基板の表面を処理するために必要な反応性物質やキャリアガスなどを効率的に利用するとともに、ガスの移送のための設備を簡略化し、省エネルギー化を図ることができる基板処理装置を提供する。反応性物質を含むプロセスガスを供給するガス供給源１２と、ガス供給源１２に接続されプロセスガスを貯留するリザーバタンク１４と、内部に配置された基板をプロセスガスに曝露する反応器１０と、反応器１０の内部のプロセスガスをリザーバタンク１４に導入する第１の循環配管３８と、リザーバタンク１４内のプロセスガスの少なくとも一部を反応器１０に導入する第２の循環配管４２と、第２の循環配管４２に設置され反応器１０に導入されるプロセスガスの量を調整する流量調整バルブ４４とを備えた。
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本発明は、半導体ウエハなどの基板の表面に形成された薄膜の厚みなどを測定する測定装置に関するものである。本発明の測定装置は、物質にマイクロ波を照射するマイクロ波照射手段（４０）と、マイクロ波照射手段（４０）にマイクロ波を供給するマイクロ波源（４５）と、物質から反射した、又は物質を透過したマイクロ波の振幅又は位相を検出する検出手段（４７）と、検出手段（４７）により検出されたマイクロ波の振幅又は位相に基づいて物質の構造を解析する解析手段（４８）とを備える。
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可燃性廃棄物等の可燃性原料を流動床式の炉内に供給する供給系のシール機能を高め、且つ不定形な可燃性原料を安定的に供給でき、更に建設コスト等が安価となる可燃性原料供給装置、該可燃性原料供給装置を用いた可燃性原料ガス化装置及び可燃性原料ガス化方法を提供すること。流動床式のガス化炉又は燃焼炉２０の流動層２３上に可燃性原料１０２を供給する可燃性原料供給装置であって、水平面に対して２０度以上８０度以下の角度で下流側が上方になるように傾斜させたスクリューコンベヤ１０を設け、該スクリューコンベヤ１０のコンベヤケーシング１１内に流動媒体１０１が流入し、コンベヤケーシング１１内に充満するようにした。

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【課題】加熱媒体の出入り口温度差が大きい場合に、その排熱を有効に使って、効率良く冷熱を製造できる吸収冷凍機及びそのような吸収冷凍機を備える吸収冷凍システムを提供する。
【解決手段】吸収液を加熱媒体３１ｗで加熱して濃縮する第１の発生器Ｇ１と；第１の発生器Ｇ１で発生した冷媒蒸気を第１の冷却媒体１６ｗで冷却し凝縮する第１の凝縮器Ｃ１と；第１の発生器Ｇ１で濃縮された吸収液を加熱媒体３１ｗで加熱してさらに濃縮する第２の発生器Ｇ２と；第２の発生器Ｇ２で発生した冷媒蒸気を第１の冷却媒体１６ｗで冷却し凝縮する第２の凝縮器Ｃ２とを備え；加熱媒体３１ｗを、第２の発生器Ｇ２と第１の発生器Ｇ１に、この順に直列に流し、第１の冷却媒体１６ｗを、第１の凝縮器Ｃ１と第２の凝縮器Ｃ２に、この順に直列に流すように構成された吸収冷凍機。 （もっと読む）

【課題】冷温水製造と共に発電が可能で、発電単独の運転もでき、膨張機の軸受けの潤滑問題を解消した膨張機を組込んだ吸収冷温水装置を提供する。
【解決手段】冷媒と吸収剤と界面活性剤とを含んだ媒体を用いて吸収冷凍サイクルを構成する吸収冷温水機に、該吸収冷凍サイクルで発生する冷媒蒸気で稼動する膨張機１又は発電機２と膨張機１を組込んだ吸収冷温水装置であって、前記１が、軸受けの潤滑に、吸収冷凍サイクルに用いる媒体と同じ界面活性剤を用いることとしたものであり、また、１が、スクリュー型であり、スクリューロータを回転させるタイミングギアの潤滑、スクリュー歯形間の液シール及びスクリュー歯形間の潤滑に、前記吸収冷凍サイクルに用いる媒体と同じ界面活性剤を用いることができ、前記吸収冷温水機には、用いる蒸発器Ｅ及び／又は凝縮器Ｃ出口に界面活性剤分離器７を設けてもよい。 （もっと読む）

