Ｘ線検査装置
【課題】シールドボックス内部の温度上昇を抑制する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、シールドボックス２００と、シールドボックス２００の内部に配置されたＸ線源３００およびＸ線源３００を制御する制御部８００と、を備えたＸ線検査装置である。このＸ線検査装置には、シールドボックス３００の天面部２３０の内面で、かつＸ線源３００の上方に、気体を集める凹部２３１が設けられている。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、シールドボックス２００と、シールドボックス２００の内部に配置されたＸ線源３００およびＸ線源３００を制御する制御部８００と、を備えたＸ線検査装置である。このＸ線検査装置には、シールドボックス３００の天面部２３０の内面で、かつＸ線源３００の上方に、気体を集める凹部２３１が設けられている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、Ｘ線検査装置の内部において高温となるＸ線源を冷却する技術が種々提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１には、Ｘ線を発生するＸ線源と、該Ｘ線源を取り囲んで密封する装置壁と、を備え、装置壁の内側に、内部伝熱体が設けられており、装置壁の外側に、内部熱伝導体から装置壁を介して伝導される熱を放熱する外部熱伝導体が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２９２４９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年では、Ｘ線源の管電圧を高くすることによって、高精度なＸ線検査を行っている。この場合、Ｘ線源の発熱量が大きくなり、当該Ｘ線源を収容する筺体内部の温度が上昇する。そうすると、筺体内部に配置される制御部が高温となり故障の原因となる。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、筺体内部の温度上昇を抑制することが可能なＸ線検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るＸ線検査装置は、筐体と、筐体の内部に配置されたＸ線源およびＸ線源を制御する制御部と、を備えたＸ線検査装置であって、筺体の内面で、かつＸ線源の上方に、気体を集める凹部が設けられている。
【０００８】
上記構成によれば、Ｘ線源の上方に凹部を設けることによって、筺体内部で熱せられた気体を集めることができるので、当該熱せられた気体が他の領域に拡散することを抑制できる。また、筺体の内面に凹部を形成することにより、筐体の内面がフラットの場合と比べて、筺体の内面の表面積を大きくすることができる。これにより、筺体内部で熱せられた空気と接する筺体の内面の表面積が増加するので、筺体内の気体の冷却効率を向上させることができる。
【０００９】
Ｘ線検査装置において、冷却機をさらに備え、冷却機から凹部に冷却空気が吹き付けられ、かつ冷却機の吹き付け方向に沿って凹部が延在配置される。
【００１０】
上記構成によれば、凹部に熱せられた空気が集められているため、冷却機で冷却しやすい。その結果、効率良く筺体内温度を下げることができる。
また、冷却空気を吹き付ける方向に沿って凹部が延在配置されているので、凹部の側壁に沿って空気流れを形成することができる。その結果、他の領域に流れる空気の拡散を抑制することができる。
さらに、上記構成によれば、冷却機から冷却空気が凹部に吹き付けられるため、凹部の下部に配置されたＸ線源に冷却空気が直接吹き付けられない。そのため、Ｘ線源の環境温度の急激な変動を抑制することができ、Ｘ線源の急激な温度変動によるＸ線の出力を安定させることができる。
【００１１】
Ｘ線検査装置において、筐体は、凹部に連設される縦面と、縦面に連設される底面と、を有し、凹部、縦面、および底面は、Ｘ線源から所定空間を設けて配置され、Ｘ線源の周囲を縦循環する縦循環対流経路を形成する。
【００１２】
上記構成によれば、Ｘ線源の周囲を縦循環する縦循環対流経路を形成することができるので、冷却機からの冷却空気を、Ｘ線源の上方の凹部、縦面、および底面の順で対流させることができる。その結果、Ｘ線源の周囲の温度を効率よく下げることができるので、Ｘ線源の温度上昇を抑制することができる。
【００１３】
Ｘ線検査装置において、凹部は、上方傾斜面を有し、縦面は、下方傾斜面を有する。ここでは、Ｘ線検査装置の背面側から前面側に傾斜するのを上方傾斜といい、Ｘ線検査装置の背面側から前面側に傾斜するのを下方傾斜という。
【００１４】
上記構成によれば、冷却機からの冷却空気を当該上方傾斜面に沿って流し、さらに連設される下方傾斜面に沿って流すことができるので、冷却空気が円滑に縦循環する。
【００１５】
Ｘ線検査装置において、制御部は、冷却機の吹き付け方向から外れて配置される。
【００１６】
上記構成によれば、制御部が冷却機の吹き付け方向から外れて配置されるので、冷却空気が制御部に阻害されずに凹部に到達する。これにより、筺体内で熱せられて凹部内に集まった気体を直接冷却することができる。
【００１７】
Ｘ線検査装置において、凹部は、上方傾斜面を有し、制御部は、上方傾斜面の高さの低い位置の下方に配置される。
【００１８】
上記構成によれば、Ｘ線源によって熱せられた空気は、上方傾斜面に沿って凹部の高い位置に集まる。これにより、熱せられた空気と凹部の低い位置の下方に配置される制御部とを離間させることができる。その結果、制御部が凹部内に集まった気体により熱せられるのを抑制することができる。したがって、熱影響によって制御部が故障するのを防止することができる。
【００１９】
Ｘ線検査装置において、筺体の天面は、凹部の傾斜方向と同一方向に傾斜する傾斜面からなる。
【００２０】
上記構成によれば、Ｘ線検査装置の清掃などで筺体の上面に付着した水などの液体が、当該傾斜面に沿って流れるので、筺体の天面に液体が溜まるのを防止することができる。これにより、Ｘ線検査装置を清潔に保つことができる。食品等の被検査物を対象とするＸ線検査装置の場合、特に清潔さが要求されるので、筺体の天面を傾斜面にすることは、非常に有効である。
【００２１】
Ｘ線検査装置において、Ｘ線源から照射されたＸ線を検出するラインセンサと、ラインセンサを収納し、開口部を有するセンサボックスと、センサボックス内で、ラインセンサとの間に所定空間を隔てた状態で、ラインセンサと略並行に配置された遮蔽部材と、をさらに備え、遮蔽部材は、センサボックスの開口部と対向する面との間に、所定空間を有する。
【００２２】
上記構成によれば、Ｘ線源からラインセンサに照射されたＸ線が当該ラインセンサ等で反射した場合でも、当該反射したＸ線を遮蔽部材により遮蔽することにより、センサボックス外にＸ線が漏洩するのを抑制することができる。
さらに、遮蔽部材をラインセンサと所定空間を設けて略並行に配置するとともに、遮蔽部材をセンサボックスの開口部と対向する面との間に所定空間を有した状態で配置することによって、開口部から流入した空気が、ラインセンサに沿って対向する面に向かって流れ、対向する面側における遮蔽部材の所定空間を通過して、開口部側に戻る対流を生成することができる。その結果、当該対流により、ラインセンサの冷却効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の全体構成を示した斜視図である。
【図２】図１に示したＸ線検査装置の本体部の側面図である。
【図３】図２に示したＸ線検査装置の本体部の（ａ）内部構成図、（ｂ）天面部の詳細模式図である。
【図４】図３のＡ−Ａ断面図である。
【図５】図３のＢ−Ｂ断面図である。
【図６】図３のＣ−Ｃ断面図である。
【図７】図６に示したコンベアユニット周辺の拡大図である。
【図８】図６に示したセンサユニットの内部構成を示した模式図である。
【図９】図１に示したＸ線検査装置のＸ線遮蔽扉を内側から見た平面図である。
【図１０】図９のＤ−Ｄ断面図である。
【図１１】図９に示したＸ線遮蔽扉に設けられるロック解除機構の（ａ）平面図、（ｂ）Ｅ−Ｅ断面図である。
【図１２】実施例に係るＸ線検査装置の各寸法を示した（ａ）Ｘ線検査装置の正面図、（ｂ）本体部の平面図、（ｃ）本体部の正面図、（ｄ）センサボックスの正面図、（ｅ）検査室周辺の正面図、（ｆ）搬入口および搬出口の正面図である。
【図１３】比較例に係るＸ線検査装置の寸法を示した（ａ）正面図、（ｂ）平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置１００について図面を参照しながら説明する。
【００２５】
［Ｘ線検査装置の全体構成］
本実施形態に係るＸ線検査装置１００は、図１に示すように、食品等の被検査物Ｂの生産ラインにおいて、被検査物ＢのＸ線検査を行う装置である。このＸ線検査装置１００は、上流側の搬入コンベア１０１から搬送されてくる被検査物Ｂに対して、Ｘ線を照射することによって、当該被検査物Ｂを透過したＸ線を検知して被検査物Ｂの不良判断を行う。なお、前述した「不良判断」とは、被検査物Ｂに異物が混入しているか否かの判断（異物検査）、被検査物Ｂを構成する内容物が規定レベルを満たすか否かの判断（欠品検査、レベルチェック）など、を言う。
【００２６】
本実施形態に係るＸ線検査装置１００は、従来のＸ線検査装置（管電圧：２５ｋＶ〜７０ｋＶ）に比べて、高出力タイプ（管電圧：１００ｋＶ以上）のＸ線検査装置であって、高精度のＸ線検査が可能である。具体的には、Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線源３００から照射される高エネルギー帯のＸ線と低エネルギー帯のＸ線とをそれぞれ検知して、高エネルギー帯のＸ線を検知して得られたＸ線透過画像と低エネルギー帯のＸ線を検知して得られたＸ線透過画像とに画像処理を施して、高精度のＸ線検査を行う。このＸ線検査装置１００は、図１に示すように、脚部１１０、及び、脚部１１０に固定される本体部１２０を備えている。そして、図２および図３に示すように、本体部１２０は、主として、シールドボックス（筺体）２００と、Ｘ線源３００と、センサユニット４００と、コンベアユニット５００と、Ｘ線遮蔽扉６００と、Ｘ線遮蔽カーテン６７０と、冷却機７００と、制御部８００と、フロントパネル９００とを備えている。
【００２７】
本実施形態に係るＸ線検査装置１００は、図１，図４および図５に示すように、Ｘ線源３００の照射面Ｄ（図３参照）を含む面と交差する交差領域Ｔ１と、その交差領域Ｔ１の両側方に配置される他の領域Ｔ２とを有している。交差領域Ｔ１は、Ｘ線検査装置１００の幅方向（Ｘ方向）中央部であり、他の領域Ｔ２は、交差領域Ｔ１を除く領域である。このＸ線検査装置１００の外観は、交差領域Ｔ１が他の領域Ｔ２より外側に突出している。この交差領域Ｔ１には、他の領域Ｔ２よりもＸ線遮蔽機能が高い遮蔽手段（冷却機７００、フロントパネル９００、シールドボックス２００の天面部２３０、及び、Ｘ線遮蔽扉６００の正面視中央部６０１）が設けられる。この交差領域Ｔ１を構成する面の各々は、垂線がＸ線源３００を向くように配置される。
【００２８】
［シールドボックス（筺体）］
シールドボックス２００は、Ｘ線遮蔽構造を有している。このシールドボックス２００には、図２および図３に示すように、被検査物Ｂを搬入するための搬入口２０１が形成されていると共に、被検査物Ｂを搬出するための搬出口２０２が形成されている。なお、この搬入口２０１および搬出口２０２のそれぞれには、Ｘ線遮蔽カーテン６７０が設けられている。図３に示すように、シールドボックス２００の内部には、Ｘ線源３００および制御部８００等が収容されている。このシールドボックス２００は、図２および図３に示すように、フロントパネル９００が設けられる前面部２１０、前面部２１０に対向配置され、冷却機７００が設けられる背面部２２０、Ｘ線源３００の上方に設けられる天面部２３０、天面部２３０に対向配置され、Ｘ線源３００の下方に設けられる底面部２４０、上記した搬入口２０１が設けられる右側面部２５０、および、搬出口２０２が設けられる左側面部２６０を有している。ここでは、搬入口２０１が右側面部２５０に、搬出口２０２が左側面部２６０に設けられる例について説明したが、コンベアユニット５００による搬送方向を逆にすれば、右側面部２５０に搬出口２０２が設けられ、左側面部２６０に搬入口２０１が設けられても良い。また、シールドボックス２００は、図３に示すように、底面部２４０に連続して設けられ、鉛直方向（Ｚ方向）に延在する奥壁部２７０と、当該奥壁部２７０の下端から背面部２２０の下端まで延びる奥底面部２８０とを有している。これらの前面部２１０、背面部２２０、天面部２３０、底面部２４０、右側面部２５０、左側面部２６０、奥壁部２７０、および、奥底面部２８０によって区画された空間が、Ｘ線源３００および制御部８００などを収容する収容空間Ｓ１となる。
【００２９】
ここで、本実施形態では、図３に示すように、筺体２００の内面で、かつＸ線源３００の上方に、気体を集める凹部２３１が設けられている。本実施形態では、図３（ｂ）に示すように、凹部２３１は、天面部２３０の内面に形成されている。凹部２３１は、背面部２２０側から前面部２１０側に向かって徐々に高くなる上方傾斜面２３２を有している。そして、凹部２３１の高さの低い位置ＰＬ（図３（ｂ）参照）の下方には、制御部８００（図３（ａ）参照）が配置されており、凹部２３１の高さの高い位置ＰＨ（図３（ｂ）参照）の下方には、Ｘ線源３００（図３（ａ）参照）が配置されている。また、本実施形態では、凹部２３１は、後述する冷却機７００の吹き付け方向（斜め上方：矢印Ｆ方向）に沿って延在配置されている。
【００３０】
この凹部２３１が形成される天面部２３０は、その外側の部分と比較して、外側に突出しており、交差領域Ｔ１に配置されるＸ線の遮蔽手段として機能する。なお、この天面部２３０は、着脱可能であって、当該天面部２３０を取り外した箇所には、後述する冷却機７００が装着可能となっている。Ｘ線検査装置１００の奥行方向（Ｙ方向）にスペースを確保することが困難な場合に、背面部２２０に取り付けられる冷却機７００を、天面部２３０に取り付けることが可能である。
【００３１】
図３に示すように、収容空間Ｓ１に配置されるＸ線源３００は、前述した凹部２３１が形成され、且つ上方傾斜する天面部２３０、当該天面部２３０に連設され、且つ下方傾斜する前面部２１０、および、当該前面部２１０に連設される底面部２４０の各々から所定空間を設けて配置されている。これにより、Ｘ線源３００の周囲において、気体が縦循環する縦循環対流経路Ｒ１が形成される。なお、ここでの「縦循環」とは、Ｘ線源３００の上方から下方に気体が流れることを意味する。
【００３２】
また、図３（ｂ）に示すように、天面部２３０の上面２３３は、凹部２３１の上方傾斜面２３２の傾斜方向と同一方向に傾斜する上方傾斜面からなる。この上面２３３は、水平面に対して傾斜することによって、当該上面２３３に付着した水などが外側に流れ落ちる。また、他の領域Ｔ２における上面２３４（図１参照）も、上記した上面２３３と同様に傾斜する上方傾斜面からなる。
【００３３】
また、本実施形態では、右側面部２５０および左側面部２６０には、シールドボックス２００内の気体を排出するための通気口は設けられていない。
【００３４】
［Ｘ線源］
