【課題】配線数が少なくて済み、製作が容易で且つノイズ等も抑制できる電磁石制御装置を提供すること。
【解決手段】複数の電磁石１０を備え、該電磁石１０の励磁コイルΧに所定波形の励磁電流を通電することにより、所定の磁場空間を形成する電磁石制御装置であって、励磁コイルΧに任意の励磁電流を通電するドライバー１１と、励磁コイルに通電する励磁電流値をドライバーに指令する電流制御部１２と、を備え、ドライバー１１と電流制御部１２をユニット２０として、複数ユニット２０を別置きにし、各ユニットの電流制御部とドライバーをデイジーチェーンのシリアル通信で接続し、電源部から各ユニットへ電流をマルチドロップで供給可能なバスライン２２で供給する。 （もっと読む）

【課題】ドライバーと電磁石の励磁コイルと接続する大電流容量のケーブルが不必要で電流ロスの発生が少なくて、設備コスト及びランニングコストの安価な電磁石駆動制御装置、及び電磁石装置を提供すること。
【解決手段】電磁石１０を備え、該電磁石１０の励磁コイルＸに所定波形の励磁電流を通電することにより、隔壁で仕切られた所定の空間に磁界を形成する電磁石装置を駆動制御する電磁石駆動制御装置であって、励磁コイルＸに任意の励磁電流を通電するドライバー１２と、励磁コイルＸに通電する励磁電流ｉをドライバー１２に指令する電流制御部１６を備え、ドライバー１２と電流制御部１６を別置きとし、ドライバー１２と電磁石１０の励磁コイル又は接近として配置したドライバー・電磁石ユニット２とした。 （もっと読む）

【課題】励磁コイルのレイヤショートや励磁コイルの損傷等の励磁コイルの軽微な異常及びコイル温度異常を精度よく検知できる励磁コイルの故障検知及び／又は故障予知手段を備えた電磁石駆動制御装置を低コスト・省スペースで提供すること。
【解決手段】隔壁で仕切られた空間内に磁場を形成する電磁石駆動制御装置であって、励磁コイルに供給すべき目標励磁電流信号Ｓ１に基づいて電流指令信号Ｓ３を出力する電流指令部１６と、励磁コイルΧに励磁電流を供給する電流増幅器と、励磁電流を検出する電流検出器２０と、電流検出信号Ｓ５を電流指令部１６にフィードバックするフィードバック系とを備え、フィードバック制御によって決定される電流指令信号Ｓ２の値と、目標励磁電流値Ｓ１を基にドライバー１１の入出力特性、及び励磁コイルΧの特性から算出される電流指令信号想定Ｓ８の値が、所定値以上乖離した場合にコイル不良とする。 （もっと読む）

【課題】試料表面に異物が付着することを極力防止することができる電子線検査装置を提供する。
【解決手段】試料２００を配置したステージ１００が真空排気可能な真空チャンバ１１２の内部に設置されており、該試料２００の周囲を包囲する位置に集塵電極１２２が配置されている。集塵電極１２２には、試料２００に印加される電圧と同じ極性で絶対値が等しいかそれ以上の電圧が印加される。これにより、集塵電極１２２にパーティクル等の異物が付着するので、試料表面への異物付着を低減することができる。集塵電極を用いる代わりに、ステージを包含する真空チャンバの壁面に凹みを形成するか、又は、所定の電圧が印加されるメッシュ構造の金属製平板を壁面に敷設してもよい。また、中央に貫通孔１２４ａを有する隙間制御板１２４を試料２００及び集塵電極１２２の上方に間隙制御板１２４を配置することにより、異物付着をより低減することができる。 （もっと読む）

【課題】ＣＡＲＥ法のメリットを延ばし、ＣＡＲＥ法のデメリットを補完することで、十分な加工速度を確保しながら、被加工物の加工後における加工表面にダメージを残すことなく該加工表面の平坦度を高めた表面除去加工を行うことができるようにする。
【解決手段】緩衝剤を含む第１処理液中に被加工物を配し、ガラス系金属酸化物からなる触媒定盤を透過させて被加工物の被加工面に光を照射させながら、触媒定盤の表面を被加工物の被加工面に接触または極接近させる光照射触媒基準エッチングで初期表面除去工程を行い、ハロゲン化水素酸、過酸化水素水またはオゾン水からなる第２処理液中に被加工物を配し、少なくとも表面が、白金、金、セラミックス系固体触媒、遷移金属、及びガラス系金属酸化物の何れかのみからなる触媒定盤の該表面を被加工物の被加工面に接触または極接近させる触媒基準エッチングで最終表面除去工程を行う。 （もっと読む）

