ＴＡＢの検査装置
【課題】 ＴＡＢの検査装置において、パンチ穴を形成する際のＴＡＢの移送の減速、停止に拘らず自動的に各デバイスの適正な検査を行う。
【解決手段】 ＴＡＢを移送する移送手段と、ＴＡＢの各デバイスを画像として取得する画像取得手段と、取得した画像と予め登録された基準画像とを対比してデバイスの欠陥の有無を判定する判定手段と、欠陥の存在が判定されたデバイスにパンチ穴を形成するパンチ装置２５とを有するＴＡＢの検査装置であって、ラインセンサ２０，２１を用いて、ＴＡＢの移送中で幅方向の直線画像を連続的に取得してデバイス全体の画像を取得するように画像取得手段を構成し、かつ、ＴＡＢを連続移送すると共に、欠陥の存在が判定されたデバイスＸ１がパンチ装置２５の対応位置に移送したときにＴＡＢの移送を停止し、かつ、移送再開時に、後続の未判定のデバイスがラインセンサ２０，２１の上流側まで戻るように移送手段を制御する。
【解決手段】 ＴＡＢを移送する移送手段と、ＴＡＢの各デバイスを画像として取得する画像取得手段と、取得した画像と予め登録された基準画像とを対比してデバイスの欠陥の有無を判定する判定手段と、欠陥の存在が判定されたデバイスにパンチ穴を形成するパンチ装置２５とを有するＴＡＢの検査装置であって、ラインセンサ２０，２１を用いて、ＴＡＢの移送中で幅方向の直線画像を連続的に取得してデバイス全体の画像を取得するように画像取得手段を構成し、かつ、ＴＡＢを連続移送すると共に、欠陥の存在が判定されたデバイスＸ１がパンチ装置２５の対応位置に移送したときにＴＡＢの移送を停止し、かつ、移送再開時に、後続の未判定のデバイスがラインセンサ２０，２１の上流側まで戻るように移送手段を制御する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＡＢの欠陥等を検査するＴＡＢの検査装置に関し、物品検査の技術分野に属する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＩＣチップの小型・薄型のパッケージとして、ポリイミド等の樹脂フィルムをパンチング加工した後に、銅箔等を張り合わせ、フォトエッチング等で回路パターンを形成したＴＡＢが開発されている。ＴＡＢには、多数の回路パターンが一定のピッチで繰り返して形成されており、１チップに対応する回路パターンの領域（以下、パターンの単位を「デバイス」という）の断線などの欠陥を検査する装置として、各種のものが提案されている。
【０００３】
例えば特許文献１には、ＴＡＢを移送する移送手段と、ＴＡＢを照明する光源と、ＴＡＢの画像を撮像するＣＣＤカメラと、該ＣＣＤカメラで撮像された１デバイスの画像と予め記憶された基準画像とを対比することにより欠陥の有無の判定を行うコンピュータと、欠陥ＴＡＢを識別する目印としてのパンチ穴を形成するパンチ装置とを有する検査装置が開示されている。
【０００４】
また、特許文献２〜４には、ＴＡＢをＩＣテスタのテスト結果に基いて選別するためのＴＡＢ用オートハンドラについて開示されている。
【０００５】
このＴＡＢ用オートハンドラは、移送手段と、ＴＡＢの移送経路にＴＡＢの上部にプッシャ及び下部にプローブカードを有するＩＣテスタと、該ＩＣテスタの下流側に配置されたパンチ装置と、前記ＩＣテスタの上流側と前記パンチ装置の下流側にそれぞれＴＡＢの画像を取得するためのカメラとを有している。
【０００６】
そして、前記プッシャが降下することによりＴＡＢがプローブカードに接触し、１デバイスごとの回路パターンの電気的特性が測定され、この特性に応じてパンチ装置によりパンチ穴が形成される。また、前記カメラは、取得した画像データに基いて、ＴＡＢの有無、ＩＣチップの有無、パンチ穴の有無を検出するようになっている。
【特許文献１】特開２０００−１８２０６１号公報
【特許文献２】特開平７−８６３５５号公報
【特許文献３】特開平７−２３９３６６号公報
【特許文献４】特開２００２−３２８１５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、前記特許文献１に開示された検査装置は、ＴＡＢがパンチ装置の下方に配置されるたびに一旦停止するように間欠駆動するように構成されており、前記特許文献２〜４に開示されたＴＡＢ用オートハンドラは、プッシャが降下する際にＴＡＢの移送が停止され、移送手段を間欠駆動させることになる。そして、このような間欠駆動は、検査能率の低下を招く。
【０００８】
一方、前記特許文献１の検査装置のように画像による判定を行うものにおいては、デバイスの全体画像を撮像するカメラに代えてＴＡＢの幅方向の直線画像を撮像するラインセンサを用いることが考えられる。このラインセンサを用いれば、移送しながら画像を取得することができ、連続送りで検査することができると共に、画像を組み合わせることにより精度の良い１デバイスの画像が作成されるという利点がある。
【０００９】
しかしながら、このようなラインセンサで画像を取得するように構成された装置では、次のような問題の発生が考えられる。即ち、図１３（ａ）に示すように、ＴＡＢの移送に伴って連続的に判定が行われた場合、デバイスＸ１の欠陥の存在が判定されたときに該デバイスＸ１の後続のデバイスの検査が継続され、図１３（ｂ）に示すように、前記デバイスＸ１がパンチ装置２００によりパンチ穴ｐを形成すべき位置Ｌに到達したときにＴＡＢの移送が停止される。このとき、ラインセンサ２１０により画像取得中のデバイスＸａについては、精度の良い画像が取得できずに、適正な検査が行われないことになる。
【００１０】
そこで、本発明は、ＴＡＢの検査装置において、ラインセンサにより画像を取得するように構成すると共に、パンチ穴を形成する際のＴＡＢの移送の減速、停止に拘らず自動的に各デバイスの適正な検査を行うことを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記課題を解決するため、本発明は次のように構成したことを特徴とする。
【００１２】
まず、本願の請求項１に記載の発明は、多数のデバイスを一定ピッチで設けてなる帯状のＴＡＢをリールから繰り出して移送する移送手段と、該移送手段で移送されているＴＡＢの各デバイスを画像として取得する画像取得手段と、該取得手段で取得した画像を処理し、予め登録された基準画像と対比することによってデバイスの欠陥の有無を判定する判定手段と、前記画像取得手段よりＴＡＢの移送方向下流側に配置され、前記判定手段によって欠陥の存在が判定されたデバイスにパンチ穴を形成するパンチ手段とを有するＴＡＢの検査装置であって、前記画像取得手段は、ＴＡＢの幅方向に配置されたラインセンサを用いて、ＴＡＢが移送している状態で幅方向の直線画像を連続的に取得することによりデバイス全体の画像を取得するように構成されており、かつ、ＴＡＢを連続移送するように前記移送手段を制御すると共に、前記判定手段によって欠陥の存在が判定されたデバイスがパンチ手段の対応位置に移送されたときに該移送手段によるＴＡＢの移送を停止させ、かつ、移送再開時に、後続の未判定のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、前記移送手段を制御する移送制御手段が備えられていることを特徴とする。
【００１３】
また、請求項２に記載の発明は、前記請求項１に記載のＴＡＢの検査装置において、前記移送制御手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定されたときに、移送手段を停止させることなく作動させて、後続のデバイスに対する判定を継続して行わせると共に、欠陥の存在が判定されたデバイスに対するパンチ穴の形成後、移送再開時に、ラインセンサ上にデバイスが位置するときは、そのデバイスが該センサの上流側まで戻るように、移送手段を制御することを特徴とする。
【００１４】
一方、請求項３に記載の発明は、前記請求項１に記載のＴＡＢの検査装置において、前記移送制御手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断させて、当該デバイスがパンチ手段に対応位置するように移送手段を作動させると共に、移送再開時に、後続の未判定のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、移送手段を制御することを特徴とする。
【００１５】
また、請求項４に記載の発明は、前記請求項１に記載のＴＡＢの検査装置において、前記移送制御手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定された後、欠陥の非存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断させて、欠陥の存在が判定されたデバイスがパンチ手段に対応位置するように移送手段を作動させると共に、移送再開時に、前記欠陥の非存在が判定されたデバイス又は次のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、移送手段を制御することを特徴とする。
【００１６】
一方、請求項５に記載の発明は、多数のデバイスを一定ピッチで設けてなる帯状のＴＡＢをリールから繰り出して移送する移送手段と、該移送手段で移送されているＴＡＢの各デバイスを画像として取得する画像取得手段と、該取得手段で取得した画像を処理し、予め登録された基準画像と対比することによってデバイスの欠陥の有無を判定する判定手段と、前記画像取得手段よりＴＡＢの移送方向下流側に配置され、前記判定手段によって欠陥の存在が判定されたデバイスにパンチ穴を形成するパンチ手段とを有するＴＡＢの検査装置であって、前記画像取得手段は、ＴＡＢの幅方向に配置されたラインセンサを用いて、ＴＡＢが移送している状態で幅方向の直線画像を連続的に取得することによりデバイス全体の画像を取得するように構成されており、かつ、前記画像取得手段とパンチ手段との間に配置され、前記判定手段によって欠陥の存在が判定されたデバイスを目視により欠陥の有無を判断するための顕微鏡と、該顕微鏡による判断結果に応じてパンチ処理又は非パンチ処理を選択する処理選択手段と、ＴＡＢを連続移送するように前記移送手段を制御すると共に、前記判定手段によって欠陥の存在が判定されたデバイスが顕微鏡の対応位置に移送されたときに該移送手段によるＴＡＢの移送を停止させ、前記処理選択手段によりパンチ処理が選択されたときは、移送再開時に、前記欠陥の存在が判定されたデバイスをパンチ手段の対応位置に移送するように移送手段を作動させると共に、この後、後続の未判定のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、前記移送手段を制御し、かつ、前記処理選択手段により非パンチ処理が選択されたときは、移送再開時に、後続の未判定のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、前記移送手段を制御する移送制御手段とが備えられていることを特徴とする。
【００１７】
また、請求項６に記載の発明は、前記請求項５に記載のＴＡＢの検査装置において、前記処理選択手段は、再検査処理を選択可能とされ、前記移送制御手段は、該処理選択手段により再検査処理が選択されたときは、移送再開時に、前記欠陥の存在が判定されたデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、前記移送手段を制御することを特徴とする。
【００１８】
さらに、請求項７に記載の発明は、前記請求項５または請求項６に記載のＴＡＢの検査装置において、前記移送制御手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定されたときに、移送手段を停止させることなく作動させて、後続のデバイスに対する判定を継続して行わせると共に、当該デバイスが顕微鏡に対応位置するときに移送手段を停止させることを特徴とする。
【００１９】
そして、請求項８に記載の発明は、前記請求項５または請求項６に記載のＴＡＢの検査装置において、前記移送制御手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断させて、当該デバイスが顕微鏡に対応位置するように移送手段を作動させることを特徴とする。
