある第１配管よりも上方に配置されているので、再生処理部において処理液が電解されることにより生じるガスは、処理液の流れる方向に逆らうことなく処理液の流れに沿って移動しながら再生処理部内を上昇することができる。これにより、電解により生じる前記ガスは、処理液の流れに沿って再生処理部の下流側に円滑に移動するので、再生処理部内に滞留するのが抑制される。しかも、この構成では、各配管が上記のように水平方向に対して傾斜しているので、前記ガスが各配管内を下流側に向かってより円滑に移動しやすくなる。
【０１５５】
また、第３実施形態では、前記筒状部は、アノードとして機能する内周面を有する上流側第１配管とアノードとして機能する内周面を有する下流側第１配管とが直列に接続された第１配管ブロックと、アノードとして機能する内周面を有する上流側第２配管とアノードとして機能する内周面を有する下流側第２配管とが直列に接続された第２配管ブロックと、を含み、前記カソードは、前記上流側第１配管内に配設され、前記上流側第１配管の内周面と離隔した状態で前記上流側第１配管の延設方向に沿って延びる上流側第１カソードと、前記下流側第１配管内に配設され、前記下流側第１配管の内周面と離隔した状態で前記下流側第１配管の延設方向に沿って延びる下流側第１カソードと、前記上流側第２配管内に配設され、前記上流側第２配管の内周面と離隔した状態で前記上流側第２配管の延設方向に沿って延びる上流側第２カソードと、前記下流側第２配管内に配設され、前記下流側第２配管の内周面と離隔した状態で前記下流側第２配管の延設方向に沿って延びる下流側第２カソードと、を含み、前記送り側導管を流れる前記処理液が前記第１配管ブロックの上流側端部及び前記第２配管ブロックの上流側端部にそれぞれ導かれ、前記第１配管ブロックの下流側端部及び前記第２配管ブロックの下流側端部から前記処理液が前記戻し側導管に排出されるように、前記第１配管ブロックと前記第２配管ブロックが並列に接続されている。
【０１５６】
これらの構成では、上流側配管と下流側配管とが直列に接続されることにより、単一の配管のみ（上流側配管のみ又は下流側配管のみ）の場合に比べて流路長が大きくなり電解再生処理能力が高められた配管ブロックを用いている。そして、必要とされる電解再生処理能力に応じた個数の前記配管ブロックを用いて再生処理部が構築される。その際には、送り側導管を流れる処理液が第１配管ブロックの上流側端部及び第２配管ブロックの上流側端部にそれぞれ導かれるように、第１配管ブロックと第２配管ブロックとは並列に接続される。したがって、電解再生処理前の処理液、すなわちマンガン酸塩の濃度が高い処理液を、第１配管ブロック及び第２配管ブロックにそれぞれ流入させることができる。よって、第１配管ブロックと第２配管ブロックとが直列に接続されて１つの流路を形成している構成に比べて、電解再生処理の効率を向上させることができる。
【０１５７】
また、上流側配管と下流側配管とが直列に接続された配管ブロックを予め複数用意しておくことにより、再生処理部を構築する際には上記のように第１配管ブロックと第２配管ブロックとを並列に接続すればよいので、作業性を向上させることができる。
【０１５８】
また、この構成では、送液用のポンプを設ける場合、送り側導管又は戻し側導管に１つのポンプを設けるだけで第１配管ブロック及び第２配管ブロックに処理液を流入させることができる。また、フィルターを設ける場合、戻し側導管に１つのフィルターを設けるだけで第１配管ブロック及び第２配管ブロックを通過した処理液を濾過することができる。したがって、部品点数を少なくすることができる。
【０１５９】
また、第３実施形態では、前記下流側第１配管は、その延設方向が前記上流側第１配管の延設方向と鋭角をなすように前記上流側第１配管に対して傾斜した状態で配設されており、前記下流側第２配管は、その延設方向が前記上流側第２配管の延設方向と鋭角をなすように前記上流側第２配管に対して傾斜した状態で配設されている。
【０１６０】
この構成では、第１ブロックにおいて下流側第１配管は上流側第１配管に対して上記のように傾斜して配設され、第２ブロックにおいて下流側第２配管は上流側第２配管に対して上記のように傾斜して配設されている。すなわち、第１ブロックにおいて２つの配管がＶ字状に配置され、第２ブロックにおいて２つの配管がＶ字状に配置されているので、２つの配管を足し合わせた長さの直線状の流路を１本の配管により形成する場合に比べて、電解再生処理の効率を同程度に維持しつつ、配管の延設方向の長さを小さくしてコンパクトにすることができる。
【０１６１】
