説明

黒色感光性樹脂組成物並びにそれを用いたブラックマトリクス及びカラーフィルター

【課題】基板との密着性及び貯蔵安定性に優れ、感度を維持しつつポストベークの際の熱流れ性を低減することで、微細パターン形成時、位置による光学密度差を生じにくい黒色感光性樹脂組成物、これを用いて製造されたブラックマトリクス及び上記ブラックマトリクスを備えるカラーフィルターの提供。
【解決手段】下記一般式(1)で表される化合物及びイソボルニルメタアクリレート類を含む単量体の重合反応により得られるアルカリ可溶性樹脂(B)を含有する、黒色感光性樹脂組成物。


(式中、nは2〜4の整数である。)

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、黒色感光性樹脂組成物、これを用いて製造されたブラックマトリクス(Black matrix)及び上記ブラックマトリクスを備えるカラーフィルター(Color Filter)に関する。具体的には、基板との密着性及び貯蔵安定性に優れ、感度を維持しつつポストベークの際の熱流れ性を低減することで、微細パターン形成時、位置による光学密度差を生じにくい黒色感光性樹脂組成物、これを用いて製造されたブラックマトリクス及び上記ブラックマトリクスを備えるカラーフィルターに関する。
【背景技術】
【0002】
液晶ディスプレーのカラーフィルターのうち、ブラックマトリクスは、透明化小電極の外に透過して制御されない光を遮断してコントラストを向上させる役割を果たす。ブラックマトリクスは、クロム又は樹脂を材料として製造される。クロムから製造する場合、薄膜遮光性能及びパターン直進性に優れるが、環境問題、高反射率、工程上の高費用などの問題があることから、樹脂系のブラックマトリクスの方が好ましい。
【0003】
しかし、樹脂系ブラックマトリクス製造用の感光性樹脂組成物においては、感光性を大きく妨害するブラック顔料によって効率的な光架橋が起こらず、いわゆる「アンダーカット」という現像液による過浸食が生じる問題をはじめ、現像安定性が不充分になる、光感度が低下するなどの問題がある。
【0004】
感度を向上させるために、ブラックマトリクス製造用感光性樹脂組成物としてカドミウム系樹脂を用いる試みがなされているが(例えば、特許文献1)、カドミウム系樹脂の分岐(バルキー)状の分子構造のために接着性が低下する傾向があり、特にブラックマトリクスの場合、要求される光学的密度のためブラック顔料の含量が高いことにより、接着性がより低下する傾向があるという問題がある。
【0005】
また、特許文献2には、様々な単量体が共重合したカドミウム系樹脂及びシラン系カップリング剤が開示されているが、貯蔵安定性が不充分で、ポストベークの際の熱流れにより、微細パターン形成時、位置により光学密度差が生じるという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】大韓民国特許公開第1995−0702313号公報
【特許文献2】大韓民国特許公開第2000−0055255号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
そこで、本発明は、基板との密着性及び貯蔵安定性に優れ、感度を維持しつつポストベークの際の熱流れ性を低減することで、微細パターン形成時、位置による光学密度差を生じにくい黒色感光性樹脂組成物、これを用いて製造されたブラックマトリクス及び上記ブラックマトリクスを備えるカラーフィルターを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上述の目的を達成するために、本発明は、下記一般式(1)で表される化合物及び下記一般式(2)で表される化合物を含む単量体の重合反応により得られるアルカリ可溶性樹脂(B)を含有する、黒色感光性樹脂組成物を提供する。
【0009】
【化1】

【0010】
上記式(1)中、nは2〜4の整数である。
【0011】
【化2】

【0012】
上記式(2)中、mは0〜2の整数である。
【0013】
上記単量体は、当該単量体100質量部に対して10〜40質量部の上記一般式(1)で表される化合物を含むことが好ましい。
【0014】
上記単量体は、当該単量体100質量部に対して10〜40質量部の上記一般式(2)で表される化合物を含むことが好ましい。
【0015】
本発明の黒色感光性樹脂組成物は、当該組成物の固形分100質量部に対して、4〜25質量部の上記アルカリ可溶性樹脂(B)を含有することが好ましい。
【0016】
上記単量体は、(メタ)アクリレート系化合物、芳香族ビニル化合物、カルボン酸ビニルエステル化合物、シアン化ビニル化合物、マレイミド化合物、ビニルカルボキシレート化合物、不飽和オキセタンカルボキシレート化合物、モノカルボン酸化合物、ジカルボン酸化合物及び両末端にカルボキシ基とヒドロキシ基を有する化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種の化合物を更に含むことができる。
【0017】
本発明の黒色感光性樹脂組成物は、着色剤(A)、光重合性化合物(C)、光重合開始剤(D)及び溶剤(E)からなる群より選ばれる少なくとも1種を更に含有することができる。
【0018】
また、本発明は、上記黒色感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、露光及び現像することにより得られる、ブラックマトリクスを提供する。
【0019】
さらに、本発明は、上記ブラックマトリクスを備えるカラーフィルターを提供する。
【発明の効果】
【0020】
本発明の黒色感光性樹脂組成物は、基板との密着性のみならず感度にも優れて、微細なパターンを形成することができる。
【0021】
また、本発明の黒色感光性樹脂組成物は、感度が低下しないと同時にポストベークの際の熱流れ性を低減することで、微細パターン形成時、位置による光学密度差を改善することができる。よって、強いバックライトを均一的に遮断することができるブラックマトリクスを製造することができる。
【0022】
さらに、本発明の黒色感光性樹脂組成物は、貯蔵安定性に優れて貯蔵期間による物性変化がない。
【発明を実施するための形態】
【0023】
以下、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。なお、本明細書において、「(メタ)アクリル酸」とは「アクリル酸」及びそれに対応する「メタクリル酸」を意味し、「(メタ)アクリレート」とは「アクリレート」及びそれに対応する「メタクリレート」を意味する。
【0024】
本発明の黒色感光性樹脂組成物は、単量体の重合反応によって得られるアルカリ可溶性樹脂(B)を含有する。上記単量体は、下記一般式(1)で表される化合物を含む。
【0025】
【化3】