【００２０】
また、請求項９に記載の発明は、前記請求項５または請求項６に記載のＴＡＢの検査装置において、前記移送手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定された後、欠陥の非存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断させて、欠陥の存在が判定されたデバイスが顕微鏡に対応位置するように移送手段を作動させることを特徴とする。
【００２１】
そして、請求項１０に記載の発明は、前記請求項４または請求項９に記載のＴＡＢの検査装置において、前記判定手段によって所定回数以上連続して欠陥の存在が判定されたときに、装置を停止させる装置停止手段が備えられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
まず、請求項１に記載の発明によれば、移送手段は、通常検査時には、所定の移送速度でＴＡＢを移送するように制御されおり、ラインセンサは、該センサ上を通過するＴＡＢの幅方向の直線画像を連続的に取得し、この直線画像を組み合わせることによってデバイス全体の画像が作成される。そして、判定手段は、デバイス全体の画像と予め登録された基準画像とを対比することによってデバイスの欠陥の有無を判定する。このとき、欠陥の存在が判定されたデバイスについては、パンチ手段の対応位置に移送、停止される。このときのＴＡＢの移送の減速停止に伴って、未判定のデバイスや中途半端に画像取得されたデバイスがラインセンサの下流側に存在することになるが、これらのデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように移送手段が制御されるので、パンチ穴形成の際の移送の減速、停止に拘らず、自動的に各デバイスについての適正な検査が行われることになる。
【００２３】
また、請求項２に記載の発明によれば、判定手段により欠陥の存在が判定されても、移送手段を停止させることなく作動させて、後続のデバイスに対する判定が継続して行われ、欠陥の存在が判定されたデバイスがパンチ手段に対応位置したときに、ＴＡＢの移送が停止される。そして、パンチ穴形成後、移送再開時に、パンチ穴形成の際にラインセンサ上の中途半端な位置で停止したデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように移送手段が制御されるので、パンチ穴形成の際の移送の減速、停止に拘らず、自動的に各デバイスの適正な検査が行われることになる。
【００２４】
一方、請求項３に記載の発明によれば、判定手段により欠陥の存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断させ、欠陥の存在が判定されたデバイスをパンチ手段の対応位置まで移送、停止させる。そして、パンチ穴形成後、移送再開時に、後続の未判定のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように移送手段が制御されるので、パンチ穴形成の際の移送の減速、停止に拘らず、自動的に各デバイスの適正な検査が行われることになる。
【００２５】
さらに、請求項４に記載の発明によれば、判定手段により欠陥の存在が判定された後、欠陥の非存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断して、欠陥の存在が判定されたデバイスをパンチ手段の対応位置まで移送、停止させる。そして、１又は複数の欠陥の存在が判定されたデバイスについてのパンチ穴形成後、移送再開時に、欠陥の非存在が判定されたデバイス又は次のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように制御手段が制御されるので、パンチ穴形成の際の移送の減速、停止に拘らず、自動的に各デバイスについての適正な検査が行われることになる。さらにこの発明においては、連続して欠陥の存在が判定されたデバイスについては、まとめてパンチ穴が形成されるので、ＴＡＢの往復頻度が低減され、検査の能率化が実現される。
【００２６】
一方、請求項５に記載の発明によれば、移送手段は、通常検査時には、所定の移送速度でＴＡＢを移送するように制御されており、ラインセンサは、該センサ上を通過するＴＡＢの幅方向の直線画像を連続的に取得し、この直線画像を組み合わせることによってデバイス全体の画像が作成される。そして、判定手段は、デバイス全体の画像と予め登録された基準画像とを対比することによってデバイスの欠陥の有無を判定する。このとき、欠陥の存在が判定されたデバイスについては、顕微鏡の対応位置に移送、停止される、そして、作業者は、顕微鏡により当該デバイスについての欠陥の有無を判断し、処理選択手段によりパンチ処理或いは非パンチ処理を選択する。
【００２７】
作業者が欠陥の存在の判断をし、パンチ処理の選択がなされたときは、当該デバイスは、パンチ手段の対応位置に移送、停止される。そして、当該デバイスについてのパンチ穴形成後、ラインセンサの下流側に存在する未判定のデバイスがラインセンサの上流側に戻るように移送手段が制御される。
【００２８】
また、作業者が判定手段による判定結果を覆し、当該デバイスについて欠陥の非存在の判断をし、非パンチ処理の選択がなされたときは、当該デバイスは、欠陥の非存在の判定がなされたものとみなされて、ラインセンサの下流側に存在する未判定のデバイスがラインセンサの上流側に戻るように移送手段が制御される。
【００２９】
このように、本発明においては、顕微鏡又はパンチ手段の対応位置におけるＴＡＢの移送の減速、停止に拘らず、自動的に各デバイスについての適正な検査が行われる。しかも、判定手段による欠陥の有無の判定に加えて、作業者の目視による欠陥の有無の判断が行われるので、誤判定が防止され、検査精度の向上が実現される。
【００３０】
また、請求項６に記載の発明によれば、判定手段により欠陥の存在が判定されたデバイスについて再度ラインセンサにより画像を取得し、再度判定を行うようにした再検査処理が選択可能であるので、作業者による顕微鏡の目視の結果、欠陥の有無の判断が微妙なときなどに、再検査処理が選択されることになり、検査精度の一層の向上が実現される。
【００３１】
また、請求項７に記載の発明によれば、判定手段により欠陥の存在が判定されたときに、移送手段を停止させることなく作動させて、後続のデバイスに対する判定が継続して行われ、欠陥の存在が判定されたデバイスがパンチ手段に対応位置したときに、ＴＡＢの移送が停止される。そして、パンチ処理、非パンチ処理、又は再検査処理のいずれかの処理の際に、ラインセンサ上に中途半端な位置で停止したデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように移送手段が制御されるので、顕微鏡及びパンチ手段の対応位置におけるＴＡＢの移送の減速、停止に拘らず、自動的に各デバイスの適正な検査が行われることになる。
【００３２】
さらに、請求項８に記載の発明によれば、判定手段により欠陥の存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断させ、欠陥の存在が判定されたデバイスを顕微鏡の対応位置まで移送、停止させる。そして、パンチ処理、非パンチ処理、又は再検査処理のいずれかの処理の際に、後続の未判定のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように移送手段が制御されるので、顕微鏡及びパンチ手段の対応位置におけるＴＡＢの移送の減速、停止に拘らず、自動的に各デバイスの適正な検査が行われることになる。
【００３３】
また、請求項９に記載の発明によれば、判定手段により欠陥の存在が判定された後、欠陥の非存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断して、欠陥の存在が判定されたデバイスを顕微鏡の対応位置まで移送、停止させる。そして、１又は複数の欠陥の存在が判定されたデバイスについてのパンチ処理、非パンチ処理、又は再検査処理のいずれかの処理の際に、後続の未判定のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように移送手段が制御されるので、顕微鏡及びパンチ手段の対応位置におけるＴＡＢの移送の減速、停止に拘らず、自動的に各デバイスの適正な検査が行われることになる。
【００３４】
一方、ラインセンサのレンズにごみ等が付着したり、装置の故障等が生じた場合に、欠陥の非存在にも拘らず、連続して欠陥の存在が判定されることがある。これに対して、請求項１０に記載の発明によれば、所定回数以上連続して欠陥の存在が判定されたときに、装置停止手段により装置が停止されるので、検査が無駄に継続することが防止される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【００３６】
図１に示すように、本実施の形態に係るＴＡＢの検査装置１は、図２に示すようなテープ状のＴＡＢの欠陥等を検査するものである。ＴＡＢは、幅方向両端に沿って連続的にパーフォレーションＰ…Ｐが設けられたフィルムテープＴに、１チップごとに回路パターン（以下、パターンの単位を「デバイスＸ」という）が一定のピッチで繰り返して設けられたものであり、前記検査装置１は、各デバイスＸを順次検査するようになっている。
【００３７】
図１に示すように、前記検査装置１は、機枠２と、該機枠２に設けられて前記ＴＡＢが巻き掛けられた巻出リール１０と、該巻出リール１０から繰り出されたＴＡＢを案内するプーリ１１，１１と、蛇行防止のために備えられてＴＡＢのパーフォレーションＰ…Ｐに係合する複数のスプロケットホイール１２ａ〜１２ｅと、同一水平面上に配置されてＴＡＢを移送させる第１〜第３駆動ローラ１３ａ〜１３ｃと、ＴＡＢを巻き取る巻取リール１４とを有している。
【００３８】
また、ＴＡＢの移送経路に沿って、上流側から、ＴＡＢ表面にごみや塵等の接着を防止するためにＴＡＢ表面の静電気を取り除く除電気１５と、エア吸引作用によりＴＡＢ表面の異物を取り除く除塵装置１６と、ＴＡＢ表面の金属異物を取り除く磁性粉除去磁石１７と、ＴＡＢ表面の異物を取り除く粘着ロール１８と、ＴＡＢの各デバイスＸの下流側のエッジを検出する光電センサ１９と、ＴＡＢの幅方向の直線画像を連続的に取得する第１、第２ラインセンサ２０，２１と、ＴＡＢを斜め上方から照明する第１投光機２２と、ＴＡＢを裏面から照明する第２投光機２３と、作業者がＴＡＢの拡大画像を目視するための顕微鏡２４と、ＴＡＢにパンチ穴を形成するパンチ装置２５と、ＴＡＢ表面のごみを取り除くごみ取りロール２６とが備えられている。また、前記第１、第２ラインセンサ２０，２１により取得した画像等の表示を行う第１、第２検査用モニタ２７，２８が備えられている。
【００３９】
一方、巻出リール１０に巻き掛けられたＴＡＢは、ＴＡＢと保護シートＳとが重ねられた状態で巻き掛けられており、該巻出リール１０からＴＡＢが繰り出されると同時に保護シートＳが分離するようになっている。そして、分離した保護シートＳを案内する複数のプーリ２９ａ〜２９ｄと、中央のプーリ２９ｂ，２９ｃの間に設けられて自重により保護シートＳのテンションを適正化するダンサローラ３０とが設けられ、これらに案内された保護シートＳは、巻取リール１０によりＴＡＢが巻き取られる際に同時に巻き取られ、巻取リール１４においてはＴＡＢと保護シートＳとが重ねられた状態で巻き取られるようになっている。
【００４０】
さらに、前記顕微鏡２４とパンチ装置２５との間に備えられたスプロケットホイール１２ｄは、該ホイール１２ｄの回転量の情報に基いて、ＴＡＢの移送距離及び移送速度の情報を取得するエンコーダ１２ｄ′に連絡されている一方、第１〜第３駆動ローラ１３ａ〜１３ｃのうちの上流側の第１駆動ローラ１３ａは、エンコーダ１２ｄ′で取得した速度情報に基いて回転数のフィードバック制御を行うようになっている。
【００４１】