また、第３実施形態では、前記第１配管ブロックへの前記処理液の流入を規制可能な第１バルブと、前記第２配管ブロックへの前記処理液の流入を規制可能な第２バルブと、をさらに備えている。
【０１６２】
この構成では、例えば第１配管ブロックのメンテナンスを行う場合には、第１バルブを閉じて第１配管ブロックへの処理液の流入を規制することにより、第１配管ブロックの各配管や各カソードのメンテナンスを行うことができる。しかも、第１配管ブロックのメンテナンス中には、第１配管ブロックへの処理液の流入が規制されるので、第２配管ブロックは電解再生処理に使用可能である。
【０１６３】
また、第７実施形態では、前記筒状部は、その延設方向の一端に開口部を有し、前記延設方向の他端が閉じられており、前記カソードは、前記筒状部の前記一端に取り付けられる基部と、前記開口部から前記筒状部内に挿入され、前記基部から前記筒状部の延設方向に沿って延びる延出部と、を含む構成である。
【０１６４】
この構成では、筒状部の一端に開口部が設けられ、他端が閉じられている。したがって、カソードを筒状部に取り付ける際には、カソードの延出部を筒状部の開口部から筒状部内に挿入し、カソードの基部を筒状部の一端に取り付けることにより、延出部を筒状部内の所望の位置に位置決めできる。すなわち、カソードの取り付け作業は筒状部の一端においてのみ行えばよいので、筒状部の両端に開口部が設けられている場合に比べて、筒状部に対するカソードの取付作業や交換作業が容易になる。また、筒状部に対するカソードの取り付け部位が筒状部の一端のみであるので、筒状部の両端に開口部が設けられて筒状部に対する取り付け部位が両端にある場合に比べて、取り付け部位からの液漏れの可能性をより低減することができる。
【０１６５】
第５実施形態では、前記再生処理部は、前記筒状部内に配置されるとともに前記筒状部と電気的に接続された補助アノードをさらに含み、前記補助アノードは、前記カソードと離隔した状態で前記カソードに対向配置されている。
【０１６６】
この構成では、再生処理部は、補助アノードをさらに含んでいるので、アノードとして機能する部位が筒状部の内周面だけである場合に比べてアノードの面積が増加している。これにより、再生処理部への通電量を増やすことができるので、電解再生処理の能力を高めることができる。
【０１６７】
また、第５実施形態では、前記補助アノードは、前記カソードの周りを囲むように前記カソードに沿って延びる筒形状を有し、複数の貫通孔を有している。
【０１６８】
この構成では、補助アノードは複数の貫通孔を有しているので、カソードの周りを囲むように補助アノードが筒状部内に配置されていても、処理液は複数の貫通孔を通じて筒状部の内周面にも到達する。したがって、筒状部の内周面は依然としてアノードとして機能する。そして、補助アノードは、カソードの周りを囲むようにカソードに沿って延びる筒形状を有しているので、カソードの周囲において効果的にアノードの表面積を増やすことができる。
【０１６９】
前記第７実施形態では、前記カソードと前記筒状部の内周面との接触を防止するために前記カソードに取り付けられ、前記カソードから前記筒状部の内周面に向かう絶縁部材をさらに備えている。
【０１７０】
この構成では、前記絶縁部材がカソードに取り付けられているので、例えばカソードが撓み変形するなどしてカソードが筒状部の内周面に近づく方向に移動した場合であっても、カソードが筒状部の内周面に接触する前に絶縁部材が筒状部の内周面に接触する。これにより、カソードと筒状部の内周面との接触を防止することができる。
【０１７１】
第４実施形態では、前記筒状部の温度を調節するための温度調節部をさらに備えている。
【０１７２】
この構成では、再生処理部において電解再生処理時に熱が発生する場合であっても、処理液の温度が上昇するのを抑制できるので、処理液の温度上昇に起因する処理液の品質低下などの不具合が生じるのを抑制でき、処理液の温度上昇に起因する装置の不具合が生じるのを抑制できる。また、温度調節部が筒状部を冷却する冷却手段だけでなく、加熱手段も備えている場合には、処理液の温度をより精密に管理することができる。
【０１７３】
第６実施形態では、前記再生処理部において生じる気体を排出するための気体排出バルブをさらに備えている。
【０１７４】
この構成では、再生処理部において処理液が電解されることにより生じる気体を、前記気体排出バルブを通じて装置外に排出することができる。
【０１７５】
＜その他の実施形態＞
