【課題】 ウェット洗浄処理後に行われる乾燥処理で、基板を迅速かつ確実に乾燥できるようにした基板処理装置、並びに、基板のベベル部乃至エッジ部に成膜乃至付着した不要な薄膜を、例え硬質な膜であっても、急勾配なエッジプロファイルを得た状態で、短時間で除去でき、しかも、不要な薄膜を除去した後のベベル部乃至エッジ部における表面粗さを小さく抑えることができるようにする。
【解決手段】 本発明の基板処理装置は、基板Ｗを保持する基板ホルダ２２と、基板ホルダ２２で保持した基板Ｗの表面の少なくとも一部が曝される雰囲気を、湿度が制御されたドライガス雰囲気にするドライガス供給部３２，３６とを有する。本発明の基板処理システムは、基板のベベル部乃至エッジ部に成膜乃至付着した薄膜を研磨する研磨装置と、研磨装置による研磨後の基板のベベル部乃至エッジ部に残った薄膜をエッチング除去するエッチング装置とを有する。 （もっと読む）

【課題】 （１）電極寿命の長寿命化、（２）電極反応による副生成物、有害物質または腐食性物質の生成抑制、（３）メンテナンスの簡易化が可能となる複極室および該複極室を備えた電気化学的液体処理装置を提供する。
【解決手段】 電気透析装置および電気分解装置に用いる複極室において、陽極側より順に、アニオン交換膜、電極およびカチオン交換膜の順に設置し、カチオン交換膜とアニオン交換膜の間に供給する液体が純水である。 （もっと読む）

【課題】燃料電池を用いる非常用発電システムの燃料電池や燃料を商用する筐体外壁面に太陽電池モジュールを設け、該太陽電池モジュールで発電する電力を待機電力として利用することで商用待機力を削減でき、ランニングコストを安価にできる非常用発電システムを提供すること。
【解決手段】筐体１０内に、燃料電池１１と、燃料となる水素ガスを収容した水素ガス容器を備え、停電時に手動又は自動で前記燃料電池の発電運転を開始し、対象とする重要負荷３２に電力を供給する非常用燃料電池発電システムにおいて、筐体１０の外壁面に太陽電池モジュール１５を設け、該太陽電池モジュール１５による発電電力により当該システムの待機電力の一部を賄うように構成した。 （もっと読む）

【課題】装置内の不凝縮性ガスの排出に真空ポンプを用いることなく、安価で信頼性の高い不凝縮性ガス排出手段を具備する真空蒸発式蒸留装置を提供すること。
【解決手段】熱源から直接又は間接に供給される熱で、減圧下で原水を加熱し、水蒸気を発生させ該水蒸気を凝縮して淡水を製造する蒸発蒸留器１０を備え、製造された淡水を排出する淡水排液ポンプ３０を備えた真空蒸発式蒸留装置において、装置内の不凝縮性ガスを収集する抽気手段（抽気管１７、エゼクタ２３等）と、抽気手段で収集された不凝縮性ガスを大気圧以下で貯留する抽気タンク１６を設けると共に、淡水排液ポンプ３０を用いて該抽気タンク１６を大気圧以上若しくは大気圧程度まで加圧できるようにし、抽気タンク１６内の不凝縮性ガスを排出する場合、淡水排液ポンプ３０で抽気タンク内１６を加圧して、該不凝縮性ガスを装置外へ排出する。
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【課題】 半導体デバイスの製造工程における半導体素子等の試料の検査を行うために好適な装置および方法であって、構造が簡単で廉価で操作性が良好な試料の検査装置および方法を提供する。
【解決手段】 試料室２内に配置された試料１表面に電荷を与える電荷供給装置３と、試料１表面にガスを供給するガス供給装置４と、前記ガスが試料１表面に接触し試料１表面の電荷がガスに転化することにより生成されたイオンを加速する静電レンズ５と、加速され結像したイオンを撮像する検出器７とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 電解析出による処理液の金属イオン濃度を外部放出が可能なレベルまで低減することができ、且つ半導体製造装置で発生する廃水量が多くても処理可能な電解析出処理装置および方法を提供する。
【解決手段】 被処理水中の金属イオンを金属として析出させる陰極３と、陰極３に対向して配置されたカチオン交換膜４と、カチオン交換膜４に対向するようにカチオン交換体５を介して設置された陽極６とを備え、被処理水を陰極３とカチオン交換膜４との間の空間に供給する。 （もっと読む）

【課題】ポンプピットの天井に大きな穴を設ける必要なくポンプケーシングを除く水中モータポンプをバランスのとれた状態で引上げることができ、且つポンプケーシングも最も効率の良い形状とすることができるポンプ装置を提供すること。
【解決手段】ポンプピット１５内に配設された着脱曲管（吐出配管）１７にポンプケーシング１３の吐出口が接続された水中モータポンプ１０を備えたポンプ装置であって、ポンプケーシング１３を除くポンプ回転体部（インペラ１２等）と、該ポンプ回転体部を駆動する水中モータ１１を一体の組立体として該組立体をポンプケーシング１３に着脱自在に配置した。 （もっと読む）

【課題】 外鉄形変圧器コアの一対の環状鉄心とコイルとを容易に分離することができる変圧器コイル分離方法及びシステムを提供する。
【解決手段】 外鉄形変圧器コアを構成する一対の環状鉄心と、各鉄心の開口を通して巻かれたコイルとを分離するための方法である。(a)環状鉄心の環状面に向かって、コイルの巻き付け方向と略垂直に刃物を移動してコイルを切断する工程と、(b)環状鉄心の一部が(a)の工程でできたコイルの切れ目を通るようにコイルを移動することにより、該環状鉄心とコイルとを分離する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置の内部空間やクリーンルームなどの高度の清浄度が必要とされる空間内の空気を浄化するのに好適に用いられる濾材を提供する。特に、湿度が低い雰囲気中で用いることができ、かつ複数の除去機能を持ち、しかも圧力損失が少ない濾材及び該濾材を備えたフィルタユニットを提供する。
【解決手段】 気体を浄化する濾材であって、有機物を吸着する活性炭と、酸性ガスまたはアルカリ性ガスを吸着するゼオライトと、複数の不織布とを備え、前記活性炭及び前記ゼオライトを前記複数の不織布の間に配置した。 （もっと読む）

【課題】 接触部材の各部位を通過するイオン電流の流れを制限し、例えば一つの加工電極及び／または給電電極にあたかも複数の加工電極及び／または給電電極が存在するように作用させることで、被加工物の被加工表面をより均一な加工速度で加工し、品質の高い加工表面を得ることができるようにする。
【解決手段】 被加工物Ｗに近接自在な加工電極７０と、被加工物Ｗに給電する給電電極７２と、被加工物と加工電極または給電電極の少なくとも一方との間に配置され、電解質を有する電解質部７４ｂと電解質を有しない非電解質部７４ａをそれぞれ１つ以上有する接触部材７４と、加工電極と給電電極との間に電圧を印加する電源４６と、被加工物と加工電極または給電電極の少なくとも一方とを相対運動させる駆動部と、被加工物と加工電極または給電電極の少なくとも一方との間に流体を供給する流体供給部を有する。 （もっと読む）