【課題】長期運転による能力の低下を抑制する吸収ヒートポンプを提供すること。
【解決手段】冷媒液Ｒを加熱して冷媒蒸気Ｒｅを発生させる蒸発器Ｅと、吸収溶液Ｌｓが蒸発器Ｅで発生した冷媒蒸気Ｒｅを吸収する際の吸収熱で被加熱媒体Ｗａを加熱する吸収器Ａと、蒸発器Ｅで発生した冷媒蒸気Ｒｅを吸収して濃度が低くなった希溶液Ｌｗを導入し加熱することにより、希溶液Ｌｗ中の冷媒を蒸発させて希溶液Ｌｗよりも高濃度の濃溶液Ｌｓを生成する再生器Ｇと、再生器Ｇで蒸発した冷媒蒸気Ｒｇを導入し凝縮させて蒸発器Ｅに供給する冷媒液Ｒを生成する凝縮器Ｃと、凝縮器Ｃ内の不凝縮ガスＮｃｇを抽気する抽気手段３１〜３７とを備える吸収ヒートポンプ１とすると、蒸発器Ｅ、吸収器Ａ、再生器Ｇ、凝縮器Ｃのうち最も圧力が低くなる凝縮器Ｃから抽気することとなり、ほとんどの不凝縮ガスＮｃｇを抽気することができる。 （もっと読む）

【課題】基板研磨中でも研磨定盤の研磨面を最適な状態に保つことができ、研磨面の削れが進んでも研磨面の面形状が変化しないで、且つ基板研磨中に研磨面の温度上昇を抑制し高い研磨レートの研磨が可能で、更に研磨定盤の研磨パッドを交換した後に、研磨パッドを実使用状態に速やかに近づけることができる研磨装置。
【解決手段】研磨定盤１０と、基板保持機構１２、ドレッサー３０を備え、基板保持機構１２で保持した研磨対象基板Ｗを研磨定盤１０の研磨面に接触押圧して、研磨する研磨装置であって、ドレッサー３０は第１ドレッシング部３１と第２ドレッシング部３２を備え、第１ドレッシング部３１は研磨対象基板Ｗよりも大きい円形状で、第２ドレッシング部３２は第１ドレッシング部３１の周りを囲む形状大きさであり、第１ドレッシング部３１と第２ドレッシング部３２が互いに独立して研磨面に接触できる。 （もっと読む）

【課題】例えアスペクト比が高く、深さが深いビアホール等の凹部にあっても、銅等の金属材料を、内部にボイドを発生させることなく、凹部内に高速かつ確実に埋込むことができるようにする。
【解決手段】凹部２０２を有し該凹部２０２の内部を含む表面に通電層２０６を形成した基板Ｗを用意し、凹部２０２の内部を除く通電層２０６の表面に電着法で高分子絶縁膜２０８を形成し、高分子絶縁膜２０８を形成した基板Ｗの表面に電解めっきを行って凹部２０２内に金属材料２１０を埋込む。 （もっと読む）

【課題】廃棄物や石炭等の可燃物から多量の可燃分を含む可燃ガスを高効率で生成し、生成された可燃ガスの自己熱量により燃焼灰を熔融することができる処理方法およびガス化及び熔融装置を提供する。
【解決手段】流動層炉２は、流動化ガスを供給する流動化ガス供給手段を備え、該廃棄物を流動層炉２に供給し、ガス化してガスとチャーを生成し、該熔融炉は流動層炉２より排出された該ガスと該チャーを供給して灰分を熔融し、流動層炉２は、傾斜する炉底と、該傾斜する炉底の低部に該廃棄物に含まれる不燃物と流動媒体を排出する不燃物排出口５を備え、不燃物排出口５の下方に該不燃物と該流動媒体を排出するシュート１６と、該不燃物と該流動媒体をシュート１６の下方から水平方向に定量排出する定量排出器１７を備え、該定量排出された不燃物と流動媒体を分別し、分別された流動媒体は流動層炉２に戻し、前記不燃物中の金属は未酸化で回収する。 （もっと読む）

【課題】埋込み配線の露出表面に、保護膜を選択性良く安定して形成して回収・配線を保護することができるようにする。
【解決手段】フィルタ３０５では取りきれない無電解めっき液中の微細な磁性浮遊物を磁気力によって除去する磁気除去部３５６，３６２を有し、これにより、無電解めっき液中の微細な磁性浮遊物が、例えば絶縁膜等の表面に付着して異常析出物が生じることを防止し、しかも無電解めっき液の性質を一定にしてめっき反応を安定させる。 （もっと読む）