以上、本発明の実施形態に係る表面処理装置について説明したが、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更、改良等が可能である。例えば、前記実施形態では、処理液として過マンガン酸塩の溶液を用いる場合を例に挙げて説明したが、これに限定されない。
【０１７６】
また、前記実施形態では、再生処理部における筒状部として円柱形状の配管を用いる場合を例に挙げて説明したが、これに限定されない。前記筒状部は、例えば角柱形状、円錐台形状、角錐台形状、樽形状、Ｕ字管形状などであってもよい。
【０１７７】
また、前記実施形態では、再生処理部が第１配管、第２配管及び第３配管の３つの配管を有している場合を例に挙げて説明したが、配管の数は１つ又は２つであってもよく、４つ以上であってもよい。
【０１７８】
また、前記第２実施形態では、デスミア処理槽に接続された１本の送り側導管が途中で分岐して各配管に接続されている場合を例に挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、デスミア処理槽に複数の送り側導管が接続され、各送り側導管が対応する配管に接続されていてもよい。具体的には、例えばデスミア処理槽１３の側面に３本の送り側導管１５が接続されており、これらのうちの一つの送り側導管１５の下流側端部１５ｂが第１配管２３１の上流側端部に接続され、他の送り側導管１５の下流側端部１５ｂが第２配管２３２の上流側端部に接続され、残り一つの送り側導管１５の下流側端部１５ｂが第３配管２３３の上流側端部に接続された構成であってもよい。この場合において、戻り側導管１７についても同様に３本設けられていてもよい。
【０１７９】
前記第５実施形態では、補助アノード５１がカソード２５の延出部２８の周囲全体を覆うような筒形状である場合を例示したが、これに限定されない。補助アノード５１は、カソード２５の延出部２８の全周ではなく、延出部２８の一部分にのみ対向している形態などであってもよい。また、補助アノード５１が配管の内周面３１に内接している場合を例示したが、これに限定されない。補助アノード５１は、補助アノード５１を配管の内周面３１と電気的に接続する他の手段が施されていれば、必ずしも内接している必要はなく、例えば配管の内周面３１に近接して配置されていたり、配管の内周面３１とカソード２５との中央付近に配置されていたりしてもよい。
【０１８０】
また、前記第５実施形態では、アノードの表面積を増やすために補助アノードを設ける場合を例示したが、例えばアノード配管の内周面に複数の凹凸を設けることによりアノードの表面積を増やすこともできる。また、表面に複数の凹凸が設けられた補助アノードを用いてもよい。
【０１８１】
また、前記第７実施形態では、基部２６と延出部２８と配線接続部２７とが一体成形されているカソード２５を例示したが、これに限定されない。例えば、基部２６と延出部２８とが別体で形成されていてもよい。さらに、基部２６を絶縁性の材料により形成する場合には、前述の絶縁パッキン５９を省略することができる。
【０１８２】
以下、実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【実施例】
【０１８３】
表１〜３の実施例１〜１５及び比較例１，２に示す各条件で電解再生処理を行った。この電解再生処理に用いた水溶液としては、次のものを用いた。各試験では、水溶液の温度を７５℃とした。
【０１８４】
（水溶液中の成分）
過マンガン酸ナトリウム：２５ｇ／リットル
マンガン酸ナトリウム：１５ｇ／リットル
水酸化ナトリウム：８０ｇ／リットル
また、実施例１〜１５の電解再生処理では、図１及び図２に示す電解再生処理装置１１を用いた。
【０１８５】
比較例１，２の電解再生処理では、特許文献１（特許第３３０１３４１号公報）の図１に示されるような電解再生槽に前記水溶液を貯留し、この水溶液中にアノード及びカソードを浸漬したものを用いた。比較例１，２では、電解再生槽に前記水溶液を供給する送り側導管を、電解再生槽の一側面に接続し、電解再生槽から排出される前記水溶液をデスミア処理槽に戻す戻し側導管を、前記一側面に対向する側面に接続した。
【０１８６】
各表中の電解再生処理装置内の液量とは、実施例１〜１５では、再生処理部１９、送り側導管１５及び戻し側導管１７に存在する水溶液の量を意味しており、比較例１，２では、電解再生槽、送り側導管及び戻し側導管に存在する水溶液の量を意味している。
【０１８７】
各表中の電極対ａとは、図２に示す第１配管２３１の内周面（アノード）３１とこの第１配管２３１内に配設されたカソード２５とを意味し、電極対ｂとは、第２配管２３２の内周面（アノード）３１とこの第２配管２３２内に配設されたカソード２５とを意味し、電極対ｃとは、第３配管２３３の内周面（アノード）３１とこの第３配管２３３内に配設されたカソード２５とを意味している。
