説明

株式会社荏原製作所により出願された特許

171 - 180 / 1,477


【課題】装置全体の設置スペースが小さくて済み、呼水槽、制御盤等を消火ポンプ装置と補助加圧ポンプ装置の両方に設ける必要や、消火ポンプ装置と補助加圧ポンプ装置の設置後、両装置での配線及び配管の必要がない、消火ポンプ装置と補助加圧ポンプ装置を一体化した消火ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】ベース11上に消火ポンプ14、電動機15を配置すると共に、消火ポンプ14の呼水を収容する呼水槽30と、該呼水槽30の水を消火ポンプ吐出配管18に導く呼水配管36、消火ポンプ逆止弁20、圧力タンク12、消火ポンプを運転制御する消火ポンプ制御盤43をベース11上に配置した消火ポンプ装置であって、ベース11上に、消火ポンプ逆止弁20の2次側に接続した補助加圧ポンプを備えた補助加圧ポンプ装置32を設け、ベース11上にある呼水槽30、及び消火ポンプ制御盤43の少なくとも1つは補助加圧ポンプと消火ポンプとで共用する。 (もっと読む)


【課題】基板の被洗浄面の半径方向に沿った各位置(領域)における洗浄強度を考慮して、基板の全被洗浄面をより均一な洗浄強度でスクラブ洗浄できるようにする。
【解決手段】ロール状洗浄部材24の外周面を回転中の基板Wの被洗浄面に所定の接触幅で接触させて該被洗浄面をスクラブ洗浄する基板洗浄方法であって、洗浄部材24によるスクラブ洗浄中の全過程の少なくとも一部において、洗浄部材24の軸線Oが基板Wの回転中心線Oから接触幅の0.14〜0.5倍離れたオフセット洗浄位置に該洗浄部材24を配置してスクラブ洗浄を行う。 (もっと読む)


【課題】内部に逆流方向及び正流方向に外部から過大な圧力流体が進入する流路に配置された換気ファン等の流体機械が該圧力流体の進入による過回転等で損傷されることなく、該圧力流体が収束すると速やかに流体機械を正規の回転数に復帰させることができる流体機械運転制御装置、及び流体機械運転方法を提供することを目的とする。
【解決手段】風路11内に配置され、回転翼15を電動モータ17で回転させることにより、気流を風路11の一方から他方に送る換気ファン10の運転制御を行う流体機械運転制御装置において、速度制御装置3と、通常制御機能を有する換気ファン運転操作制御装置1と、風路11に許容範囲外の外部圧力流体流が侵入した場合に速度制御装置3に通常制御機能を停止させ、回転体をフリーラン状態にさせる保護制御を指示する保護制御指示機能を有する換気ファン保護制御装置2と、機械式自動逆風圧抑制装置4を備えた。 (もっと読む)


【課題】研磨中に研磨テープから砥粒が脱落してしまうことを極力防止し、また、たとえ基板の表面外周部を研磨中に研磨テープから砥粒が脱落したとしても、この脱落した砥粒が基板の中心部の素子形成領域等に入り込まないようにする。
【解決手段】表面に砥粒を固着した研磨テープ20を一方向に走行させつつ、該研磨テープ20の表面を基板Wの表面に押圧して該基板Wの表面を研磨する研磨ヘッド12と、研磨テープ20の走行方向に沿った研磨ヘッド12の上流側に配置され、研磨テープ20の表面から研磨中に砥粒が脱落するのを防止するように該表面を予めコンディショニングするコンディショニング装置(洗浄装置)30とを有する。 (もっと読む)


