説明

株式会社荏原製作所により出願された特許

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【課題】表面に膜が形成されていない、例えば反応性半導体単体からなるベア基板であっても、基板表面を研磨するのと同時に基板表面のダメージ量を測定することで、研磨の進行状態を監視しながら研磨できるようにする。
【解決手段】研磨中に、光電流式ダメージ量測定方式、フォトルミネッセンス光式ダメージ量測定方式、及びラマン光式ダメージ量測定方式の少なくとも一つのダメージ量測定方式を用いて基板表面のダメージ量を測定し、該基板表面のダメージ減少量から研磨の進行状態を監視する。 (もっと読む)


【課題】給水装置を長時間停止した後に初めてポンプを始動するに際して、ウォーターハンマーの発生を防止することができる給水装置を提供する。
【解決手段】給水装置1は、ポンプPと、ポンプPを駆動するモータMと、吐出側圧力が所定の始動圧力以下の場合にポンプPを始動して、吐出側圧力が目標圧力になるようにインバータ20にポンプPの回転速度の指令を行う制御部35とを備える。制御部35は、吐出側圧力が始動圧力以下であるときに、給水装置1への電源投入後初めてポンプPが始動されるか否かを判断し、給水装置1への電源投入後初めてのポンプP始動でなければ通常の始動動作を行い、給水装置1への電源投入後初めてのポンプP始動であれば、吐出側圧力の上昇が通常の始動動作よりも緩やかな保護始動動作を行う。 (もっと読む)


【課題】裏面が研削された薄肉の基板を破損させることなく、裏面と外周面とにより形成された角部を速やかに研磨することができる研磨方法を提供する。
【解決手段】裏面が研削された後に行われる基板を研磨する方法を提供する。本研磨方法は、基板Wをその中心周りに回転させ、裏面と基板Wの外周面とによって形成された角部に研磨テープ23を押し当てて該角部を研磨する。研磨中は、研磨テープ23を所定の速度で送られる。角部と研磨テープとの接触角度を変えながら角部を研磨することも可能である。 (もっと読む)


【課題】羽根車とモータ固定子との間に配置される隔壁を熱による変形から防ぐことができるモータポンプを提供する。
【解決手段】モータポンプは、複数の永久磁石5が埋設された羽根車1と、羽根車1を収容するポンプケーシング2と、複数の固定子コイル6Bを有するモータ固定子6と、モータ固定子6を収容するモータケーシング3と、羽根車1を支持する動圧軸受10とを備える。動圧軸受10およびモータ固定子6は、羽根車1の吸込側に配置され、モータケーシング2は、羽根車1と固定子コイル6Bとの間に位置する側壁部32と、放射状に延びる複数のリブ36とを有し、側壁部32は複数のリブ36に固定されている。 (もっと読む)


【課題】構成要素を必要最小限にして製造コストを低減することができる給水装置を提供する。
【解決手段】給水装置1は、ポンプ3と、ポンプ3の回転周波数を可変制御するインバータ5と、インバータ5を制御する制御部6とを備える。制御部6は、インバータ5に関する情報を表示する表示部624を備えている。インバータ5は、インバータ5に電力を供給するとともに制御部6に電力を供給する電源部505を備えている。 (もっと読む)


【課題】プロセス状態に最適な状態で運転して、真空排気システムの効率を向上することができる真空排気システムを提供する。
【解決手段】真空チャンバ内を真空に排気する真空排気システムにおいて、真空チャンバに接続される前段真空ポンプ20と、前段真空ポンプ20の後段に設置される後段真空ポンプ30と、真空排気システム中の真空領域に設置されて圧力を検出する圧力センサ50と、通常ライン273と増量ライン274から構成され、前段真空ポンプ20及び後段真空ポンプ30に軸シールガスを供給するガス系統270と、圧力センサ50により検出された圧力に基づいてガス系統270を流れる軸シールガスの流量を制御する制御部60とを備えている。 (もっと読む)


【課題】軸受の温度上昇に対して十分な冷却効果が得られ、且つ、軸受周りに余計なシールドスペースを必要とせず、また、オイルバスのオイル交換のようなメンテナンスの必要のない軸受冷却装置、及び、その軸受冷却装置を用いたポンプの提供。
【解決手段】軸受を収容する軸受ハウジングと、前記軸受ハウジングに隣接して回転軸に固定され、該回転軸と一体に回転する回転円板とを備え、前記回転円板は、前記軸受ハウジングに対向する側に設けられた凹部と、前記凹部に設けられた1つ又は複数の羽根と前記凹部から、前記回転円板の前記軸受ハウジングとは反対の面まで貫通する1つ又は複数の貫通穴とを有していることを特徴とする軸受冷却装置。 (もっと読む)


【課題】迅速・正確に潤滑油の状態を検出でき、同時に装置の小型化を図ることができる油面検知兼軸受監視装置及び真空ポンプを提供すること。
【解決手段】油面検知兼軸受監視装置1−1は、潤滑油169の油面169aの位置を検出する油面検知装置であり、同時にその潤滑油導入部15内に導入された潤滑油169の汚れを検知してこの潤滑油169が供給される軸受157の摩耗の程度を監視する光センサ22を取り付ける。光センサ22は油面検知兼軸受監視装置1−1に設置した光発光部23と光受光部25とを具備し、光発光部23から潤滑油導入部15内の潤滑油169に投入した光を光受光部25に受光させてその受光量を検出することで潤滑油169の汚れを検知する。 (もっと読む)


【課題】複数の転がり軸受を均等かつ十分に潤滑できるとともに、構造が簡単で小型化が図れる潤滑性・信頼性に優れた組合せ軸受及びこの組合せ軸受を用いてなる回転機械を提供すること。
【解決手段】2つの転がり軸受11,13の端面同士を突き合わせて同一軸線上に配置してなる組合せ軸受10である。両転がり軸受11,13の突き合わせる側の外輪11b,13bの対向する側面に切り欠き11d,13dを設けることで、両転がり軸受11,13間の内部に潤滑油を導入する潤滑油導入口15を形成する。 (もっと読む)


【課題】インペラ部での逆流に起因する吸気口付近における流れの乱れをなくし、スムーズな吸気を可能とすることで始動時間を短縮し、始動性や維持管理性を向上させ、信頼性の高いポンプ設備、及び運転方法を提供する。
【解決課題】真空ポンプ9により吸気し、ポンプケーシング2内を満水させ始動する横軸ポンプ1において、真空ポンプ9で吸気後、ポンプケーシング2内が満水になる前に横軸ポンプ1を始動、回転させるとともに、真空ポンプ9に至る吸気配管8の吸気取出口17をポンプケーシング2のインペラ上流側で、かつ、ポンプケーシング2内側に向けて突出して設けた。 (もっと読む)


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