【０１８８】
各表中の電極通過流速とは、カソード及びアノードの近傍において、前記水溶液が１秒間に進む距離（ｍｍ／秒）のことであり、次のようにして算出される値である。再生処理部において前記水溶液が通過する流路の断面積をＡｍｍ２とし、ポンプ流量をＢｍＬ／秒とするとき、電極通過流速は、次式で表される。
【０１８９】
電極通過流速（ｍｍ／秒）＝Ｂ×１０００÷Ａ
実施例１〜１５では、流路の断面積Ａは、配管２３の長手方向に垂直な断面における配管２３とカソード２５との隙間の面積である。また、比較例１，２では、送り側導管が接続された電解再生槽の前記一側面に平行な断面における前記水溶液の面積を、流路の断面積Ａとした。
【０１９０】
各表中の過マンガン酸ナトリウムの再生率（ｇ／ＡＨ）は、処理時間１時間当たりの再生量を、使用電流量（Ａ）で割った値である。過マンガン酸ナトリウム再生量（ｇ）は、処理時間１時間当たりの再生量を示している。過マンガン酸ナトリウム再生量（ｇ／リットル）は、処理時間１時間当たりの再生量をさらに総液量で割った値である。
【０１９１】
表中のスラッジ量とは、処理時間５時間経過後に再生処理部１９に溜まったスラッジの量を示している。
【０１９２】
【表１】
【０１９３】
【表２】
【０１９４】
【表３】
【０１９５】
各試験の結果を表１〜３に示す。
【０１９６】
再生処理部１９が前記水溶液を配管２３１に直接流入させる構成である実施例１〜１５では、再生処理部１９において前記水溶液が流れる流路の断面積Ａが小さいので、ポンプ４１の流量を変えることにより、表１〜表３に示すように電極通過流速を、例えば１ｍｍ／秒〜３００ｍｍ／秒の幅広い範囲で調整することができる。
【０１９７】
一方、比較例１，２のように前記電解再生槽にカソード及びアノードを浸漬する構成の場合には、流路の断面積Ａが大きくなるので、電極通過流速を実施例のように幅広い範囲で調整するのは困難である。したがって、比較例１，２のような構成の場合には、電極通過流速を５ｍｍ／秒以上や２５ｍｍ／秒以上に大きくするのは困難である。
【０１９８】
表３に示すように、比較例１，２では、前記水溶液が貯留された電解再生槽と、前記水溶液中に浸漬されたカソード及びアノードとによって再生処理部が構成されているので、再生処理部の液量は、デスミア処理槽における液量の１．５倍である。一方、実施例１〜１５では、再生処理部１９の配管２３１に前記水溶液を直接流入させる構成であるので、再生処理部１９の液量は、デスミア処理槽における液量の１／１０である。
【０１９９】
実施例１では、スラッジ量が１．０ｇであるのに対して、比較例１，２では、スラッジ量が３．２ｇと大きな値となっている。その理由は、実施例１では、電極通過流速が５ｍｍ／秒であるのに対して、比較例１，２では、電極通過流速が２ｍｍ／秒と小さいため、スラッジがカソードに蓄積しやすいからであると考えられる。
【０２００】
また、実施例２〜１４では、電極通過流速を２５ｍｍ／秒以上の大きな値に設定しているので、スラッジ量がさらに小さい値に低減されている。特に電極通過流速が１００ｍｍ／秒以上の場合には、カソードにはスラッジがほとんど蓄積されていない。
【０２０１】
また、実施例１３では、電極通過流速を３００ｍｍ／秒と大きな値に設定していることに起因して、過マンガン酸ナトリウム再生率が若干低くなっている。
【０２０２】
また、実施例１５では、電極通過流速を１ｍｍ／秒として比較例１，２の電極通過流速よりも小さな値に設定しているが、この場合であってもスラッジ量は２．６ｇであり、比較例１，２の３．２ｇよりも小さい。その理由は、実施例１５では、再生処理部１９において前記水溶液がカソード２５の長手方向に沿って流れるのに対して、比較例１，２では、再生処理部において前記水溶液がカソードの長手方向に対して略垂直な方向に流れることが関係しているものと推測される。
【０２０３】
比較例２では、陽極電流密度を３０Ａ／ｄｍ２という大きな値に設定している。このように陽極電流密度を大きくすると、過マンガン酸ナトリウムの再生率が小さくなる傾向にある。一方、実施例７では、陽極電流密度を比較例２と同じ値（３０Ａ／ｄｍ２）に設定している。この実施例７では、過マンガン酸ナトリウム再生率は、他の実施例よりも小さな値（１．２１ｇ／Ａ・時）となっているものの、比較例２に比べると、過マンガン酸ナトリウムの再生率の低下度合いが小さく抑えられている。このことから、実施例７では、比較例２に比べて、過マンガン酸ナトリウムを再生する効率が優れていると言える。