Ｘ線源３００は、被検査物ＢにＸ線を照射するために設けられている。本実施形態では、Ｘ線源３００は、高エネルギー帯のＸ線を照射するために、Ｘ線源３００の管電圧を１００ｋＶ以上に設定することが可能である。このように、Ｘ線源３００を高電圧で使用する場合、Ｘ線源３００の発熱量が多くなる。そうすると、図３（ａ）および（ｂ）に示すように、Ｘ線源３００によって熱せられた気体は、上昇して凹部２３１の高さが高い位置ＰＨ（図３（ｂ）参照）に向かう。これにより、シールドボックス２００内で熱せられた気体が凹部２３１内に集まる。このＸ線源３００は、上記したシールドボックス２００の収容空間Ｓ１に配置されており、コンベアユニット５００の搬送面Ｍの下方に配置されたセンサユニット４００のラインセンサ４１０に向かってＸ線を照射する。Ｘ線源３００は、コンベアユニット５００による搬送方向（矢印Ｘ方向）に直交する方向に扇状にＸ線を照射する（図３のＤが示す２点鎖線参照）。本実施形態では、Ｘ線源３００は、下方に向けてＸ線を照射するように固定配置されており、当該Ｘ線源３００から照射されたＸ線は、シールドボックス２００の底面部２４０に形成される開口（図示せず）を介して、検査室Ｓ２に照射される。
【００３５】
なお、底面部２４０の開口には、検査室Ｓ２側に延在するＸ線規制部材２４１が設けられており、底面部２４０の開口を通過したＸ線が搬送方向（矢印Ｘ方向）に拡散しないように規制している。なお、上記した検査室Ｓ２とは、シールドボックス２００の底面部２４０、シールドボックス２００の奥壁部２７０、コンベアユニット５００の搬送面Ｍ、Ｘ線遮蔽扉６００、および、Ｘ線遮蔽カーテン６７０により囲まれる空間をいう。
【００３６】
また、底面部２４０のＸ線源３００側の面には、Ｘ線遮蔽板２４２が設けられている。これにより、Ｘ線源３００から照射されて、収容空間Ｓ１内で反射したＸ線が外部に漏洩するのを防止することができる。
【００３７】
［センサユニット］
センサユニット４００は、図６および図７に示すように、コンベアユニット５００の搬送面Ｍの下方に配置されている。このセンサユニット４００は、図８に示すように、Ｘ線源３００から照射されたＸ線を検知するラインセンサ４１０と、ラインセンサ４１０との間に所定空間を設けて略平行に配置された一対の遮蔽部材４２１および４２２と、ラインセンサ４１０および遮蔽部材４２１，４２２を収容するセンサボックス４３０と、を有している。
【００３８】
ラインセンサ４１０は、上下方向（Ｚ方向）に所定の間隔を隔てて配置されるデュアルセンサであって、この２重のセンサによって、Ｘ線源３００から照射される低エネルギー帯のＸ線と高エネルギー帯のＸ線とを検知する。一対の遮蔽部材４２１および４２２は、ラインセンサ４１０の素子配列方向（矢印Ｙ方向）に沿って延在する板状部材であり、当該ラインセンサ４１０を挟んで対向して配置される。また、センサボックス４３０の背面部２２０側の部分には、開口部４３１が形成されている。この開口部４３１は、当該開口部４３１の近傍に配置されたファン９５０（図３参照）から送風される気体を、センサボックス４３０内に導入するために設けられている。そして、本実施形態では、遮蔽部材４２１および４２２は、センサボックス４３０の開口部４３１と対向する面４３２との間に、所定空間を有するように配置されている。これにより、センサボックス４３０内において、気体が対流するボックス内対流経路Ｒ２が形成される。
【００３９】
［コンベアユニット（搬送部）］
コンベアユニット５００は、図６および図７に示すように、Ｘ線検査装置１００の上流側に配置される搬入コンベア１０１から受け取った被検査物Ｂを、Ｘ線検査装置１００の下流側に配置される搬出コンベア１０２まで搬送するために設けられており、途中で上記したＸ線源３００のＸ線が照射されるＸ線照射位置（Ｘ線源３００の真下の位置）において、被検査物ＢのＸ線検査を行う。このコンベアユニット５００は、図７に示すように、フレーム５１０と、駆動ローラ５２１および３つの従動ローラ５２２〜５２４（以下、適宜、駆動ローラ５２１と従動ローラ５２２〜５２４を総称して、ローラ５２１〜５２４とする）と、これらのローラ５２１〜５２４の外周面に装着されたベルト５３０と、を有している。ローラ５２１〜５２４は、互いに所定の間隔を隔てて配置されており、正面視において、シールドボックス２００の右側面部２５０および左側面部２６０（図１参照）から僅かに外側に突出する上部ローラ５２１および５２２と、当該ローラ５２１および５２２の下方に配置される下部ローラ５２３および５２４と、から構成されている。上部ローラ５２１と上部ローラ５２２とは、同一平面上に配置されると共に、下部ローラ５２３および５２４は、当該平面より下方に設けられる。上部ローラ５２１と５２２との間隔は、下部ローラ５２３と５２４との間隔より大きくなっている。これらのローラ５２１〜５２４は、金属製である。このように配置されるローラ５２１〜５２４の外周面に装着されるベルト５３０の内側の領域には、上記したセンサユニット４００が配置されている。
【００４０】
一対の上部ローラ５２１および５２２は、フレーム５１０に取り付けられるステー５１１に回転可能に支持されると共に、一対の下部ローラ５２３および５２４は、センサボックス４３０に取り付けられるステー４３５に回転可能に支持される。したがって、本実施形態では、上部ローラ５２１および５２２と、下部ローラ５２３および５２４とは、分離可能となっている。そして、本実施形態では、下部ローラ５２３は、後述する内側カーテン６７３と中間カーテン６７２との間の下方に設けられる。また、下部ローラ５２４は、後述する内側カーテン６７６と中間カーテン６７５との間の下方に設けられる。
【００４１】
［Ｘ線遮蔽扉］
Ｘ線遮蔽扉６００は、図２に示すように、Ｘ線検査装置１００の前面に開閉可能に取り付けられており、検査室Ｓ２を閉鎖する閉状態（図２の実線）と、検査室Ｓ２を開放する開状態（図２の点線）とを取り得る。このＸ線遮蔽扉６００は、図９および図１０に示すように、検査室Ｓ２側から順に、第１遮蔽部材６１０、第２遮蔽部材６２０、及び、第３遮蔽部材６３０が配置されている。具体的には、第１遮蔽部材６１０は、検査室Ｓ２側の最内側に配置されることで前記検査室Ｓ２の前面を形成している。そして、本実施形態では、図９に示すように、第１遮蔽部材６１０は、検査室Ｓ２側の面が連続した平坦面を有している。また、第２遮蔽部材６２０は、図１０に示すように、第１遮蔽部材６１０の外側に配置されている。また、第３遮蔽部材６３０は、第２遮蔽部材６２０の外側で、かつ第２遮蔽部材６２０に対して所定間隔を有して配置されている。この第２遮蔽部材６２０は、第１遮蔽部材６１０および第３遮蔽部材６３０よりもＸ線遮蔽機能が高くなっている。具体的には、第２遮蔽部材６２０は、鉛、カーボン等からなる。このＸ線遮蔽扉６００は、第１遮蔽部材６１０および第３遮蔽部材６３０によって内部が空洞の箱型部が形成されており、当該箱型部の内部の空洞に第２遮蔽部材６２０が配置されている。なお、第１遮蔽部材６１０および第３遮蔽部材６３０は、金属製であって、例えば、ＳＵＳ３０４からなる。
【００４２】
そして、本実施形態では、図９に示すように、Ｘ線遮蔽扉６００の外面は、上端に向かうにつれて検査室Ｓ２の外側に傾斜する。すなわち、Ｘ線遮蔽扉６００の最外側に配置される第３遮蔽部材６３０が、Ｘ線遮蔽扉６００の上端に向かうにつれて検査室Ｓ２の外側に傾斜する。また、本実施形態では、図１に示すように、Ｘ線遮蔽扉６００は、正面視中央部６０１が両側６０２よりも検査室Ｓ２の外側に設けられている。この正面視中央部６０１は、正面視において、第１遮蔽部材６１０、第２遮蔽部材６２０、および、第３遮蔽部材６３０が重なる部分であって、交差領域Ｔ１（図１および図４参照）に設けられる。すなわち、この正面視中央部６０１は、交差領域Ｔ１に配置されるＸ線の遮蔽手段として機能する。
【００４３】
また、本実施形態では、図１０に示すように、第１遮蔽部材６１０は、コンベアユニット５００の搬送面Ｍに対して略垂直に配置され、第３遮蔽部材６３０は、検査室Ｓ２の外側に傾斜している。第１遮蔽部材６１０および第３遮蔽部材６３０の上部の間隔Ｂ１が、第１遮蔽部材６１０および第３遮蔽部材６３０の下部の間隔Ｂ２よりも長くなっている。
【００４４】
また、図９および図１０に示すように、第１遮蔽部材６１０の外縁部には、検査室Ｓ２側に延在する壁部６４０が形成されている。この壁部６４０は、第１遮蔽部材６１０の上端に設けられる上側壁部６４１と、第１遮蔽部材６１０の側端に設けられる側端壁部６４２，６４３と、第１遮蔽部材６１０の下端に設けられる下側壁部６４４とを有している。側端壁部６４２，６４３には、コンベアユニット５００によって搬送される被検査物Ｂが通過したか否かを検知するセンサ（図示せず）が設けられている。図９に示すように、下側壁部６４４は、Ｘ線源３００を囲むように傾斜している。具体的には、下側壁部６４４は、Ｘ線遮蔽扉６００の幅方向（矢印Ｘ方向）の中央部分６４５が、その両側６４６に比べて下方に配置されている。中央部分６４５は、水平方向に延在すると共に、両側６４６は、当該中央部分６４５の両端部から上方に傾斜している。
【００４５】
また、Ｘ線遮蔽扉６００には、図１〜図３に示すように、作業者が当該Ｘ線遮蔽扉６００を開閉するために把持するハンドル６５０が取り付けられている。このハンドル６５０は、Ｘ線遮蔽扉６００の回動中心Ｇ（図２参照）から離れた位置に取り付けられている。
【００４６】
また、Ｘ線遮蔽扉６００は、図１１に示すように、当該Ｘ線遮蔽扉６００を閉状態（図２参照）で固定するためのスライドロック機構６６０を有している。このスライドロック機構６６０は、Ｘ線遮蔽扉６００の上端面６０３に取り付けられている。そして、当該スライドロック機構６６０の解除レバー６６１は、Ｘ線検査装置１００の奥行方向（矢印Ｙ方向）に沿って移動可能である。
【００４７】
［Ｘ線遮蔽カーテン］
Ｘ線遮蔽カーテン６７０は、図７に示すように、搬入口２０１および搬出口２０２を遮蔽し、検査室Ｓ２に照射されたＸ線が搬入口２０１および搬出口２０２を介して外部に漏洩するのを防止する。このＸ線遮蔽カーテン６７０は、被検査物Ｂの搬送方向（矢印Ｘ方向）に直交する面に沿って配置されている。このＸ線遮蔽カーテン６７０は、搬入口２０１側に配置される３枚の搬入側カーテン６７１〜６７３と、搬出口２０２側に配置される３枚の搬出側カーテン６７４〜６７６とを有している。搬入側カーテン６７１〜６７３と、搬出側カーテン６７４〜６７６とは、Ｘ線照射口Ｕを挟んで左右対称に配置されている。なお、このＸ線照射口Ｕは、Ｘ線規制部材２４１によって形成される通路を通過したＸ線が照射される開口である。
【００４８】
搬入側カーテン６７１〜６７３は、Ｘ線源３００のＸ線照射口Ｕから最も離れた外側カーテン６７１と、中間カーテン６７２と、内側カーテン６７３とを含んでいる。また、搬出側カーテン６７４〜６７６は、Ｘ線照射口Ｕから最も離れた外側カーテン６７４と、中間カーテン６７５と、内側カーテン６７６とを含んでいる。外側カーテン６７１および６７４の各々は、タングステンが含有された幕部材を２枚重ね合わせた部材であり、中間カーテン６７２および６７５並びに内側カーテン６７３および６７６の各々は、タングステンが含有された幕部材を３枚重ね合わせた部材である。すなわち、本実施形態では、Ｘ線照射口Ｕから離れた外側カーテン６７１および６７４は、中間カーテン６７２および６７５並びに内側カーテン６７３および６７６より遮蔽機能が低くなっている。
【００４９】
また、本実施形態では、搬入側カーテン６７１〜６７３に関して、内側カーテン６７３と中間カーテン６７２との水平方向の間隔Ｌ１は、中間カーテン６７２と外側カーテン６７１との水平方向の間隔Ｌ２より大きくなっている。また、同様に、搬出側カーテン６７４〜６７６に関して、内側カーテン６７６と中間カーテン６７５との水平方向の間隔Ｌ３は、中間カーテン６７５と外側カーテン６７４との水平方向の間隔Ｌ４より大きくなっている。
【００５０】
本実施形態では、図７に示すように、搬入側カーテン６７１〜６７３の内側カーテン６７３の鉛直方向の長さＣ１は、Ｘ線照射口Ｕから当該内側カーテン６７３が配置されている位置までの水平方向の長さＬ５と比較して、略同一、または短い。また、同様に、搬出側カーテン６７４〜６７６の内側カーテン６７６の鉛直方向の長さＣ２は、Ｘ線照射口Ｕから当該内側カーテン６７６が配置されている位置までの水平方向の長さＬ６と比較して、略同一、または短い。また、搬入口２０１の高さＨ１および搬出口２０２の高さＨ２は、前述したＸ線照射口Ｕから内側カーテン６７３および６７６までの水平方向の長さＬ５およびＬ６より短くなっている。
【００５１】
また、本実施形態では、図７に示すように、内側カーテン６７３の下端部は、Ｘ線照射口Ｕと、上記したセンサボックス４３０のＸ方向上流側の側端部４３３とを結ぶ線Ｐ１よりも下方に設けられる。また、内側カーテン６７６の下端部は、Ｘ線照射口Ｕと、上記したセンサボックス４３０のＸ方向下流側の側端部４３４とを結ぶ線Ｐ２よりも下方に設けられる。
また、本実施形態では、センサボックス４３０のＸ方向上流側の側端部４３３の上端は、Ｘ線照射口Ｕと内側カーテン６７３の下端部とを結ぶ線Ｐ３よりも上方に設けられる。また、センサボックス４３０のＸ方向下流側の側端部４３４の上端は、Ｘ線照射口Ｕと内側カーテン６７６の下端部とを結ぶ線Ｐ４よりも上方に設けられる。
【００５２】
［冷却機］
冷却機７００は、図２、図４および図５に示すように、Ｘ線検査装置１００の背面に取り付けられている。本実施形態では、冷却機７００は、交差領域Ｔ１（図１参照）に配置されるＸ線の遮蔽手段として機能する。この冷却機７００は、シールドボックス２００内に冷却空気を供給するために設けられている。冷却機７００は、図３に示すように、冷却された気体を送風するためのファン７１０を有しており、当該ファン７１０の吹出口７１１は、斜め上方（矢印Ｆ方向）に吹き出すように設けられる。これにより、吹出口７１１から吹き出される冷却空気は、シールドボックス２００の凹部２３１に向かって流れる。
【００５３】
［制御部］
制御部８００は、Ｘ線検査装置１００の各部の動作を制御する。具体的には、制御部８００は、Ｘ線源３００に印加する電圧の大きさを制御したり、ラインセンサ４１０によって検知されたＸ線に係るＸ線透過データに基づいてＸ線透過画像を作成したりする。この制御部８００は、ＣＰＵ、記憶部、入力装置および出力装置等を有するコンピュータである。
【００５４】
本実施形態では、図５に示すように、制御部８００は、冷却機７００の吹き付け方向（矢印Ｆ方向）から外れて配置されている。具体的には、制御部８００は、シールドボックス２００の右側面部２５０に近接して配置されている。また、本実施形態では、制御部８００は、上方に傾斜する凹部２３１の高さの低い位置ＰＬ（図３（ｂ）参照）の下方に配置されている。すなわち、制御部８００は、Ｘ線検査装置１００の右側面部２５０側、且つ、背面部２２０側に配置されている。
【００５５】
［フロントパネル］
フロントパネル９００は、作業者が操作を行う操作パネルであって、制御部８００により形成されたＸ線透過画像を表示する等、各種の情報を表示する表示部９１０を有している。このフロントパネル９００は、シールドボックス２００の前面部２１０の外面に取り付けられている。フロントパネル９００は、シールドボックス２００内のメンテナンスのために、開閉可能に構成されている。本実施形態では、図１および図５に示すように、フロントパネル９００は、交差領域Ｔ１に配置されるＸ線の遮蔽手段として機能する。
【００５６】
［シールドボックス内の冷却について］
本実施形態では、Ｘ線源３００の管電圧を高くすることが可能であるので、シールドボックス２００内に配置されるＸ線源３００および制御部８００の冷却は重要である。