【0026】
上記式(1)中、nは2〜4の整数である。
【0027】
上記式(1)で表される化合物を含む単量体の重合体を含むことにより、基板との密着性が向上する。上記重合体は、非反応性であるため貯蔵安定性も向上し、貯蔵期間による線副変化などが起こりにくくなる。また、ポストベークの際の熱流れ性が小さいことで位置よる光学密度差を改善することができるので、バックライトを均一に遮断することができるブラックマトリクスを製造することができる。
【0028】
上記式(1)で表される化合物としては、アクリルオキシエチルコハク酸類などを用いることができ、好ましくは、4−(2−(アクリロイルオキシ)エトキシ)−4−オキソブタン酸、5−(2−(アクリロイルオキシ)エトキシ)−5−オキソペンタン酸及び6−(2−(アクリロイルオキシ)エトキシ)−6−オキソへキサン酸からなる群より選ばれる少なくとも1種を用いることができるが、これらに制限されるものではない。
【0029】
上記式(1)で表される化合物は、上記単量体100質量部に対して10〜40質量部含まれることが好ましい。すなわち、上記アルカリ可溶性樹脂(B)の重合のために投入される単量体の総量100質量部に対して10〜40質量部が投入されて重合されることが好ましい。上記式(1)で表される化合物の含有量が10質量部未満である場合、パターン形成時にポストベークの際の熱流れ性が低減する効果は微々たるものであり、パターン形成時に残膜の形成による直進性不良が生じる傾向があり、40質量部を超える場合、パターン形成時、沈下現象によって直進性及び膜均一度に問題が生じる傾向がある。
【0030】
上記単量体は、下記一般式(2)で表される化合物を更に含む。
【0031】
【化4】

