【課題】 リテーナリングが研磨面を押圧する圧力を周方向に沿って制御することができる基板保持装置を提供する。
【解決手段】 基板保持装置としてのトップリング２０は、ウェハＷを研磨面２２ａに押圧するトップリング本体２００と、トップリング本体２００の外周部に設けられ、研磨面２２ａを押圧するリテーナリング３０２とを備えている。リテーナリング３０２は、リテーナリング３０２の周方向に沿って一様でない所定の圧力分布を形成するように、リテーナリング３０２が研磨面２２ａを押圧する圧力を制御する圧力制御機構を備えている。圧力制御機構は、研磨面２２ａに接触するリング部材４０８と、独立に圧力制御された流体によりリング部材４０８を研磨面２２に押圧する複数の圧力室４１０とにより構成される。 （もっと読む）

【課題】廃棄物中に含まれる金属や灰分をリサイクル利用可能な状態で回収するとともに、ＣＯおよびＨ_２を多量に含有するガスを回収しＮＨ_３（アンモニア）合成等の化学合成用の原料にすることができる廃棄物の二段ガス化システムを提供する。
【解決手段】廃棄物ａからなる原料を流動層ガス化炉１にて低温で熱分解ガス化し、得られるガス状物質とチャーを溶融炉３０に導入して高温でガス化する廃棄物の二段ガス化システムにおいて、流動層ガス化炉１に原料を供給する原料供給系１０に、複数の移動可能な平板状の移動板が並列した移動床式貯留ヤード１１を設け、複数の移動板は原料を載置した状態で同時に前進し、複数の移動板は一部ずつ時間差（１／４τ）をおいて前進後退するように構成され、移動板が後退する毎に下流側の機器に原料を落下供給する。 （もっと読む）

無機栄養塩類を添加しなければ好気的及び／又は嫌気的生物処理が成り立たない廃水に対し、安価で容易に利用できる無機栄養塩類を利用する方法を提供する。 有機性廃棄物及び／又は有機性廃水処理の処理過程から回収したリン酸マグネシウムアンモニウムを、嫌気性処理工程及び／又は好気性処理工程からなる生物処理工程に添加し、無機栄養源として利用することを特徴とする回収リン酸マグネシウムアンモニウムの利用方法、及び装置。回収したリン酸マグネシウムアンモニウムの粒径を０．５ｍｍ以下の粒子にして、且つ／又はリン酸マグネシウムアンモニウムを添加する液のｐＨを１０以下として利用することが好ましい。
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マイクロチップ電気泳動、例えば、マイクロチップDGGEに有用な温度制御工程を含む分離方法およびそれを実施するための装置を提供する。
本発明は、予め設定された温度を維持しながら二本鎖核酸を塩基配列の違いにより分離するマイクロチップ電気泳動方法であって、分離用マイクロチャンネルを含む分離領域において二本鎖核酸を分離する時の温度を、前記設定温度の±2.5℃以下に制御することを特徴とするマイクロチップ電気泳動方法に関する。 （もっと読む）

【課題】 蒸気発生器、予熱器、熱回収器の各機器を一体として構成することで、装置の小型化及び低廉化を図ることができる蒸気発生器、及び蒸気発生器を用いた排熱発電装置を提供すること。
【解決手段】 一つのプレート式の熱交換器で構成される蒸気発生器であって、熱交換器を予熱部４０−１と蒸発伝熱部４０−２に区分し、該予熱部４０−１と蒸発伝熱部４０−２のそれぞれの加熱側の板間流体流路４１、４１、…には排熱源からの排熱媒体１０１を流すと共に、予熱部４０−１と蒸発伝熱部４０−２の被加熱側の板間流体流路４２、４２、…には作動媒体２１を順に流し加熱・蒸発させるように蒸気発生器４０を構成した。 （もっと読む）

本発明は、銅を含む各種廃水から銅等の金属を除去・回収する方法および装置に関する。本発明の方法は、銅を含む廃水を電気透析操作と電解析出操作を組み合わせるＣｕ処理工程（１０）により処理し、銅濃度が低められた処理水（１０７）を得るとともに、銅を回収する。
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【課題】スループットを大きくする等のため照射電流値を増加する場合にも試料表面の帯電量を適切に制御することができ、歪の小さい鮮明な画像データが取得され、信頼性の高い検査を行うことができる欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】欠陥検査方法は、荷電粒子ビーム２を試料１０に照射するビーム源１と、試料表面からの荷電粒子を検出部する検出部１８とを備える検査装置を用いる。試料１０の表面が所定の電気抵抗値を有する抵抗膜４２により被覆され、荷電粒子ビーム２が試料１０に照射され、試料表面から発生される二次荷電粒子等が検出部１８により検出される。 （もっと読む）

【課題】 スクリーンに捕捉されたし渣を掻き上げるレーキの爪先とスカート板の隙間を一定に安定に保ちつつレーキをガイドレールに沿って上昇させることができる除塵装置を提供する。
【解決手段】 水路内に上下に延びる多数のスクリーンバーを配列したスクリーン１３と、該スクリーンの上部に配置されたスカート板１４と、前記スクリーンに捕捉されたし渣を掻き上げるレーキ１９とを備えた除塵装置において、前記レーキには複数のレーキ爪２４，２５を備え、 前記スカート板には少なくとも１本のスカートガイド１５を備え、前記複数のレーキ爪の内、少なくとも１本のレーキ爪２４が前記スカートガイド１５と係合しつつ、前記レーキ１９が前記スクリーンに捕捉されたし渣を掻き上げる。 （もっと読む）

【課題】 粒子状物質の荷電を長時間安定して行い、分離・分級を効果的に行うことができる粒子状物質の分離・分級方法とその装置を提供する。
【解決手段】 被処理空間中の粒子状物質を分離・分級する装置において、光電子放出材３と、該光電子放出材に紫外線及び／又は放射線を照射する照射源１と、微粒子濃度を１００万個／ｆｔ³以下にする除塵手段１２とを有する光電子を発生させる清浄空間Ａと、該清浄空間Ａで発生した光電子を分離・分級するする粒子状物質１９を含有する被処理空間２０に供給する供給手段９と、光電子により荷電された粒子状物質２１を分級する、不用な微細な微粒子の捕捉除去を行う捕集電極２３、不用な比較的大きな微粒子の除去を行う細孔２４、及び、一定の粒径に揃った微粒子の取出口２５からなる分級部Ｅとを有することとした。 （もっと読む）

【課題】簡単な制御で作動媒体蒸気が気液分離器から熱回収器や凝縮器に吹きぬけることを防止すると共に、蒸気発生器１０１内の作動媒体循環量を概略適切に制御できる排熱発電装置。
【解決手段】蒸気発生器１１と、タービン１３と、凝縮器１５と、作動媒体循環ポンプ１６を備え、これら機器を作動媒体循環路１７で接続し、蒸気発生器１１とタービン１３の間に気液分離器１８を配置し、タービン１３で発電機１２を駆動する排熱発電装置において、凝縮器１５ら蒸気発生器１１に作動媒体を循環させる循環量を制御する循環量制御手段を設けると共に、気液分離器１８内の分離液面を検出する液面検出器２３を設け、気液分離器１８で分離された分離液２０６をオリフィス２１及び制御弁２２等から成る流量制御手段を介して凝縮器１５に導くと共に、液面検出手段２３で検出する気液分離器１８内の分離液面が所定のレベルとなるように作動媒体の循環量を制御する。 （もっと読む）