【００５７】
図３に示すように、冷却機７００のファン７１０から吹き出された冷却気体は、吹出口７１１から斜め上方（矢印Ｆ方向）に吹き出される。この冷却気体は、天面部２３０の凹部２３１に導入されて、当該凹部２３１の上方傾斜面２３２に沿って流れる。凹部２３１内には、Ｘ線源３００により熱せられた気体が集まっている。このＸ線源３００は、前面部２１０側に配置されているので、凹部２３１の高さが高い位置ＰＨに熱せられた気体が集まっている。凹部２３１の上方傾斜面２３２に沿って流れる冷却気体は、凹部２３１の高さが高い位置ＰＨに流れて、当該位置ＰＨに集まる熱せられた気体を集中的に冷却する。
【００５８】
そして、凹部２３１の低い位置ＰＬ（背面部２２０側）から高い位置ＰＨ（前面部２１０側）に流れた冷却空気は、天面部２３０に連設される前面部２１０に沿って流れる。すなわち、背面部２２０側から前面部２１０側に斜め上方に流れる気体が、下方傾斜する前面部２１０に沿って下方に流れる。そして、前面部２１０に沿って流れた気体は、当該前面部２１０に連設する底面部２４０に沿って流れる。すなわち、前面部２１０の下方傾斜面に沿って下方に流れる気体が、底面部２４０に沿って前面部２１０側から背面部２２０側に流れる。これにより、冷却機７００の吸引口（図示せず）にシールドボックス２００内の気体が吸気されて、当該冷却機７００で熱交換された冷却気体が吹出口７１１から吹き出される。
【００５９】
［センサボックス内の冷却について］
図８に示すように、ファン９５０が駆動することによって、センサボックス４３０の開口部４３１からセンサボックス４３０内に空気が流入する。そして、一対の遮蔽部材４２１，４２２間において、ラインセンサ４１０の素子配列方向（Ｙ方向）に沿って空気が流れて、開口部４３１に対向する面４３２に到達する。このとき、当該面４３２と遮蔽部材４２１，４２２との間に所定空間が形成されているので、面４３２に到達した空気は、当該所定空間でＵターンして、ファン９５０側に流れる。
【００６０】
［本実施形態のＸ線検査装置の特徴］
（Ａ）
上記実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線源３００の上方に凹部２３１を設けることによって、シールドボックス２００の内部で熱せられた気体（Ｘ線源３００により熱せられた気体）を当該凹部２３１に集めることができるので、当該熱せられた気体が他の領域に拡散することを抑制できる。
【００６１】
（Ｂ）
また、シールドボックス２００の内面に凹部２３１を形成することにより、シールドボックス２００の内面がフラットの場合と比べて、シールドボックス２００の内面の表面積を大きくすることができる。これにより、シールドボックス２００内部で熱せられた空気と接するシールドボックス２００の内面の表面積が増加するので、シールドボックス２００内の気体の冷却効率を向上させることができる。
【００６２】
（Ｃ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、凹部２３１に熱せられた空気が集められているため、冷却機７００で冷却しやすい。その結果、効率良くシールドボックス２００内の温度を下げることができる。
【００６３】
（Ｄ）
また、冷却空気を吹き付ける方向（斜め上方）に沿って凹部２３１が延在配置されているので、凹部２３１の側壁に沿って空気流れを形成することができる。その結果、他の領域に流れる空気の拡散を抑制することができる。
【００６４】
（Ｅ）
さらに、冷却機７００から冷却空気が凹部２３１に吹き付けられるため、凹部２３１の下部に配置されたＸ線源３００に冷却空気が直接吹き付けられない。そのため、Ｘ線源３００の環境温度の急激な変動を抑制することができ、Ｘ線源３００の急激な温度変動によるＸ線の出力を安定させることができる。
【００６５】
（Ｆ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線源３００の周囲を縦循環する縦循環対流経路Ｒ１を形成することができるので、冷却機７００からの冷却空気を、Ｘ線源３００の上方の凹部２３１、前面部２１０、および底面部２４０の順で対流させることができる。その結果、Ｘ線源３００の周囲の温度を効率よく下げることができるので、Ｘ線源３００の温度上昇を抑制することができる。
【００６６】
（Ｇ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、冷却機７００からの冷却空気を上方傾斜面２３２に沿って流し、さらに連設される下方傾斜面（前面部２１０）に沿って流すことができるので、冷却空気が円滑に縦循環する。
【００６７】
（Ｈ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、制御部８００が冷却機７００の吹き付け方向（矢印Ｆ方向）から外れて配置されるので、冷却空気が制御部８００に阻害されずに凹部２３１に到達する。これにより、シールドボックス２００内で熱せられて凹部２３１内に集まった気体を直接冷却することができる。
【００６８】
（Ｉ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線源３００によって熱せられた空気は、上方傾斜面２３２に沿って凹部２３１の高い位置ＰＨに集まる。これにより、熱せられた空気と凹部２３１の低い位置ＰＬの下方に配置される制御部８００とを離間させることができる。その結果、制御部８００が凹部２３１内に集まった気体により熱せられるのを抑制することができる。したがって、熱影響によって制御部８００が故障するのを防止することができる。
【００６９】
（Ｊ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線検査装置１００の清掃などでシールドボックス２００の上面に付着した水などの液体が、上面２３３に沿って流れるので、シールドボックス２００の上面２３３に液体が溜まるのを防止することができる。これにより、Ｘ線検査装置１００を清潔に保つことができる。食品等の被検査物を対象とするＸ線検査装置１００の場合、特に清潔さが要求されるので、シールドボックス２００の上面２３３を傾斜面にすることは、非常に有効である。
【００７０】
（Ｋ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線源３００からラインセンサ４１０に照射されたＸ線が当該ラインセンサ４１０等で反射した場合でも、当該反射したＸ線を遮蔽部材４２１，４２２により遮蔽することにより、センサボックス４３０外にＸ線が漏洩するのを抑制することができる。
【００７１】
（Ｌ）
さらに、遮蔽部材４２１，４２２をラインセンサ４１０と所定空間を設けて略並行に配置するとともに、遮蔽部材４２１，４２２をセンサボックス４３０の開口部と対向する面との間に所定空間を有した状態で配置することによって、開口部４３１から流入した空気が、ラインセンサ４１０に沿って対向する面４３２に向かって流れ、対向する面４３２側における遮蔽部材４２１，４２２の所定空間を通過して、開口部４３１側に戻るボックス内対流経路Ｒ２を生成することができる。その結果、当該経路Ｒ２により、ラインセンサ４１０の冷却効率を高めることができる。
【００７２】
（Ｍ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線遮蔽扉６００の検査室Ｓ２側の面が連続した平坦面からなるので、食品等の被検査物の残骸が当該平坦面に付着しても、拭き掃除などを行うことにより、食品等による雑菌の繁殖防止を図ることができる。これにより、検査室Ｓ２内を良好な衛生状態に保つことができる。
【００７３】
（Ｎ）
また、Ｘ線遮蔽扉６００を第１遮蔽部材６１０、第２遮蔽部材６２０および第３遮蔽部材６３０の３重構造にすることによって、漏洩防止機能を担保しつつ、第１遮蔽部材６１０の外側に第２遮蔽部材６２０および第３遮蔽部材６３０を配置することによって、第１遮蔽部材６１０の検査室Ｓ２側の面を連続した平坦面にすることができる。その結果、検査室Ｓ２内におけるＸ線の乱反射を防止でき、かつ検査室Ｓ２外へのＸ線の漏洩を防止することができる。
【００７４】
（Ｏ）
さらに、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、第２遮蔽部材６２０と第３遮蔽部材６３０との間に所定間隔を設けているので、当該距離でＸ線を減衰することができ、第３遮蔽部材６３０で確実にＸ線の漏洩防止を図ることができる。
【００７５】
（Ｐ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線遮蔽扉６００の上端側が検査室Ｓ２の外側に傾斜しているので、Ｘ線源３００から照射されたＸ線が、仮に検査室Ｓ２内で乱反射しても、当該乱反射したＸ線を検査室Ｓ２内側へ戻すことができる。したがって、Ｘ線が装置１００の外側へ出るまでの経路を長くすることができるので、Ｘ線を確実に減衰することができる。
【００７６】
（Ｑ）
Ｘ線遮蔽扉６００の正面視中央部６０１をその両側６０２よりも検査室Ｓ２の外側に設けることによって、当該正面視中央部６０１にＸ線遮蔽部材（鉛板、カーボン板、及び、金属製の構造物等）を配置することができる。これにより、Ｘ線遮蔽扉６００の正面視中央部からＸ線が漏洩するのを確実に防止することができる。
【００７７】
（Ｒ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線源３００に近いＸ線遮蔽扉６００の上部（間隔Ｂ１）が、Ｘ線源３００から遠いＸ線遮蔽扉６００の下部（間隔Ｂ２）より厚みがあるので、当該Ｘ線遮蔽扉６００の上部では、第３遮蔽部材６３０に至るまでのＸ線の経路長を長くすることができる。その結果、Ｘ線遮蔽扉６００の上部において、Ｘ線を確実に減衰することができる。
【００７８】
（Ｓ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、被検査物Ｂに対してＸ線を照射するＸ線源３００が下側壁部６４４により囲まれる。これにより、Ｘ線源３００から被検査物Ｂに向かって下方にＸ線が照射されても、当該下側壁部６４４によりＸ線源３００が配置される中央側にＸ線を戻すことができるので、Ｘ線が外部に漏洩するのを防止することができる。
【００７９】
（Ｔ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線の遮蔽機能が高い遮蔽手段が設けられる交差領域Ｔ１において、Ｘ線が外部に漏洩するのを抑制することができる。Ｘ線源３００から照射されるＸ線の照射面Ｄを含む面と交差する交差領域Ｔ１は、Ｘ線源３００からＸ線が直接照射される領域であるので、当該領域において、Ｘ線漏洩を抑制することは非常に効果的である。
【００８０】
（Ｕ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、交差領域Ｔ１の外壁が、他の領域の外壁よりも外側に配置されているので、交差領域Ｔ１においては、他の領域よりも、Ｘ線源３００から照射されたＸ線が当該外壁に至るまでのＸ線のシールドボックス２００外に至る経路長を長くすることができる。これにより、交差領域Ｔ１において、Ｘ線を減衰させることができる。
【００８１】
（Ｖ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、交差領域Ｔ１に、Ｘ線の遮蔽機能が高いカーボンまたは鉛を含む部材（第２遮蔽部材６２０等）を用いることにより、確実にＸ線の漏洩防止を図ることができる。
【００８２】
（Ｗ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、交差領域Ｔ１にフロントパネル９００を設けることによって、Ｘ線検査装置１００の操作に必要なフロントパネル９００が、Ｘ線を遮蔽する構造物として機能する。すなわち、Ｘ線遮蔽部材を別途設けることなく、フロントパネル９００をＸ線遮蔽部材として利用することができる。
【００８３】
（Ｘ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、交差領域Ｔ１に冷却機７００を設けることによって、Ｘ線源３００の冷却に必要な冷却機７００が、Ｘ線を遮蔽する構造物として機能する。すなわち、Ｘ線遮蔽部材を別途設けることなく、冷却機７００をＸ線遮蔽部材として利用することができる。
【００８４】
（Ｙ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、交差領域Ｔ１を構成する部材（冷却機７００、フロントパネル９００、シールドボックス２００の天面部２３０、及び、Ｘ線遮蔽扉６００の正面視中央部６０１）の内面の各々は、当該垂線がＸ線源３００側を向くように配置されるので、Ｘ線源３００から照射されたＸ線を、当該Ｘ線源３００側に戻すことができる。その結果、Ｘ線が外部に漏洩するのを防止することができる。
【００８５】
（Ｚ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、交差領域Ｔ１にＸ線遮蔽扉６００の正面視中央部６０１を設けることによって、搬送面Ｍのメンテナンス時に開放されるＸ線遮蔽扉６００が、Ｘ線を遮蔽する構造物として機能する。すなわち、Ｘ線遮蔽部材を別途設けることなく、Ｘ線遮蔽扉６００をＸ線遮蔽部材として利用することができる。
【００８６】
（ＡＡ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、内側カーテン６７３，６７６の鉛直方向の長さＣ１が、Ｘ線照射口Ｕから内側カーテン６７３，６７６が配置されている位置までの水平長さＬ５，Ｌ６と略同一または短いので、被検査物Ｂにより内側カーテン６７３，６７６が引き連れられても、ラインセンサ４１０に内側カーテン６７３，６７６が覆われることを防止することができる。その結果、内側カーテン６７３，６７６によりＸ線の漏洩を確実に防止しつつ、被検査物ＢのＸ線検査を適切に行うことができる。
【００８７】
（ＢＢ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、内側カーテン６７３，６７６の下端部が、Ｘ線照射口Ｕとセンサボックス４３０の側端部４３３，４３４とを結ぶ線Ｐ１，Ｐ２よりも下方に設けられるので、Ｘ線照射口Ｕからセンサボックス４３０の上方を通過して外部に漏洩するＸ線を、当該内側カーテン６７３，６７６の下端部で遮蔽することができる。
【００８８】
（ＣＣ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、センサボックス４３０の側端部４３３，４３４が、Ｘ線照射口Ｕと内側カーテン６７３，６７６の下端部とを結ぶ線よりも上方に設けられるので、Ｘ線照射口Ｕから内側カーテン６７３，６７６の下端部を通過して外部に漏洩するＸ線を、センサボックス４３０の側端部４３３，４３４で遮蔽することができる。
【００８９】
（ＤＤ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線照射口Ｕに近い中間カーテン６７２および６７５並びに内側カーテン６７３および６７６の遮蔽機能を高くすることによって、Ｘ線照射口Ｕに近い位置で、Ｘ線の漏洩防止を図ることができる。
仮に、Ｘ線照射口Ｕに近い中間カーテン６７２および６７５並びに内側カーテン６７３および６７６を越えてＸ線が漏洩したとしても、遮蔽機能が劣る外側カーテン６７１及び６７４で、十分にＸ線の漏洩防止を図ることができる。
