【課題】潤滑油系統から分離して作動媒体系の作動媒体中に混入した潤滑油を分離回収し潤滑油系に戻す潤滑油回収手段を備えた発電装置、及び潤滑油回収方法を提供すること。
【解決手段】蒸気発生器１１で発生した作動媒体蒸気を、タービン１３に導き発電機１２を駆動し、凝縮器１５にて凝縮した作動媒体液を送液ポンプ１６にて蒸気発生器１１に送り込み、潤滑油供給ポンプ２０により発電機１２の軸受１８、１９に潤滑油を送り込むように構成した発電装置において、気液分離器３４を流量制御手段（オリフィス２９）を介して潤滑油循環経路２４を接続し、蒸気発生器１１からの作動媒体の高圧蒸気１０２を気液分離器３４に導き、作動媒体液の液面付近の潤滑油と作動媒体の混合体を潤滑油循環経路２４に戻す。 （もっと読む）

【課題】嫌気性処理工程に阻害を及ぼす物質を含む有機性廃水を対象とした、高性能な上向流嫌気性汚泥床処理装置及び方法を提供する。
【解決手段】有機性廃水の嫌気性処理装置において、槽内にグラニュール汚泥と嫌気性処理工程に阻害を及ぼす物質を吸着あるいは付着させることができる固形物が存在している嫌気反応槽を具備することを特徴とする有機性廃水の処理装置、及び方法。前記固形物は、グラニュール汚泥より分離できるものであることが好ましく、具体的には粉状又は粒状の活性炭である。嫌気性反応槽は、上向流嫌気性汚泥処理装置であり、装置の本体側壁に、側壁との角度が３５度以下、かつ各占有面積が該装置の横断面積の２分の１以上の邪魔板を多段に有することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 チャージアップによるダメージを被処理物に与えることなく、高い異方性を保ったままエッチングなどの処理を行うことができる表面処理装置を提供する。
【解決手段】 本発明の表面処理装置は、プロセスガス活性化室１４と、プロセスガスをプロセスガス活性化室１４に供給するプロセスガス供給システム２４と、プロセスガス活性化室１４に供給されたプロセスガスを活性化するプロセスガス活性化機構３４と、被処理物が内部に配置される処理室２０と、処理室２０に反応ガスを供給するための反応ガス供給システム３１と、処理室２０を真空排気する真空排気機構１１と、プロセスガス活性化室１４と処理室２０との間に配置された多孔板１５とを備える。多孔板１５は複数の通孔１５ａを有する。 （もっと読む）

【課題】 フロートスイッチの数を最小限にした安価かつ簡易な構成で、複数台の水中ポンプを交互に自動運転することができるポンプ装置を提供する。
【解決手段】 第１の水中ポンプ１は、第１の運転開始水位Ｌ_Ｓ１と第１の運転停止水位Ｌ_Ｅ１とを検出する第１のフロートスイッチ１０を有しており、第１の運転開始水位Ｌ_Ｓ１が検出されたときに運転を開始し、第１の運転停止水位Ｌ_Ｅ１が検出されたときに運転を停止するように構成されている。第２の水中ポンプ２は、第２の運転開始水位Ｌ_Ｓ２と、第２の運転停止水位Ｌ_Ｅ２とを検出する第２のフロートスイッチ２０と、異常水位Ｌ_Ａを検出する第３のフロートスイッチ３０とを有しており、第２の運転開始水位Ｌ_Ｓ２が検出されたときに所定の回数に１回の割合で運転を開始し、第２の運転停止水位Ｌ_Ｅ２が検出されたときに運転を停止し、異常水位Ｌ_Ａが検出されたときに運転を開始するように構成されている。 （もっと読む）