【0032】
上記式(2)中、mは0〜2の整数である。
【0033】
上記式(2)で表される化合物を単量体として更に含むことにより、上記式(1)で表される化合物及び上記式(2)で表される化合物が重合反応に参与する共重合体を含有することになり、これにより、ポストベークの際の熱流れ性がより小さくなり、微細パターン形成時、位置による光学密度の差を減らすことができる。
【0034】
上記式(2)で表される化合物としては、イソボルニル(メタ)アクリレートを用いることができ、好ましくは、1,7,7−トリメチルバイシクロ[2.2.1]へプタン−2−イル(メタ)アクリレート、7,7−ジメチル−1−プロピルバイシクロ[2.2.1]へプタン−2−イル(メタ)アクリレート及び1−エチル−7,7−ジメチルバイシクロ[2.2.1]ヘプタン−2−イル(メタ)アクリレートからなる群より選ばれる少なくとも1種を用いることができるが、これらに限定されるものではない。
【0035】
上記式(2)で表される化合物は、上記単量体100質量部に対して10〜40質量部含まれることが好ましい。上記式(2)で表される化合物の含有量が10質量部未満である場合、パターン形成時の密着性が弱くなる傾向があり、40質量部を超える場合、現像性が低下し基板との密着性が増加することにより、微細パターン形成が困難になる傾向がある。
【0036】
加えて、上記単量体は、上記式(1)又は(2)で表される化合物と共重合することができる不飽和結合を有する化合物を更に含むことができる。すなわち、上記式(1)又は(2)で表される化合物以外に他の単量体を追加的に投入して共重合させ、本発明のアルカリ可溶性樹脂(B)を製造することができる。
【0037】
具体的には、(メタ)アクリレート系化合物、芳香族ビニル化合物、カルボン酸ビニルエステル化合物、シアン化ビニル化合物、マレイミド化合物、ビニルカルボキシレート化合物、不飽和オキセタンカルボキシレート化合物、モノカルボン酸化合物、ジカルボン酸化合物及び両末端にカルボキシ基とヒドロキシ基を有する化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種の化合物を更に含むことができる。
【0038】
上記(メタ)アクリレート系化合物としては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、アミドエチル(メタ)アクリレートなどの不飽和カルボン酸の非置換又は置換アルキルエステル化合物;グリシジルメタクリレートなどの不飽和グリシジルカルボキシレート化合物;オリゴエチレングリコール モノアルキル(メタ)アクリレートなどのグリコールモノカルボン酸エステル化合物などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【0039】
上記芳香族ビニル化合物としては、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエンなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【0040】
上記カルボン酸ビニルエステル化合物としては、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【0041】
上記シアン化ビニル化合物としては、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリルなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【0042】
上記マレイミド化合物としては、N−シクロへキシルマレイミド、N−フェニルマレイミドなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【0043】
上記ビニルカルボキシレート化合物としては、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【0044】
上記不飽和オキセタンカルボキシレート化合物としては、3−メチル−3−アクリルオキシメチルオキセタン、3−メチル−3−メタクリルオキシメチルオキセタン、3−エチル−3−アクリルオキシメチルオキセタン、3−エチル−3−メタクリルオキシメチルオキセタン、3−メチル−3−アクリルオキシエチルオキセタン、3−メチル−3−メタクリルオキシエチルオキセタン、3−メチル−3−アクリルオキシエチルオキセタン、3−メチル−3−メタクリルオキシエチルオキセタンなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【0045】
上記モノカルボン酸化合物としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【0046】
上記ジカルボン酸化合物としては、フマル酸、メサコン酸、イタコン酸などが挙げられるが、これに限定されるものではない。
【0047】
上記両末端にカルボキシ基とヒドロキシ基を有する化合物としては、ω−カルボキシポリカプロラクトン モノ(メタ)アクリレートなどが挙げられるが、これに限定されるものではない。
【0048】
アルカリ可溶性樹脂(B)の含有量は、黒色感光性樹脂組成物の固形分100質量部に対して、4〜25質量部であることが好ましく、5〜20質量部であることがより好ましい。上記含有量が4〜25重量部である場合、現像液に対する溶解性が充分であることでパターン形成が容易になり、現像の際に露光部の膜減少が防止され画素部分の欠落性が良好になる。
【0049】
本発明の黒色感光性樹脂組成物は、着色剤(A)、光重合性化合物(C)、光重合開始剤(D)及び溶剤(E)からなる群より選ばれる少なくとも1種を更に含有することができる。
【0050】
上記着色剤(A)には、黒色顔料(A1)及び有機顔料(A2)が含まれる。
【0051】
上記黒色顔料(A1)としては、遮光性があるものであれば、特に制限されず用いることができるが、具体的には、アニリンブラック、ペリレンブラック、チタンブラック、カーボンブラックなどを用いることができる。
【0052】
上記有機顔料(A2)は、色補正剤の役割を果たし、印刷インク、インクジェットインクなどに用いられる当業界に公知のものを制限されず用いることができ、具体的には、水溶性アゾ顔料、不溶性アゾ顔料、フタロシアニン顔料、キナクリドン顔料、イソインドリノン顔料、イソインドリン顔料、ペリレン顔料、ペリノン顔料、ジオキサジン顔料、アントラキノン顔料、ジアントラキノニル顔料、アントラピリミジン顔料、アンサンスロン(anthanthrone)顔料、インダントロン(indanthrone)顔料、フラバントロン顔料、ピラントロン(pyranthrone)顔料、ジケトピロロピロール顔料などを用いることができるが、これに限定されるものではない。
【0053】
上記着色剤(A)は、黒色感光性樹脂組成物の固形分100質量部に対して20〜70質量部含まれることができ、好ましくは、30〜65質量部含まれることができる。上記着色剤(A)が20〜70質量部含まれる場合、薄膜形成の際に光学密度が充分となり、現像の時、画素部の残渣発生が減少する。ここで、上記「固形分」は、黒色感光性樹脂組成物から溶剤を除いた残りの成分の総量を意味する。
【0054】
上記光重合性化合物(C)は、光重合開始剤(D)の作用で重合することができる化合物であり、単官能単量体、2官能単量体又は多官能単量体を用いることができ、好ましくは、2官能以上の多官能単量体を用いることができる。
【0055】
上記単官能単量体の具体的な例としては、ノニルフェニルカルビトールアクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、2−エチルヘキシルカルビトールアクリレート、2−ヒドロキシエチル アクリレート、N−ビニルピロリドンなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【0056】
上記2官能単量体の具体的な例としては、1,6−へキサンジオールジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAのビス(アクリロイルオキシエチル)エーテル、3−メチルペンタンジオールジ(メタ)アクリレートなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【0057】
上記多官能単量体の具体的な例としては、トリメチロール プロパントリ(メタ)アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、エトキシ化ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、プロポキシ化ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【0058】
上記光重合性化合物(C)は、黒色感光性樹脂組成物の固形分100質量部に対して3〜40質量部含まれることができ、好ましくは、5〜30質量部含まれることができる。上記光重合性化合物(C)が3〜40質量部含まれる場合、露光部の強度及び平滑性が良好である。
【0059】
上記光重合開始剤(D)としては、当業界に公知の光重合開始剤を制限されず用いることができ、具体的には、トリアジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物及びオキシム化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種を用いることができる。
【0060】
具体的に、上記トリアジン系化合物としては、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−ピペロニル−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル]−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[2−(フラン−2−イル)エテニル]−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル]−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−1,3,5−トリアジンなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【0061】
上記アセトフェノン系化合物としては、ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、2−ヒドロキシ−1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル]−2−メチルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−[4−(1−メチルビニル)フェニル]プロパン−1−オンのオリゴマーなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。また、上記アセトフェノン系化合物は、下記一般式(3)で表される化合物であってもよい。
【0062】
【化5】