【００９０】
（ＥＥ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線照射口Ｕに近い内側カーテン６７３，６７６と中間カーテン６７２，６７５との間隔Ｌ１，Ｌ３が、外側カーテン６７１，６７４と中間カーテン６７２，６７５との間隔Ｌ２，Ｌ４より長くなっているので、当該間隔Ｌ１，Ｌ３のＸ線の経路長が長くなり、当該Ｘ線を減衰させることができる。
また、内側カーテン６７３，６７６を、中間カーテン６７２，６７５から離して配置することによって、被検査物Ｂの搬入時または搬出時において、３枚のＸ線遮蔽カーテン６７１〜６７３，６７４〜６７６が同時に被検査物に搬送抵抗を加えるのを防止することができる。これにより、起立状態で搬送する必要がある被検査物Ｂを、倒さずに搬送することが可能となる。
【００９１】
（ＦＦ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線照射口Ｕから内側カーテン６７３，６７６の下端部の下方を通過したＸ線を、当該下部ローラ５２３，５２４により遮蔽することができる。すなわち、コンベアユニット５００の構成要素である下部ローラ５２３，５２４をＸ線遮蔽部材として用いることができる。
【００９２】
（ＧＧ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、一対の上部ローラ５２１，５２２と下部ローラ５２３，５２４とが別個の部材（ステー５１１，ステー４３５）に支持されているので、上部ローラ５２１，５２２と下部ローラ５２３，５２４とが分離可能となる。これにより、メンテナンス時に、上部ローラ５２１，５２２と下部ローラ５２３，５２４とを別々に取り外すことができるので、Ｘ線検査装置１００のメンテナンスが容易になる。
【００９３】
（ＨＨ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、ラインセンサ４１０を収容するセンサボックス４３０をＸ線遮蔽部材として利用することができる。これにより、センサボックス４３０とは別個に、Ｘ線遮蔽部材を設ける場合に比べて、部品点数の削減を図ることができる。
【００９４】
［請求項の各構成要素と上記実施形態の各部との対応関係］
上記実施形態においては、Ｘ線検査装置１００が「Ｘ線検査装置」に相当し、シールドボックス２００が「筐体」に相当し、Ｘ線源３００が「Ｘ線源」に相当し、制御部８００が「制御部」に相当し、凹部２３１が「凹部」に相当し、冷却機７００が「冷却機」に相当し、前面部２１０が「縦面」に相当し、底面部２４０が「底面」に相当し、縦循環対流経路Ｒ１が「縦循環対流経路」に相当し、上方傾斜面２３２が「上方傾斜面」に相当し、天面部２３０の上面２３３が「天面」に相当し、ラインセンサ４１０が「ラインセンサ」に相当し、センサボックス４３０が「センサボックス」に相当し、遮蔽部材４２１，４２２が「遮蔽部材」に相当する。
【実施例】
【００９５】
以下、上記した実施形態に係るＸ線検査装置１００の技術的効果を確認するために行った実験について説明する。この実験では、実施例として、上記した実施形態に係るＸ線検査装置１００において、管電圧を１３０ｋＶに設定して当該Ｘ線検査装置１００の各測定箇所（１）〜（５）でＸ線の漏洩を測定した。また、この実験では、比較例として、上記したＸ線検査装置１００とは異なるＸ線検査装置（株式会社イシダ：ＩＸ−ＧＥ−４０４３）において、管電圧を１３０ｋＶに設定して当該Ｘ線検査装置の各測定箇所（上記した測定位置（１）〜（５）の各々に対応する位置）でＸ線の漏洩を測定した。なお、上記した測定箇所（１）〜（５）は、図２および図６に示した位置であり、その測定箇所（１）〜（５）の詳細は、以下の通りである。
測定箇所（１）：Ｘ線遮蔽扉の正面
測定箇所（２）：Ｘ線遮蔽扉のハンドルの近傍
測定箇所（３）：フロントパネルの正面
測定箇所（４）：Ｘ線遮蔽カーテンの外側
測定箇所（５）：コンベアユニットの下方
【００９６】
なお、比較例では、Ｘ線検査装置（株式会社イシダ：ＩＸ−ＧＥ−４０４３）において、管電圧を１３０ｋＶに設定したが、当該Ｘ線検査装置の標準仕様における管電圧は、２５ｋＶ以上７５ｋＶ以下である。ここでは、管電圧が１３０ｋＶで使用される本実施形態に係るＸ線検査装置１００と比較するために、比較例に係るＸ線検査装置において、標準仕様とは異なる管電圧（１３０ｋＶ）で実験を行った。なお、比較例に係るＸ線検査装置が、標準仕様では、Ｘ線が漏洩しないことを確認するために、参考例として、比較例に係るＸ線検査装置において、管電圧を７５ｋＶに設定して当該Ｘ線検査装置の各測定箇所（上記した測定位置（１）〜（５）の各々に対応する位置）でＸ線の漏洩を測定した。
【００９７】
実施例に係るＸ線検査装置の各寸法、および、比較例および参考例に係るＸ線検査装置の各寸法は、それぞれ図１２および図１３に示す通りであり、実施例に係るＸ線検査装置の各寸法について、以下詳細に紹介する。
Ｘ線検査装置の高さ：１７００ｍｍ（図１２（ａ）参照）
Ｘ線検査装置の幅（幅方向外側に突出するコンベア部分を除く）：８００ｍｍ（図１２（ａ）および（ｂ）参照）
Ｘ線検査装置の幅（幅方向外側に突出するコンベア部分を含む）：１０００ｍｍ（図１２（ｂ）参照）
搬送面までの高さ：７５０ｍｍ（図１２（ａ）参照）
交差領域の幅：５００ｍｍ（図１２（ａ）参照）
天面部の突出高さ：６０ｍｍ（図１２（ａ）参照）
Ｘ線検査装置の奥行：１１２５ｍｍ（図１２（ｂ）参照）
ベルト幅：４３０ｍｍ（図１２（ｂ）参照）
前面部から背面部までの距離：８５０ｍｍ（図１２（ｂ）参照）
前面部からＸ線源までの距離：２９０ｍｍ（図１２（ｂ）参照）
背面部からＸ線源までの距離：５６０ｍｍ（図１２（ｂ）参照）
側面部（右側面部、左側面部）からＸ線源までの距離：４００ｍｍ（図１２（ｂ）参照）
天面部からＸ線源までの距離：４００ｍｍ（図１２（ｃ）参照）
Ｘ線源から底面部までの距離：３４０ｍｍ（図１２（ｃ）参照）
センサボックス中央部分の高さ：８５ｍｍ（図１２（ｄ）参照）
センサボックス中央部分の幅：３６０ｍｍ（１８０ｍｍ＋１８０ｍｍ）（図１２（ｄ）参照）
センサボックスの側端部の幅：６０ｍｍ（図１２（ｄ）参照）
センサボックスの側端部の外側部材の幅：６０ｍｍ（図１２（ｄ）参照）
間隔Ｌ１，Ｌ３：９０ｍｍ（図１２（ｅ）参照）
間隔Ｌ２，Ｌ４：４０ｍｍ（図１２（ｅ）参照）
間隔Ｌ５，Ｌ６：２００ｍｍ（図１２（ｅ）参照）
外側カーテンから側面部までの距離：７０ｍｍ（図１２（ｅ）参照）
装置中央から上部ローラまでの距離：５００ｍｍ（上部ローラ間距離：１０００ｍｍ）（図１２（ｅ）参照）
装置中央から下部ローラまでの距離：２５０ｍｍ（下部ローラ間距離：５００ｍｍ）（図１２（ｅ）参照）
下部ローラの直径：９０ｍｍ（図１２（ｅ）参照）
搬送面からラインセンサまでの距離：５０ｍｍ（図１２（ｅ）参照）
ベルトの上面から下面までの距離：１４０ｍｍ（図１２（ｅ）参照）
Ｘ線遮蔽カーテンの鉛直方向長さ：２００ｍｍ（図１２（ｅ）参照）
搬入口および搬出口の高さ：１５０ｍｍ（図１２（ｆ）参照）
搬入口および搬出口の幅：４８０ｍｍ（図１２（ｆ）参照）
また、実施例に係るＸ線検査装置の天面部の傾斜角θ（図３（ｂ）参照）は、約１°〜約２°以下である。
なお、比較例および参考例に係るＸ線検査装置の各寸法の詳細は、Ｘ線検査装置（株式会社イシダ：ＩＸ−ＧＥ−４０４３）と同様であるので、その説明を省略する。
また、実施例、比較例および参考例に係るＸ線検査装置の筺体（シールドボックス）は、厚みが約２ｍｍ〜約３ｍｍのＳＵＳ３０４が使用されている。
【００９８】
実施例、比較例および参考例の実験結果は、以下の表に示す通りである。
【００９９】
【表１】
【０１００】
放射線業務を行う区域は、管理区域として、一般の作業区域と区別される。管理区域では、原則として一般の人の立ち入りが禁止されており、管理区域の実効線量は、電離放射線障害防止規則第３条に「実効が３カ月につき１．３ｍＳｖを超えるおそれのある区域」と規定される。週４０時間労働に基づき１時間あたりの線量に換算すると、２．５μＳｖを超える区域が管理区域となる。このため、本実験では、Ｘ線漏洩量の基準値を、２．５μＳｖ／ｈ［マイクロシーベルト／時間］として、Ｘ線の漏洩を評価した。
【０１０１】
実施例では、測定箇所（１）〜（５）のいずれの箇所においても、Ｘ線の漏洩は、０．７［μＳｖ／ｈ］以下であり、上記した基準値（２．５μＳｖ／ｈ）と比較して、Ｘ線の漏洩量が少なくなっていることが分かった。すなわち、本実施例の結果から、上記した実施形態に係るＸ線検査装置１００では、管電圧が高い状態であっても（１３０ｋＶ）、Ｘ線の漏洩量を低減することができることが分かった。
【０１０２】
これに対して、比較例では、測定箇所（２）において、Ｘ線の漏洩量が５．３μＳｖ／ｈであり、測定箇所（５）において、Ｘ線の漏洩量が８．０μＳｖ／ｈであった。この測定箇所（２）および（５）において、上記した基準値（２．５μＳｖ／ｈ）より、多量のＸ線が漏洩していることが分かった。すなわち、本比較例の結果から、この比較例に係るＸ線検査装置（株式会社イシダ：ＩＸ−ＧＥ−４０４３）では、管電圧が高い状態では、Ｘ線が漏洩してしまうことが分かった。
【０１０３】
参考例では、測定箇所（１）〜（５）のいずれの箇所においても、Ｘ線の漏洩は、０．２［μＳｖ／ｈ］以下であり、上記した基準値（２．５μＳｖ／ｈ）と比較して、Ｘ線の漏洩量が非常に小さくなっていることが分かった。すなわち、比較例に係るＸ線検査装置（株式会社イシダ：ＩＸ−ＧＥ−４０４３）は、標準仕様における使用を行えば、Ｘ線が漏洩していないことが実証された。
【０１０４】
以上、本発明の実施形態および実施例について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態および実施例に限定されるものでないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態および実施例の説明だけではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれる。
【０１０５】
［変形例］
例えば、上記実施形態では、天面部２３０に放熱性の高い素材を使って、凹部２３１に集まった熱せられた気体を積極的に放熱しても良い。
【０１０６】
また、上記実施形態では、冷却空気を吹き出す冷却機７００を備えるＸ線検査装置１００について説明したが、本発明はこれに限らず、外部の空気をシールドボックス内に導入する送風機であっても良い。
【０１０７】
また、上記実施形態では、制御部８００を右側面部２５０側に配置する例について説明したが、本発明はこれに限らず、冷却機７００の吹き付け方向から外れていれば、左側面部２６０側に配置しても良い。
【０１０８】
また、上記実施形態では、ラインセンサ４１０が上下に重なったデュアルセンサを用いる例について説明したが、本発明はこれに限らず、２つのラインセンサが被検査物の搬送方向に沿って並んでいても良い。
【０１０９】
また、上記実施形態では、Ｘ線遮蔽カーテン６７０の積層枚数を変えることによって、外側カーテン６７１および６７４と、中間カーテン６７２および６７５並びに内側カーテン６７３および６７６とのＸ線の遮蔽機能を変えたが、本発明はこれに限らず、Ｘ線遮蔽カーテン６７０に含まれるタングステン、鉛、カーボンなどの配合および量を変えることによって、Ｘ線の遮蔽機能を調整しても良い。
【０１１０】
また、上記実施形態では、搬入口２０１側および搬出口２０２側のそれぞれに３枚のＸ線遮蔽カーテンを配置する例について説明したが、本発明はこれに限らず、当該Ｘ線遮蔽カーテンは、搬入口２０１側および搬出口２０２側のそれぞれに２枚のＸ線遮蔽カーテンを配置しても良いし、４枚以上のＸ線遮蔽カーテンを配置しても良い。また、搬入口２０１側のＸ線遮蔽カーテンの枚数と、搬出口２０２側のＸ線遮蔽カーテンの枚数とが、必ずしも同じで無くて良い。
【０１１１】
また、上記実施例では、Ｘ線検査装置の各部の寸法を記載したが、本発明はこれらの図１２に記載した寸法に限定されない。
【符号の説明】
【０１１２】
１００ Ｘ線検査装置
２００ シールドボックス
２０１ 搬入口
２０２ 搬出口
２３１ 凹部
２３２ 上方傾斜面
２３２ 上面
３００ Ｘ線源
４００ センサユニット
４１０ ラインセンサ
４２１，４２２ 遮蔽部材
４３０ センサボックス
４３３，４３４ 側端部
５００ コンベアユニット
５１０ フレーム
５２１，５２２ 上部ローラ
５２３，５２４ 下部ローラ
６００ Ｘ線遮蔽扉
６１０ 第１遮蔽部材
６２０ 第２遮蔽部材
６３０ 第３遮蔽部材
６４４ 下側壁部
６７０ Ｘ線遮蔽カーテン
６７１，６７４ 外側カーテン
６７２，６７５ 中間カーテン
６７３，６７６ 内側カーテン
７００ 冷却機
８００ 制御部
９００ フロントパネル
Ｂ 被検査物
Ｃ１，Ｃ２ 内側カーテンの鉛直方向の長さ
Ｌ５，Ｌ６ Ｘ線照射口から内側カーテンが配置されている位置までの水平長さ
Ｐ１，Ｐ２ Ｘ線照射口とセンサボックスの側端部とを結ぶ線
Ｐ３，Ｐ４ Ｘ線照射口と内側カーテンの下端部とを結ぶ線
Ｓ２ 検査室
Ｔ１ 交差領域
Ｔ２ 他の領域
Ｕ Ｘ線照射口
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、Ｘ線検査装置の内部において高温となるＸ線源を冷却する技術が種々提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１には、Ｘ線を発生するＸ線源と、該Ｘ線源を取り囲んで密封する装置壁と、を備え、装置壁の内側に、内部伝熱体が設けられており、装置壁の外側に、内部熱伝導体から装置壁を介して伝導される熱を放熱する外部熱伝導体が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２９２４９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年では、Ｘ線源の管電圧を高くすることによって、高精度なＸ線検査を行っている。この場合、Ｘ線源の発熱量が大きくなり、当該Ｘ線源を収容する筺体内部の温度が上昇する。そうすると、筺体内部に配置される制御部が高温となり故障の原因となる。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、筺体内部の温度上昇を抑制することが可能なＸ線検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るＸ線検査装置は、筐体と、筐体の内部に配置されたＸ線源およびＸ線源を制御する制御部と、を備えたＸ線検査装置であって、筺体の内面で、かつＸ線源の上方に、気体を集める凹部が設けられている。
【０００８】
上記構成によれば、Ｘ線源の上方に凹部を設けることによって、筺体内部で熱せられた気体を集めることができるので、当該熱せられた気体が他の領域に拡散することを抑制できる。また、筺体の内面に凹部を形成することにより、筐体の内面がフラットの場合と比べて、筺体の内面の表面積を大きくすることができる。これにより、筺体内部で熱せられた空気と接する筺体の内面の表面積が増加するので、筺体内の気体の冷却効率を向上させることができる。
【０００９】
Ｘ線検査装置において、冷却機をさらに備え、冷却機から凹部に冷却空気が吹き付けられ、かつ冷却機の吹き付け方向に沿って凹部が延在配置される。
【００１０】
