株式会社IHIにより出願された特許

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【課題】基板Wの裏面に傷が発生したり、コンタミが付着したりすることを十分に抑えて、基板Wの品質を維持する。
【解決手段】テーブル15の上方位置に基板Wの表面に割断予定線PLに沿ってレーザ光LBを照射するレーザ光照射ユニット25が設けられ、テーブル15の上方位置に基板Wの表面にレーザ光LBを照射した直後に冷媒Mを噴射する冷媒噴射ユニット33が設けられ、テーブル15は、支持フレームに配設されかつエアの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニット45と、基板Wをテーブル15の長手方向へ搬送する複数の搬送ローラユニット59とを備えたこと。 (もっと読む)


【課題】対移動する摩耗側部品と対向側部品を配線等で接続することなく、対向側部品に設置された制御装置により摩耗側部品の摩耗状態を適切に検知する。
【解決手段】本発明の摩耗検知装置は、摩耗側部品2に設けられ、摩耗側部品2の摺動面21に沿って配置された先端部41に摩耗検知用ライン43が設けられた摩耗ゲージ4と、摩耗側部品2に設けられ、摩耗検知用ライン43に接続される摩耗側発光素子6と、対向側部品3において、摩耗側部品2の摺動中に摩耗側発光素子6と対向可能な位置に設けられた受光素子8と、対向側部品3に設けられ、受光素子8による受光状態に基づいて摩耗ゲージ4の摩耗状態を検知する制御装置9とを備える。 (もっと読む)


【課題】水門設備の凍結防止部に配設された被加熱部材に管体を設置し、管体を誘導加熱によって発熱させる水門の凍結防止装置において、管体の加熱が不要な部分は発熱させず、管体の加熱が必要な部分を発熱させ、消費電力の低減を図る。
【解決手段】管体2に絶縁電線3を挿通し、絶縁電線3に交流電源4を接続し、絶縁電線3に交流電流を通電して管体2に誘導電流を生起させ、管体2を発熱させる。管体2が、被加熱部材(シールリング)13から交流電源4側に延出され、交流電源13側の端部2aから被加熱部材13の手前までの部分21は誘導電流が生じ難い第1材(非磁性体)で形成され、被加熱部材13の部分22は誘導電流が生じ易い第2材(磁性体)で形成されている。第2材(磁性体)の部分22が誘導電流により発熱するので、被加熱部材13を的確に加熱でき、消費電力の低減が図れる。 (もっと読む)


【課題】極端紫外光を放射するプラズマを生成するための理想的な面状放電を発生させることが可能なプラズマ光源を提供する。
【解決手段】プラズマ光源であって、互いに対向配置され、極端紫外光を放射するプラズマを発生すると共に前記プラズマを閉じ込める一対の同軸状電極10と、各同軸状電極10に対して極性を反転させた放電電圧を印加する電圧印加装置30とを備え、各同軸状電極10は、単一の軸線Z−Z上に延びる棒状の中心電極12と、中心電極12の中心軸Zに対して軸対称な面上に設けられた複数の外部電極14と、中心電極12及び各外部電極14の間を絶縁する絶縁体16とを有し、中心電極12と各外部電極14との間隔Gは、相手の同軸状電極10に面する側からその反対側に向かうに連れて増加している。 (もっと読む)


【課題】相対移動する摩耗側部品と対向側部品を配線等で接続することなく、対向側部品に設置された制御装置により摩耗側部品の摩耗状態を適切に検知する。
【解決手段】本発明の摩耗検知装置は、対向側部品3に設けられ、相異なる複数の周波数成分を含む混合信号を発生する信号発生部8と、混合信号を対向側部品3から摩耗側部品2に伝達する信号伝達部6と、摩耗側部品2に設けられ、摩耗側部品2の摺動面に沿って配置された先端部41に、複数の周波数成分に対応したノッチフィルタ部5が設けられ、信号伝達部6からノッチフィルタ部5に混合信号が入力される摩耗ゲージ4と、混合信号の入力に応じてノッチフィルタ部5から出力される計測信号を、摩耗側部品2から対向側部品3に伝達する信号伝達部7と、対向側部品3に設けられ、計測信号に含まれる周波数成分に基づいて、摩耗ゲージ4の摩耗状態を検知する周波数分析部9とを備える。 (もっと読む)


【課題】第1の部材と第2の部材とを溶接するにあたり、溶接を完了するまでの時間を短縮する。
【解決手段】後に溶接される第1の部材と第2の部材との位置決めを行う位置決め用冶具1であって、上記第1の部材及び上記第2の部材に当接して上記第1の部材及び上記第2の部材を位置決めする当接部4を備え、可燃性材料あるいはセラミックスから形成されている。 (もっと読む)


【課題】アレイアンテナ式のCVDプラズマ装置1の生産性を高いレベルまで向上させつつ、薄膜の品質を高めること。
【解決手段】サイド壁13の内壁面に、片側に吸収面51fを有しかつ基板Wを冷却する一対の冷却パネル47が垂直に配設され、サイド壁13の内壁面における一対の冷却パネル47の間に、両側に吸収面63fをそれぞれ有しかつ基板Wを冷却する複数の中間冷却パネル59が垂直に配設され、サイド壁13をチャンバー本体7の一側面側に対して着脱すると、各冷却パネル47が前端部側の基板エリアAとフロント壁9又は後端部側の基板エリアAとリア壁11との間に対して進退すると共に、各中間冷却パネル59が各隣接する基板エリアA間に対して進退するようになっていること。 (もっと読む)


【課題】三次元の位置情報を非接触で正確に入力することができる三次元入力装置を提供する。
【解決手段】三次元入力装置1は、ユーザによって操作され、ユーザの操作に応じた向きにレーザ光Lを射出する操作ペン10と、操作ペン10からのレーザ光Lを受光する複数の受光セル21bが配列形成された受光面21aと、操作ペン10からのレーザ光Lを受光した受光セルの受光面21a上における位置に基づいて受光面21a上における操作ペン10の平面位置を示す平面位置情報を検出するとともに、その受光セル21bから出力される受光信号の強度に基づいて受光面21aに対する操作ペン10の高さ位置を示す高さ位置情報を検出する検出部22とを備える。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成で、摩耗ゲージを摩耗側部品へ安定的に固定するとともに、メンテナンス性の向上を図る。
【解決手段】摩耗検知システム200は、摩耗側部品152の摺動面152a側に開口を有する孔部210と、孔部210に挿入可能であり、摩耗側部品152の摩耗状態を検知する摩耗検知部100と、摩耗検知部100の先端部130が摩耗側部品152の摺動面152aと面一となるように摩耗検知部100を孔部210に固定する固定機構250とを備え、摩耗検知部100は、導電性を有する材料で構成された1または複数の摩耗検知用ライン114を含んで構成され、摩耗検知用ライン114は摩耗側部品152の摩耗に伴って断線されるように配される。 (もっと読む)


【課題】長尺材の長手方向一方側をその他方側に影響を与えることなく曲げ加工することができる曲げ工具の提供。
【解決手段】長尺材100を曲げ加工する曲げ工具1において、長尺材100の短手方向一方側に位置する第1固定片10と、長尺材100の長手方向一方側において第1固定片10と間隔をあけて、長尺材100の短手向他方側に位置する第2固定片20と、長尺材100の長手方向一方側において第2固定片20と間隔をあけて、長尺材100の短手方向一方側に位置すると共に、第1固定片10及び第2固定片20と協働して長尺材100に対して曲げ加重を与える可動片30と、を有するという構成を採用する。 (もっと読む)


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