【0063】
上記式(3)中、R〜Rは、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、炭素原子数1〜12のアルキル基、炭素原子数1〜12のアルキル基で置換されてもよいフェニル基、炭素原子数1〜12のアルキル基で置換されてもよいベンジル基又は炭素原子数1〜12のアルキル基で置換されてもよいナフチル基を示す。
【0064】
上記式(3)で表される化合物の具体的な例としては、2−メチル−2−アミノ(4−モルホリノフェニル)エタン−1−オン、2−エチル−アミノ(4−モルホリノフェニル)エタン−1−オン、2−プロピル−2−アミノ(4−モルホリノフェニル)エタン−1−オン、2−ブチル−2−アミノ(4−モルホリノフェニル)エタン−1−オン、2−メチル−2−アミノ(4−モルホリノフェニル)プロパン−1−オン、2−メチル−2−アミノ(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン、2−エチル−2−アミノ(4−モルホリノフェニル)プロパン−1−オン、2−エチル−2−アミノ(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン、2−メチル−2−メチルアミノ(4−モルホリノフェニル)プロパン−1−オン、2−メチル−2−ジメチルアミノ(4−モルホリノフェニル)プロパン−1−オン、2−メチル−2−ジエチルアミノ(4−モルホリノフェニル)プロパン−1−オンなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【0065】
上記ビイミダゾール系化合物としては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,3−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(アルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(トリアルコキシフェニル)ビイミダゾール、4,4’,5,5’の位置のフェニル基がカルボアルコキシ基によって置換されたイミダゾール化合物などが挙げられ、好ましくは、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4‘,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,3−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾールなどが用いられるが、これらに限定されるものではない。
【0066】
上記オキシム化合物としては、例えば、下記一般式(4)、(5)又は(6)で表される化合物が挙げられる。
【0067】
【化6】