上記構成によれば、凹部に熱せられた空気が集められているため、冷却機で冷却しやすい。その結果、効率良く筺体内温度を下げることができる。
また、冷却空気を吹き付ける方向に沿って凹部が延在配置されているので、凹部の側壁に沿って空気流れを形成することができる。その結果、他の領域に流れる空気の拡散を抑制することができる。
さらに、上記構成によれば、冷却機から冷却空気が凹部に吹き付けられるため、凹部の下部に配置されたＸ線源に冷却空気が直接吹き付けられない。そのため、Ｘ線源の環境温度の急激な変動を抑制することができ、Ｘ線源の急激な温度変動によるＸ線の出力を安定させることができる。
【００１１】
Ｘ線検査装置において、筐体は、凹部に連設される縦面と、縦面に連設される底面と、を有し、凹部、縦面、および底面は、Ｘ線源から所定空間を設けて配置され、Ｘ線源の周囲を縦循環する縦循環対流経路を形成する。
【００１２】
上記構成によれば、Ｘ線源の周囲を縦循環する縦循環対流経路を形成することができるので、冷却機からの冷却空気を、Ｘ線源の上方の凹部、縦面、および底面の順で対流させることができる。その結果、Ｘ線源の周囲の温度を効率よく下げることができるので、Ｘ線源の温度上昇を抑制することができる。
【００１３】
Ｘ線検査装置において、凹部は、上方傾斜面を有し、縦面は、下方傾斜面を有する。ここでは、Ｘ線検査装置の背面側から前面側に傾斜するのを上方傾斜といい、Ｘ線検査装置の背面側から前面側に傾斜するのを下方傾斜という。
【００１４】
上記構成によれば、冷却機からの冷却空気を当該上方傾斜面に沿って流し、さらに連設される下方傾斜面に沿って流すことができるので、冷却空気が円滑に縦循環する。
【００１５】
Ｘ線検査装置において、制御部は、冷却機の吹き付け方向から外れて配置される。
【００１６】
上記構成によれば、制御部が冷却機の吹き付け方向から外れて配置されるので、冷却空気が制御部に阻害されずに凹部に到達する。これにより、筺体内で熱せられて凹部内に集まった気体を直接冷却することができる。
【００１７】
Ｘ線検査装置において、凹部は、上方傾斜面を有し、制御部は、上方傾斜面の高さの低い位置の下方に配置される。
【００１８】
上記構成によれば、Ｘ線源によって熱せられた空気は、上方傾斜面に沿って凹部の高い位置に集まる。これにより、熱せられた空気と凹部の低い位置の下方に配置される制御部とを離間させることができる。その結果、制御部が凹部内に集まった気体により熱せられるのを抑制することができる。したがって、熱影響によって制御部が故障するのを防止することができる。
【００１９】
Ｘ線検査装置において、筺体の天面は、凹部の傾斜方向と同一方向に傾斜する傾斜面からなる。
【００２０】
上記構成によれば、Ｘ線検査装置の清掃などで筺体の上面に付着した水などの液体が、当該傾斜面に沿って流れるので、筺体の天面に液体が溜まるのを防止することができる。これにより、Ｘ線検査装置を清潔に保つことができる。食品等の被検査物を対象とするＸ線検査装置の場合、特に清潔さが要求されるので、筺体の天面を傾斜面にすることは、非常に有効である。
【００２１】
Ｘ線検査装置において、Ｘ線源から照射されたＸ線を検出するラインセンサと、ラインセンサを収納し、開口部を有するセンサボックスと、センサボックス内で、ラインセンサとの間に所定空間を隔てた状態で、ラインセンサと略並行に配置された遮蔽部材と、をさらに備え、遮蔽部材は、センサボックスの開口部と対向する面との間に、所定空間を有する。
【００２２】
上記構成によれば、Ｘ線源からラインセンサに照射されたＸ線が当該ラインセンサ等で反射した場合でも、当該反射したＸ線を遮蔽部材により遮蔽することにより、センサボックス外にＸ線が漏洩するのを抑制することができる。
さらに、遮蔽部材をラインセンサと所定空間を設けて略並行に配置するとともに、遮蔽部材をセンサボックスの開口部と対向する面との間に所定空間を有した状態で配置することによって、開口部から流入した空気が、ラインセンサに沿って対向する面に向かって流れ、対向する面側における遮蔽部材の所定空間を通過して、開口部側に戻る対流を生成することができる。その結果、当該対流により、ラインセンサの冷却効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の全体構成を示した斜視図である。
【図２】図１に示したＸ線検査装置の本体部の側面図である。
【図３】図２に示したＸ線検査装置の本体部の（ａ）内部構成図、（ｂ）天面部の詳細模式図である。
【図４】図３のＡ−Ａ断面図である。
【図５】図３のＢ−Ｂ断面図である。
【図６】図３のＣ−Ｃ断面図である。
【図７】図６に示したコンベアユニット周辺の拡大図である。
【図８】図６に示したセンサユニットの内部構成を示した模式図である。
【図９】図１に示したＸ線検査装置のＸ線遮蔽扉を内側から見た平面図である。
【図１０】図９のＤ−Ｄ断面図である。
【図１１】図９に示したＸ線遮蔽扉に設けられるロック解除機構の（ａ）平面図、（ｂ）Ｅ−Ｅ断面図である。
【図１２】実施例に係るＸ線検査装置の各寸法を示した（ａ）Ｘ線検査装置の正面図、（ｂ）本体部の平面図、（ｃ）本体部の正面図、（ｄ）センサボックスの正面図、（ｅ）検査室周辺の正面図、（ｆ）搬入口および搬出口の正面図である。
【図１３】比較例に係るＸ線検査装置の寸法を示した（ａ）正面図、（ｂ）平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置１００について図面を参照しながら説明する。
【００２５】
［Ｘ線検査装置の全体構成］
本実施形態に係るＸ線検査装置１００は、図１に示すように、食品等の被検査物Ｂの生産ラインにおいて、被検査物ＢのＸ線検査を行う装置である。このＸ線検査装置１００は、上流側の搬入コンベア１０１から搬送されてくる被検査物Ｂに対して、Ｘ線を照射することによって、当該被検査物Ｂを透過したＸ線を検知して被検査物Ｂの不良判断を行う。なお、前述した「不良判断」とは、被検査物Ｂに異物が混入しているか否かの判断（異物検査）、被検査物Ｂを構成する内容物が規定レベルを満たすか否かの判断（欠品検査、レベルチェック）など、を言う。
【００２６】
本実施形態に係るＸ線検査装置１００は、従来のＸ線検査装置（管電圧：２５ｋＶ〜７０ｋＶ）に比べて、高出力タイプ（管電圧：１００ｋＶ以上）のＸ線検査装置であって、高精度のＸ線検査が可能である。具体的には、Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線源３００から照射される高エネルギー帯のＸ線と低エネルギー帯のＸ線とをそれぞれ検知して、高エネルギー帯のＸ線を検知して得られたＸ線透過画像と低エネルギー帯のＸ線を検知して得られたＸ線透過画像とに画像処理を施して、高精度のＸ線検査を行う。このＸ線検査装置１００は、図１に示すように、脚部１１０、及び、脚部１１０に固定される本体部１２０を備えている。そして、図２および図３に示すように、本体部１２０は、主として、シールドボックス（筺体）２００と、Ｘ線源３００と、センサユニット４００と、コンベアユニット５００と、Ｘ線遮蔽扉６００と、Ｘ線遮蔽カーテン６７０と、冷却機７００と、制御部８００と、フロントパネル９００とを備えている。
【００２７】
本実施形態に係るＸ線検査装置１００は、図１，図４および図５に示すように、Ｘ線源３００の照射面Ｄ（図３参照）を含む面と交差する交差領域Ｔ１と、その交差領域Ｔ１の両側方に配置される他の領域Ｔ２とを有している。交差領域Ｔ１は、Ｘ線検査装置１００の幅方向（Ｘ方向）中央部であり、他の領域Ｔ２は、交差領域Ｔ１を除く領域である。このＸ線検査装置１００の外観は、交差領域Ｔ１が他の領域Ｔ２より外側に突出している。この交差領域Ｔ１には、他の領域Ｔ２よりもＸ線遮蔽機能が高い遮蔽手段（冷却機７００、フロントパネル９００、シールドボックス２００の天面部２３０、及び、Ｘ線遮蔽扉６００の正面視中央部６０１）が設けられる。この交差領域Ｔ１を構成する面の各々は、垂線がＸ線源３００を向くように配置される。
【００２８】
［シールドボックス（筺体）］
シールドボックス２００は、Ｘ線遮蔽構造を有している。このシールドボックス２００には、図２および図３に示すように、被検査物Ｂを搬入するための搬入口２０１が形成されていると共に、被検査物Ｂを搬出するための搬出口２０２が形成されている。なお、この搬入口２０１および搬出口２０２のそれぞれには、Ｘ線遮蔽カーテン６７０が設けられている。図３に示すように、シールドボックス２００の内部には、Ｘ線源３００および制御部８００等が収容されている。このシールドボックス２００は、図２および図３に示すように、フロントパネル９００が設けられる前面部２１０、前面部２１０に対向配置され、冷却機７００が設けられる背面部２２０、Ｘ線源３００の上方に設けられる天面部２３０、天面部２３０に対向配置され、Ｘ線源３００の下方に設けられる底面部２４０、上記した搬入口２０１が設けられる右側面部２５０、および、搬出口２０２が設けられる左側面部２６０を有している。ここでは、搬入口２０１が右側面部２５０に、搬出口２０２が左側面部２６０に設けられる例について説明したが、コンベアユニット５００による搬送方向を逆にすれば、右側面部２５０に搬出口２０２が設けられ、左側面部２６０に搬入口２０１が設けられても良い。また、シールドボックス２００は、図３に示すように、底面部２４０に連続して設けられ、鉛直方向（Ｚ方向）に延在する奥壁部２７０と、当該奥壁部２７０の下端から背面部２２０の下端まで延びる奥底面部２８０とを有している。これらの前面部２１０、背面部２２０、天面部２３０、底面部２４０、右側面部２５０、左側面部２６０、奥壁部２７０、および、奥底面部２８０によって区画された空間が、Ｘ線源３００および制御部８００などを収容する収容空間Ｓ１となる。
【００２９】
ここで、本実施形態では、図３に示すように、筺体２００の内面で、かつＸ線源３００の上方に、気体を集める凹部２３１が設けられている。本実施形態では、図３（ｂ）に示すように、凹部２３１は、天面部２３０の内面に形成されている。凹部２３１は、背面部２２０側から前面部２１０側に向かって徐々に高くなる上方傾斜面２３２を有している。そして、凹部２３１の高さの低い位置ＰＬ（図３（ｂ）参照）の下方には、制御部８００（図３（ａ）参照）が配置されており、凹部２３１の高さの高い位置ＰＨ（図３（ｂ）参照）の下方には、Ｘ線源３００（図３（ａ）参照）が配置されている。また、本実施形態では、凹部２３１は、後述する冷却機７００の吹き付け方向（斜め上方：矢印Ｆ方向）に沿って延在配置されている。
【００３０】
この凹部２３１が形成される天面部２３０は、その外側の部分と比較して、外側に突出しており、交差領域Ｔ１に配置されるＸ線の遮蔽手段として機能する。なお、この天面部２３０は、着脱可能であって、当該天面部２３０を取り外した箇所には、後述する冷却機７００が装着可能となっている。Ｘ線検査装置１００の奥行方向（Ｙ方向）にスペースを確保することが困難な場合に、背面部２２０に取り付けられる冷却機７００を、天面部２３０に取り付けることが可能である。
【００３１】
図３に示すように、収容空間Ｓ１に配置されるＸ線源３００は、前述した凹部２３１が形成され、且つ上方傾斜する天面部２３０、当該天面部２３０に連設され、且つ下方傾斜する前面部２１０、および、当該前面部２１０に連設される底面部２４０の各々から所定空間を設けて配置されている。これにより、Ｘ線源３００の周囲において、気体が縦循環する縦循環対流経路Ｒ１が形成される。なお、ここでの「縦循環」とは、Ｘ線源３００の上方から下方に気体が流れることを意味する。
【００３２】
また、図３（ｂ）に示すように、天面部２３０の上面２３３は、凹部２３１の上方傾斜面２３２の傾斜方向と同一方向に傾斜する上方傾斜面からなる。この上面２３３は、水平面に対して傾斜することによって、当該上面２３３に付着した水などが外側に流れ落ちる。また、他の領域Ｔ２における上面２３４（図１参照）も、上記した上面２３３と同様に傾斜する上方傾斜面からなる。
【００３３】
また、本実施形態では、右側面部２５０および左側面部２６０には、シールドボックス２００内の気体を排出するための通気口は設けられていない。
【００３４】
［Ｘ線源］
Ｘ線源３００は、被検査物ＢにＸ線を照射するために設けられている。本実施形態では、Ｘ線源３００は、高エネルギー帯のＸ線を照射するために、Ｘ線源３００の管電圧を１００ｋＶ以上に設定することが可能である。このように、Ｘ線源３００を高電圧で使用する場合、Ｘ線源３００の発熱量が多くなる。そうすると、図３（ａ）および（ｂ）に示すように、Ｘ線源３００によって熱せられた気体は、上昇して凹部２３１の高さが高い位置ＰＨ（図３（ｂ）参照）に向かう。これにより、シールドボックス２００内で熱せられた気体が凹部２３１内に集まる。このＸ線源３００は、上記したシールドボックス２００の収容空間Ｓ１に配置されており、コンベアユニット５００の搬送面Ｍの下方に配置されたセンサユニット４００のラインセンサ４１０に向かってＸ線を照射する。Ｘ線源３００は、コンベアユニット５００による搬送方向（矢印Ｘ方向）に直交する方向に扇状にＸ線を照射する（図３のＤが示す２点鎖線参照）。本実施形態では、Ｘ線源３００は、下方に向けてＸ線を照射するように固定配置されており、当該Ｘ線源３００から照射されたＸ線は、シールドボックス２００の底面部２４０に形成される開口（図示せず）を介して、検査室Ｓ２に照射される。
【００３５】
なお、底面部２４０の開口には、検査室Ｓ２側に延在するＸ線規制部材２４１が設けられており、底面部２４０の開口を通過したＸ線が搬送方向（矢印Ｘ方向）に拡散しないように規制している。なお、上記した検査室Ｓ２とは、シールドボックス２００の底面部２４０、シールドボックス２００の奥壁部２７０、コンベアユニット５００の搬送面Ｍ、Ｘ線遮蔽扉６００、および、Ｘ線遮蔽カーテン６７０により囲まれる空間をいう。
【００３６】
また、底面部２４０のＸ線源３００側の面には、Ｘ線遮蔽板２４２が設けられている。これにより、Ｘ線源３００から照射されて、収容空間Ｓ１内で反射したＸ線が外部に漏洩するのを防止することができる。
【００３７】
［センサユニット］
センサユニット４００は、図６および図７に示すように、コンベアユニット５００の搬送面Ｍの下方に配置されている。このセンサユニット４００は、図８に示すように、Ｘ線源３００から照射されたＸ線を検知するラインセンサ４１０と、ラインセンサ４１０との間に所定空間を設けて略平行に配置された一対の遮蔽部材４２１および４２２と、ラインセンサ４１０および遮蔽部材４２１，４２２を収容するセンサボックス４３０と、を有している。
【００３８】
ラインセンサ４１０は、上下方向（Ｚ方向）に所定の間隔を隔てて配置されるデュアルセンサであって、この２重のセンサによって、Ｘ線源３００から照射される低エネルギー帯のＸ線と高エネルギー帯のＸ線とを検知する。一対の遮蔽部材４２１および４２２は、ラインセンサ４１０の素子配列方向（矢印Ｙ方向）に沿って延在する板状部材であり、当該ラインセンサ４１０を挟んで対向して配置される。また、センサボックス４３０の背面部２２０側の部分には、開口部４３１が形成されている。この開口部４３１は、当該開口部４３１の近傍に配置されたファン９５０（図３参照）から送風される気体を、センサボックス４３０内に導入するために設けられている。そして、本実施形態では、遮蔽部材４２１および４２２は、センサボックス４３０の開口部４３１と対向する面４３２との間に、所定空間を有するように配置されている。これにより、センサボックス４３０内において、気体が対流するボックス内対流経路Ｒ２が形成される。
【００３９】