また、第１駆動ローラ１３ａの下流側の第２、第３駆動ローラ１３ｂ，１３ｃは、ＴＡＢのテンションを最適化する回転数に設定されている。そして、第１〜第３駆動ローラ１３ａ〜１３ｃの上方には、ＴＡＢを上方から押圧する押付けローラ１３ａ′〜１３ｃ′が備えられている。なお、押付けローラ１３ａ′〜１３ｃ′は、ＴＡＢのパーフォレーションＰ…Ｐが設けられた幅方向両端部を押圧するようになっており、ＴＡＢのテンションを適正化するために作用する。
【００４２】
一方、図３に示すように、この検査装置１には、互いに信号の授受を行う搬送用コントローラ１００と画像用コントローラ１１０とが備えられている。搬送用コントローラ１００は、前記エンコーダ１２ｄ′、光電センサ１９、及び作業者がデータ等を入力するキーボード１０１、タッチパネル１０２等からの信号を入力し、第１〜第３駆動ローラ１３ａ〜１３ｃ、及びパンチ装置２５などに制御信号を出力するようになっている。また、前記画像用コントローラ１１０は、前記エンコーダ１２ｄ′、第１、第２ラインセンサ２０，２１等からの信号を入力し、第１、第２検査用モニタ２７，２８などに制御信号を出力するようになっている。
【００４３】
前記第１投光機２２は、移送中のＴＡＢの斜め上方から光の照射を行うように配置され、第１ラインセンサ２０は、該第１投光機２２の照明による反射光を連続的に検出するようになっている。また、前記第２投光機２３は、移送中のＴＡＢの下方から光の照射を行うように配置され、第２ラインセンサ２１は、該第２投光機２３の照明による透過光を連続的に検出するようになっている。そして、前記画像用コントローラ１１０は、第１ラインセンサ２０から取得したＴＡＢの幅方向の直線画像を組み合わせて１デバイスの画像を作成し、第２ラインセンサ２１で取得した画像も同様にして１デバイスの画像を作成する。さらに、前記画像用コントローラ１１０に内蔵されたメモリ１００ａには、デバイスＸの基準画像が格納されており、この基準画像と第１、第２ラインセンサ２０，２１により取得したデバイスＸの画像で作成されたそれぞれの画像とを対比することにより、各デバイスＸの欠陥の存在（以下、「ＮＧ」という）又は欠陥の非存在（以下、「ＯＫ」という）が判定される。
【００４４】
一方、判定結果は、搬送用コントローラ１００に入力され、これに応じてＴＡＢの移送制御が行われる。第１、第２ラインセンサ２０，２１で取得した画像により作成したデバイスＸの画像が、共にＯＫ判定されたときは、当該デバイスＸについての検査は終了されて後続のデバイスＸの検査が開始されるが、いずれか一方又は両方がＮＧ判定されたデバイスＸは、前記顕微鏡２４により目視できる位置（以下、「顕微鏡位置」という）又は前記パンチ装置２５によりパンチ穴が形成されるべき位置（以下、「パンチ位置」という）に移送され、後続のデバイスＸについての検査が一旦中断される。
【００４５】
検査開始時には、前記光電センサ１９はフィルムテープＴに設けられた先頭のデバイスＸの下流側のエッジを検出する。そして、このデバイスＸが光電センサ１９により検知された位置から所定距離上流側の基準位置に移送され、ＴＡＢの初期位置の設定が完了する。また、作業者は、予めＴＡＢのピッチ等の情報を前記キーボード１０１により入力し、これらの情報に基いて、各デバイスＸを移送すべき、基準位置から前記第１、第２ラインセンサ２０，２１までの距離、基準位置から顕微鏡位置までの距離、基準位置からパンチ位置までの距離等が計算される。そして、前記エンコーダ１２ｄ′による移送距離の情報に基いて、第１、第２ラインセンサ２０，２１による画像取得開始のタイミングと画像取得終了のタイミングとが計算される。
【００４６】
ところで、ＮＧ判定されたデバイスＸの扱いについて、パンチモードと顕微鏡モードとがあり、作業者が予めタッチパネル１０２を操作することにより選択できるようになっている。
【００４７】
まず、作業者によりパンチモードが選択されたときの制御について図４のフローチャートに基いて説明する。
【００４８】
まず、ステップＳ１でＮをゼロに初期化する。次に、ステップＳ２で、ＴＡＢが所定速度で連続的に移送される。そして、ステップＳ３で、画像取得のタイミングか否かを判定し、画像取得のタイミングになればステップＳ４に進み、第１ラインセンサ２０により取得した直線画像に基いて１デバイスの画像を作成し、第２ラインセンサ２１により取得した直線画像に基いて同様に１デバイスの画像を作成する。
【００４９】
次に、ステップＳ５で、Ｎ≠０か否かを判定し、Ｎ＝０のときは、ステップＳ６に進み、当該デバイスＸについての欠陥の有無の判定を行う。このとき、前記ステップＳ４で作成された２つの画像と基準画像とを対比することによりデバイスＸの欠陥の有無が判定される。そして、前記ステップＳ６でＯＫ判定がされた場合は、ステップＳ２に戻って後続のデバイスＸについて同様に判定が行われる。また、ステップＳ６でＮＧ判定がされた場合は、ステップＳ７に進み、ＮにＮ＋１を代入し、ステップＳ２に戻る。
【００５０】
一方、ステップＳ５でＮ≠０のときは、ステップＳ８に進み、当該デバイスＸについての欠陥の有無の判定を行う。ステップＳ８でＯＫ判定のときは、後述するパンチ制御を実行し、ＮＧ判定のときは、ステップＳ９に進み、ＮにＮ＋１を代入し、ステップＳ１０に進む。ステップＳ１０では、Ｎ＝５か否かが判定され、Ｎ＝１〜４のとき、つまり１〜４回連続してＮＧ判定されているときはステップＳ２に戻る。ステップＳ１０で、Ｎ＝５のとき、つまり５回連続してＮＧ判定されているときはステップＳ１１に進み、アラームを報知すると共に装置を停止させ、制御を終了する。
【００５１】
そして、ステップＳ１２〜Ｓ１５で行われる前記パンチ制御では、まず、ステップＳ１２でＴＡＢの送りを一時停止させ、次にステップＳ１３で、ＮＧ判定されたデバイスＸをパンチ位置に高速で移送する。なお、複数のＮＧ判定されたデバイスＸが検出されているときは、最下流のデバイスＸをパンチ位置に高速で移送し、停止させる。そして、ステップＳ１４で、停止したデバイスＸにパンチ装置２５によりパンチ穴を形成する。なお、複数のＮＧ判定されたデバイスＸが検出されているときは、最下流のデバイスＸのパンチ作業が終了すると、該デバイスＸの上流側のデバイスＸがパンチ位置に位置するようにＴＡＢが所定距離移送され、この上流側のデバイスＸにパンチ穴が形成される。そして、このようにして全てのＮＧ判定されたデバイスＸ…Ｘについてのパンチ作業が終了すると、ステップＳ１５で、これらのデバイスＸの上流側のＯＫ判定されたデバイスＸが基準位置に戻るように、ＴＡＢが移送され、続いて、ステップＳ１に戻り、Ｎを初期化した上で、検査を再開するようになっている。
【００５２】
次に、本制御を図５、６に示す動作図に基いて説明する。
【００５３】
図５（ａ）に示すように、デバイスＸ１が、第１、第２ラインセンサ２０，２１を通過し、ＮＧ判定されている。そして、図５（ｂ）に示すように、該デバイスＸ１の後続のデバイスＸ２がＯＫ判定されている。この場合、図５（ｃ）に示すように、前記デバイスＸ１がパンチ位置に高速で移送される。そして、パンチ装置２５により当該デバイスＸ１にパンチ穴ｐが形成され、図５（ｄ）に示すように、前記デバイスＸ２が基準位置に戻され、検査が再開される。なお、図５中、未判定のデバイスＸには斜線を施している。
【００５４】
また、図６（ａ）に示すように、デバイスＸ１が、第１、第２ラインセンサ２０，２１を通過し、ＮＧ判定されている。そして、図６（ｂ）に示すように、該デバイスＸ１の後続のデバイスＸ２もＮＧ判定されており、図６（ｃ）に示すように、該デバイスＸ２の後続のデバイスＸ３がＯＫ判定されている。この場合、図６（ｄ）に示すように、前記デバイスＸ１がパンチ位置まで移送され、パンチ装置２５により当該デバイスＸ１にパンチ穴ｐが形成される。そして、図６（ｅ）に示すように、ＴＡＢを少し移送することにより前記デバイスＸ２がパンチ位置まで移送され、パンチ装置２５により当該デバイスＸ２にパンチ穴ｐが形成される。次に、図６（ｆ）に示すように、前記デバイスＸ３が基準位置に戻され、検査が再開される。
【００５５】
以上のように、本制御によれば、ＮＧ判定されたデバイスＸがパンチ位置まで移送され、該デバイスＸにパンチ穴ｐが形成された後、未判定のデバイスＸが第１、第２ラインセンサ２０，２１の上流側に戻るように制御され、検査が再開されるので、パンチ装置２５のパンチ動作によるＴＡＢの移送の減速、停止に拘らず、自動的に適正な検査を行うことができる。
【００５６】
また、ＮＧ判定される度にパンチ位置まで移送し、パンチ穴を開けるので、判定結果のデータの蓄積が回避され、データ処理系の負担を低減することができる。さらに、ＮＧ判定がされる度にデバイスＸをパンチ位置まで移送し、戻す動作を行うと、連続してＮＧ判定がされたときにＴＡＢが頻繁に往復移動することになって作業能率の低下が懸念されるが、前述のように、ＮＧ判定の後に、ＯＫ判定がなされたときに、ＮＧ判定されたデバイスＸをパンチ位置に移送する作業が行われ、連続するＮＧ判定されたデバイスＸ…Ｘについてはまとめてパンチ作業が行われるので、作業能率の低下が回避される。
【００５７】
さらに、検査中に、例えば第１、第２ラインセンサ２０，２１のレンズ部分にごみが付着した場合や、装置の故障等の問題が生じた場合に、ＯＫであるにも拘らずＮＧ判定が連続してなされることになる。しかしながら、前述のように、５回以上ＮＧ判定が連続したときに、自動的に装置を停止させるように制御されるので、前述のような問題が発生している場合に、検査が無駄に継続することが防止される。
【００５８】
ところで、本発明の他の実施の形態として、ＮＧ判定されたときでも検査を継続させ、ＮＧ判定されたデバイスＸがパンチ位置に到達したときに、ＴＡＢの位相を停止させてパンチ穴を形成するように制御するものがある。
【００５９】
即ち、図７（ａ）に示すように、デバイスＸ１についてＮＧ判定がなされた後、図７（ｂ）に示すように、デバイスＸ２〜Ｘ５についてＯＫ判定が連続し、ＮＧ判定されたデバイスＸ１がパンチ位置に到達したときに、ＴＡＢの移送は停止され、当該デバイスＸ１はパンチ装置２５によりパンチ穴ｐが形成される。このとき、第１、第２ラインセンサ２０，２１により画像取得中のデバイスＸａ、Ｘｂが存在し、このまま検査を再開した場合、当該デバイスＸａ、Ｘｂについて適正な画像が取得できず、検査精度が確保できないことになる。そこで、図７（ｃ）に示すように、当該デバイスＸａ，Ｘｂが基準位置に戻るようにＴＡＢを移送し、この後、検査を再開するように制御される。なお、前記デバイスＸａについては、第１ラインセンサ２０には正常な画像が取得されているので、パンチ動作の後に、デバイスＸｂが基準位置に戻るように制御し、デバイスＸｂについては第２ラインセンサ２１のみの画像を再取得するようにして検査を再開するようにしてもよい。
【００６０】
このような制御においても、パンチ装置２５によるパンチ動作の際のＴＡＢの移送の減速、停止に拘らず、自動的に各デバイスＸについての適正な検査が行われることになる。
【００６１】
一方、作業者により顕微鏡モードが選択されたときの動作について図８のフローチャートに基いて説明する。なお、このフローチャートのステップＳ２１〜Ｓ３２は、図４のパンチモードにおけるステップＳ１〜Ｓ１２と同様であるので、説明を省略する。
【００６２】
即ち、ステップＳ３２でＴＡＢの送りを一時停止した後、ステップＳ３３でＮＧデバイスを顕微鏡位置に高速で移送し、停止させる。次に、ステップＳ３４に進み、ＮＧ制御を実行する。
【００６３】
図９に示すように、ＮＧ制御においては、まずステップＳ４１で、作業者がＮＧデバイスＸを目視により確認し、当該デバイスＸについてのＯＫ又はＮＧを判定し、タッチパネル１０２により判定結果を入力する。そして、ステップＳ４２で、判定がＮ回終了したか否か、即ちＮＧデバイスＸ…Ｘの全てについて判定が終了したか否かを判定し、Ｎ回終了していないときはステップＳ４１に戻る。なお、複数のＮＧデバイスＸ…Ｘが存在するときは、まず、最下流のＮＧデバイスＸについて判定が行われ、判定結果をタッチパネル１０２により入力すると、該デバイスＸの上流隣のデバイスＸが顕微鏡位置に移送され、作業者は同様に判定し、判定結果を入力するようになっている。このようにして、全てのＮＧデバイスＸ…Ｘについて作業者の目視による判定が行われる。
【００６４】