【0068】
【化7】

【0069】
【化8】

【0070】
また、上述の光重合開始剤以外に、本発明の効果を損傷しない程度であれば、当該分野で通常に使用するその他の光重合開始剤などを追加で併用することができる。その他の光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、アントラセン系化合物、多官能チオル化合物などが挙げられる。これらは、各々単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
【0071】
具体的に、上記ベンゾイン系化合物としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられ、これらに限定されるものではない。
【0072】
上記ベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、0−ベンゾイルベンゾ酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4‘−メチルジフェニルスルフィド、3,3’、4,4‘−テトラ(tert−ブチルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン、2,4,6−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。
【0073】
上記チオキサントン系化合物としては、2−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【0074】
上記アントラセン系化合物としては、9,10−ジメトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジエトキシアントラセンなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【0075】
上記多官能チオル化合物としては、トリス−(3−メルカプトプロピオンイルオキシ)−エチル−イソシアヌル酸、トリメチロールプロパントリス−3−メルカプトプロピオン酸、ペンタエリスリトールテトラキス−3−メルカプトプロピオン酸、ジペンタエリスリトールテトラキス−3−メルカプトプロピオン酸などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【0076】
その他に、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、10−ブチル−2−クロロアクリドン、2−エチルアントラキノン、ベンジル、9,10−フェナントレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などを、その他の光重合開始剤として用いることができる。
【0077】
上記光重合開始剤(D)は、黒色感光性樹脂組成物の固形分100質量部に対して0.1〜20質量部含まれることが好ましく、0.5〜10質量部含まれることがより好ましい。上記光重合開始剤(D)が0.1〜20質量部含まれる場合、黒色感光性樹脂組成物の感度が優れて露光時間が短縮されることで、生産性が向上されると同時に高い微細性を維持することができるので、露光部の強度及び平滑性が良好となる。
【0078】
上記光重合開始剤(D)に光重合開始補助剤(D−1)を組み合わせて用いることもできる。光重合開始剤(D)に光重合開始補助剤(D−1)を併用すれば、これらを含有する黒色感光性樹脂組成物は、更に高感度になり、ブラックマトリクス又はブラックカラムスペーサ(Black Column Spacer)を形成する時の生産性が向上する。
【0079】
上記光重合開始補助剤(D−1)としては、アミン化合物及びカルボン酸化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種を用いることができる。
【0080】
具体的には、上記アミン化合物としては、トリエタノールアミン、メチルエタノールアミン、トリイソプロパノールアミンなどの脂肪族アミン化合物;4−ジメチルアミノベンゾ酸メチル、4−ジメチルアミノベンゾ酸エチル、4−ジメチルアミノベンゾ酸イソアミル、4−ジメチルアミノベンゾ酸2−エチルへキシル、ベンゾ酸2−ジメチルアミノエチル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称:ミヒラーケトン(Michler’s ketone)、4、4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンなどの芳香族アミン化合物などが挙げられ、好ましくは、芳香族アミン化合物を用いることができるが、これに限定されるものではない。
【0081】
上記カルボン酸化合物としては、フェニルチオアセテート、メチルフェニルチオアセテート、エチルフェニルチオアセテート、メチルエチルフェニルチオアセテート、ジメチルフェニルチオアセテート、メトキシフェニルチオアセテート、ジメトキシフェニルチオアセテート、クロロフェニルチオアセテート、ジクロロフェニルチオアセテート、N−フェニルグリシン、フェノキシアセテート、ナフチルチオアセテート、N−ナフチルグリシン、ナフトキシアセテートなどの芳香族ヘテロアセテート類が挙げられるが、これに限定されるものではない。
【0082】
上記光重合開始補助剤(D−1)は、黒色感光性樹脂組成物の固形分100質量部に対して0.01〜10質量部含まれることが好ましく、0.01〜5質量部含まれることがより好ましい。上記光重合開始補助剤(D−1)が0.01〜10質量部含まれる場合、黒色感光性樹脂組成物の感度が増加し、これによって、形成された着色層の強度及び平滑性が向上するのみならず、カラーフィルターの生産性が向上する。
【0083】
上記溶剤(E)としては、当業界に公知のものを制限されず用いることができ、具体的には、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルなどのエチレングリコールモノアルキルエーテル類;ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテルなどのジエチレングリコールジアルキルエーテル類;メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテートなどのエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類;プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテートなどのアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類;メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテートなどのアルコキシアルキルアセテート類;ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどの芳香族炭化水素類;メチルエチルケトン、アセトン、メチルアミルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類;エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリンなどのアルコール類;3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチルなどのエステル類;及びγ−ブチロラクトンなどの環状エステル類からなる群より選ばれる少なくとも1種を用いることができる。
【0084】
塗布性、乾燥性の観点から、沸点が100〜200℃である有機溶剤を用いることが好ましく、アルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類、ケトン類、3−エトキシプロピオン酸エチル及び3−メトキシプロピオン酸メチルなどのエステル類からなる群より選ばれる少なくとも1種を用いることがより好ましく、プリピレングリコールモノメチルエーテルセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、3−エトキシプロピオン酸エチル及び3−メトキシプロピオン酸メチルからなる群より選ばれる少なくとも1種を用いることが更に好ましい。
【0085】
上記溶剤(E)は、黒色感光性樹脂組成物100質量部に対して60〜90質量部、好ましくは、70〜88質量部含まれる。上記溶剤(E)が60〜90質量部含まれる場合、ロールコーター、スピンコーター、スリット&スピンコーター、スリットコーター(ダイコーター)、インクジェットなどの塗布装置で塗布する際に塗布性が良好となる。
【0086】
本発明の黒色感光性樹脂組成物は、上記成分以外に本発明の目的を外さない範囲で当業者の必要によって充填剤、他の高分子化合物、硬化剤、顔料分散剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤などの添加剤(F)を併用することも可能である。
【0087】
上記充填剤としては、ガラス、シリカ、アルミナなどを用いることができるが、これらに限定されるものではない。
【0088】
上記他の高分子化合物としては、エポキシ樹脂、マレイミド樹脂などの硬化性樹脂、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフルオロアルキルアクリレート、ポリエステル、ポリウレタンなどの熱可塑性樹脂などを用いることができるが、これらに限定されるものではない。
【0089】
上記硬化剤は、芯部硬化及び機械的な強度向上のために用いられ、例えば、エポキシ化合物、多官能イソシアネート化合物、メラミン化合物、オキセタン化合物などを用いることができるが、これらに限定されるものではない。
【0090】
上記エポキシ化合物としては、ビスフェノールA系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールA系エポキシ樹脂、ビスフェノールF系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールF系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、その他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、又はこのようなエポキシ樹脂のブロム化誘導体、エポキシ樹脂及びそのブロム化誘導体以外の脂肪族、脂環族又は芳香族エポキシ化合物、ブタジエン(共)重合体エポキシド、イソプレン(共)重合体エポキシド、グリシジル(メタ)アクリレート(共)重合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどを用いることができるが、これらに限定されるものではない。
【0091】
上記オキセタン化合物としては、カルボネートビスオキセタン、キシレンビスオキセタン、アジピン酸ビスオキセタン、テレフタラートビスオキセタン、シクロへキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどを用いることができるが、これらに限定されるものではない。
【0092】
上記硬化剤としては、硬化剤と共にエポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合することができる硬化補助化合物を併用することができる。上記硬化補助化合物としては、多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤などを用いることができる。上記カルボン酸無水物類としては、エポキシ樹脂硬化剤として市販されるものを用いることができる。市販される上記エポキシ樹脂硬化剤としては、商品名「アデカハードナーEH−700」(株式会社ADEKA製)、商品名「リカシットHH」(新日本理化株式会社製)、商品名「MH−700」(新日本理化株式会社製)などが挙げられる。上記の硬化剤及び硬化補助化合物は、各々単独に又は2種以上混合して用いることができる。