［コンベアユニット（搬送部）］
コンベアユニット５００は、図６および図７に示すように、Ｘ線検査装置１００の上流側に配置される搬入コンベア１０１から受け取った被検査物Ｂを、Ｘ線検査装置１００の下流側に配置される搬出コンベア１０２まで搬送するために設けられており、途中で上記したＸ線源３００のＸ線が照射されるＸ線照射位置（Ｘ線源３００の真下の位置）において、被検査物ＢのＸ線検査を行う。このコンベアユニット５００は、図７に示すように、フレーム５１０と、駆動ローラ５２１および３つの従動ローラ５２２〜５２４（以下、適宜、駆動ローラ５２１と従動ローラ５２２〜５２４を総称して、ローラ５２１〜５２４とする）と、これらのローラ５２１〜５２４の外周面に装着されたベルト５３０と、を有している。ローラ５２１〜５２４は、互いに所定の間隔を隔てて配置されており、正面視において、シールドボックス２００の右側面部２５０および左側面部２６０（図１参照）から僅かに外側に突出する上部ローラ５２１および５２２と、当該ローラ５２１および５２２の下方に配置される下部ローラ５２３および５２４と、から構成されている。上部ローラ５２１と上部ローラ５２２とは、同一平面上に配置されると共に、下部ローラ５２３および５２４は、当該平面より下方に設けられる。上部ローラ５２１と５２２との間隔は、下部ローラ５２３と５２４との間隔より大きくなっている。これらのローラ５２１〜５２４は、金属製である。このように配置されるローラ５２１〜５２４の外周面に装着されるベルト５３０の内側の領域には、上記したセンサユニット４００が配置されている。
【００４０】
一対の上部ローラ５２１および５２２は、フレーム５１０に取り付けられるステー５１１に回転可能に支持されると共に、一対の下部ローラ５２３および５２４は、センサボックス４３０に取り付けられるステー４３５に回転可能に支持される。したがって、本実施形態では、上部ローラ５２１および５２２と、下部ローラ５２３および５２４とは、分離可能となっている。そして、本実施形態では、下部ローラ５２３は、後述する内側カーテン６７３と中間カーテン６７２との間の下方に設けられる。また、下部ローラ５２４は、後述する内側カーテン６７６と中間カーテン６７５との間の下方に設けられる。
【００４１】
［Ｘ線遮蔽扉］
Ｘ線遮蔽扉６００は、図２に示すように、Ｘ線検査装置１００の前面に開閉可能に取り付けられており、検査室Ｓ２を閉鎖する閉状態（図２の実線）と、検査室Ｓ２を開放する開状態（図２の点線）とを取り得る。このＸ線遮蔽扉６００は、図９および図１０に示すように、検査室Ｓ２側から順に、第１遮蔽部材６１０、第２遮蔽部材６２０、及び、第３遮蔽部材６３０が配置されている。具体的には、第１遮蔽部材６１０は、検査室Ｓ２側の最内側に配置されることで前記検査室Ｓ２の前面を形成している。そして、本実施形態では、図９に示すように、第１遮蔽部材６１０は、検査室Ｓ２側の面が連続した平坦面を有している。また、第２遮蔽部材６２０は、図１０に示すように、第１遮蔽部材６１０の外側に配置されている。また、第３遮蔽部材６３０は、第２遮蔽部材６２０の外側で、かつ第２遮蔽部材６２０に対して所定間隔を有して配置されている。この第２遮蔽部材６２０は、第１遮蔽部材６１０および第３遮蔽部材６３０よりもＸ線遮蔽機能が高くなっている。具体的には、第２遮蔽部材６２０は、鉛、カーボン等からなる。このＸ線遮蔽扉６００は、第１遮蔽部材６１０および第３遮蔽部材６３０によって内部が空洞の箱型部が形成されており、当該箱型部の内部の空洞に第２遮蔽部材６２０が配置されている。なお、第１遮蔽部材６１０および第３遮蔽部材６３０は、金属製であって、例えば、ＳＵＳ３０４からなる。
【００４２】
そして、本実施形態では、図９に示すように、Ｘ線遮蔽扉６００の外面は、上端に向かうにつれて検査室Ｓ２の外側に傾斜する。すなわち、Ｘ線遮蔽扉６００の最外側に配置される第３遮蔽部材６３０が、Ｘ線遮蔽扉６００の上端に向かうにつれて検査室Ｓ２の外側に傾斜する。また、本実施形態では、図１に示すように、Ｘ線遮蔽扉６００は、正面視中央部６０１が両側６０２よりも検査室Ｓ２の外側に設けられている。この正面視中央部６０１は、正面視において、第１遮蔽部材６１０、第２遮蔽部材６２０、および、第３遮蔽部材６３０が重なる部分であって、交差領域Ｔ１（図１および図４参照）に設けられる。すなわち、この正面視中央部６０１は、交差領域Ｔ１に配置されるＸ線の遮蔽手段として機能する。
【００４３】
また、本実施形態では、図１０に示すように、第１遮蔽部材６１０は、コンベアユニット５００の搬送面Ｍに対して略垂直に配置され、第３遮蔽部材６３０は、検査室Ｓ２の外側に傾斜している。第１遮蔽部材６１０および第３遮蔽部材６３０の上部の間隔Ｂ１が、第１遮蔽部材６１０および第３遮蔽部材６３０の下部の間隔Ｂ２よりも長くなっている。
【００４４】
また、図９および図１０に示すように、第１遮蔽部材６１０の外縁部には、検査室Ｓ２側に延在する壁部６４０が形成されている。この壁部６４０は、第１遮蔽部材６１０の上端に設けられる上側壁部６４１と、第１遮蔽部材６１０の側端に設けられる側端壁部６４２，６４３と、第１遮蔽部材６１０の下端に設けられる下側壁部６４４とを有している。側端壁部６４２，６４３には、コンベアユニット５００によって搬送される被検査物Ｂが通過したか否かを検知するセンサ（図示せず）が設けられている。図９に示すように、下側壁部６４４は、Ｘ線源３００を囲むように傾斜している。具体的には、下側壁部６４４は、Ｘ線遮蔽扉６００の幅方向（矢印Ｘ方向）の中央部分６４５が、その両側６４６に比べて下方に配置されている。中央部分６４５は、水平方向に延在すると共に、両側６４６は、当該中央部分６４５の両端部から上方に傾斜している。
【００４５】
また、Ｘ線遮蔽扉６００には、図１〜図３に示すように、作業者が当該Ｘ線遮蔽扉６００を開閉するために把持するハンドル６５０が取り付けられている。このハンドル６５０は、Ｘ線遮蔽扉６００の回動中心Ｇ（図２参照）から離れた位置に取り付けられている。
【００４６】
また、Ｘ線遮蔽扉６００は、図１１に示すように、当該Ｘ線遮蔽扉６００を閉状態（図２参照）で固定するためのスライドロック機構６６０を有している。このスライドロック機構６６０は、Ｘ線遮蔽扉６００の上端面６０３に取り付けられている。そして、当該スライドロック機構６６０の解除レバー６６１は、Ｘ線検査装置１００の奥行方向（矢印Ｙ方向）に沿って移動可能である。
【００４７】
［Ｘ線遮蔽カーテン］
Ｘ線遮蔽カーテン６７０は、図７に示すように、搬入口２０１および搬出口２０２を遮蔽し、検査室Ｓ２に照射されたＸ線が搬入口２０１および搬出口２０２を介して外部に漏洩するのを防止する。このＸ線遮蔽カーテン６７０は、被検査物Ｂの搬送方向（矢印Ｘ方向）に直交する面に沿って配置されている。このＸ線遮蔽カーテン６７０は、搬入口２０１側に配置される３枚の搬入側カーテン６７１〜６７３と、搬出口２０２側に配置される３枚の搬出側カーテン６７４〜６７６とを有している。搬入側カーテン６７１〜６７３と、搬出側カーテン６７４〜６７６とは、Ｘ線照射口Ｕを挟んで左右対称に配置されている。なお、このＸ線照射口Ｕは、Ｘ線規制部材２４１によって形成される通路を通過したＸ線が照射される開口である。
【００４８】
搬入側カーテン６７１〜６７３は、Ｘ線源３００のＸ線照射口Ｕから最も離れた外側カーテン６７１と、中間カーテン６７２と、内側カーテン６７３とを含んでいる。また、搬出側カーテン６７４〜６７６は、Ｘ線照射口Ｕから最も離れた外側カーテン６７４と、中間カーテン６７５と、内側カーテン６７６とを含んでいる。外側カーテン６７１および６７４の各々は、タングステンが含有された幕部材を２枚重ね合わせた部材であり、中間カーテン６７２および６７５並びに内側カーテン６７３および６７６の各々は、タングステンが含有された幕部材を３枚重ね合わせた部材である。すなわち、本実施形態では、Ｘ線照射口Ｕから離れた外側カーテン６７１および６７４は、中間カーテン６７２および６７５並びに内側カーテン６７３および６７６より遮蔽機能が低くなっている。
【００４９】
また、本実施形態では、搬入側カーテン６７１〜６７３に関して、内側カーテン６７３と中間カーテン６７２との水平方向の間隔Ｌ１は、中間カーテン６７２と外側カーテン６７１との水平方向の間隔Ｌ２より大きくなっている。また、同様に、搬出側カーテン６７４〜６７６に関して、内側カーテン６７６と中間カーテン６７５との水平方向の間隔Ｌ３は、中間カーテン６７５と外側カーテン６７４との水平方向の間隔Ｌ４より大きくなっている。
【００５０】
本実施形態では、図７に示すように、搬入側カーテン６７１〜６７３の内側カーテン６７３の鉛直方向の長さＣ１は、Ｘ線照射口Ｕから当該内側カーテン６７３が配置されている位置までの水平方向の長さＬ５と比較して、略同一、または短い。また、同様に、搬出側カーテン６７４〜６７６の内側カーテン６７６の鉛直方向の長さＣ２は、Ｘ線照射口Ｕから当該内側カーテン６７６が配置されている位置までの水平方向の長さＬ６と比較して、略同一、または短い。また、搬入口２０１の高さＨ１および搬出口２０２の高さＨ２は、前述したＸ線照射口Ｕから内側カーテン６７３および６７６までの水平方向の長さＬ５およびＬ６より短くなっている。
【００５１】
また、本実施形態では、図７に示すように、内側カーテン６７３の下端部は、Ｘ線照射口Ｕと、上記したセンサボックス４３０のＸ方向上流側の側端部４３３とを結ぶ線Ｐ１よりも下方に設けられる。また、内側カーテン６７６の下端部は、Ｘ線照射口Ｕと、上記したセンサボックス４３０のＸ方向下流側の側端部４３４とを結ぶ線Ｐ２よりも下方に設けられる。
また、本実施形態では、センサボックス４３０のＸ方向上流側の側端部４３３の上端は、Ｘ線照射口Ｕと内側カーテン６７３の下端部とを結ぶ線Ｐ３よりも上方に設けられる。また、センサボックス４３０のＸ方向下流側の側端部４３４の上端は、Ｘ線照射口Ｕと内側カーテン６７６の下端部とを結ぶ線Ｐ４よりも上方に設けられる。
【００５２】
［冷却機］
冷却機７００は、図２、図４および図５に示すように、Ｘ線検査装置１００の背面に取り付けられている。本実施形態では、冷却機７００は、交差領域Ｔ１（図１参照）に配置されるＸ線の遮蔽手段として機能する。この冷却機７００は、シールドボックス２００内に冷却空気を供給するために設けられている。冷却機７００は、図３に示すように、冷却された気体を送風するためのファン７１０を有しており、当該ファン７１０の吹出口７１１は、斜め上方（矢印Ｆ方向）に吹き出すように設けられる。これにより、吹出口７１１から吹き出される冷却空気は、シールドボックス２００の凹部２３１に向かって流れる。
【００５３】
［制御部］
制御部８００は、Ｘ線検査装置１００の各部の動作を制御する。具体的には、制御部８００は、Ｘ線源３００に印加する電圧の大きさを制御したり、ラインセンサ４１０によって検知されたＸ線に係るＸ線透過データに基づいてＸ線透過画像を作成したりする。この制御部８００は、ＣＰＵ、記憶部、入力装置および出力装置等を有するコンピュータである。
【００５４】
本実施形態では、図５に示すように、制御部８００は、冷却機７００の吹き付け方向（矢印Ｆ方向）から外れて配置されている。具体的には、制御部８００は、シールドボックス２００の右側面部２５０に近接して配置されている。また、本実施形態では、制御部８００は、上方に傾斜する凹部２３１の高さの低い位置ＰＬ（図３（ｂ）参照）の下方に配置されている。すなわち、制御部８００は、Ｘ線検査装置１００の右側面部２５０側、且つ、背面部２２０側に配置されている。
【００５５】
［フロントパネル］
フロントパネル９００は、作業者が操作を行う操作パネルであって、制御部８００により形成されたＸ線透過画像を表示する等、各種の情報を表示する表示部９１０を有している。このフロントパネル９００は、シールドボックス２００の前面部２１０の外面に取り付けられている。フロントパネル９００は、シールドボックス２００内のメンテナンスのために、開閉可能に構成されている。本実施形態では、図１および図５に示すように、フロントパネル９００は、交差領域Ｔ１に配置されるＸ線の遮蔽手段として機能する。
【００５６】
［シールドボックス内の冷却について］
本実施形態では、Ｘ線源３００の管電圧を高くすることが可能であるので、シールドボックス２００内に配置されるＸ線源３００および制御部８００の冷却は重要である。
【００５７】
図３に示すように、冷却機７００のファン７１０から吹き出された冷却気体は、吹出口７１１から斜め上方（矢印Ｆ方向）に吹き出される。この冷却気体は、天面部２３０の凹部２３１に導入されて、当該凹部２３１の上方傾斜面２３２に沿って流れる。凹部２３１内には、Ｘ線源３００により熱せられた気体が集まっている。このＸ線源３００は、前面部２１０側に配置されているので、凹部２３１の高さが高い位置ＰＨに熱せられた気体が集まっている。凹部２３１の上方傾斜面２３２に沿って流れる冷却気体は、凹部２３１の高さが高い位置ＰＨに流れて、当該位置ＰＨに集まる熱せられた気体を集中的に冷却する。
【００５８】
そして、凹部２３１の低い位置ＰＬ（背面部２２０側）から高い位置ＰＨ（前面部２１０側）に流れた冷却空気は、天面部２３０に連設される前面部２１０に沿って流れる。すなわち、背面部２２０側から前面部２１０側に斜め上方に流れる気体が、下方傾斜する前面部２１０に沿って下方に流れる。そして、前面部２１０に沿って流れた気体は、当該前面部２１０に連設する底面部２４０に沿って流れる。すなわち、前面部２１０の下方傾斜面に沿って下方に流れる気体が、底面部２４０に沿って前面部２１０側から背面部２２０側に流れる。これにより、冷却機７００の吸引口（図示せず）にシールドボックス２００内の気体が吸気されて、当該冷却機７００で熱交換された冷却気体が吹出口７１１から吹き出される。
【００５９】
［センサボックス内の冷却について］
図８に示すように、ファン９５０が駆動することによって、センサボックス４３０の開口部４３１からセンサボックス４３０内に空気が流入する。そして、一対の遮蔽部材４２１，４２２間において、ラインセンサ４１０の素子配列方向（Ｙ方向）に沿って空気が流れて、開口部４３１に対向する面４３２に到達する。このとき、当該面４３２と遮蔽部材４２１，４２２との間に所定空間が形成されているので、面４３２に到達した空気は、当該所定空間でＵターンして、ファン９５０側に流れる。
【００６０】
［本実施形態のＸ線検査装置の特徴］
（Ａ）
上記実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線源３００の上方に凹部２３１を設けることによって、シールドボックス２００の内部で熱せられた気体（Ｘ線源３００により熱せられた気体）を当該凹部２３１に集めることができるので、当該熱せられた気体が他の領域に拡散することを抑制できる。
【００６１】
（Ｂ）
また、シールドボックス２００の内面に凹部２３１を形成することにより、シールドボックス２００の内面がフラットの場合と比べて、シールドボックス２００の内面の表面積を大きくすることができる。これにより、シールドボックス２００内部で熱せられた空気と接するシールドボックス２００の内面の表面積が増加するので、シールドボックス２００内の気体の冷却効率を向上させることができる。
【００６２】
（Ｃ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、凹部２３１に熱せられた空気が集められているため、冷却機７００で冷却しやすい。その結果、効率良くシールドボックス２００内の温度を下げることができる。
【００６３】
（Ｄ）
