【課題】小型化が可能で、低周波数領域から高周波数領域までの広い週数帯域での騒音を効果的に低減できる複合型サイレンサ、及び該サイレンサを備えたドライ真空ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】ガス流路６１のガス流れの上流側に共鳴型サイレンサ５３−１を、下流側に膨張型サイレンサ５３−２を配置し、該共鳴型サイレンサ５３−１と膨張型サイレンサ５３−２を一体に構成した。また、ドライ真空ポンプを備え、該ドライ真空ポンプの排気流路に上記複合型サイレンサを、排気ガス流れの上流側に共鳴型サイレンサを、下流側に膨張型サイレンサを配置して設けたドライ真空ポンプ装置。 （もっと読む）

【課題】不品点数が少なく安価で、小型化が可能で、且つ騒音を消音できる排気ユニット、及び該排気ユニットを装備したドライ真空ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】最終段に気体を吐出す吐出口１８、中間部に圧力逃し孔１９を備えた多段真空ポンプに装備する排気ユニット５０であって、多段真空ポンプ１０の吐出口１８に接続する排気部逆止弁５１と、中間部の圧力逃し孔１９に接続する中間部逆止弁５２と、該排気部逆止弁５１及び中間部逆止弁５２の後流側に設けるサイレンサ５３を一体構成とした。 （もっと読む）

【課題】１台又は直列に接続された複数台の多段容積型ドライ真空ポンプを備えたドライ真空ポンプ装置で、多段容積型ドライ真空ポンプの最終段吐出口及び中段中抜吐出口から吐出される気体の騒音を小型化が可能で、低周波数領域から高周波数領域までの広い周波数帯域で効果的に低減できるサイレンサを備えたドライ真空ポンプ装置を提供する。
【解決手段】最終段吐出口、中段中抜吐出口（圧力逃し孔１９）を備えた多段容積型ドライ真空ポンプ１０を備えたドライ真空ポンプ装置であって、最終段吐出口１８に排気部逆止弁５１を接続すると共に、中段中抜吐出口（圧力逃し孔１９）に過圧縮防止逆止弁（中間部逆止弁５２）を接続し、逆止弁と過圧縮防止逆止弁の吐出口を排気流路５６に接続し、該排気流路５６にサイレンサ５３を設け、該サイレンサ５３より下流側の該排気流路５６を排気口に接続した。 （もっと読む）

【課題】インバータ回路で代表される自己発熱量の大きい大電流回路を冷却水等の冷媒液による高効率冷却手段で冷却することにより、冷却構造の小型化が可能で、装置全体の小型化が可能なドライ真空ポンプ装置の冷却構造、及び冷却方法を提供すること。
【解決手段】整流器で交流電力を直流電力に変換し、該直流電力をインバータ回路で交流に変換し、ドライ真空ポンプを駆動する駆動用電動機に供給する電源装置と、ドライ真空ポンプと駆動用電動機と組み込んだポンプ装置を一体のインクロージャに収容したドライ真空ポンプ装置の冷却構造であって、大電流回路を収納した第１の電装エンクロージャ（インバータ部１６）と、制御回路を収納した第２の電装エンクロージャ（制御回路部１９）と、を備え、第１の電装エンクロージャは冷媒液による高効率冷却手段１５で冷却し、第２の電装エンクロージャは強制又は自然空冷手段で冷却する。 （もっと読む）

【課題】一台の補機ポンプによりパッド型スラスト軸受への高圧液の注入とモータ室へのパージ液の供給とを実行できるモータパージシステムを備えた縦軸シールレスモータポンプ、及び加圧水型原子力発電システムを提供すること。
【解決手段】高温液体を取り扱うポンプ部Ｐと、モータ部Ｍから構成され、モータ部Ｍの下端からモータ室にパージ液を注入するモータパージシステムを備える縦軸シールレスモータポンプにおいて、モータパージシステムは、スラスト軸受加圧ラインＬ１と、モータ室パージ液注入ラインＬ２と、パージ液加圧ラインＬ３を備え、三方弁１４を介して加圧パージ液をスラスト軸受加圧ラインＬ１とモータ室パージ液注入ラインＬ２に切り替え供給できるようにし、バイパスラインに流量制限オリフィス１６、パージ液加圧ラインＬ３には注液ポンプ１２と定流量弁１５を設けた。 （もっと読む）