【０２０４】
また、比較例１，２では、電解再生槽を用いているので、総液量が大きくなる。したがって、過マンガン酸ナトリウム再生量（ｇ／リットル）が小さくなり、効率がわるい。
【符号の説明】
【０２０５】
１１ 電解再生処理装置
１３ デスミア処理槽
１５ 送り側導管
１７ 戻し側導管
１９ 再生処理部
２１ 整流器
２３ 配管
２３１ 第１配管
２３２ 第２配管
２３３ 第３配管
２５ カソード
２７，２９ 接続部
３１ 内周面（アノード）
３５，３７ 連結管
３９ シール部材
【特許請求の範囲】
【請求項１】
デスミア処理槽においてデスミア処理に用いられた処理液を電解して再生するための電解再生処理装置であって、
アノードとして機能する内周面を有する筒状部と、前記筒状部内に配設され、前記内周面と離隔した状態で前記筒状部の延設方向に沿って延びるカソードとを含み、前記筒状部の前記内周面と前記カソードとの隙間を通じて前記処理液が送液される再生処理部と、
下流側端部が前記筒状部に接続され、前記デスミア処理槽から排出される前記処理液を前記再生処理部に導く送り側導管と、
上流側端部が前記筒状部に接続され、前記再生処理部から排出される前記処理液を前記デスミア処理槽に導く戻し側導管と、を備えている電解再生処理装置。
【請求項２】
前記筒状部は、アノードとして機能する内周面を有する第１配管と、アノードとして機能する内周面を有する第２配管とを含み、
前記カソードは、前記第１配管内に配設され、前記第１配管の内周面と離隔した状態で前記第１配管の延設方向に沿って延びる第１カソードと、前記第２配管内に配設され、前記第２配管の内周面と離隔した状態で前記第２配管の延設方向に沿って延びる第２カソードとを含み、
前記第２配管は、その延設方向が前記第１配管の延設方向と平行で、かつ幅方向に前記第１配管と隣り合うように前記第１配管と並設されており、
前記送り側導管の前記下流側端部は、第１配管の一端部に接続され、前記第１配管の他端部は、前記第２配管の一端部と連通している、請求項１に記載の電解再生処理装置。
【請求項３】
前記第２配管は、前記第１配管よりも上方に配置されている、請求項２に記載の電解再生処理装置。
【請求項４】
前記筒状部は、アノードとして機能する内周面を有する第１配管と、アノードとして機能する内周面を有する第２配管とを含み、
前記カソードは、前記第１配管内に配設され、前記第１配管の内周面と離隔した状態で前記第１配管の延設方向に沿って延びる第１カソードと、前記第２配管内に配設され、前記第２配管の内周面と離隔した状態で前記第２配管の延設方向に沿って延びる第２カソードとを含み、
前記送り側導管の前記下流側端部は、第１配管の上流側端部と接続され、
前記第１配管の下流側端部は、前記第２配管の上流側端部と接続されており、
前記第２配管は、その延設方向が前記第１配管の延設方向と鋭角をなすように前記第１配管に対して傾斜した状態で配設されている、請求項１に記載の電解再生処理装置。
【請求項５】
前記第２配管は、前記第１配管よりも上方に配置されており、
前記第１配管は、その下流側端部が上流側端部よりも高くなるように水平方向に対して傾斜しており、
前記第２配管は、その下流側端部が上流側端部よりも高くなるように水平方向に対して傾斜している、請求項４に記載の電解再生処理装置。
【請求項６】
前記筒状部は、アノードとして機能する内周面を有する第１配管と、アノードとして機能する内周面を有する第２配管とを含み、
前記カソードは、前記第１配管内に配設され、前記第１配管の内周面と離隔した状態で前記第１配管の延設方向に沿って延びる第１カソードと、前記第２配管内に配設され、前記第２配管の内周面と離隔した状態で前記第２配管の延設方向に沿って延びる第２カソードとを含み、
前記送り側導管を流れる前記処理液が前記第１配管における前記延設方向の一端部及び前記第２配管における前記延設方向の一端部にそれぞれ導かれ、前記第１配管における前記延設方向の他端部及び前記第２配管における前記延設方向の他端部から前記処理液が前記戻し側導管に排出されるように構成されている、請求項１に記載の電解再生処理装置。
【請求項７】
前記筒状部は、
アノードとして機能する内周面を有する上流側第１配管とアノードとして機能する内周面を有する下流側第１配管とが直列に接続された第１配管ブロックと、
アノードとして機能する内周面を有する上流側第２配管とアノードとして機能する内周面を有する下流側第２配管とが直列に接続された第２配管ブロックと、を含み、