また、冷却空気を吹き付ける方向（斜め上方）に沿って凹部２３１が延在配置されているので、凹部２３１の側壁に沿って空気流れを形成することができる。その結果、他の領域に流れる空気の拡散を抑制することができる。
【００６４】
（Ｅ）
さらに、冷却機７００から冷却空気が凹部２３１に吹き付けられるため、凹部２３１の下部に配置されたＸ線源３００に冷却空気が直接吹き付けられない。そのため、Ｘ線源３００の環境温度の急激な変動を抑制することができ、Ｘ線源３００の急激な温度変動によるＸ線の出力を安定させることができる。
【００６５】
（Ｆ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線源３００の周囲を縦循環する縦循環対流経路Ｒ１を形成することができるので、冷却機７００からの冷却空気を、Ｘ線源３００の上方の凹部２３１、前面部２１０、および底面部２４０の順で対流させることができる。その結果、Ｘ線源３００の周囲の温度を効率よく下げることができるので、Ｘ線源３００の温度上昇を抑制することができる。
【００６６】
（Ｇ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、冷却機７００からの冷却空気を上方傾斜面２３２に沿って流し、さらに連設される下方傾斜面（前面部２１０）に沿って流すことができるので、冷却空気が円滑に縦循環する。
【００６７】
（Ｈ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、制御部８００が冷却機７００の吹き付け方向（矢印Ｆ方向）から外れて配置されるので、冷却空気が制御部８００に阻害されずに凹部２３１に到達する。これにより、シールドボックス２００内で熱せられて凹部２３１内に集まった気体を直接冷却することができる。
【００６８】
（Ｉ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線源３００によって熱せられた空気は、上方傾斜面２３２に沿って凹部２３１の高い位置ＰＨに集まる。これにより、熱せられた空気と凹部２３１の低い位置ＰＬの下方に配置される制御部８００とを離間させることができる。その結果、制御部８００が凹部２３１内に集まった気体により熱せられるのを抑制することができる。したがって、熱影響によって制御部８００が故障するのを防止することができる。
【００６９】
（Ｊ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線検査装置１００の清掃などでシールドボックス２００の上面に付着した水などの液体が、上面２３３に沿って流れるので、シールドボックス２００の上面２３３に液体が溜まるのを防止することができる。これにより、Ｘ線検査装置１００を清潔に保つことができる。食品等の被検査物を対象とするＸ線検査装置１００の場合、特に清潔さが要求されるので、シールドボックス２００の上面２３３を傾斜面にすることは、非常に有効である。
【００７０】
（Ｋ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線源３００からラインセンサ４１０に照射されたＸ線が当該ラインセンサ４１０等で反射した場合でも、当該反射したＸ線を遮蔽部材４２１，４２２により遮蔽することにより、センサボックス４３０外にＸ線が漏洩するのを抑制することができる。
【００７１】
（Ｌ）
さらに、遮蔽部材４２１，４２２をラインセンサ４１０と所定空間を設けて略並行に配置するとともに、遮蔽部材４２１，４２２をセンサボックス４３０の開口部と対向する面との間に所定空間を有した状態で配置することによって、開口部４３１から流入した空気が、ラインセンサ４１０に沿って対向する面４３２に向かって流れ、対向する面４３２側における遮蔽部材４２１，４２２の所定空間を通過して、開口部４３１側に戻るボックス内対流経路Ｒ２を生成することができる。その結果、当該経路Ｒ２により、ラインセンサ４１０の冷却効率を高めることができる。
【００７２】
（Ｍ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線遮蔽扉６００の検査室Ｓ２側の面が連続した平坦面からなるので、食品等の被検査物の残骸が当該平坦面に付着しても、拭き掃除などを行うことにより、食品等による雑菌の繁殖防止を図ることができる。これにより、検査室Ｓ２内を良好な衛生状態に保つことができる。
【００７３】
（Ｎ）
また、Ｘ線遮蔽扉６００を第１遮蔽部材６１０、第２遮蔽部材６２０および第３遮蔽部材６３０の３重構造にすることによって、漏洩防止機能を担保しつつ、第１遮蔽部材６１０の外側に第２遮蔽部材６２０および第３遮蔽部材６３０を配置することによって、第１遮蔽部材６１０の検査室Ｓ２側の面を連続した平坦面にすることができる。その結果、検査室Ｓ２内におけるＸ線の乱反射を防止でき、かつ検査室Ｓ２外へのＸ線の漏洩を防止することができる。
【００７４】
（Ｏ）
さらに、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、第２遮蔽部材６２０と第３遮蔽部材６３０との間に所定間隔を設けているので、当該距離でＸ線を減衰することができ、第３遮蔽部材６３０で確実にＸ線の漏洩防止を図ることができる。
【００７５】
（Ｐ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線遮蔽扉６００の上端側が検査室Ｓ２の外側に傾斜しているので、Ｘ線源３００から照射されたＸ線が、仮に検査室Ｓ２内で乱反射しても、当該乱反射したＸ線を検査室Ｓ２内側へ戻すことができる。したがって、Ｘ線が装置１００の外側へ出るまでの経路を長くすることができるので、Ｘ線を確実に減衰することができる。
【００７６】
（Ｑ）
Ｘ線遮蔽扉６００の正面視中央部６０１をその両側６０２よりも検査室Ｓ２の外側に設けることによって、当該正面視中央部６０１にＸ線遮蔽部材（鉛板、カーボン板、及び、金属製の構造物等）を配置することができる。これにより、Ｘ線遮蔽扉６００の正面視中央部からＸ線が漏洩するのを確実に防止することができる。
【００７７】
（Ｒ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線源３００に近いＸ線遮蔽扉６００の上部（間隔Ｂ１）が、Ｘ線源３００から遠いＸ線遮蔽扉６００の下部（間隔Ｂ２）より厚みがあるので、当該Ｘ線遮蔽扉６００の上部では、第３遮蔽部材６３０に至るまでのＸ線の経路長を長くすることができる。その結果、Ｘ線遮蔽扉６００の上部において、Ｘ線を確実に減衰することができる。
【００７８】
（Ｓ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、被検査物Ｂに対してＸ線を照射するＸ線源３００が下側壁部６４４により囲まれる。これにより、Ｘ線源３００から被検査物Ｂに向かって下方にＸ線が照射されても、当該下側壁部６４４によりＸ線源３００が配置される中央側にＸ線を戻すことができるので、Ｘ線が外部に漏洩するのを防止することができる。
【００７９】
（Ｔ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線の遮蔽機能が高い遮蔽手段が設けられる交差領域Ｔ１において、Ｘ線が外部に漏洩するのを抑制することができる。Ｘ線源３００から照射されるＸ線の照射面Ｄを含む面と交差する交差領域Ｔ１は、Ｘ線源３００からＸ線が直接照射される領域であるので、当該領域において、Ｘ線漏洩を抑制することは非常に効果的である。
【００８０】
（Ｕ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、交差領域Ｔ１の外壁が、他の領域の外壁よりも外側に配置されているので、交差領域Ｔ１においては、他の領域よりも、Ｘ線源３００から照射されたＸ線が当該外壁に至るまでのＸ線のシールドボックス２００外に至る経路長を長くすることができる。これにより、交差領域Ｔ１において、Ｘ線を減衰させることができる。
【００８１】
（Ｖ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、交差領域Ｔ１に、Ｘ線の遮蔽機能が高いカーボンまたは鉛を含む部材（第２遮蔽部材６２０等）を用いることにより、確実にＸ線の漏洩防止を図ることができる。
【００８２】
（Ｗ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、交差領域Ｔ１にフロントパネル９００を設けることによって、Ｘ線検査装置１００の操作に必要なフロントパネル９００が、Ｘ線を遮蔽する構造物として機能する。すなわち、Ｘ線遮蔽部材を別途設けることなく、フロントパネル９００をＸ線遮蔽部材として利用することができる。
【００８３】
（Ｘ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、交差領域Ｔ１に冷却機７００を設けることによって、Ｘ線源３００の冷却に必要な冷却機７００が、Ｘ線を遮蔽する構造物として機能する。すなわち、Ｘ線遮蔽部材を別途設けることなく、冷却機７００をＸ線遮蔽部材として利用することができる。
【００８４】
（Ｙ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、交差領域Ｔ１を構成する部材（冷却機７００、フロントパネル９００、シールドボックス２００の天面部２３０、及び、Ｘ線遮蔽扉６００の正面視中央部６０１）の内面の各々は、当該垂線がＸ線源３００側を向くように配置されるので、Ｘ線源３００から照射されたＸ線を、当該Ｘ線源３００側に戻すことができる。その結果、Ｘ線が外部に漏洩するのを防止することができる。
【００８５】
（Ｚ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、交差領域Ｔ１にＸ線遮蔽扉６００の正面視中央部６０１を設けることによって、搬送面Ｍのメンテナンス時に開放されるＸ線遮蔽扉６００が、Ｘ線を遮蔽する構造物として機能する。すなわち、Ｘ線遮蔽部材を別途設けることなく、Ｘ線遮蔽扉６００をＸ線遮蔽部材として利用することができる。
【００８６】
（ＡＡ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、内側カーテン６７３，６７６の鉛直方向の長さＣ１が、Ｘ線照射口Ｕから内側カーテン６７３，６７６が配置されている位置までの水平長さＬ５，Ｌ６と略同一または短いので、被検査物Ｂにより内側カーテン６７３，６７６が引き連れられても、ラインセンサ４１０に内側カーテン６７３，６７６が覆われることを防止することができる。その結果、内側カーテン６７３，６７６によりＸ線の漏洩を確実に防止しつつ、被検査物ＢのＸ線検査を適切に行うことができる。
【００８７】
（ＢＢ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、内側カーテン６７３，６７６の下端部が、Ｘ線照射口Ｕとセンサボックス４３０の側端部４３３，４３４とを結ぶ線Ｐ１，Ｐ２よりも下方に設けられるので、Ｘ線照射口Ｕからセンサボックス４３０の上方を通過して外部に漏洩するＸ線を、当該内側カーテン６７３，６７６の下端部で遮蔽することができる。
【００８８】
（ＣＣ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、センサボックス４３０の側端部４３３，４３４が、Ｘ線照射口Ｕと内側カーテン６７３，６７６の下端部とを結ぶ線よりも上方に設けられるので、Ｘ線照射口Ｕから内側カーテン６７３，６７６の下端部を通過して外部に漏洩するＸ線を、センサボックス４３０の側端部４３３，４３４で遮蔽することができる。
【００８９】
（ＤＤ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線照射口Ｕに近い中間カーテン６７２および６７５並びに内側カーテン６７３および６７６の遮蔽機能を高くすることによって、Ｘ線照射口Ｕに近い位置で、Ｘ線の漏洩防止を図ることができる。
仮に、Ｘ線照射口Ｕに近い中間カーテン６７２および６７５並びに内側カーテン６７３および６７６を越えてＸ線が漏洩したとしても、遮蔽機能が劣る外側カーテン６７１及び６７４で、十分にＸ線の漏洩防止を図ることができる。
【００９０】
（ＥＥ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線照射口Ｕに近い内側カーテン６７３，６７６と中間カーテン６７２，６７５との間隔Ｌ１，Ｌ３が、外側カーテン６７１，６７４と中間カーテン６７２，６７５との間隔Ｌ２，Ｌ４より長くなっているので、当該間隔Ｌ１，Ｌ３のＸ線の経路長が長くなり、当該Ｘ線を減衰させることができる。
また、内側カーテン６７３，６７６を、中間カーテン６７２，６７５から離して配置することによって、被検査物Ｂの搬入時または搬出時において、３枚のＸ線遮蔽カーテン６７１〜６７３，６７４〜６７６が同時に被検査物に搬送抵抗を加えるのを防止することができる。これにより、起立状態で搬送する必要がある被検査物Ｂを、倒さずに搬送することが可能となる。
【００９１】
（ＦＦ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線照射口Ｕから内側カーテン６７３，６７６の下端部の下方を通過したＸ線を、当該下部ローラ５２３，５２４により遮蔽することができる。すなわち、コンベアユニット５００の構成要素である下部ローラ５２３，５２４をＸ線遮蔽部材として用いることができる。
【００９２】
（ＧＧ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、一対の上部ローラ５２１，５２２と下部ローラ５２３，５２４とが別個の部材（ステー５１１，ステー４３５）に支持されているので、上部ローラ５２１，５２２と下部ローラ５２３，５２４とが分離可能となる。これにより、メンテナンス時に、上部ローラ５２１，５２２と下部ローラ５２３，５２４とを別々に取り外すことができるので、Ｘ線検査装置１００のメンテナンスが容易になる。
【００９３】
（ＨＨ）
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、ラインセンサ４１０を収容するセンサボックス４３０をＸ線遮蔽部材として利用することができる。これにより、センサボックス４３０とは別個に、Ｘ線遮蔽部材を設ける場合に比べて、部品点数の削減を図ることができる。
【００９４】
［請求項の各構成要素と上記実施形態の各部との対応関係］
上記実施形態においては、Ｘ線検査装置１００が「Ｘ線検査装置」に相当し、シールドボックス２００が「筐体」に相当し、Ｘ線源３００が「Ｘ線源」に相当し、制御部８００が「制御部」に相当し、凹部２３１が「凹部」に相当し、冷却機７００が「冷却機」に相当し、前面部２１０が「縦面」に相当し、底面部２４０が「底面」に相当し、縦循環対流経路Ｒ１が「縦循環対流経路」に相当し、上方傾斜面２３２が「上方傾斜面」に相当し、天面部２３０の上面２３３が「天面」に相当し、ラインセンサ４１０が「ラインセンサ」に相当し、センサボックス４３０が「センサボックス」に相当し、遮蔽部材４２１，４２２が「遮蔽部材」に相当する。
【実施例】
【００９５】