そして、ステップＳ４２でＮ回の判定が終了したときは、ステップＳ４３に進み、これらのＮＧデバイスＸ…Ｘについての処理方法を選択する。このとき、タッチパネル１０２には、ＮＧデバイスＸをパンチして次のデバイスＸから検査再開（以下、「ＮＧ処理」という）、ＮＧデバイスＸより再検査（以下、「再検査処理」という）、ＮＧデバイスＸをパンチせず次のＯＫデバイスＸから検査再開（以下、「ＯＫ処理」という）の３通りの処理の選択画面が表示される。
【００６５】
ステップＳ４３で、ＮＧ処理が選択されたときは、ステップＳ４４で、ＮＧデバイスＸがパンチ位置に高速で移送、停止される。そして、ステップＳ４５でパンチ装置２５によりＮＧデバイスＸにパンチ穴が形成される。なお、複数のＮＧデバイスＸ…Ｘが判定されているときは、前記パンチモード時と同様に、下流側のデバイスＸから順次パンチ穴を形成するように制御される。次に、ステップＳ４６で、ＯＫデバイスＸを基準位置に高速で移送、停止させ、ＮＧ制御を終了し、ステップＳ２１に戻る。
【００６６】
また、ステップＳ４３で、再検査処理が選択されたときは、ステップＳ４７で、ＮＧデバイスＸを基準位置に高速で移送、停止させ、ＮＧ制御を終了し、ステップＳ２１に戻る。
【００６７】
さらに、ステップＳ４３でＯＫ処理が選択されたときは、ステップＳ４８で、ＯＫデバイスＸを基準位置に高速で移送、停止させ、ＮＧ制御を終了し、ステップＳ２１に戻る。
【００６８】
次に、この顕微鏡モードのＮＧ制御について図１０〜１２の動作図を用いて説明する。
【００６９】
まず、図１０（ａ）に示すように、デバイスＸ１についてＮＧ判定がなされ、図１０（ｂ）に示すように、デバイスＸ１の次のデバイスＸ２についてＯＫ判定がなされている。この場合、ＴＡＢの移送を一時停止した後、図１０（ｃ）に示すように、前記デバイスＸ１を顕微鏡位置に高速で移送し、停止させる。
【００７０】
そして、顕微鏡での目視判定の結果、当該デバイスＸ１をＮＧとして扱うときに、作業者がタッチパネル１０２で「ＮＧ処理」を選択する。このとき、図１０（ｄ）に示すように、デバイスＸ１がパンチ位置まで高速で移送、停止され、デバイスＸ１にはパンチ穴ｐが形成され、図１０（ｅ）に示すように、デバイスＸ２が基準位置に戻るように制御され、該デバイスＸ２から検査が再開される。
【００７１】
また、図１１（ａ）〜図１１（ｃ）は、前記図１０（ａ）〜図１０（ｃ）と同様であって、顕微鏡での目視判定の結果、判定が微妙なときなど、もう一度検査し直したいときに、作業者がタッチパネル１０２で「再検査処理」を選択する。このとき、図１１（ｄ）に示すように、デバイスＸ１が基準位置に戻るように制御され、該デバイスＸ１から検査が再開される。
【００７２】
また、図１２（ａ）〜図１２（ｃ）は、前記図１０（ａ）〜図１０（ｃ）と同様であって、顕微鏡での目視判定の結果、作業者が当該デバイスＸ１について、明らかに欠陥の存在が認められずに、ＯＫであると判定したときに、作業者がタッチパネル１０２で「ＯＫ処理」を選択する。このとき、デバイスＸ１についてはＯＫ判定されたものとみなされ、図１２（ｄ）に示すように、デバイスＸ２が基準位置に戻るように制御され、該デバイスＸ２から検査が再開される。
【００７３】
以上のように、顕微鏡モードでは、画像用コントローラ１１０による画像判定と、顕微鏡２４を用いた作業者の目視による判定との２段階の判定が行われるので、検査精度が向上する。さらに、作業者はタッチパネル１０２を適宜操作するだけで、自動的に前述の各処理が行われることになって、装置の操作性が向上する。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明は、ＴＡＢの欠陥等の検査を行う検査装置に関し、製造産業に広く好適である。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の実施の形態に係る検査装置の正面図である。
【図２】ＴＡＢの説明図である。
【図３】検査装置のシステム図である。
【図４】パンチモードの制御を示すフローチャートである。
【図５】同じく動作図である。
【図６】同じく動作図である。
【図７】パンチモードの他の制御例に係る動作図である。
【図８】顕微鏡モードの制御を示すフローチャートである。
【図９】同じくフローチャートである。
【図１０】同じく動作図である。
【図１１】同じく動作図である。
【図１２】同じく動作図である。
【図１３】従来の問題点の説明図である。
【符号の説明】
【００７６】
１ 検査装置
１０ 巻出リール
１３ａ〜１３ｃ 駆動ローラ
２０ 第１ラインセンサ
２１ 第２ラインセンサ
２５ パンチ装置
１００ 搬送用コントローラ
１０２ タッチパネル
１１０ 画像用コントローラ
Ｘ デバイス
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＡＢの欠陥等を検査するＴＡＢの検査装置に関し、物品検査の技術分野に属する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＩＣチップの小型・薄型のパッケージとして、ポリイミド等の樹脂フィルムをパンチング加工した後に、銅箔等を張り合わせ、フォトエッチング等で回路パターンを形成したＴＡＢが開発されている。ＴＡＢには、多数の回路パターンが一定のピッチで繰り返して形成されており、１チップに対応する回路パターンの領域（以下、パターンの単位を「デバイス」という）の断線などの欠陥を検査する装置として、各種のものが提案されている。
【０００３】
例えば特許文献１には、ＴＡＢを移送する移送手段と、ＴＡＢを照明する光源と、ＴＡＢの画像を撮像するＣＣＤカメラと、該ＣＣＤカメラで撮像された１デバイスの画像と予め記憶された基準画像とを対比することにより欠陥の有無の判定を行うコンピュータと、欠陥ＴＡＢを識別する目印としてのパンチ穴を形成するパンチ装置とを有する検査装置が開示されている。
【０００４】
また、特許文献２〜４には、ＴＡＢをＩＣテスタのテスト結果に基いて選別するためのＴＡＢ用オートハンドラについて開示されている。
【０００５】
このＴＡＢ用オートハンドラは、移送手段と、ＴＡＢの移送経路にＴＡＢの上部にプッシャ及び下部にプローブカードを有するＩＣテスタと、該ＩＣテスタの下流側に配置されたパンチ装置と、前記ＩＣテスタの上流側と前記パンチ装置の下流側にそれぞれＴＡＢの画像を取得するためのカメラとを有している。
【０００６】
そして、前記プッシャが降下することによりＴＡＢがプローブカードに接触し、１デバイスごとの回路パターンの電気的特性が測定され、この特性に応じてパンチ装置によりパンチ穴が形成される。また、前記カメラは、取得した画像データに基いて、ＴＡＢの有無、ＩＣチップの有無、パンチ穴の有無を検出するようになっている。
【特許文献１】特開２０００−１８２０６１号公報
【特許文献２】特開平７−８６３５５号公報
【特許文献３】特開平７−２３９３６６号公報
【特許文献４】特開２００２−３２８１５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、前記特許文献１に開示された検査装置は、ＴＡＢがパンチ装置の下方に配置されるたびに一旦停止するように間欠駆動するように構成されており、前記特許文献２〜４に開示されたＴＡＢ用オートハンドラは、プッシャが降下する際にＴＡＢの移送が停止され、移送手段を間欠駆動させることになる。そして、このような間欠駆動は、検査能率の低下を招く。
【０００８】
一方、前記特許文献１の検査装置のように画像による判定を行うものにおいては、デバイスの全体画像を撮像するカメラに代えてＴＡＢの幅方向の直線画像を撮像するラインセンサを用いることが考えられる。このラインセンサを用いれば、移送しながら画像を取得することができ、連続送りで検査することができると共に、画像を組み合わせることにより精度の良い１デバイスの画像が作成されるという利点がある。
【０００９】
しかしながら、このようなラインセンサで画像を取得するように構成された装置では、次のような問題の発生が考えられる。即ち、図１３（ａ）に示すように、ＴＡＢの移送に伴って連続的に判定が行われた場合、デバイスＸ１の欠陥の存在が判定されたときに該デバイスＸ１の後続のデバイスの検査が継続され、図１３（ｂ）に示すように、前記デバイスＸ１がパンチ装置２００によりパンチ穴ｐを形成すべき位置Ｌに到達したときにＴＡＢの移送が停止される。このとき、ラインセンサ２１０により画像取得中のデバイスＸａについては、精度の良い画像が取得できずに、適正な検査が行われないことになる。
【００１０】
そこで、本発明は、ＴＡＢの検査装置において、ラインセンサにより画像を取得するように構成すると共に、パンチ穴を形成する際のＴＡＢの移送の減速、停止に拘らず自動的に各デバイスの適正な検査を行うことを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記課題を解決するため、本発明は次のように構成したことを特徴とする。
【００１２】
まず、本願の請求項１に記載の発明は、多数のデバイスを一定ピッチで設けてなる帯状のＴＡＢをリールから繰り出して移送する移送手段と、該移送手段で移送されているＴＡＢの各デバイスを画像として取得する画像取得手段と、該取得手段で取得した画像を処理し、予め登録された基準画像と対比することによってデバイスの欠陥の有無を判定する判定手段と、前記画像取得手段よりＴＡＢの移送方向下流側に配置され、前記判定手段によって欠陥の存在が判定されたデバイスにパンチ穴を形成するパンチ手段とを有するＴＡＢの検査装置であって、前記画像取得手段は、ＴＡＢの幅方向に配置されたラインセンサを用いて、ＴＡＢが移送している状態で幅方向の直線画像を連続的に取得することによりデバイス全体の画像を取得するように構成されており、かつ、ＴＡＢを連続移送するように前記移送手段を制御すると共に、前記判定手段によって欠陥の存在が判定されたデバイスがパンチ手段の対応位置に移送されたときに該移送手段によるＴＡＢの移送を停止させ、かつ、移送再開時に、後続の未判定のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、前記移送手段を制御する移送制御手段が備えられていることを特徴とする。
【００１３】
また、請求項２に記載の発明は、前記請求項１に記載のＴＡＢの検査装置において、前記移送制御手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定されたときに、移送手段を停止させることなく作動させて、後続のデバイスに対する判定を継続して行わせると共に、欠陥の存在が判定されたデバイスに対するパンチ穴の形成後、移送再開時に、ラインセンサ上にデバイスが位置するときは、そのデバイスが該センサの上流側まで戻るように、移送手段を制御することを特徴とする。
【００１４】
一方、請求項３に記載の発明は、前記請求項１に記載のＴＡＢの検査装置において、前記移送制御手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断させて、当該デバイスがパンチ手段に対応位置するように移送手段を作動させると共に、移送再開時に、後続の未判定のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、移送手段を制御することを特徴とする。
【００１５】
また、請求項４に記載の発明は、前記請求項１に記載のＴＡＢの検査装置において、前記移送制御手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定された後、欠陥の非存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断させて、欠陥の存在が判定されたデバイスがパンチ手段に対応位置するように移送手段を作動させると共に、移送再開時に、前記欠陥の非存在が判定されたデバイス又は次のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、移送手段を制御することを特徴とする。
【００１６】