前記カソードは、
前記上流側第１配管内に配設され、前記上流側第１配管の内周面と離隔した状態で前記上流側第１配管の延設方向に沿って延びる上流側第１カソードと、
前記下流側第１配管内に配設され、前記下流側第１配管の内周面と離隔した状態で前記下流側第１配管の延設方向に沿って延びる下流側第１カソードと、
前記上流側第２配管内に配設され、前記上流側第２配管の内周面と離隔した状態で前記上流側第２配管の延設方向に沿って延びる上流側第２カソードと、
前記下流側第２配管内に配設され、前記下流側第２配管の内周面と離隔した状態で前記下流側第２配管の延設方向に沿って延びる下流側第２カソードと、を含み、
前記送り側導管を流れる前記処理液が前記第１配管ブロックの上流側端部及び前記第２配管ブロックの上流側端部にそれぞれ導かれ、前記第１配管ブロックの下流側端部及び前記第２配管ブロックの下流側端部から前記処理液が前記戻し側導管に排出されるように、前記第１配管ブロックと前記第２配管ブロックが並列に接続されている、請求項１に記載の電解再生処理装置。
【請求項８】
前記下流側第１配管は、その延設方向が前記上流側第１配管の延設方向と平行で、かつ幅方向に前記上流側第１配管と隣り合うように前記上流側第１配管と並設されており、
前記下流側第２配管は、その延設方向が前記上流側第２配管と平行で、かつ幅方向に前記上流側第２配管と隣り合うように前記上流側第２配管と並設されている、請求項７に記載の電解再生処理装置。
【請求項９】
前記下流側第１配管は、その延設方向が前記上流側第１配管の延設方向と鋭角をなすように前記上流側第１配管に対して傾斜した状態で配設されており、
前記下流側第２配管は、その延設方向が前記上流側第２配管の延設方向と鋭角をなすように前記上流側第２配管に対して傾斜した状態で配設されている、請求項７に記載の電解再生処理装置。
【請求項１０】
前記第１配管ブロックへの前記処理液の流入を規制可能な第１バルブと、
前記第２配管ブロックへの前記処理液の流入を規制可能な第２バルブと、をさらに備えている、請求項７〜９のいずれか１項に記載の電解再生処理装置。
【請求項１１】
前記筒状部は、その延設方向の両端に開口部を有し、
前記再生処理部は、
各開口部の近傍に配設され、前記カソードが挿通された貫通孔を有する筒形状をなし、前記筒状部の前記内周面と前記カソードとの間に介在し、絶縁材料により形成されたシール部材をさらに含む、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の電解再生処理装置。
【請求項１２】
前記筒状部は、その延設方向の一端に開口部を有し、前記延設方向の他端が閉じられており、
前記カソードは、
前記筒状部の前記一端に取り付けられる基部と、
前記開口部から前記筒状部内に挿入され、前記基部から前記筒状部の延設方向に沿って延びる延出部と、を含む、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の電解再生処理装置。
【請求項１３】
前記再生処理部は、前記筒状部内に配置されるとともに前記筒状部と電気的に接続された補助アノードをさらに含み、
前記補助アノードは、前記カソードと離隔した状態で前記カソードに対向配置されている、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の電解再生処理装置。
【請求項１４】
前記補助アノードは、前記カソードの周りを囲むように前記カソードに沿って延びる筒形状を有し、複数の貫通孔を有している、請求項１３に記載の電解再生処理装置。
【請求項１５】
前記カソードと前記筒状部の内周面との接触を防止するために前記カソードに取り付けられ、前記カソードから前記筒状部の内周面に向かう絶縁部材をさらに備えている、請求項１〜１４のいずれか１項に記載の電解再生処理装置。
【請求項１６】
前記筒状部の温度を調節するための温度調節部をさらに備えている、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の電解再生処理装置。
【請求項１７】
前記再生処理部において生じる気体を排出するための気体排出バルブをさらに備えている、請求項１〜１６のいずれか１項に記載の電解再生処理装置。
【請求項１】
デスミア処理槽においてデスミア処理に用いられた処理液を電解して再生するための電解再生処理装置であって、
アノードとして機能する内周面を有する筒状部と、前記筒状部内に配設され、前記内周面と離隔した状態で前記筒状部の延設方向に沿って延びるカソードとを含み、前記筒状部の前記内周面と前記カソードとの隙間を通じて前記処理液が送液される再生処理部と、