【課題】弁体の開閉に衝撃や衝撃音を発生することなく、風路に進入し換気ファンの回転翼に及ぼす逆風圧を効果的に抑制できる流体機械を提供すること。
【解決手段】各案内翼14は固定案内翼14aと可動案内翼14bとを備え、該固定案内翼14aは胴体10に固定され、該可動内翼14bは胴体12の軸方向に直交する回転軸16を中心に回動可能になっており、胴体の吐出口から吸込口に流れる逆流体流が流入した場合、発生する流体差圧により可動案内翼14bがその翼面が固定案内翼14aの翼面と連続する正規位置である全開位置から全閉位置の方向に回動して逆流体流の方向を転換させ、回転翼15に当接する逆流体流の圧力を削減させる位置に保持する可動翼開度自動制御機構24を設けた。 (もっと読む)


【課題】流体継手から排出される作動流体から排熱を回収することにより流体継手のすべり損失熱を回収し、回収された排熱(すべり損失熱)を発電のために利用することができる発電システムを提供する。
【解決手段】給水ポンプBPによりボイラ1に給水して蒸気を発生させ、発生した蒸気を用いて蒸気タービン2を駆動して発電し、蒸気タービン2から排出された蒸気を復水器4で復水させ復水を給水ポンプBPによりボイラ1に再供給するようにした発電システムにおいて、給水ポンプBPと給水ポンプBPを駆動する駆動機Mとの間に、羽根車室内を満たす作動流体を介してトルクを伝達する流体継手10を設け、流体継手10から排出される作動流体により復水器4から供給される復水を加熱するようにした。 (もっと読む)


【課題】多ステップ研磨における前の工程が後の工程に負荷をかけることを防止することができる研磨方法を提供する。
【解決手段】研磨対象物上に形成された第1膜の大部分を研磨して除去する第1の研磨工程と、第1膜の残留部分を、配線部分を残して第2膜が表面に露出するまで研磨して除去する第2の研磨工程と、第1の研磨工程から第2の研磨工程に移行するときの第1膜の膜厚分布を予め設定する工程と、第1の研磨工程中に第1膜の厚さをうず電流センサにより測定して第1膜の膜厚分布を取得する工程と、取得された第1膜の膜厚分布が予め設定された第1膜の膜厚分布に一致するように第1の研磨工程における研磨条件を調整する工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】配線用凹部の内部に、内部にボイドを生じさせることなく、めっき金属をより高速で埋込むことができるようにする。
【解決手段】表面に配線用凹部を有する基板を用意し、促進剤、金属イオン及び酸を含む第1前処理液に基板を浸漬させて第1前処理を行い、第1前処理液に含まれる促進剤の効果を阻害する添加剤を含み且つ促進剤を含まない第2前処理液に基板を浸漬させて第2前処理を行い、しかる後、基板の表面に、少なくとも金属イオン、酸及び抑制剤を含み、促進剤を含まないめっき液を使用した電解めっきを行って、配線用凹部内にめっき金属を埋込む。 (もっと読む)


【課題】潤滑液体の漏洩を防止しやすい構造で、始動トルクを低減するためのリフトポンプを備えたパッド型スラスト軸受、該パッド型スラスト軸受を用いた液中モータ、縦型液中モータポンプを提供すること。
【解決手段】軸受パッド4表面に潤滑液を加圧供給するリフトポンプ12を備えたパッド型スラスト軸受であって、リフトポンプ12の羽根車12aをスラスト軸受の軸受ハウジング10内に設けた。また、リフトポンプ12は、モータハウジング22の一部が軸受ハウジング10に挿入された状態で結合されている。 (もっと読む)


【課題】研磨テープを用い、しかも堆積膜及び該堆積膜の下のシリコンにそれぞれに適した研磨条件でシリコン基板の外周部を効率的に研磨できるようにする。
【解決手段】シリコンの表面に堆積膜を堆積させたデバイス基板14を第1回転速度で回転させながら、該デバイス基板14の外周部に第1研磨テープ34を押圧してデバイス基板14の外周部に位置する堆積膜12を除去し、デバイス基板14を第2回転速度で回転させながら、堆積膜12を除去することで露出したデバイス基板14外周部のシリコン10に第2研磨テープ52を押圧して該シリコン10を所定の深さまで研削する。 (もっと読む)


171 - 180 / 1,477