一方、請求項５に記載の発明は、多数のデバイスを一定ピッチで設けてなる帯状のＴＡＢをリールから繰り出して移送する移送手段と、該移送手段で移送されているＴＡＢの各デバイスを画像として取得する画像取得手段と、該取得手段で取得した画像を処理し、予め登録された基準画像と対比することによってデバイスの欠陥の有無を判定する判定手段と、前記画像取得手段よりＴＡＢの移送方向下流側に配置され、前記判定手段によって欠陥の存在が判定されたデバイスにパンチ穴を形成するパンチ手段とを有するＴＡＢの検査装置であって、前記画像取得手段は、ＴＡＢの幅方向に配置されたラインセンサを用いて、ＴＡＢが移送している状態で幅方向の直線画像を連続的に取得することによりデバイス全体の画像を取得するように構成されており、かつ、前記画像取得手段とパンチ手段との間に配置され、前記判定手段によって欠陥の存在が判定されたデバイスを目視により欠陥の有無を判断するための顕微鏡と、該顕微鏡による判断結果に応じてパンチ処理又は非パンチ処理を選択する処理選択手段と、ＴＡＢを連続移送するように前記移送手段を制御すると共に、前記判定手段によって欠陥の存在が判定されたデバイスが顕微鏡の対応位置に移送されたときに該移送手段によるＴＡＢの移送を停止させ、前記処理選択手段によりパンチ処理が選択されたときは、移送再開時に、前記欠陥の存在が判定されたデバイスをパンチ手段の対応位置に移送するように移送手段を作動させると共に、この後、後続の未判定のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、前記移送手段を制御し、かつ、前記処理選択手段により非パンチ処理が選択されたときは、移送再開時に、後続の未判定のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、前記移送手段を制御する移送制御手段とが備えられていることを特徴とする。
【００１７】
また、請求項６に記載の発明は、前記請求項５に記載のＴＡＢの検査装置において、前記処理選択手段は、再検査処理を選択可能とされ、前記移送制御手段は、該処理選択手段により再検査処理が選択されたときは、移送再開時に、前記欠陥の存在が判定されたデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、前記移送手段を制御することを特徴とする。
【００１８】
さらに、請求項７に記載の発明は、前記請求項５または請求項６に記載のＴＡＢの検査装置において、前記移送制御手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定されたときに、移送手段を停止させることなく作動させて、後続のデバイスに対する判定を継続して行わせると共に、当該デバイスが顕微鏡に対応位置するときに移送手段を停止させることを特徴とする。
【００１９】
そして、請求項８に記載の発明は、前記請求項５または請求項６に記載のＴＡＢの検査装置において、前記移送制御手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断させて、当該デバイスが顕微鏡に対応位置するように移送手段を作動させることを特徴とする。
【００２０】
また、請求項９に記載の発明は、前記請求項５または請求項６に記載のＴＡＢの検査装置において、前記移送手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定された後、欠陥の非存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断させて、欠陥の存在が判定されたデバイスが顕微鏡に対応位置するように移送手段を作動させることを特徴とする。
【００２１】
そして、請求項１０に記載の発明は、前記請求項４または請求項９に記載のＴＡＢの検査装置において、前記判定手段によって所定回数以上連続して欠陥の存在が判定されたときに、装置を停止させる装置停止手段が備えられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
まず、請求項１に記載の発明によれば、移送手段は、通常検査時には、所定の移送速度でＴＡＢを移送するように制御されおり、ラインセンサは、該センサ上を通過するＴＡＢの幅方向の直線画像を連続的に取得し、この直線画像を組み合わせることによってデバイス全体の画像が作成される。そして、判定手段は、デバイス全体の画像と予め登録された基準画像とを対比することによってデバイスの欠陥の有無を判定する。このとき、欠陥の存在が判定されたデバイスについては、パンチ手段の対応位置に移送、停止される。このときのＴＡＢの移送の減速停止に伴って、未判定のデバイスや中途半端に画像取得されたデバイスがラインセンサの下流側に存在することになるが、これらのデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように移送手段が制御されるので、パンチ穴形成の際の移送の減速、停止に拘らず、自動的に各デバイスについての適正な検査が行われることになる。
【００２３】
また、請求項２に記載の発明によれば、判定手段により欠陥の存在が判定されても、移送手段を停止させることなく作動させて、後続のデバイスに対する判定が継続して行われ、欠陥の存在が判定されたデバイスがパンチ手段に対応位置したときに、ＴＡＢの移送が停止される。そして、パンチ穴形成後、移送再開時に、パンチ穴形成の際にラインセンサ上の中途半端な位置で停止したデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように移送手段が制御されるので、パンチ穴形成の際の移送の減速、停止に拘らず、自動的に各デバイスの適正な検査が行われることになる。
【００２４】
一方、請求項３に記載の発明によれば、判定手段により欠陥の存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断させ、欠陥の存在が判定されたデバイスをパンチ手段の対応位置まで移送、停止させる。そして、パンチ穴形成後、移送再開時に、後続の未判定のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように移送手段が制御されるので、パンチ穴形成の際の移送の減速、停止に拘らず、自動的に各デバイスの適正な検査が行われることになる。
【００２５】
さらに、請求項４に記載の発明によれば、判定手段により欠陥の存在が判定された後、欠陥の非存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断して、欠陥の存在が判定されたデバイスをパンチ手段の対応位置まで移送、停止させる。そして、１又は複数の欠陥の存在が判定されたデバイスについてのパンチ穴形成後、移送再開時に、欠陥の非存在が判定されたデバイス又は次のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように制御手段が制御されるので、パンチ穴形成の際の移送の減速、停止に拘らず、自動的に各デバイスについての適正な検査が行われることになる。さらにこの発明においては、連続して欠陥の存在が判定されたデバイスについては、まとめてパンチ穴が形成されるので、ＴＡＢの往復頻度が低減され、検査の能率化が実現される。
【００２６】
一方、請求項５に記載の発明によれば、移送手段は、通常検査時には、所定の移送速度でＴＡＢを移送するように制御されており、ラインセンサは、該センサ上を通過するＴＡＢの幅方向の直線画像を連続的に取得し、この直線画像を組み合わせることによってデバイス全体の画像が作成される。そして、判定手段は、デバイス全体の画像と予め登録された基準画像とを対比することによってデバイスの欠陥の有無を判定する。このとき、欠陥の存在が判定されたデバイスについては、顕微鏡の対応位置に移送、停止される、そして、作業者は、顕微鏡により当該デバイスについての欠陥の有無を判断し、処理選択手段によりパンチ処理或いは非パンチ処理を選択する。
【００２７】
作業者が欠陥の存在の判断をし、パンチ処理の選択がなされたときは、当該デバイスは、パンチ手段の対応位置に移送、停止される。そして、当該デバイスについてのパンチ穴形成後、ラインセンサの下流側に存在する未判定のデバイスがラインセンサの上流側に戻るように移送手段が制御される。
【００２８】
また、作業者が判定手段による判定結果を覆し、当該デバイスについて欠陥の非存在の判断をし、非パンチ処理の選択がなされたときは、当該デバイスは、欠陥の非存在の判定がなされたものとみなされて、ラインセンサの下流側に存在する未判定のデバイスがラインセンサの上流側に戻るように移送手段が制御される。
【００２９】
このように、本発明においては、顕微鏡又はパンチ手段の対応位置におけるＴＡＢの移送の減速、停止に拘らず、自動的に各デバイスについての適正な検査が行われる。しかも、判定手段による欠陥の有無の判定に加えて、作業者の目視による欠陥の有無の判断が行われるので、誤判定が防止され、検査精度の向上が実現される。
【００３０】
また、請求項６に記載の発明によれば、判定手段により欠陥の存在が判定されたデバイスについて再度ラインセンサにより画像を取得し、再度判定を行うようにした再検査処理が選択可能であるので、作業者による顕微鏡の目視の結果、欠陥の有無の判断が微妙なときなどに、再検査処理が選択されることになり、検査精度の一層の向上が実現される。
【００３１】
また、請求項７に記載の発明によれば、判定手段により欠陥の存在が判定されたときに、移送手段を停止させることなく作動させて、後続のデバイスに対する判定が継続して行われ、欠陥の存在が判定されたデバイスがパンチ手段に対応位置したときに、ＴＡＢの移送が停止される。そして、パンチ処理、非パンチ処理、又は再検査処理のいずれかの処理の際に、ラインセンサ上に中途半端な位置で停止したデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように移送手段が制御されるので、顕微鏡及びパンチ手段の対応位置におけるＴＡＢの移送の減速、停止に拘らず、自動的に各デバイスの適正な検査が行われることになる。
【００３２】
さらに、請求項８に記載の発明によれば、判定手段により欠陥の存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断させ、欠陥の存在が判定されたデバイスを顕微鏡の対応位置まで移送、停止させる。そして、パンチ処理、非パンチ処理、又は再検査処理のいずれかの処理の際に、後続の未判定のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように移送手段が制御されるので、顕微鏡及びパンチ手段の対応位置におけるＴＡＢの移送の減速、停止に拘らず、自動的に各デバイスの適正な検査が行われることになる。
【００３３】
また、請求項９に記載の発明によれば、判定手段により欠陥の存在が判定された後、欠陥の非存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断して、欠陥の存在が判定されたデバイスを顕微鏡の対応位置まで移送、停止させる。そして、１又は複数の欠陥の存在が判定されたデバイスについてのパンチ処理、非パンチ処理、又は再検査処理のいずれかの処理の際に、後続の未判定のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように移送手段が制御されるので、顕微鏡及びパンチ手段の対応位置におけるＴＡＢの移送の減速、停止に拘らず、自動的に各デバイスの適正な検査が行われることになる。
【００３４】
一方、ラインセンサのレンズにごみ等が付着したり、装置の故障等が生じた場合に、欠陥の非存在にも拘らず、連続して欠陥の存在が判定されることがある。これに対して、請求項１０に記載の発明によれば、所定回数以上連続して欠陥の存在が判定されたときに、装置停止手段により装置が停止されるので、検査が無駄に継続することが防止される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【００３６】