下流側端部が前記筒状部に接続され、前記デスミア処理槽から排出される前記処理液を前記再生処理部に導く送り側導管と、
上流側端部が前記筒状部に接続され、前記再生処理部から排出される前記処理液を前記デスミア処理槽に導く戻し側導管と、を備えている電解再生処理装置。
【請求項２】
前記筒状部は、アノードとして機能する内周面を有する第１配管と、アノードとして機能する内周面を有する第２配管とを含み、
前記カソードは、前記第１配管内に配設され、前記第１配管の内周面と離隔した状態で前記第１配管の延設方向に沿って延びる第１カソードと、前記第２配管内に配設され、前記第２配管の内周面と離隔した状態で前記第２配管の延設方向に沿って延びる第２カソードとを含み、
前記第２配管は、その延設方向が前記第１配管の延設方向と平行で、かつ幅方向に前記第１配管と隣り合うように前記第１配管と並設されており、
前記送り側導管の前記下流側端部は、第１配管の一端部に接続され、前記第１配管の他端部は、前記第２配管の一端部と連通している、請求項１に記載の電解再生処理装置。
【請求項３】
前記第２配管は、前記第１配管よりも上方に配置されている、請求項２に記載の電解再生処理装置。
【請求項４】
前記筒状部は、アノードとして機能する内周面を有する第１配管と、アノードとして機能する内周面を有する第２配管とを含み、
前記カソードは、前記第１配管内に配設され、前記第１配管の内周面と離隔した状態で前記第１配管の延設方向に沿って延びる第１カソードと、前記第２配管内に配設され、前記第２配管の内周面と離隔した状態で前記第２配管の延設方向に沿って延びる第２カソードとを含み、
前記送り側導管の前記下流側端部は、第１配管の上流側端部と接続され、
前記第１配管の下流側端部は、前記第２配管の上流側端部と接続されており、
前記第２配管は、その延設方向が前記第１配管の延設方向と鋭角をなすように前記第１配管に対して傾斜した状態で配設されている、請求項１に記載の電解再生処理装置。
【請求項５】
前記第２配管は、前記第１配管よりも上方に配置されており、
前記第１配管は、その下流側端部が上流側端部よりも高くなるように水平方向に対して傾斜しており、
前記第２配管は、その下流側端部が上流側端部よりも高くなるように水平方向に対して傾斜している、請求項４に記載の電解再生処理装置。
【請求項６】
前記筒状部は、アノードとして機能する内周面を有する第１配管と、アノードとして機能する内周面を有する第２配管とを含み、
前記カソードは、前記第１配管内に配設され、前記第１配管の内周面と離隔した状態で前記第１配管の延設方向に沿って延びる第１カソードと、前記第２配管内に配設され、前記第２配管の内周面と離隔した状態で前記第２配管の延設方向に沿って延びる第２カソードとを含み、
前記送り側導管を流れる前記処理液が前記第１配管における前記延設方向の一端部及び前記第２配管における前記延設方向の一端部にそれぞれ導かれ、前記第１配管における前記延設方向の他端部及び前記第２配管における前記延設方向の他端部から前記処理液が前記戻し側導管に排出されるように構成されている、請求項１に記載の電解再生処理装置。
【請求項７】
前記筒状部は、
アノードとして機能する内周面を有する上流側第１配管とアノードとして機能する内周面を有する下流側第１配管とが直列に接続された第１配管ブロックと、
アノードとして機能する内周面を有する上流側第２配管とアノードとして機能する内周面を有する下流側第２配管とが直列に接続された第２配管ブロックと、を含み、
前記カソードは、
前記上流側第１配管内に配設され、前記上流側第１配管の内周面と離隔した状態で前記上流側第１配管の延設方向に沿って延びる上流側第１カソードと、
前記下流側第１配管内に配設され、前記下流側第１配管の内周面と離隔した状態で前記下流側第１配管の延設方向に沿って延びる下流側第１カソードと、
前記上流側第２配管内に配設され、前記上流側第２配管の内周面と離隔した状態で前記上流側第２配管の延設方向に沿って延びる上流側第２カソードと、
前記下流側第２配管内に配設され、前記下流側第２配管の内周面と離隔した状態で前記下流側第２配管の延設方向に沿って延びる下流側第２カソードと、を含み、
前記送り側導管を流れる前記処理液が前記第１配管ブロックの上流側端部及び前記第２配管ブロックの上流側端部にそれぞれ導かれ、前記第１配管ブロックの下流側端部及び前記第２配管ブロックの下流側端部から前記処理液が前記戻し側導管に排出されるように、前記第１配管ブロックと前記第２配管ブロックが並列に接続されている、請求項１に記載の電解再生処理装置。
