【課題】高い計測精度で微少流量の計測が可能で、サイズを小型コンパクト化できるとともに、各種の薬液にも対応が可能で、信頼性が高く、且つ低コストで容易に製造が可能な流量計を提供する。
【解決手段】拡大部を有し鉛直方向に配置されるケーシング１１と、ケーシング１１の拡大部１２内に封入され、ケーシング１１の下方から内部に流入し上方に向かう流体により押し上げられる、少なくとも一部に被検出面１３ａを有するフロート１３と、ケーシング１１の拡大部の外部に配置され、フロート１３の被検出面１３ａに磁気を及ぼすことでフロート１３の軸方向変位を検出する、少なくとも１つの変位センサ１５を備えた。 （もっと読む）

土壌、汚泥、堆積物、廃棄物、焼却灰等の固体状被汚染物から、固体状被汚染物に含まれている重金属類の難溶性の画分まで確実に除去することができる浄化方法及び装置を提供する。反応槽２は、アノード電極Ａとカソード電極Ｃとの間に設けられた隔膜Ｍによって、アノード電極Ａを含むアノード区域１０と、カソード電極Ｃを含むカソード区域２０とに隔離されている。カソード区域２０には、固体状被汚染物供給手段２２を介して重金属類を含む固体状被汚染物を、酸性物質又はアルカリ性物質供給手段２４を介して酸性物質又はアルカリ性物質を、場合によっては水供給手段２６を介して水を供給する。これらの混合物のスラリーを還元的雰囲気及び強酸性又は強アルカリ性雰囲気の共存下に維持して、重金属類を溶出及びカソード電極表面に電解析出させ、重金属類を固体状被汚染物及び間隙水から分離する。
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【課題】 プロセス状態に最適な状態で運転して、真空排気システムの効率を向上することができる真空排気システムを提供する。
【解決手段】 真空排気システム１０は、真空ポンプ２０，３０と、真空排気システム１０中の真空領域に設置された圧力センサ５０とを備えている。真空ポンプ２０，３０は、気体を移送する一対のロータと、一対のロータを回転させるモータと、一対のロータを同期させるタイミングギヤと、モータの回転速度を制御するドライバ２６，３６とを備えている。真空排気システム１０は、圧力センサ５０により検出された圧力に基づいて、真空ポンプ２０，３０のドライバ２６，３６を介してロータの回転速度を制御する制御部６０をさらに備えている。 （もっと読む）

【課題】多品種、少量生産、生産台数の変動が大きく、製品寿命が短いものを製造する小規模で且つフレキシブルに機能の変更、或いは装置の更新ができる製造ラインに好適な半導体基板製造装置を提供すること。
【解決手段】ロード／アンロード部１２０と、めっき膜成膜ユニット１１３等の複数の処理ユニット、半導体基板をユニット間で搬送する搬送機構（ロボット１３１〜１３４）を備えた半導体基板製造装置において、各ユニットの搭載部分にはガイドを有し、各ユニットはガイドに沿って移動することにより、半導体製造装置へ搭載又は半導体製造装置から取り外し、他のユニットと交換することができるようになっており、半導体製造工程で必要なユニットを自在に組み合わせて半導体製造装置を構成し、また半導体製造装置内の異なる処理を行うユニットどうしの交換をできるようにした。 （もっと読む）

【課題】 鉛入りはんだを用いることなく、比較的低温且つ低圧な条件で、しかも簡便に金属同士を接合できるようにする。
【解決手段】 少なくとも一方が銅からなる金属同士を接合するに際し、銅の接合面を酸化膜除去液に接触させて該接合面の酸化膜を除去し、銅の接合面に酸化膜除去液を付着させたまま、接合する金属の接合面を互いに接触させ、加熱・加圧して接合する。酸化膜除去液としては、例えば、蟻酸、ホルムアルデヒド、酢酸、プロピオン酸、グリオキシル酸、シュウ酸、クエン酸、コハク酸、酒石酸、フマル酸、マレイン酸、マロン酸、及びサリチル酸のいずれか１種類以上を含む水溶液が用いられる。 （もっと読む）