図１に示すように、本実施の形態に係るＴＡＢの検査装置１は、図２に示すようなテープ状のＴＡＢの欠陥等を検査するものである。ＴＡＢは、幅方向両端に沿って連続的にパーフォレーションＰ…Ｐが設けられたフィルムテープＴに、１チップごとに回路パターン（以下、パターンの単位を「デバイスＸ」という）が一定のピッチで繰り返して設けられたものであり、前記検査装置１は、各デバイスＸを順次検査するようになっている。
【００３７】
図１に示すように、前記検査装置１は、機枠２と、該機枠２に設けられて前記ＴＡＢが巻き掛けられた巻出リール１０と、該巻出リール１０から繰り出されたＴＡＢを案内するプーリ１１，１１と、蛇行防止のために備えられてＴＡＢのパーフォレーションＰ…Ｐに係合する複数のスプロケットホイール１２ａ〜１２ｅと、同一水平面上に配置されてＴＡＢを移送させる第１〜第３駆動ローラ１３ａ〜１３ｃと、ＴＡＢを巻き取る巻取リール１４とを有している。
【００３８】
また、ＴＡＢの移送経路に沿って、上流側から、ＴＡＢ表面にごみや塵等の接着を防止するためにＴＡＢ表面の静電気を取り除く除電気１５と、エア吸引作用によりＴＡＢ表面の異物を取り除く除塵装置１６と、ＴＡＢ表面の金属異物を取り除く磁性粉除去磁石１７と、ＴＡＢ表面の異物を取り除く粘着ロール１８と、ＴＡＢの各デバイスＸの下流側のエッジを検出する光電センサ１９と、ＴＡＢの幅方向の直線画像を連続的に取得する第１、第２ラインセンサ２０，２１と、ＴＡＢを斜め上方から照明する第１投光機２２と、ＴＡＢを裏面から照明する第２投光機２３と、作業者がＴＡＢの拡大画像を目視するための顕微鏡２４と、ＴＡＢにパンチ穴を形成するパンチ装置２５と、ＴＡＢ表面のごみを取り除くごみ取りロール２６とが備えられている。また、前記第１、第２ラインセンサ２０，２１により取得した画像等の表示を行う第１、第２検査用モニタ２７，２８が備えられている。
【００３９】
一方、巻出リール１０に巻き掛けられたＴＡＢは、ＴＡＢと保護シートＳとが重ねられた状態で巻き掛けられており、該巻出リール１０からＴＡＢが繰り出されると同時に保護シートＳが分離するようになっている。そして、分離した保護シートＳを案内する複数のプーリ２９ａ〜２９ｄと、中央のプーリ２９ｂ，２９ｃの間に設けられて自重により保護シートＳのテンションを適正化するダンサローラ３０とが設けられ、これらに案内された保護シートＳは、巻取リール１０によりＴＡＢが巻き取られる際に同時に巻き取られ、巻取リール１４においてはＴＡＢと保護シートＳとが重ねられた状態で巻き取られるようになっている。
【００４０】
さらに、前記顕微鏡２４とパンチ装置２５との間に備えられたスプロケットホイール１２ｄは、該ホイール１２ｄの回転量の情報に基いて、ＴＡＢの移送距離及び移送速度の情報を取得するエンコーダ１２ｄ′に連絡されている一方、第１〜第３駆動ローラ１３ａ〜１３ｃのうちの上流側の第１駆動ローラ１３ａは、エンコーダ１２ｄ′で取得した速度情報に基いて回転数のフィードバック制御を行うようになっている。
【００４１】
また、第１駆動ローラ１３ａの下流側の第２、第３駆動ローラ１３ｂ，１３ｃは、ＴＡＢのテンションを最適化する回転数に設定されている。そして、第１〜第３駆動ローラ１３ａ〜１３ｃの上方には、ＴＡＢを上方から押圧する押付けローラ１３ａ′〜１３ｃ′が備えられている。なお、押付けローラ１３ａ′〜１３ｃ′は、ＴＡＢのパーフォレーションＰ…Ｐが設けられた幅方向両端部を押圧するようになっており、ＴＡＢのテンションを適正化するために作用する。
【００４２】
一方、図３に示すように、この検査装置１には、互いに信号の授受を行う搬送用コントローラ１００と画像用コントローラ１１０とが備えられている。搬送用コントローラ１００は、前記エンコーダ１２ｄ′、光電センサ１９、及び作業者がデータ等を入力するキーボード１０１、タッチパネル１０２等からの信号を入力し、第１〜第３駆動ローラ１３ａ〜１３ｃ、及びパンチ装置２５などに制御信号を出力するようになっている。また、前記画像用コントローラ１１０は、前記エンコーダ１２ｄ′、第１、第２ラインセンサ２０，２１等からの信号を入力し、第１、第２検査用モニタ２７，２８などに制御信号を出力するようになっている。
【００４３】
前記第１投光機２２は、移送中のＴＡＢの斜め上方から光の照射を行うように配置され、第１ラインセンサ２０は、該第１投光機２２の照明による反射光を連続的に検出するようになっている。また、前記第２投光機２３は、移送中のＴＡＢの下方から光の照射を行うように配置され、第２ラインセンサ２１は、該第２投光機２３の照明による透過光を連続的に検出するようになっている。そして、前記画像用コントローラ１１０は、第１ラインセンサ２０から取得したＴＡＢの幅方向の直線画像を組み合わせて１デバイスの画像を作成し、第２ラインセンサ２１で取得した画像も同様にして１デバイスの画像を作成する。さらに、前記画像用コントローラ１１０に内蔵されたメモリ１００ａには、デバイスＸの基準画像が格納されており、この基準画像と第１、第２ラインセンサ２０，２１により取得したデバイスＸの画像で作成されたそれぞれの画像とを対比することにより、各デバイスＸの欠陥の存在（以下、「ＮＧ」という）又は欠陥の非存在（以下、「ＯＫ」という）が判定される。
【００４４】
一方、判定結果は、搬送用コントローラ１００に入力され、これに応じてＴＡＢの移送制御が行われる。第１、第２ラインセンサ２０，２１で取得した画像により作成したデバイスＸの画像が、共にＯＫ判定されたときは、当該デバイスＸについての検査は終了されて後続のデバイスＸの検査が開始されるが、いずれか一方又は両方がＮＧ判定されたデバイスＸは、前記顕微鏡２４により目視できる位置（以下、「顕微鏡位置」という）又は前記パンチ装置２５によりパンチ穴が形成されるべき位置（以下、「パンチ位置」という）に移送され、後続のデバイスＸについての検査が一旦中断される。
【００４５】
検査開始時には、前記光電センサ１９はフィルムテープＴに設けられた先頭のデバイスＸの下流側のエッジを検出する。そして、このデバイスＸが光電センサ１９により検知された位置から所定距離上流側の基準位置に移送され、ＴＡＢの初期位置の設定が完了する。また、作業者は、予めＴＡＢのピッチ等の情報を前記キーボード１０１により入力し、これらの情報に基いて、各デバイスＸを移送すべき、基準位置から前記第１、第２ラインセンサ２０，２１までの距離、基準位置から顕微鏡位置までの距離、基準位置からパンチ位置までの距離等が計算される。そして、前記エンコーダ１２ｄ′による移送距離の情報に基いて、第１、第２ラインセンサ２０，２１による画像取得開始のタイミングと画像取得終了のタイミングとが計算される。
【００４６】
ところで、ＮＧ判定されたデバイスＸの扱いについて、パンチモードと顕微鏡モードとがあり、作業者が予めタッチパネル１０２を操作することにより選択できるようになっている。
【００４７】
まず、作業者によりパンチモードが選択されたときの制御について図４のフローチャートに基いて説明する。
【００４８】
まず、ステップＳ１でＮをゼロに初期化する。次に、ステップＳ２で、ＴＡＢが所定速度で連続的に移送される。そして、ステップＳ３で、画像取得のタイミングか否かを判定し、画像取得のタイミングになればステップＳ４に進み、第１ラインセンサ２０により取得した直線画像に基いて１デバイスの画像を作成し、第２ラインセンサ２１により取得した直線画像に基いて同様に１デバイスの画像を作成する。
【００４９】
次に、ステップＳ５で、Ｎ≠０か否かを判定し、Ｎ＝０のときは、ステップＳ６に進み、当該デバイスＸについての欠陥の有無の判定を行う。このとき、前記ステップＳ４で作成された２つの画像と基準画像とを対比することによりデバイスＸの欠陥の有無が判定される。そして、前記ステップＳ６でＯＫ判定がされた場合は、ステップＳ２に戻って後続のデバイスＸについて同様に判定が行われる。また、ステップＳ６でＮＧ判定がされた場合は、ステップＳ７に進み、ＮにＮ＋１を代入し、ステップＳ２に戻る。
【００５０】
一方、ステップＳ５でＮ≠０のときは、ステップＳ８に進み、当該デバイスＸについての欠陥の有無の判定を行う。ステップＳ８でＯＫ判定のときは、後述するパンチ制御を実行し、ＮＧ判定のときは、ステップＳ９に進み、ＮにＮ＋１を代入し、ステップＳ１０に進む。ステップＳ１０では、Ｎ＝５か否かが判定され、Ｎ＝１〜４のとき、つまり１〜４回連続してＮＧ判定されているときはステップＳ２に戻る。ステップＳ１０で、Ｎ＝５のとき、つまり５回連続してＮＧ判定されているときはステップＳ１１に進み、アラームを報知すると共に装置を停止させ、制御を終了する。
【００５１】
そして、ステップＳ１２〜Ｓ１５で行われる前記パンチ制御では、まず、ステップＳ１２でＴＡＢの送りを一時停止させ、次にステップＳ１３で、ＮＧ判定されたデバイスＸをパンチ位置に高速で移送する。なお、複数のＮＧ判定されたデバイスＸが検出されているときは、最下流のデバイスＸをパンチ位置に高速で移送し、停止させる。そして、ステップＳ１４で、停止したデバイスＸにパンチ装置２５によりパンチ穴を形成する。なお、複数のＮＧ判定されたデバイスＸが検出されているときは、最下流のデバイスＸのパンチ作業が終了すると、該デバイスＸの上流側のデバイスＸがパンチ位置に位置するようにＴＡＢが所定距離移送され、この上流側のデバイスＸにパンチ穴が形成される。そして、このようにして全てのＮＧ判定されたデバイスＸ…Ｘについてのパンチ作業が終了すると、ステップＳ１５で、これらのデバイスＸの上流側のＯＫ判定されたデバイスＸが基準位置に戻るように、ＴＡＢが移送され、続いて、ステップＳ１に戻り、Ｎを初期化した上で、検査を再開するようになっている。
【００５２】
次に、本制御を図５、６に示す動作図に基いて説明する。
【００５３】
図５（ａ）に示すように、デバイスＸ１が、第１、第２ラインセンサ２０，２１を通過し、ＮＧ判定されている。そして、図５（ｂ）に示すように、該デバイスＸ１の後続のデバイスＸ２がＯＫ判定されている。この場合、図５（ｃ）に示すように、前記デバイスＸ１がパンチ位置に高速で移送される。そして、パンチ装置２５により当該デバイスＸ１にパンチ穴ｐが形成され、図５（ｄ）に示すように、前記デバイスＸ２が基準位置に戻され、検査が再開される。なお、図５中、未判定のデバイスＸには斜線を施している。
【００５４】
また、図６（ａ）に示すように、デバイスＸ１が、第１、第２ラインセンサ２０，２１を通過し、ＮＧ判定されている。そして、図６（ｂ）に示すように、該デバイスＸ１の後続のデバイスＸ２もＮＧ判定されており、図６（ｃ）に示すように、該デバイスＸ２の後続のデバイスＸ３がＯＫ判定されている。この場合、図６（ｄ）に示すように、前記デバイスＸ１がパンチ位置まで移送され、パンチ装置２５により当該デバイスＸ１にパンチ穴ｐが形成される。そして、図６（ｅ）に示すように、ＴＡＢを少し移送することにより前記デバイスＸ２がパンチ位置まで移送され、パンチ装置２５により当該デバイスＸ２にパンチ穴ｐが形成される。次に、図６（ｆ）に示すように、前記デバイスＸ３が基準位置に戻され、検査が再開される。
【００５５】
以上のように、本制御によれば、ＮＧ判定されたデバイスＸがパンチ位置まで移送され、該デバイスＸにパンチ穴ｐが形成された後、未判定のデバイスＸが第１、第２ラインセンサ２０，２１の上流側に戻るように制御され、検査が再開されるので、パンチ装置２５のパンチ動作によるＴＡＢの移送の減速、停止に拘らず、自動的に適正な検査を行うことができる。
【００５６】
また、ＮＧ判定される度にパンチ位置まで移送し、パンチ穴を開けるので、判定結果のデータの蓄積が回避され、データ処理系の負担を低減することができる。さらに、ＮＧ判定がされる度にデバイスＸをパンチ位置まで移送し、戻す動作を行うと、連続してＮＧ判定がされたときにＴＡＢが頻繁に往復移動することになって作業能率の低下が懸念されるが、前述のように、ＮＧ判定の後に、ＯＫ判定がなされたときに、ＮＧ判定されたデバイスＸをパンチ位置に移送する作業が行われ、連続するＮＧ判定されたデバイスＸ…Ｘについてはまとめてパンチ作業が行われるので、作業能率の低下が回避される。
【００５７】
さらに、検査中に、例えば第１、第２ラインセンサ２０，２１のレンズ部分にごみが付着した場合や、装置の故障等の問題が生じた場合に、ＯＫであるにも拘らずＮＧ判定が連続してなされることになる。しかしながら、前述のように、５回以上ＮＧ判定が連続したときに、自動的に装置を停止させるように制御されるので、前述のような問題が発生している場合に、検査が無駄に継続することが防止される。