【0093】
上記顔料分散剤としては、市販される界面活性剤を用いることができる。例えば、シリコン系、フッ素系、エステル系、陽イオン系、陰イオン系、非イオン系及び両性などの界面活性剤からなる群より選ばれる少なくとも1種を用いることができる。具体的には、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、第3級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類などを用いることができ、その他に商品名で、KP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄化学(株)製)、エフトップ(トーケムプロダクツ社製)、メガファック(大日本インキ化学工業(株)製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、アサヒガード、サーフロン(以上、旭硝子(株)製)、ソルスパース(ルーブリゾール製)、EFKA(EFKA CHEMICALS社製)、PB821(味の素(株)製)、Disperbyk−series(BYK−chemi)などを用いることができる。
【0094】
上記密着促進剤としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメチルジメトキシシラン、2−(3、4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−イソシアネートプロピルトリメトキシシラン及び3−イソシアネートプロピルトリエトキシシランからなる群より選ばれる少なくとも1種を用いることができる。上記密着促進剤は、組成物の固形分100質量部に対して0.01〜10質量部、好ましくは、0.05〜2質量部含まれる。
【0095】
上記酸化防止剤としては、2,2’−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチル−4−メチルフェノールなどのヒンダードフェノール系を用いることができるが、これらに限定されるものではない。
【0096】
上記紫外線吸収剤としては、2−(3−tert―ブチル−2−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどを用いることができるが、これらに限定されるものではない。
【0097】
上記凝集防止剤としては、ポリアクリル酸ナトリウムなどを用いることができるが、これに限定されるものではない。
【0098】
本発明の黒色感光性樹脂組成物は、以下のような方法によって製造される。着色剤(A)を先に溶剤(E)と混合して着色剤(A)の平均粒径が0.2μm以下ぐらいになるまでビードミルなどを用いて分散させて分散液を得る。この時、必要に応じて顔料分散剤が用いられ、アルカリ可溶性樹脂(B)の一部又はすべてが配合される場合もある。得られた分散液(以下、ミルベースという場合もある)にアルカリ可溶性樹脂(B)の残り、光重合性化合物(C)及び光重合開始剤(D)と、必要に応じて添加剤(F)を添加した後、必要に応じて追加の溶剤を所定の濃度になるように更に添加して目的とする黒色感光性樹脂組成物を得ることができる。
【0099】
以下、本発明のカラーフィルターについて説明する。
【0100】
本発明のカラーフィルターは、基板上部に上述の本発明の黒色感光性樹脂組成物を塗布して、所定のパターンで露光及び現像することで得られるブラックマトリクス又はブラックカラムスペーサを含む。
【0101】
本発明の黒色感光性樹脂組成物を用いてブラックマトリクス又はブラックカラムスペーサのパターンを形成する方法は、上述の黒色感光性樹脂組成物を基板上に塗布する塗布ステップ、上記黒色感光性樹脂組成物の一部領域を選択的に露光する露光ステップ及び上記黒色感光性樹脂組成物の露光領域又は非露光領域を除く現像ステップを含む。
【0102】
上記塗布ステップは、本発明の黒色感光性組成物を基板上に塗布して予備乾燥することで溶剤などの揮発成分を除いて平滑な塗膜を得るステップである。この時の塗膜の厚さは、約0.5〜5μmである。上記基板は、ガラス、シリコンウエハ又はポリエーテルスルホン(PES:polyethersulfone)、ポリカーボネート(PC:polycarbonate)などのプラスチック基材の板であってもよく、その種類に特別な制限はない。
【0103】
上記露光ステップは、上記で得られた塗膜に目的とするパターンを得るために、マスクを介して特定領域に紫外線を照射するステップである。この時、露光部の全体に均一に平行光線が照射されて、マスクと基板の位置が精確に合うようにマスクアライナやステッパーなどの装置を用いるのが好ましい。
【0104】
上記現像ステップは、上記で硬化が終了した塗膜を現像液であるアルカリ水溶液に接触させて非露光領域を溶解させて現像を行なうことで、目的とするパターンを製造するステップである。現像の後、必要に応じて150〜230℃で約10〜60分、乾燥を行うことができる。
【0105】
上記現像ステップで用いる現像液は、通常アルカリ性化合物と界面活性剤を含む水溶液である。上記アルカリ性化合物としては、無機又は有機アルカリ性化合物を用いることができ、上記無機アルカリ性化合物としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、燐酸水素二ナトリウム、燐酸二水素ナトリウム、燐酸水素二アンモニウム、燐酸二水素アンモニウム、燐酸二水素カリウム、ケイ素ナトリウム、ケイ素カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニアなどを用いることができる。また、上記有機アルカリ性化合物としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、2−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミンなどが挙げられる。これら無機及び有機アルカリ性化合物は、各々単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。上記アルカリ性化合物の好ましい濃度は、現像液100質量部に対して0.01〜10質量部であり、より好ましくは、0.03〜5質量部である。
【0106】
上記現像液のうち、界面活性剤としては、非イオン系界面活性剤、陰イオン系界面活性剤及び陽イオン系界面活性剤からなる群より選ばれる少なくとも1種を用いることができる。上記非イオン系界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン/オキシプロピレンブロック共重合体、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミンなどを用いることができる。上記陰イオン系界面活性剤としては、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウム、オレイルアルコール硫酸エステルナトリウムなどの高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウム、ラウリル硫酸アンモニウムなどのアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、ドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムなどのアルキルアリルスルホン酸塩類などを用いることができる。上記陽イオン系界面活性剤としては、ステアロイルアミン塩酸塩、ラウリルトリメチルアンモニウムクロライドなどのアミン塩または第4級アンモニウム塩などを用いることができる。上記界面活性剤は、各々単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。上記界面活性剤は、アルカリ現像液100質量部に対して0.01〜10質量部、好ましくは、0.05〜8質量部、より好ましくは、0.1〜5質量部含まれることができる。
【0107】
上記の過程を介して、ブラックマトリクス又はブラックカラムスペーサが得られる。カラーフィルターの構成及び製造方法は、本発明分野において公知であるため、それによる詳細な説明は省略する。
【0108】
本発明は、上述のカラーフィルターを備えた液晶表示装置をも提供する。
【0109】
本発明の液晶表示装置は、上述のカラーフィルターを備えたことを除いては、本発明の技術分野で公知の構成を含む。すなわち、本発明のカラーフィルターを適用することができる液晶表示装置は、すべて本発明に含まれる。一例として、薄膜トランジスタ(TFT素子)、画素電極及び配向層を備えた電極基板を所定の間隔に向き合うようにして、この間隙部に液晶材料を注入して液晶層とした透過型の液晶表示装置が挙げられる。また、カラーフィルターの基板と着色層の間に反射層を設けた反射型の液晶表示装置もある。
【0110】
また、他の一例としては、カラーフィルターの透明電極の上に合わせたTFT(薄膜トランジスタ:Thin Film Transistor)基板及び、TFT基板がカラーフィルターと重畳する位置に固定されたバックライトを含めた液晶表示装置が挙げられる。上記TFT基板は、カラーフィルターの周辺表面を囲む光防止樹脂(light−proof resin)からなる外部フレーム、外部フレーム内に与えられたネマチック液晶からなる液晶層、液晶層の各領域ごとに提供された複数の画素電極、画素電極が形成された透明ガラス基板、及び透明ガラス基板の露出された表面の上に形成された偏光板を備えることができる。
【0111】
偏光板は、垂直に切り渡る偏光方向を有し、ポリビニルアルコールと同様な有機材料で構成されている。複数の画素電極は、各々TFT基板のガラス基板の上に形成された複数の薄膜トランジスタと接続されている。もし、特定の画素電極に所定の電位差が適用されれば、所定の電圧が特定の画素電極と透明電極の間に適用される。よって、電圧に応じて形成された電気場が液晶層の特定画素電極に該当する領域の配向を変化させる。
【実施例】
【0112】
以下、実施例を挙げて本発明についてより具体的に説明する。ただし、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【0113】
<製造例>顔料分散液Mの製造
カーボンブラック20.0g、分散剤としてアジスパーPB821(味の素ファインテクノ(株)製)6g、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート74gをビードミルで12時間混合分散して顔料分散液Mを製造した。
【0114】
<合成例1〜20>アルカリ可溶性樹脂の合成
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を備えた1000mLフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMA)、AIBN、2−アクリルオキシエチルコハク酸塩類(B−1)、ノーマルフェニルマレイミド、スチレン、メタアクリル酸、イソボルニルメタアクリレート類(B−2)を、下記表2及び表3の配合量で投入し窒素置換した(下記表2及び3の単位はgである)。その後、撹拌しつつ反応液の温度を100℃に上昇させ、7時間反応させた。このように合成されたアルカリ可溶性樹脂の最終固形分、固形分の酸価及びGPCで重量平均分子量を測定して下記表3及び4に示した。各々の合成例で用いた(B−1)と(B−2)は、下記表1及び表2に示すとおりである。
【0115】
【表1】