【課題】多段ルーツ型ドライ真空ポンプのポンプから電動機ケーシングに伝達する熱を遮断し、電動機を冷却する冷却機構を簡略化して電動機を小型化すると共に、ポンプ部のロータケーシングの分割体の結合構成に工夫を凝らし、ポンプ部を小型化し、全体の小型化が可能な多段ルーツ型ドライ真空ポンプを備えたドライ真空ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】多段ルーツ型ドライ真空ポンプを備えたポンプ部Ｐと該ポンプＰを駆動するモータ部Ｍを備えたドライ真空ポンプ装置において、モータ部Ｍはフランジ３１を介し多段ルーツ型ドライ真空ポンプを備えたポンプＰと一体的に連結されており、フランジ３１内に冷却液を通す冷却液流路を構成する冷却液パイプ３２を設けた。 （もっと読む）

【課題】適正な位置にポンプ内の過圧縮を防止する過圧縮防止機構を設け、過負荷による回転数低下を抑制させることにより、排気時間を短縮できる多段ルーツ型ドライ真空ポンプを備えたドライ真空ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】多段ルーツ型ドライ真空ポンプを備えたドライ真空ポンプ装置であって、多段ルーツ型ドライ真空ポンプの最終段に気体を吐出す最終段吐出口（吐出口１８）、圧縮比の高い位置に中抜吐出口（圧力逃し孔１９）を備え、最終段吐出口（吐出口１８）に逆止弁（排気部逆止弁５１）を接続して大気領域に開放し、中抜吐出口（圧力逃し孔１９）に過圧縮防止逆止弁（中間部逆止弁５２）を接続して大気領域に開放した。 （もっと読む）

【課題】絶縁領域と導電領域が形成されている試料面の観察を高コントラストで行い、且つ、欠落欠陥や開放欠陥の検出と欠陥種類の分類を容易なものとする技術を提供すること。
【解決手段】導電領域の輝度が絶縁領域の輝度よりも高い条件下で画像の取得と、絶縁領域の輝度が導電領域の輝度よりも高い条件下で画像の取得とを行い、これらの画像に基づいて、試料面上の欠落欠陥と開放欠陥の双方を高い精度で検出する。この方法は、絶縁領域と導電領域を有する試料面に材料コントラストが最大となる照射エネルギ（ＬＥ）の撮像電子ビームを照射するステップ（Ｓ２０３）と、当該撮像電子ビームの照射を受けた試料面から、導電領域の輝度が絶縁領域の輝度よりも高い条件下で画像を取得するステップ（Ｓ２０５）と、絶縁領域の輝度が導電領域の輝度よりも高い条件下で画像を取得するステップ（Ｓ２０７）とを含む。 （もっと読む）

【課題】回転電機のフレームに制御ケースを設けたものにあって、比較的簡単な構成で制御ケースの騒音及び振動を抑制することができる回転電機を提供する。
【解決手段】電動機１０は、そのフレーム１８に、インバータ３０等の駆動装置を収容する制御ケース２０を備える。この制御ケース２０に、当該制御ケース２０の振動を抑制し或は当該制御ケース２０の固有振動数を調整するための振動抑制構造としてハニカムリブ３７を設けた。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプのケーシング内に生成物が堆積している状況を真空ポンプの起動時に検出し、この状況に応じて、ユーザに真空ポンプのメンテナンスを喚起するメンテナンス信号を出力することによって、製造プロセス中に真空ポンプが停止することを防止する。
【解決手段】ケーシング内に回転自在に配置されたポンプロータを備えた真空ポンプの運転を制御する運転制御装置９は、ポンプロータの回転速度を制御する周波数変換器１１を備えている。周波数変換器１１は、真空ポンプの起動時にモータ出力トルクを積分して積分値を演算する演算部１４と、該積分値に対応する基準値と予め設定した閾値とをそれぞれ格納する記憶部１５とを有する。 （もっと読む）