【００５８】
ところで、本発明の他の実施の形態として、ＮＧ判定されたときでも検査を継続させ、ＮＧ判定されたデバイスＸがパンチ位置に到達したときに、ＴＡＢの位相を停止させてパンチ穴を形成するように制御するものがある。
【００５９】
即ち、図７（ａ）に示すように、デバイスＸ１についてＮＧ判定がなされた後、図７（ｂ）に示すように、デバイスＸ２〜Ｘ５についてＯＫ判定が連続し、ＮＧ判定されたデバイスＸ１がパンチ位置に到達したときに、ＴＡＢの移送は停止され、当該デバイスＸ１はパンチ装置２５によりパンチ穴ｐが形成される。このとき、第１、第２ラインセンサ２０，２１により画像取得中のデバイスＸａ、Ｘｂが存在し、このまま検査を再開した場合、当該デバイスＸａ、Ｘｂについて適正な画像が取得できず、検査精度が確保できないことになる。そこで、図７（ｃ）に示すように、当該デバイスＸａ，Ｘｂが基準位置に戻るようにＴＡＢを移送し、この後、検査を再開するように制御される。なお、前記デバイスＸａについては、第１ラインセンサ２０には正常な画像が取得されているので、パンチ動作の後に、デバイスＸｂが基準位置に戻るように制御し、デバイスＸｂについては第２ラインセンサ２１のみの画像を再取得するようにして検査を再開するようにしてもよい。
【００６０】
このような制御においても、パンチ装置２５によるパンチ動作の際のＴＡＢの移送の減速、停止に拘らず、自動的に各デバイスＸについての適正な検査が行われることになる。
【００６１】
一方、作業者により顕微鏡モードが選択されたときの動作について図８のフローチャートに基いて説明する。なお、このフローチャートのステップＳ２１〜Ｓ３２は、図４のパンチモードにおけるステップＳ１〜Ｓ１２と同様であるので、説明を省略する。
【００６２】
即ち、ステップＳ３２でＴＡＢの送りを一時停止した後、ステップＳ３３でＮＧデバイスを顕微鏡位置に高速で移送し、停止させる。次に、ステップＳ３４に進み、ＮＧ制御を実行する。
【００６３】
図９に示すように、ＮＧ制御においては、まずステップＳ４１で、作業者がＮＧデバイスＸを目視により確認し、当該デバイスＸについてのＯＫ又はＮＧを判定し、タッチパネル１０２により判定結果を入力する。そして、ステップＳ４２で、判定がＮ回終了したか否か、即ちＮＧデバイスＸ…Ｘの全てについて判定が終了したか否かを判定し、Ｎ回終了していないときはステップＳ４１に戻る。なお、複数のＮＧデバイスＸ…Ｘが存在するときは、まず、最下流のＮＧデバイスＸについて判定が行われ、判定結果をタッチパネル１０２により入力すると、該デバイスＸの上流隣のデバイスＸが顕微鏡位置に移送され、作業者は同様に判定し、判定結果を入力するようになっている。このようにして、全てのＮＧデバイスＸ…Ｘについて作業者の目視による判定が行われる。
【００６４】
そして、ステップＳ４２でＮ回の判定が終了したときは、ステップＳ４３に進み、これらのＮＧデバイスＸ…Ｘについての処理方法を選択する。このとき、タッチパネル１０２には、ＮＧデバイスＸをパンチして次のデバイスＸから検査再開（以下、「ＮＧ処理」という）、ＮＧデバイスＸより再検査（以下、「再検査処理」という）、ＮＧデバイスＸをパンチせず次のＯＫデバイスＸから検査再開（以下、「ＯＫ処理」という）の３通りの処理の選択画面が表示される。
【００６５】
ステップＳ４３で、ＮＧ処理が選択されたときは、ステップＳ４４で、ＮＧデバイスＸがパンチ位置に高速で移送、停止される。そして、ステップＳ４５でパンチ装置２５によりＮＧデバイスＸにパンチ穴が形成される。なお、複数のＮＧデバイスＸ…Ｘが判定されているときは、前記パンチモード時と同様に、下流側のデバイスＸから順次パンチ穴を形成するように制御される。次に、ステップＳ４６で、ＯＫデバイスＸを基準位置に高速で移送、停止させ、ＮＧ制御を終了し、ステップＳ２１に戻る。
【００６６】
また、ステップＳ４３で、再検査処理が選択されたときは、ステップＳ４７で、ＮＧデバイスＸを基準位置に高速で移送、停止させ、ＮＧ制御を終了し、ステップＳ２１に戻る。
【００６７】
さらに、ステップＳ４３でＯＫ処理が選択されたときは、ステップＳ４８で、ＯＫデバイスＸを基準位置に高速で移送、停止させ、ＮＧ制御を終了し、ステップＳ２１に戻る。
【００６８】
次に、この顕微鏡モードのＮＧ制御について図１０〜１２の動作図を用いて説明する。
【００６９】
まず、図１０（ａ）に示すように、デバイスＸ１についてＮＧ判定がなされ、図１０（ｂ）に示すように、デバイスＸ１の次のデバイスＸ２についてＯＫ判定がなされている。この場合、ＴＡＢの移送を一時停止した後、図１０（ｃ）に示すように、前記デバイスＸ１を顕微鏡位置に高速で移送し、停止させる。
【００７０】
そして、顕微鏡での目視判定の結果、当該デバイスＸ１をＮＧとして扱うときに、作業者がタッチパネル１０２で「ＮＧ処理」を選択する。このとき、図１０（ｄ）に示すように、デバイスＸ１がパンチ位置まで高速で移送、停止され、デバイスＸ１にはパンチ穴ｐが形成され、図１０（ｅ）に示すように、デバイスＸ２が基準位置に戻るように制御され、該デバイスＸ２から検査が再開される。
【００７１】
また、図１１（ａ）〜図１１（ｃ）は、前記図１０（ａ）〜図１０（ｃ）と同様であって、顕微鏡での目視判定の結果、判定が微妙なときなど、もう一度検査し直したいときに、作業者がタッチパネル１０２で「再検査処理」を選択する。このとき、図１１（ｄ）に示すように、デバイスＸ１が基準位置に戻るように制御され、該デバイスＸ１から検査が再開される。
【００７２】
また、図１２（ａ）〜図１２（ｃ）は、前記図１０（ａ）〜図１０（ｃ）と同様であって、顕微鏡での目視判定の結果、作業者が当該デバイスＸ１について、明らかに欠陥の存在が認められずに、ＯＫであると判定したときに、作業者がタッチパネル１０２で「ＯＫ処理」を選択する。このとき、デバイスＸ１についてはＯＫ判定されたものとみなされ、図１２（ｄ）に示すように、デバイスＸ２が基準位置に戻るように制御され、該デバイスＸ２から検査が再開される。
【００７３】
以上のように、顕微鏡モードでは、画像用コントローラ１１０による画像判定と、顕微鏡２４を用いた作業者の目視による判定との２段階の判定が行われるので、検査精度が向上する。さらに、作業者はタッチパネル１０２を適宜操作するだけで、自動的に前述の各処理が行われることになって、装置の操作性が向上する。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明は、ＴＡＢの欠陥等の検査を行う検査装置に関し、製造産業に広く好適である。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の実施の形態に係る検査装置の正面図である。
【図２】ＴＡＢの説明図である。
【図３】検査装置のシステム図である。
【図４】パンチモードの制御を示すフローチャートである。
【図５】同じく動作図である。
【図６】同じく動作図である。
【図７】パンチモードの他の制御例に係る動作図である。
【図８】顕微鏡モードの制御を示すフローチャートである。
【図９】同じくフローチャートである。
【図１０】同じく動作図である。
【図１１】同じく動作図である。
【図１２】同じく動作図である。
【図１３】従来の問題点の説明図である。
【符号の説明】
【００７６】
１ 検査装置
１０ 巻出リール
１３ａ〜１３ｃ 駆動ローラ
２０ 第１ラインセンサ
２１ 第２ラインセンサ
２５ パンチ装置
１００ 搬送用コントローラ
１０２ タッチパネル
１１０ 画像用コントローラ
Ｘ デバイス
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数のデバイスを一定ピッチで設けてなる帯状のＴＡＢをリールから繰り出して移送する移送手段と、該移送手段で移送されているＴＡＢの各デバイスを画像として取得する画像取得手段と、該取得手段で取得した画像を処理し、予め登録された基準画像と対比することによってデバイスの欠陥の有無を判定する判定手段と、前記画像取得手段よりＴＡＢの移送方向下流側に配置され、前記判定手段によって欠陥の存在が判定されたデバイスにパンチ穴を形成するパンチ手段とを有するＴＡＢの検査装置であって、
前記画像取得手段は、ＴＡＢの幅方向に配置されたラインセンサを用いて、ＴＡＢが移送している状態で幅方向の直線画像を連続的に取得することによりデバイス全体の画像を取得するように構成されており、かつ、
ＴＡＢを連続移送するように前記移送手段を制御すると共に、前記判定手段によって欠陥の存在が判定されたデバイスがパンチ手段の対応位置に移送されたときに該移送手段によるＴＡＢの移送を停止させ、かつ、移送再開時に、後続の未判定のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、前記移送手段を制御する移送制御手段が備えられていることを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【請求項２】
前記請求項１に記載のＴＡＢの検査装置において、
前記移送制御手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定されたときに、移送手段を停止させることなく作動させて、後続のデバイスに対する判定を継続して行わせると共に、欠陥の存在が判定されたデバイスに対するパンチ穴の形成後、移送再開時に、ラインセンサ上にデバイスが位置するときは、そのデバイスが該センサの上流側まで戻るように、移送手段を制御することを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【請求項３】
前記請求項１に記載のＴＡＢの検査装置において、
前記移送制御手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断させて、当該デバイスがパンチ手段に対応位置するように移送手段を作動させると共に、移送再開時に、後続の未判定のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、移送手段を制御することを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【請求項４】
前記請求項１に記載のＴＡＢの検査装置において、
前記移送制御手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定された後、欠陥の非存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断させて、欠陥の存在が判定されたデバイスがパンチ手段に対応位置するように移送手段を作動させると共に、移送再開時に、前記欠陥の非存在が判定されたデバイス又は次のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、移送手段を制御することを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【請求項５】
多数のデバイスを一定ピッチで設けてなる帯状のＴＡＢをリールから繰り出して移送する移送手段と、該移送手段で移送されているＴＡＢの各デバイスを画像として取得する画像取得手段と、該取得手段で取得した画像を処理し、予め登録された基準画像と対比することによってデバイスの欠陥の有無を判定する判定手段と、前記画像取得手段よりＴＡＢの移送方向下流側に配置され、前記判定手段によって欠陥の存在が判定されたデバイスにパンチ穴を形成するパンチ手段とを有するＴＡＢの検査装置であって、
前記画像取得手段は、ＴＡＢの幅方向に配置されたラインセンサを用いて、ＴＡＢが移送している状態で幅方向の直線画像を連続的に取得することによりデバイス全体の画像を取得するように構成されており、かつ、
前記画像取得手段とパンチ手段との間に配置され、前記判定手段によって欠陥の存在が判定されたデバイスを目視により欠陥の有無を判断するための顕微鏡と、
該顕微鏡による判断結果に応じてパンチ処理又は非パンチ処理を選択する処理選択手段と、