【0116】
【表2】

【0117】
【表3】

【0118】
【表4】

【0119】
<実施例1〜17>黒色感光性樹脂組成物の製造
下記表5及び6の組成で当業界に公知の方法で黒色感光性樹脂組成物を製造した。下記表5及び6の単位はgである。
【0120】
【表5】

【0121】
【表6】

【0122】
<比較例1〜4>黒色感光性樹脂組成物の製造
下記表7の組成で上記実施例と同様の方法で黒色感光性樹脂組成物を製造した。下記表7の単位はgである。
【0123】
【表7】

【0124】
<評価実験1>熱流れ性
実施例1〜17と比較例1〜4で製造された黒色感光性樹脂組成物をスピンコーティング法でガラス基板の上に塗布した後、加熱板の上に置いて100℃の温度にて2分間維持して薄膜を形成させた。続いて、上記薄膜の上に透過率を1〜100%の範囲でステップ状に変化させるパターンと1μm〜50μmのライン/スペースパターンを有するテストフォトマスクを載せてテストフォトマスクとの間隔を50μmにして紫外線を照射した。この時、紫外線光源は、g、h、i線をすべて含有する1kWの高圧水銀燈を用いて50mJ/cmの照度に照射し、特別な光学フィルターは用いなかった。上記の紫外線が照射された薄膜をpH10.5のKOH水溶液現像溶液に2分間沈めて現像を行なった。この薄膜が張られたガラス板を蒸留水を用いて洗浄した後、窒素ガスを吹いて乾燥して、230℃の加熱オーブンにて20分間加熱してカラーフィルターを製造した。
【0125】
上記で製造されたカラーフィルターのフィルム厚さは、1.0μmであった。現像の後に残っている露光部の20μmパターンの膜厚さをポストベークの前後に測定し、以下の式により熱流れ性を求め、その結果を下記のような基準で評価して表8に示した。
式 熱流れ性=(ポストベークの後の膜厚さ/ポストベークの前の膜厚さ)×100
○:97%以上、△:95〜97%、×:95%以下
【0126】
【表8】

【0127】
表8に示すように、実施例の黒色感光性樹脂組成物においては、熱流れ性が小さく、ポストベーク前後の膜厚さに大きな変化がなかった。一方、比較例の黒色感光性樹脂組成物の場合、熱流れ性が大きく、ポストベークの前後に膜厚さの差が生じた。また、上記一般式(1)で表される単量体(B−1)及び上記一般式(2)で表される単量体(B−2)の配合量が少量である実施例10、11及び13の組成物においては、熱流れ性の低減効果が他の実施例ほどは得られなかった。
【0128】
<評価実験2>貯蔵安定性
実施例1〜17と比較例1〜4で製造された光遮断用黒色感光性樹脂組成物を25℃にて各々5日、3日、1日放置したものと、コントロールとして各々の該当組成物をパターン評価実験する直前に製造した組成物とを、スピンコーティング法でガラス基板の上に塗布した後、加熱板の上に置いて100℃の温度にて2分間維持して薄膜を形成させた。20μmパターンを有するテストフォトマスクを載せてテストフォトマスクとの間隔を50μmにして紫外線を照射した。この時、紫外線光源は、g、h、i線をすべて含有する1kWの高圧水銀燈を用いて50mJ/cmの照度に照射し、特別な光学フィルターは用いなかった。上記の紫外線が照射された薄膜をpH10.5のKOH水溶液現像溶液に2分間沈めて現像を行なった。この薄膜が張られたガラス板を蒸留水を用いて洗浄した後、窒素ガスを吹いて乾燥して、230℃の加熱オーブンにて20分間加熱してカラーフィルターを製造した。上記で製造されたカラーフィルターのうち、20μmの線幅を有するマスクに形成されたパターンの線幅を各々測定して放置時間による線幅の変化量(△CD)を以下の式により求め、その結果を下記基準により評価し、表9に示した。
【0129】
△CD=(当日製造された樹脂組成物で評価を行なったパターンの線幅)−(常温放置した樹脂組成物で評価を行なったパターンの線幅)
○:△CD=0.5μm以下
△:△CD=0.5〜1.0μm
×:△CD=1.0μm以上
【0130】
【表9】