以下、上記した実施形態に係るＸ線検査装置１００の技術的効果を確認するために行った実験について説明する。この実験では、実施例として、上記した実施形態に係るＸ線検査装置１００において、管電圧を１３０ｋＶに設定して当該Ｘ線検査装置１００の各測定箇所（１）〜（５）でＸ線の漏洩を測定した。また、この実験では、比較例として、上記したＸ線検査装置１００とは異なるＸ線検査装置（株式会社イシダ：ＩＸ−ＧＥ−４０４３）において、管電圧を１３０ｋＶに設定して当該Ｘ線検査装置の各測定箇所（上記した測定位置（１）〜（５）の各々に対応する位置）でＸ線の漏洩を測定した。なお、上記した測定箇所（１）〜（５）は、図２および図６に示した位置であり、その測定箇所（１）〜（５）の詳細は、以下の通りである。
測定箇所（１）：Ｘ線遮蔽扉の正面
測定箇所（２）：Ｘ線遮蔽扉のハンドルの近傍
測定箇所（３）：フロントパネルの正面
測定箇所（４）：Ｘ線遮蔽カーテンの外側
測定箇所（５）：コンベアユニットの下方
【００９６】
なお、比較例では、Ｘ線検査装置（株式会社イシダ：ＩＸ−ＧＥ−４０４３）において、管電圧を１３０ｋＶに設定したが、当該Ｘ線検査装置の標準仕様における管電圧は、２５ｋＶ以上７５ｋＶ以下である。ここでは、管電圧が１３０ｋＶで使用される本実施形態に係るＸ線検査装置１００と比較するために、比較例に係るＸ線検査装置において、標準仕様とは異なる管電圧（１３０ｋＶ）で実験を行った。なお、比較例に係るＸ線検査装置が、標準仕様では、Ｘ線が漏洩しないことを確認するために、参考例として、比較例に係るＸ線検査装置において、管電圧を７５ｋＶに設定して当該Ｘ線検査装置の各測定箇所（上記した測定位置（１）〜（５）の各々に対応する位置）でＸ線の漏洩を測定した。
【００９７】
実施例に係るＸ線検査装置の各寸法、および、比較例および参考例に係るＸ線検査装置の各寸法は、それぞれ図１２および図１３に示す通りであり、実施例に係るＸ線検査装置の各寸法について、以下詳細に紹介する。
Ｘ線検査装置の高さ：１７００ｍｍ（図１２（ａ）参照）
Ｘ線検査装置の幅（幅方向外側に突出するコンベア部分を除く）：８００ｍｍ（図１２（ａ）および（ｂ）参照）
Ｘ線検査装置の幅（幅方向外側に突出するコンベア部分を含む）：１０００ｍｍ（図１２（ｂ）参照）
搬送面までの高さ：７５０ｍｍ（図１２（ａ）参照）
交差領域の幅：５００ｍｍ（図１２（ａ）参照）
天面部の突出高さ：６０ｍｍ（図１２（ａ）参照）
Ｘ線検査装置の奥行：１１２５ｍｍ（図１２（ｂ）参照）
ベルト幅：４３０ｍｍ（図１２（ｂ）参照）
前面部から背面部までの距離：８５０ｍｍ（図１２（ｂ）参照）
前面部からＸ線源までの距離：２９０ｍｍ（図１２（ｂ）参照）
背面部からＸ線源までの距離：５６０ｍｍ（図１２（ｂ）参照）
側面部（右側面部、左側面部）からＸ線源までの距離：４００ｍｍ（図１２（ｂ）参照）
天面部からＸ線源までの距離：４００ｍｍ（図１２（ｃ）参照）
Ｘ線源から底面部までの距離：３４０ｍｍ（図１２（ｃ）参照）
センサボックス中央部分の高さ：８５ｍｍ（図１２（ｄ）参照）
センサボックス中央部分の幅：３６０ｍｍ（１８０ｍｍ＋１８０ｍｍ）（図１２（ｄ）参照）
センサボックスの側端部の幅：６０ｍｍ（図１２（ｄ）参照）
センサボックスの側端部の外側部材の幅：６０ｍｍ（図１２（ｄ）参照）
間隔Ｌ１，Ｌ３：９０ｍｍ（図１２（ｅ）参照）
間隔Ｌ２，Ｌ４：４０ｍｍ（図１２（ｅ）参照）
間隔Ｌ５，Ｌ６：２００ｍｍ（図１２（ｅ）参照）
外側カーテンから側面部までの距離：７０ｍｍ（図１２（ｅ）参照）
装置中央から上部ローラまでの距離：５００ｍｍ（上部ローラ間距離：１０００ｍｍ）（図１２（ｅ）参照）
装置中央から下部ローラまでの距離：２５０ｍｍ（下部ローラ間距離：５００ｍｍ）（図１２（ｅ）参照）
下部ローラの直径：９０ｍｍ（図１２（ｅ）参照）
搬送面からラインセンサまでの距離：５０ｍｍ（図１２（ｅ）参照）
ベルトの上面から下面までの距離：１４０ｍｍ（図１２（ｅ）参照）
Ｘ線遮蔽カーテンの鉛直方向長さ：２００ｍｍ（図１２（ｅ）参照）
搬入口および搬出口の高さ：１５０ｍｍ（図１２（ｆ）参照）
搬入口および搬出口の幅：４８０ｍｍ（図１２（ｆ）参照）
また、実施例に係るＸ線検査装置の天面部の傾斜角θ（図３（ｂ）参照）は、約１°〜約２°以下である。
なお、比較例および参考例に係るＸ線検査装置の各寸法の詳細は、Ｘ線検査装置（株式会社イシダ：ＩＸ−ＧＥ−４０４３）と同様であるので、その説明を省略する。
また、実施例、比較例および参考例に係るＸ線検査装置の筺体（シールドボックス）は、厚みが約２ｍｍ〜約３ｍｍのＳＵＳ３０４が使用されている。
【００９８】
実施例、比較例および参考例の実験結果は、以下の表に示す通りである。
【００９９】
【表１】
【０１００】
放射線業務を行う区域は、管理区域として、一般の作業区域と区別される。管理区域では、原則として一般の人の立ち入りが禁止されており、管理区域の実効線量は、電離放射線障害防止規則第３条に「実効が３カ月につき１．３ｍＳｖを超えるおそれのある区域」と規定される。週４０時間労働に基づき１時間あたりの線量に換算すると、２．５μＳｖを超える区域が管理区域となる。このため、本実験では、Ｘ線漏洩量の基準値を、２．５μＳｖ／ｈ［マイクロシーベルト／時間］として、Ｘ線の漏洩を評価した。
【０１０１】
実施例では、測定箇所（１）〜（５）のいずれの箇所においても、Ｘ線の漏洩は、０．７［μＳｖ／ｈ］以下であり、上記した基準値（２．５μＳｖ／ｈ）と比較して、Ｘ線の漏洩量が少なくなっていることが分かった。すなわち、本実施例の結果から、上記した実施形態に係るＸ線検査装置１００では、管電圧が高い状態であっても（１３０ｋＶ）、Ｘ線の漏洩量を低減することができることが分かった。
【０１０２】
これに対して、比較例では、測定箇所（２）において、Ｘ線の漏洩量が５．３μＳｖ／ｈであり、測定箇所（５）において、Ｘ線の漏洩量が８．０μＳｖ／ｈであった。この測定箇所（２）および（５）において、上記した基準値（２．５μＳｖ／ｈ）より、多量のＸ線が漏洩していることが分かった。すなわち、本比較例の結果から、この比較例に係るＸ線検査装置（株式会社イシダ：ＩＸ−ＧＥ−４０４３）では、管電圧が高い状態では、Ｘ線が漏洩してしまうことが分かった。
【０１０３】
参考例では、測定箇所（１）〜（５）のいずれの箇所においても、Ｘ線の漏洩は、０．２［μＳｖ／ｈ］以下であり、上記した基準値（２．５μＳｖ／ｈ）と比較して、Ｘ線の漏洩量が非常に小さくなっていることが分かった。すなわち、比較例に係るＸ線検査装置（株式会社イシダ：ＩＸ−ＧＥ−４０４３）は、標準仕様における使用を行えば、Ｘ線が漏洩していないことが実証された。
【０１０４】
以上、本発明の実施形態および実施例について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態および実施例に限定されるものでないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態および実施例の説明だけではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれる。
【０１０５】
［変形例］
例えば、上記実施形態では、天面部２３０に放熱性の高い素材を使って、凹部２３１に集まった熱せられた気体を積極的に放熱しても良い。
【０１０６】
また、上記実施形態では、冷却空気を吹き出す冷却機７００を備えるＸ線検査装置１００について説明したが、本発明はこれに限らず、外部の空気をシールドボックス内に導入する送風機であっても良い。
【０１０７】
また、上記実施形態では、制御部８００を右側面部２５０側に配置する例について説明したが、本発明はこれに限らず、冷却機７００の吹き付け方向から外れていれば、左側面部２６０側に配置しても良い。
【０１０８】
また、上記実施形態では、ラインセンサ４１０が上下に重なったデュアルセンサを用いる例について説明したが、本発明はこれに限らず、２つのラインセンサが被検査物の搬送方向に沿って並んでいても良い。
【０１０９】
また、上記実施形態では、Ｘ線遮蔽カーテン６７０の積層枚数を変えることによって、外側カーテン６７１および６７４と、中間カーテン６７２および６７５並びに内側カーテン６７３および６７６とのＸ線の遮蔽機能を変えたが、本発明はこれに限らず、Ｘ線遮蔽カーテン６７０に含まれるタングステン、鉛、カーボンなどの配合および量を変えることによって、Ｘ線の遮蔽機能を調整しても良い。
【０１１０】
また、上記実施形態では、搬入口２０１側および搬出口２０２側のそれぞれに３枚のＸ線遮蔽カーテンを配置する例について説明したが、本発明はこれに限らず、当該Ｘ線遮蔽カーテンは、搬入口２０１側および搬出口２０２側のそれぞれに２枚のＸ線遮蔽カーテンを配置しても良いし、４枚以上のＸ線遮蔽カーテンを配置しても良い。また、搬入口２０１側のＸ線遮蔽カーテンの枚数と、搬出口２０２側のＸ線遮蔽カーテンの枚数とが、必ずしも同じで無くて良い。
【０１１１】
また、上記実施例では、Ｘ線検査装置の各部の寸法を記載したが、本発明はこれらの図１２に記載した寸法に限定されない。
【符号の説明】
【０１１２】
１００ Ｘ線検査装置
２００ シールドボックス
２０１ 搬入口
２０２ 搬出口
２３１ 凹部
２３２ 上方傾斜面
２３２ 上面
３００ Ｘ線源
４００ センサユニット
４１０ ラインセンサ
４２１，４２２ 遮蔽部材
４３０ センサボックス
４３３，４３４ 側端部
５００ コンベアユニット
５１０ フレーム
５２１，５２２ 上部ローラ
５２３，５２４ 下部ローラ
６００ Ｘ線遮蔽扉
６１０ 第１遮蔽部材
６２０ 第２遮蔽部材
６３０ 第３遮蔽部材
６４４ 下側壁部
６７０ Ｘ線遮蔽カーテン
６７１，６７４ 外側カーテン
６７２，６７５ 中間カーテン
６７３，６７６ 内側カーテン
７００ 冷却機
８００ 制御部
９００ フロントパネル
Ｂ 被検査物
Ｃ１，Ｃ２ 内側カーテンの鉛直方向の長さ
Ｌ５，Ｌ６ Ｘ線照射口から内側カーテンが配置されている位置までの水平長さ
Ｐ１，Ｐ２ Ｘ線照射口とセンサボックスの側端部とを結ぶ線
Ｐ３，Ｐ４ Ｘ線照射口と内側カーテンの下端部とを結ぶ線
Ｓ２ 検査室
Ｔ１ 交差領域
Ｔ２ 他の領域
Ｕ Ｘ線照射口
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体と、前記筐体の内部に配置されたＸ線源および前記Ｘ線源を制御する制御部と、を備えたＸ線検査装置であって、
前記筺体の内面で、かつ前記Ｘ線源の上方に、気体を集める凹部が設けられていることを特徴とする、Ｘ線検査装置。
【請求項２】
冷却機をさらに備え、
前記冷却機から前記凹部に冷却空気が吹き付けられ、かつ前記冷却機の吹き付け方向に沿って前記凹部が延在配置されることを特徴とする、請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記筐体は、
前記凹部に連設される縦面と、
前記縦面に連設される底面と、を有し、
前記凹部、前記縦面、および前記底面は、前記Ｘ線源から所定空間を設けて配置され、前記Ｘ線源の周囲を縦循環する縦循環対流経路を形成することを特徴とする、請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記凹部は、上方傾斜面を有し、
前記縦面は、下方傾斜面を有することを特徴とする、請求項３に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記冷却機の吹き付け方向から外れて配置されることを特徴とする、請求項２〜４のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
前記凹部は、上方傾斜面を有し、
前記制御部は、前記上方傾斜面の高さの低い位置の下方に配置されることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項７】
前記筺体の天面は、前記凹部の傾斜方向と同一方向に傾斜する傾斜面からなることを特徴とする、請求項６に記載のＸ線検査装置。
【請求項８】
前記Ｘ線源から照射されたＸ線を検出するラインセンサと、
前記ラインセンサを収納し、開口部を有するセンサボックスと、
前記センサボックス内で、前記ラインセンサとの間に所定空間を隔てた状態で、前記ラインセンサと略並行に配置された遮蔽部材と、をさらに備え、
前記遮蔽部材は、前記センサボックスの開口部と対向する面との間に、所定空間を有することを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項１】
筐体と、前記筐体の内部に配置されたＸ線源および前記Ｘ線源を制御する制御部と、を備えたＸ線検査装置であって、
前記筺体の内面で、かつ前記Ｘ線源の上方に、気体を集める凹部が設けられていることを特徴とする、Ｘ線検査装置。
【請求項２】
冷却機をさらに備え、
前記冷却機から前記凹部に冷却空気が吹き付けられ、かつ前記冷却機の吹き付け方向に沿って前記凹部が延在配置されることを特徴とする、請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記筐体は、
前記凹部に連設される縦面と、
前記縦面に連設される底面と、を有し、
前記凹部、前記縦面、および前記底面は、前記Ｘ線源から所定空間を設けて配置され、前記Ｘ線源の周囲を縦循環する縦循環対流経路を形成することを特徴とする、請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記凹部は、上方傾斜面を有し、
前記縦面は、下方傾斜面を有することを特徴とする、請求項３に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記冷却機の吹き付け方向から外れて配置されることを特徴とする、請求項２〜４のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
前記凹部は、上方傾斜面を有し、
前記制御部は、前記上方傾斜面の高さの低い位置の下方に配置されることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項７】
前記筺体の天面は、前記凹部の傾斜方向と同一方向に傾斜する傾斜面からなることを特徴とする、請求項６に記載のＸ線検査装置。
【請求項８】
前記Ｘ線源から照射されたＸ線を検出するラインセンサと、
前記ラインセンサを収納し、開口部を有するセンサボックスと、
前記センサボックス内で、前記ラインセンサとの間に所定空間を隔てた状態で、前記ラインセンサと略並行に配置された遮蔽部材と、をさらに備え、
前記遮蔽部材は、前記センサボックスの開口部と対向する面との間に、所定空間を有することを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２０１２−７８２５７（Ｐ２０１２−７８２５７Ａ）
【公開日】平成２４年４月１９日（２０１２．４．１９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２２５０８５（Ｐ２０１０−２２５０８５）
【出願日】平成２２年１０月４日（２０１０．１０．４）
【出願人】（０００１４７８３３）株式会社イシダ (859)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年４月１９日（２０１２．４．１９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１０月４日（２０１０．１０．４）
【出願人】（０００１４７８３３）株式会社イシダ (859)
【Ｆターム（参考）】
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