【課題】一つのプリコート再生設備で仕様の異なる複数のろ過脱塩器のプリコート型フィルムエレメントの再生処理ができるろ過脱塩装置を提供すること。
【解決手段】プリコート材供給タンク３、エダクタ６、プリコートタンク４、プリコートポンプ５を有するプリコート再生設備を具備するろ過脱塩装置であって、複数のろ過脱塩器１、２は仕様の異なるろ過脱塩器を含み、プリコートポンプ５の出口配管にポンプ循環ライン１３を設けると共に、循環流量調整弁２６を設け、該循環流量調整弁２６の開度調整と流量設定弁２３、２４の開閉状態とにより、仕様の異なるろ過脱塩器１、２にプリコート液を供給する。この時のプリコート液のスラリー濃度は複数仕様の最高値が０．０６ｗｔ％（好ましくは０．０５ｗｔ％）、その他はこの値以下になるようにする。 （もっと読む）

【課題】資源ごみ等の排出物の回収を効率よく行う。
【解決手段】回収箱８は回収車により運搬可能であり、排出物を種類毎に蓄積するための複数の区画８１を備えている。回収箱はさらに、蓄積された排出物蓄積量を検出するレベルセンサ８２と、回収箱の位置をＧＰＳ機能によって検出する位置検出手段８５とを備え、レベルセンサが、排出物の蓄積量が回収すべき所定の値であることを検出すると、制御手段８７の制御の下で、回収量が適性であることを表す情報と、位置検出手段によって検出された位置情報とを、送信手段８３を介して情報管理センタに送信する。記憶手段８６に記憶された、回収箱を識別する回収箱識別情報も送信され、情報管理センタは、識別情報によって回収すべき回収箱の形式を識別し、その形式の未蓄積の回収箱を保有する運搬車両を回収に向かわせることができる。 （もっと読む）

【課題】 ポンプ装置を水槽から引き上げた時の、いわゆるポンプドライ状態のときの質量を大幅に増加させることなくポンプ装置の固有振動数を低くすることで運転中の共振を防止することができる立型ポンプ装置を提供する。
【解決手段】 吸込水槽の上部に設置される立型ポンプ装置において、内部が中空な液室３０を吸込水槽内に垂下する部位に取り付け、液室３０に、吸込水槽内の取扱液の水位に応じて内部に取扱液が出入りするための通孔３１ａ、３１ｂを設けた。 （もっと読む）

【課題】 誘電率の低い有機物を主成分とする層間絶縁膜層に接して金属又は化合物の薄層からなる拡散障壁層の相互間の結合が強く、その界面で剥離・脱離が発生することのない配線構造及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 誘電率の低い有機物を主成分とする層間絶縁膜層に接して金属又は化合物の薄層からなる拡散障壁層を堆積・被覆し、該拡散障壁層に接して導電部分を配設することによって構成される配線構造であって、層間絶縁膜層（有機絶縁膜層）３０と拡散障壁層との界面付近に高速粒子照射により両側の部材を構成する原子又は分子が互いにミキシングされた状態のミキシング領域（ミキシング層３１）を形成した。 （もっと読む）

【課題】 ポンプを停止すると一切の制御なしに吐出管のサイフォン部に空気が入ってサイフォンが解消できるポンプ装置を提供すること。
【解決手段】 ポンプ２と吐出管３を具備し、該吐出管３が吐出し水面１０より高い位置を経由して該吐出し水面１０の下に開口するサイフォン部９を有するポンプ装置において、サイフォン形状の吐出管３頂付近に一端が接続された空気供給管７の他端と一端が大気に開放された空気吸込管６の他端を規定高さで合流部４とし、該合流部４を吐出管３の接続口５に接続し、ポンプ２の運転中は吐出水の動水位により空気をポンプ吐出管３に吸込むことなくサイフォンを形成したまま運転を継続し、該ポンプ停止後は空気吸込管６及び空気供給管７を通して自動的にサイフォン部９の頂部に空気を吸込みサイフォンを破壊する。 （もっと読む）