【請求項８】
前記下流側第１配管は、その延設方向が前記上流側第１配管の延設方向と平行で、かつ幅方向に前記上流側第１配管と隣り合うように前記上流側第１配管と並設されており、
前記下流側第２配管は、その延設方向が前記上流側第２配管と平行で、かつ幅方向に前記上流側第２配管と隣り合うように前記上流側第２配管と並設されている、請求項７に記載の電解再生処理装置。
【請求項９】
前記下流側第１配管は、その延設方向が前記上流側第１配管の延設方向と鋭角をなすように前記上流側第１配管に対して傾斜した状態で配設されており、
前記下流側第２配管は、その延設方向が前記上流側第２配管の延設方向と鋭角をなすように前記上流側第２配管に対して傾斜した状態で配設されている、請求項７に記載の電解再生処理装置。
【請求項１０】
前記第１配管ブロックへの前記処理液の流入を規制可能な第１バルブと、
前記第２配管ブロックへの前記処理液の流入を規制可能な第２バルブと、をさらに備えている、請求項７〜９のいずれか１項に記載の電解再生処理装置。
【請求項１１】
前記筒状部は、その延設方向の両端に開口部を有し、
前記再生処理部は、
各開口部の近傍に配設され、前記カソードが挿通された貫通孔を有する筒形状をなし、前記筒状部の前記内周面と前記カソードとの間に介在し、絶縁材料により形成されたシール部材をさらに含む、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の電解再生処理装置。
【請求項１２】
前記筒状部は、その延設方向の一端に開口部を有し、前記延設方向の他端が閉じられており、
前記カソードは、
前記筒状部の前記一端に取り付けられる基部と、
前記開口部から前記筒状部内に挿入され、前記基部から前記筒状部の延設方向に沿って延びる延出部と、を含む、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の電解再生処理装置。
【請求項１３】
前記再生処理部は、前記筒状部内に配置されるとともに前記筒状部と電気的に接続された補助アノードをさらに含み、
前記補助アノードは、前記カソードと離隔した状態で前記カソードに対向配置されている、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の電解再生処理装置。
【請求項１４】
前記補助アノードは、前記カソードの周りを囲むように前記カソードに沿って延びる筒形状を有し、複数の貫通孔を有している、請求項１３に記載の電解再生処理装置。
【請求項１５】
前記カソードと前記筒状部の内周面との接触を防止するために前記カソードに取り付けられ、前記カソードから前記筒状部の内周面に向かう絶縁部材をさらに備えている、請求項１〜１４のいずれか１項に記載の電解再生処理装置。
【請求項１６】
前記筒状部の温度を調節するための温度調節部をさらに備えている、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の電解再生処理装置。
【請求項１７】
前記再生処理部において生じる気体を排出するための気体排出バルブをさらに備えている、請求項１〜１６のいずれか１項に記載の電解再生処理装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２０１３−６０６６８（Ｐ２０１３−６０６６８Ａ）
【公開日】平成２５年４月４日（２０１３．４．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−２７９７７９（Ｐ２０１２−２７９７７９）
【出願日】平成２４年１２月２１日（２０１２．１２．２１）
【分割の表示】特願２０１１−１３２０９５（Ｐ２０１１−１３２０９５）の分割
【原出願日】平成２３年６月１４日（２０１１．６．１４）
【出願人】（０００１８９３２７）上村工業株式会社 (101)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年４月４日（２０１３．４．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２４年１２月２１日（２０１２．１２．２１）
【分割の表示】特願２０１１−１３２０９５（Ｐ２０１１−１３２０９５）の分割
【原出願日】平成２３年６月１４日（２０１１．６．１４）
【出願人】（０００１８９３２７）上村工業株式会社 (101)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]