ドライ真空ポンプの故障を予知することができる真空ポンプ故障予知方法、真空ポンプ故障予知システム、及び真空ポンプ集中監視システムが提供される。真空ポンプ故障予知方法は、真空ポンプのロータを回転させるモータの電流の積分値若しくは平均値が所定の警報設定値を超えたときに故障の発生を判定し、警報を発生する。ケーシングと該ケーシング内に回転自在に配置されたロータとを具備し、該モ一夕の回転により気体を吸込み吐出す真空ポンプの故障を予知する真空ポンプ故障予知システムにおいては、ロータは複数段を備え、ロ一夕段間に圧力センサを設ける。ロータを回転させるモータの電流の積分値若しくは平均値の計算を行い、該積分値若しくは平均値が所定の警報設定値を超えたときに真空ポンプの故障予知を行う故障予知部が設けられる。圧力センサで検出した圧力値に基づいて、故障予知部は故障予知計算方法を切り替え又は中断する。
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【課題】潤滑油系統から分離して作動媒体系の作動媒体に混入した潤滑油を回収し潤滑油系に戻す潤滑油回収手段を備えた発電装置、及び潤滑油回収方法を提供する。
【解決手段】蒸気発生器１１で発生した作動媒体蒸気をタービン１３に導き発電機１２を駆動し、凝縮器１５にて凝縮した作動媒体液を送液ポンプ１６にて蒸気発生器１１に送り込み、潤滑油供給ポンプ２０により発電機１２の軸受１８、１９に潤滑油を送り込むように構成した発電装置において、蒸気発生器１１からの作動媒体蒸気を気液分離器３４に導き、分離された潤滑油が混入した作動媒体液１０７を冷却器４９に導き冷却し、該冷却された作動媒体液を油液分離器３７に導き比重差により潤滑油と作動媒体液を分離し、分離された潤滑油を潤滑油タンク２１に戻すと共に、該分離された作動媒体液を凝縮器に戻す。 （もっと読む）

【課題】研磨面に凹凸があっても、これを容易且つ確実に平坦化させて、効率的に研磨面の再生を行うことができるようにする。
【解決手段】被研磨材の被研磨面に相対摺動して該被研磨面を平坦且つ鏡面状に研磨する研磨テーブル１０の研磨面１６ａをドレッシングするドレッサ３６を有するドレッシング装置であって、研磨面１６ａとドレッサ３６とを互いに摺接させて該研磨面１６ａをドレッシングしている時に研磨面１６ａとドレッサ３６との間に作用する摩擦負荷を直接または間接に検知するセンサ４４ａ，４４ｂと、該センサ４４ａ，４４ｂの出力に応じてドレッシング進行状況を判定する判定手段４６，４８を有する。 （もっと読む）

【課題】 静電レンズと試料との間の放電を防止し、かつ高い電圧を印加可能で、さらに、対物レンズの軸上色収差の絶対値と軸上色収差補正レンズの軸上色収差の絶対値とが等しくなるように調整可能なパラメータを持つ対物レンズを提供する。
【解決手段】 電子線装置であって、電子線の焦点を合わせて試料に照射する対物レンズを備え、対物レンズは、試料側に向うほど半径が小さくなる、少なくとも１つの円錐形状の電極と、軸対称電極とを有し、軸対称電極は、前記円錐形状の電極より試料側に配置されたほぼ接地の電極であり、試料面での電界強度を小さくする位置に配置され、さらに、負の軸上色収差を生じる多極子レンズと、電圧制御装置とを備え、電圧制御装置が軸対称電極の電圧を調整して、もしくは軸対称電極の電圧と少なくとも１つの円錐形状の電極の電圧との双方を調整して、対物レンズの軸上色収差の絶対値を多極子レンズの軸上色収差の絶対値と等しくする。 （もっと読む）

【課題】 従来の生物浄化装置にて処理された処理液の全窒素濃度の限界は１０ｍｇ／リットル程度であり、この値以下に窒素除去をすることは極めて困難であった。また、通常１０〜１２時間であるＨＲＴ(滞留時間)を短縮するという要望が強い。更に、最終沈殿池を設けずに処理液の透明度を改善するという要望も強かった。
【解決手段】 本発明の生物膜ろ過システムは、生物膜ろ過装置等の生物浄化装置の下流に、制御された水素供与体を注入しかつ制御された酸素含有気体を注入する生物膜ろ過型浄化槽を配し、上記の課題を解決した。
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【課題】摩擦係数を低減し、耐摩耗性を向上させた軸受け構造またはシール構造を提供する。
【解決手段】可動部材と静止部材とを有する軸受又はシール構造において、前記可動部材２及び静止部材４の少なくとも一方の部材は熱膨張係数が８×１０−６／℃以下の材料でつくられており、前記可動部材と静止部材の少なくとも一方の部材の前記部材同士の対向面側には、多結晶ダイヤモンドが被覆されている。他方の部材は、ＳｉＣ焼結部材またはＳｉＣで被覆された部材、炭化物系超硬合金材、ＡＬ２Ｏ３やＺｒＯ２などの酸化物系焼結部材、ＴｉＮ材などの窒化物系材料が被覆された部材である。この軸受け構造およびシール構造を、ポンプ、タービン、圧縮機等の回転機械に搭載する。 （もっと読む）