ＴＡＢを連続移送するように前記移送手段を制御すると共に、前記判定手段によって欠陥の存在が判定されたデバイスが顕微鏡の対応位置に移送されたときに該移送手段によるＴＡＢの移送を停止させ、
前記処理選択手段によりパンチ処理が選択されたときは、移送再開時に、前記欠陥の存在が判定されたデバイスをパンチ手段の対応位置に移送するように移送手段を作動させると共に、この後、後続の未判定のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、前記移送手段を制御し、かつ、
前記処理選択手段により非パンチ処理が選択されたときは、移送再開時に、後続の未判定のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、前記移送手段を制御する移送制御手段とが備えられていることを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【請求項６】
前記請求項５に記載のＴＡＢの検査装置において、
前記処理選択手段は、再検査処理を選択可能とされ、
前記移送制御手段は、該処理選択手段により再検査処理が選択されたときは、移送再開時に、前記欠陥の存在が判定されたデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、前記移送手段を制御することを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【請求項７】
前記請求項５または請求項６に記載のＴＡＢの検査装置において、
前記移送制御手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定されたときに、移送手段を停止させることなく作動させて、後続のデバイスに対する判定を継続して行わせると共に、当該デバイスが顕微鏡に対応位置するときに移送手段を停止させることを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【請求項８】
前記請求項５または請求項６に記載のＴＡＢの検査装置において、
前記移送制御手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断させて、当該デバイスが顕微鏡に対応位置するように移送手段を作動させることを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【請求項９】
前記請求項５または請求項６に記載のＴＡＢの検査装置において、
前記移送手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定された後、欠陥の非存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断させて、欠陥の存在が判定されたデバイスが顕微鏡に対応位置するように移送手段を作動させることを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【請求項１０】
前記請求項４または請求項９に記載のＴＡＢの検査装置において、
前記判定手段によって所定回数以上連続して欠陥の存在が判定されたときに、装置を停止させる装置停止手段が備えられていることを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【請求項１】
多数のデバイスを一定ピッチで設けてなる帯状のＴＡＢをリールから繰り出して移送する移送手段と、該移送手段で移送されているＴＡＢの各デバイスを画像として取得する画像取得手段と、該取得手段で取得した画像を処理し、予め登録された基準画像と対比することによってデバイスの欠陥の有無を判定する判定手段と、前記画像取得手段よりＴＡＢの移送方向下流側に配置され、前記判定手段によって欠陥の存在が判定されたデバイスにパンチ穴を形成するパンチ手段とを有するＴＡＢの検査装置であって、
前記画像取得手段は、ＴＡＢの幅方向に配置されたラインセンサを用いて、ＴＡＢが移送している状態で幅方向の直線画像を連続的に取得することによりデバイス全体の画像を取得するように構成されており、かつ、
ＴＡＢを連続移送するように前記移送手段を制御すると共に、前記判定手段によって欠陥の存在が判定されたデバイスがパンチ手段の対応位置に移送されたときに該移送手段によるＴＡＢの移送を停止させ、かつ、移送再開時に、後続の未判定のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、前記移送手段を制御する移送制御手段が備えられていることを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【請求項２】
前記請求項１に記載のＴＡＢの検査装置において、
前記移送制御手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定されたときに、移送手段を停止させることなく作動させて、後続のデバイスに対する判定を継続して行わせると共に、欠陥の存在が判定されたデバイスに対するパンチ穴の形成後、移送再開時に、ラインセンサ上にデバイスが位置するときは、そのデバイスが該センサの上流側まで戻るように、移送手段を制御することを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【請求項３】
前記請求項１に記載のＴＡＢの検査装置において、
前記移送制御手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断させて、当該デバイスがパンチ手段に対応位置するように移送手段を作動させると共に、移送再開時に、後続の未判定のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、移送手段を制御することを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【請求項４】
前記請求項１に記載のＴＡＢの検査装置において、
前記移送制御手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定された後、欠陥の非存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断させて、欠陥の存在が判定されたデバイスがパンチ手段に対応位置するように移送手段を作動させると共に、移送再開時に、前記欠陥の非存在が判定されたデバイス又は次のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、移送手段を制御することを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【請求項５】
多数のデバイスを一定ピッチで設けてなる帯状のＴＡＢをリールから繰り出して移送する移送手段と、該移送手段で移送されているＴＡＢの各デバイスを画像として取得する画像取得手段と、該取得手段で取得した画像を処理し、予め登録された基準画像と対比することによってデバイスの欠陥の有無を判定する判定手段と、前記画像取得手段よりＴＡＢの移送方向下流側に配置され、前記判定手段によって欠陥の存在が判定されたデバイスにパンチ穴を形成するパンチ手段とを有するＴＡＢの検査装置であって、
前記画像取得手段は、ＴＡＢの幅方向に配置されたラインセンサを用いて、ＴＡＢが移送している状態で幅方向の直線画像を連続的に取得することによりデバイス全体の画像を取得するように構成されており、かつ、
前記画像取得手段とパンチ手段との間に配置され、前記判定手段によって欠陥の存在が判定されたデバイスを目視により欠陥の有無を判断するための顕微鏡と、
該顕微鏡による判断結果に応じてパンチ処理又は非パンチ処理を選択する処理選択手段と、
ＴＡＢを連続移送するように前記移送手段を制御すると共に、前記判定手段によって欠陥の存在が判定されたデバイスが顕微鏡の対応位置に移送されたときに該移送手段によるＴＡＢの移送を停止させ、
前記処理選択手段によりパンチ処理が選択されたときは、移送再開時に、前記欠陥の存在が判定されたデバイスをパンチ手段の対応位置に移送するように移送手段を作動させると共に、この後、後続の未判定のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、前記移送手段を制御し、かつ、
前記処理選択手段により非パンチ処理が選択されたときは、移送再開時に、後続の未判定のデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、前記移送手段を制御する移送制御手段とが備えられていることを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【請求項６】
前記請求項５に記載のＴＡＢの検査装置において、
前記処理選択手段は、再検査処理を選択可能とされ、
前記移送制御手段は、該処理選択手段により再検査処理が選択されたときは、移送再開時に、前記欠陥の存在が判定されたデバイスがラインセンサの上流側まで戻るように、前記移送手段を制御することを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【請求項７】
前記請求項５または請求項６に記載のＴＡＢの検査装置において、
前記移送制御手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定されたときに、移送手段を停止させることなく作動させて、後続のデバイスに対する判定を継続して行わせると共に、当該デバイスが顕微鏡に対応位置するときに移送手段を停止させることを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【請求項８】
前記請求項５または請求項６に記載のＴＡＢの検査装置において、
前記移送制御手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断させて、当該デバイスが顕微鏡に対応位置するように移送手段を作動させることを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【請求項９】
前記請求項５または請求項６に記載のＴＡＢの検査装置において、
前記移送手段は、前記判定手段によってデバイスの欠陥の存在が判定された後、欠陥の非存在が判定されたときに、後続のデバイスに対する判定を中断させて、欠陥の存在が判定されたデバイスが顕微鏡に対応位置するように移送手段を作動させることを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【請求項１０】
前記請求項４または請求項９に記載のＴＡＢの検査装置において、
前記判定手段によって所定回数以上連続して欠陥の存在が判定されたときに、装置を停止させる装置停止手段が備えられていることを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
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【公開番号】特開２００７−１９０６０（Ｐ２００７−１９０６０Ａ）
【公開日】平成１９年１月２５日（２００７．１．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−１９５８２４（Ｐ２００５−１９５８２４）
【出願日】平成１７年７月５日（２００５．７．５）
【出願人】（０００１１０６４２）ナビタス株式会社 (15)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年１月２５日（２００７．１．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年７月５日（２００５．７．５）
【出願人】（０００１１０６４２）ナビタス株式会社 (15)
【Ｆターム（参考）】
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