【課題】中空糸膜の破損や疎水化によるフラックスの低下を低減することができる中空糸膜モジュールを提供する。
【解決手段】中空糸膜モジュール１は、複数本の中空糸膜１０を束ねた膜束２０と、膜束２０を収容する筒状体３０と、膜束２０の少なくとも１つの端部を筒状体３０に固定する固定部４０，５０と、原水を固定部４０の近傍から流出させる原水流出ノズル３４とを備えている。筒状体３０の内部に供給された原水は中空糸膜１０の外側から内側に透過される。ソフトポッティング部４２は、原水が接触する面に少なくとも１つの溝４３を有している。 （もっと読む）

【課題】微少流量の流体を脈動なく連続的かつ定量的に安定して移送することができるマイクロポンプを提供する。
【解決手段】マイクロポンプ１は、内部に流体が流通される弾性チューブ１０と、弾性チューブ１０を支持するチューブサポート２０と、突起部３２が形成された回転体３０と、回転体３０を回転させるモータ４０とを備えている。突起部３２は、チューブサポート２０に支持される弾性チューブ１０を該弾性チューブ１０の長手方向に沿った複数の押圧点で押圧する。モータ４０は、複数の押圧点を弾性チューブ１０の長手方向に沿って移動させる。 （もっと読む）

【課題】気泡の抜けが比較的よいディップ方式を採用し、広い占有面積を占めることなく、バンプ等の突起状電極に適した金属めっき膜を自動的に形成できるようにする。
【解決手段】配線が形成された基板の上に突起状電極を形成するめっき装置であって、基板カセットを置くカセットテーブル１２と、基板に対して濡れ性を良くするためのプリウェット処理を施すプリウェット槽２６と、該プリウェット槽でプリウェット処理を施した基板にめっきを施すめっき槽３４と、めっきされた基板を洗浄する洗浄装置３０ｂと、洗浄された基板を乾燥させる乾燥装置３２と、めっき液の成分を分析し、この分析結果に基づいてめっき液に成分を追加するめっき液管理装置と、基板を搬送する基板搬送装置４０とを備えた。 （もっと読む）

【解決課題】低コストで効率的、且つ安定的な焼却処理を可能にする廃イオン交換樹脂集合固化体の製造方法、製造装置及び廃イオン交換樹脂集合固化体を提供する。
【解決手段】廃イオン交換樹脂貯槽１０からの廃イオン交換樹脂の樹脂表面水を粗く水切りし、計量機構６０で計量し、混合槽７０に投入する。吸水材貯槽３０から吸水材を計量後、混合槽７０に投入し、廃イオン交換樹脂の残留水分を吸水材に吸水させる。次に、可燃性結合材貯槽２０から可燃性結合材を計量後、混合槽７０に投入し、脱水後の廃イオン交換樹脂と吸水後の吸水材との混合物に混合させる。カルシウム塩貯槽４０からカルシウム塩を計量し後、混合槽７０に投入して、可燃性結合材と一緒に廃イオン交換樹脂と吸水材との混合物に混合させる。混合物７２を混練成形装置８０内で、可燃性結合材の軟化点以上で溶融点に至らない温度に維持しながら混練、成形して得た成形体８４を切断手段９０によって切断し固化体貯槽１００内で冷却保管する。 （もっと読む）

【課題】空間電荷効果の影響を電子光学系の光路長を短くして、空間電荷の影響及び偏向収差の発生を低減する
【解決手段】電子銃１から放出された電子線は、マルチ開口２、縮小レンズ３、非分散のウィーンフィルタ５、タブレットレンズ１０、電磁偏向器１１、ビーム分離器１２及び対物レンズを構成するタブレットレンズ１７を介して試料１８上に縮小像を形成する。ビーム分離器１２は、２次電子ビームのビーム分離器１２内の通過距離が、１次電子ビームのビーム分離器１２内の通過距離の３倍程度となるよう構成されているため、ビーム分離器１２における磁界を、１次電子ビームを約１０度以下の小角度だけ偏向するように設定しても、２次電子ビームを約３０度以上偏向させることができ、１次及び２次電子ビームは十分に分離される。また、１次電子ビームを小角度だけ偏向することにより、１次電子ビームに生じる収差が小さい。 （もっと読む）