【課題】特にシール部材の交換等のメンテナンス性を改善できるようにした基板ホルダを提供する。
【解決手段】基板Ｗの外周部を挟持して基板Ｗを着脱自在に保持する固定保持部材５４及び可動保持部材５８と、可動保持部材５８に取付けられ、可動保持部材５８と固定保持部材５４で基板Ｗを保持した時に、可動保持部材５８と基板Ｗの外周部との間、及び可動保持部材５８と固定保持部材５４との間をそれぞれシールする内側シール部材６６及び外側シール部材６８を有し、内側シール部材６６及び外側シール部材６８は、シールホルダ６２と該シールホルダ６２に取付けられる固定リング７０との間に挟持されて可動保持部材６８に取付けられている。 （もっと読む）

【課題】磁性流体シールを使用する必要がない磁気浮上型を採用し、しかも装置としてのアキシャル方向の長さを極力短くすることができるようにする。
【解決手段】回転動力を出力する回転子１２を備え、回転子１２は、回転子１２のラジアル方向に配置されて該回転子１２のラジアル方向変位を非接触で制御する２組以上のラジアル磁気軸受４０と、回転子１２の周囲に３組以上に分割配置されて該回転子１２のアキシャル方向変位を非接触で制御するアキシャル磁気軸受５０によって、所定の位置に非接触で回転支承され、ラジアル磁気軸受４０のラジアル電磁石４４とアキシャル磁気軸受５０のアキシャル電磁石５４は、略同一平面上に配置されてケーシング部１４に固定されている。 （もっと読む）

【課題】圧力室を形成するメンブレンを用いた基板保持装置において研磨中に半導体ウエハ等の基板の温度を推定して基板の温度を制御することができる基板保持装置および該基板保持装置を備えた研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨面１０１ａを有した研磨テーブル１００と、基板Ｗを保持して研磨面１０１ａに押圧する基板保持装置１と、制御部５０とを備えた研磨装置であって、基板保持装置１は、基板に当接して基板保持面を構成する弾性膜４と、弾性膜４の上方に位置するキャリア４３と、弾性膜４とキャリア４３との間に形成された圧力室５，６，７，８と、弾性膜４からの熱エネルギを測定する赤外線検出器４５とを備え、制御部５０は、赤外線検出器４５による測定値を用いて弾性膜温度推定値を算出する。 （もっと読む）

【課題】研磨パッドの寿命を正確に決定することができ、研磨パッドの交換頻度を少なくすることができる研磨装置を提供する。
【解決手段】本研磨装置は、研磨テーブル１２を回転させるテーブル回転モータ７０と、トップリング２０を回転させるトップリング回転モータ７１と、研磨パッド２２をドレッシングするドレッサ５０と、研磨パッド２２の高さを測定するパッド高さ測定器６０と、研磨パッド２２の高さから研磨パッド２２の減耗量を算出し、研磨パッド２２の減耗量と、テーブル回転モータ７０のトルクまたは電流と、トップリング回転モータ７１のトルクまたは電流とに基づいて研磨パッド２２の寿命を決定する診断部４７とを備える。 （もっと読む）

【課題】製造装置における運転工程、製造装置に供給されるガスの種類およびガス流量をコントローラに入力することにより、真空ポンプ、排ガス処理装置等を最適な運転条件で運転することができ、また排気系システム側の機器のメンテナンス要求等を製造装置側に出力することにより、適正なタイミングで排気系システムの機器をメンテナンスできる排気系システムを提供する。
【解決手段】半導体デバイス又は液晶又はＬＥＤ又は太陽電池を製造する製造装置のチャンバを排気する排気系システムにおいて、真空ポンプ装置３と、排ガスを処理する排ガス処理装置５と、真空ポンプ装置３及び／又は排ガス処理装置５を制御するコントローラ６とを備え、製造装置１の運転工程、製造装置１に供給されたガスの種類およびガス流量の情報をコントローラ６に入力して真空ポンプ装置３及び／又は排ガス処理装置５を制御するようにした。 （もっと読む）