【課題】電子線装置のスループット向上、精度向上等の改善を目的とする。
【解決手段】本発明に係る電子線装置においては、電子線を放出する単一の電子銃と、コンデンサレンズと、複数の孔を設けた開口板と、Ｅ×Ｂ分離器と、対物レンズを有し、前記電子銃からの電子線を検査されるべき試料面上に照射する第一次光学系と、前記試料から放出され、前記対物レンズで加速され、かつ前記Ｅ×Ｂ分離器で前記第一次光学系から分離された二次電子を、二次電子検出装置に入射させる第二次光学系とを備え、前記コンデンサレンズを２段として前記電子銃に隣接して配置し、前記２段のコンデンサレンズの後方に前記開口板を配置し、電子線を前記開口板に照射して複数の電子ビームを形成するようにした。 （もっと読む）

【課題】 大きな地震が発生しても、フライト板のガイドレールからの脱線やチェーンのスプロケットホイールからの脱輪を防止することができ、安定した運転を継続できる汚泥掻寄せ機を提供する。
【解決手段】 チェーン７の走行に伴って沈殿池の内部を長尺状のフライト板８がガイドレール１０，１１，１２に沿って走行するようにした汚泥掻寄せ機において、前記フライト板８の上下面にガイドシュー２３，２４を備え、該ガイドシューがガイドレールと係合して、前記フライト板が前記ガイドレールに沿って走行するようにして、前記フライト板の両端の側面外側に、前記ガイドレールに沿って、前記フライト板から離隔した位置にガード板２７を配置した。また、駆動軸および従動軸において、前記チェーン７が係合するスプロケットホイール４６の外周面に沿って、チェーンの外側への脱輪を規制するチェーンガード４７を配置した。 （もっと読む）

【解決課題】 連続運転においても大きな電流密度を得ることができる有機性物質を利用する発電方法及び装置を提供する。
【解決手段】 嫌気性条件下で生育可能な微生物、有機性物質を含有する溶液もしくは懸濁液、電子メディエーター及びアノード１を含む嫌気性域４と、分子状酸素及びカソード３を含む好気性域５と、嫌気性域４及び好気性域５とを画定する隔膜２と、を具備し、アノード１及びカソード３を電力利用機器に電気的に接続して閉回路６を形成し、嫌気性域４内での有機性物質を電子供与体とする微生物の酸化反応と好気性域５内での酸素を電子受容体とする還元反応とを利用する発電装置。電子メディエーター又はアノードには、塩基性官能基が存在する。 （もっと読む）

【課題】メタン発酵微生物系においてメタン生成に関連する主要な微生物の動態解析に好適な定量検出手段になるヌクレオチドプライマーおよびそれらを用いたメタン発酵微生物系の評価法、さらにはその安定運転のために微生物動態をモニタリングおよび制御するのに役立つ指標を提供する。
【解決手段】メタン発酵微生物系における微生物処理活性を評価する方法であって、メタン発酵微生物系からサンプリングされた核酸試料を対象にして、特定のオリゴヌクレオチドプライマーを使用してPCR法を行うことにより、該メタン発酵微生物系においてメタン生成に関与する菌群を検出すること含む評価方法。 （もっと読む）

【課題】 蒸気発生器、予熱器、熱回収器の各機器を一体として構成することで、装置の小型化及び低廉化を図ることができる蒸気発生器、及び蒸気発生器を用いた排熱発電装置を提供すること。
【解決手段】 一つのプレート式の熱交換器で構成される蒸気発生器であって、熱交換器を予熱部４０−１と蒸発伝熱部４０−２に区分し、該予熱部４０−１と蒸発伝熱部４０−２のそれぞれの加熱側の板間流体流路４１、４１、…には排熱源からの排熱媒体１０１を流すと共に、予熱部４０−１と蒸発伝熱部４０−２の被加熱側の板間流体流路４２、４２、…には作動媒体２１を順に流し加熱・蒸発させるように蒸気発生器４０を構成した。 （もっと読む）