【0131】
表9に示すように、実施例の黒色感光性樹脂組成物においては、常温での放置時間によるパターン線幅の差はさほど生じなかったが、比較例の組成物においては、3日放置後からパターン線幅の差が大きくなった。
【0132】
<評価実験3>感度(微細性)
実施例及び比較例の組成物をスピンコーティング法でガラス基板の上に塗布した後、加熱板の上に置いて100℃の温度にて2分間維持して薄膜を形成させた。20μmパターンを有するテストフォトマスクを載せてテストフォトマスクとの間隔を50μmにして紫外線を照射した。この時、紫外線光源は、g、h、i線をすべて含有する1kWの高圧水銀燈を用いて50mJ/cmの照度にて照射し、特別な光学フィルターは用いなかった。上記の紫外線が照射された薄膜をpH10.5のKOH水溶液現像溶液に2分間沈めて現像を行なった。この薄膜が張られたガラス板を蒸留水を用いて洗浄した後、光学顕微鏡で何μmのパターンまで残っているかを観察することにより感度(微細性)の評価を行い、評価結果を表10に示した。
【0133】
【表10】

【0134】
表10に示すように、実施例の組成物においては、8μmのパターンまで残り、感度に優れ、比較例の組成物においても8μmのパターンまで残り、比較的に感度が良好であった。上記一般式(1)で表される単量体(B−1)及び上記一般式(2)で表される単量体(B−2)の配合量が少ない実施例10、11及び13の場合、密着性及びこれによる感度が多少減少した。また、上記(B−1)及び(B−2)の単量体の配合量が多い実施例12及び14の場合、密着性の増加で微細パターン間残膜の接続が生じて感度が減少する傾向を示した。
【0135】
<評価実験4>密着性
評価実験1〜3と同様の方法で現像工程まで進めた後、超高圧洗浄工程(2MPa)で30秒間蒸留水を用いて洗浄して、何μmのパターンまでパターン取れがないかを光学顕微鏡で観察し、結果を表11に示した。
【0136】
【表11】

【0137】
表11に示すように、実施例の組成物の場合、比較例の組成物より微細パターンまで取れ現象が生じず、パターン間接続現像も生じなかった。
【0138】
上記結果に示されるように、本発明の一般式(1)で表される化合物を含む単量体を重合して製造されたアルカリ可溶性樹脂を含む黒色感光性樹脂組成物は、基板との密着性、感度、貯蔵安定性に優れるのみならず、ポストベークの際に熱流れ性が小さくパターンの流下現象が減少されるので、光学密度が均一なパターン及びブラックマトリクスを提供することができる。
【産業上の利用可能性】
【0139】
本発明の黒色感光性樹脂組成物は、液晶ディスプレーのカラーフィルターにおけるブラックマトリクス等の製造において、好適に用いられる。

【特許請求の範囲】
【請求項1】
下記一般式(1)で表される化合物及び下記一般式(2)で表される化合物を含む単量体の重合反応により得られるアルカリ可溶性樹脂(B)を含有する、黒色感光性樹脂組成物。
【化1】


(式中、nは2〜4の整数である。)
【化2】


(式中、mは0〜2の整数である。)
【請求項2】
前記単量体が、当該単量体100質量部に対して10〜40質量部の前記一般式(1)で表される化合物を含む、請求項1に記載の黒色感光性樹脂組成物。
【請求項3】
前記単量体が、当該単量体100質量部に対して10〜40質量部の前記一般式(2)で表される化合物を含む、請求項1に記載の黒色感光性樹脂組成物。
【請求項4】
前記黒色感光性樹脂組成物の固形分100質量部に対して、4〜25質量部の前記アルカリ可溶性樹脂(B)を含有する、請求項1に記載の黒色感光性樹脂組成物。
【請求項5】
前記単量体が、(メタ)アクリレート系化合物、芳香族ビニル化合物、カルボン酸ビニルエステル化合物、シアン化ビニル化合物、マレイミド化合物、ビニルカルボキシレート化合物、不飽和オキセタンカルボキシレート化合物、モノカルボン酸化合物、ジカルボン酸化合物及び両末端にカルボキシ基とヒドロキシ基を有する化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種の化合物を更に含む、請求項1に記載の黒色感光性樹脂組成物。
【請求項6】
着色剤(A)、光重合性化合物(C)、光重合開始剤(D)及び溶剤(E)からなる群より選ばれる少なくとも1種を更に含有する、請求項1に記載の黒色感光性樹脂組成物。
【請求項7】
請求項1〜6のいずれか一項に記載の黒色感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、露光及び現像することにより得られる、ブラックマトリクス。
【請求項8】
請求項7に記載のブラックマトリクスを備える、カラーフィルター。

【公開番号】特開2011−221529(P2011−221529A)
【公開日】平成23年11月4日(2011.11.4)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2011−82857(P2011−82857)
【出願日】平成23年4月4日(2011.4.4)
【出願人】(503454506)東友ファインケム株式会社 (42)
【Fターム(参考)】