【課題】気体状物質を基質として、微生物を用いて効率的に有価物を生産する技術を提供する。
【解決手段】有価物生産装置１００には、供給気体１０１の基質濃度および流量を測定して基質供給量を得るガス濃度・流量センサ１０９ａが設けられている。また、培養槽１０３内の培養液中から排出される排出気体１０６の基質濃度および流量を測定して基質排出量を得るガス濃度・流量センサ１０９ｂが設けられている。さらに、基質供給量および基質排出量から求められる基質の除去速度が所定の範囲内になるように、培養槽１０３内の培養液中への供給気体１０１の流量を調整するコントローラ１１０および流量調整バルブ１１１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】所定量の燃料で商用電源停電が長時間持続した場合でも、できる限り長時間交通管理システムを運用できる交通管理システム用非常用燃料電池発電装置の運用方法を提供すること。
【解決手段】少なくとも車両用信号機、歩行者用信号機、交通指示標識を備え、商用電源で運用される交通管理システム６に、停電時に商用電源に替わって前記交通管理システムに電力を供給する燃料電池発電装置１を備えた交通管理システム用非常用燃料電池発電装置の運用方法であって、商用電源が停電し、燃料電池発電装置１が運転された場合、その運転時間が予め定められた時間以上となった場合又は燃料電池の残燃料量が予め定められた所定量以下となった場合に、交通管理システム６を通常運転時より少ない消費電力の節電モードで運転する。 （もっと読む）

【課題】 装置に投入した機械的エネルギーを回収することによりエネルギー損失を抑制して、気体の溶解濃度の大きい、例えば水などの有用な液体を製造するための省エネルギー化された気体溶解装置を提供する。
【解決手段】 通路内を流動する液体に気体を注入する気体注入部１０と、この気体注入部１０の下流側に配置され、液体に気体を注入した気液混合液に圧力を印加して気体の液体中への溶解を促進する加圧部１４と、加圧部１４に対して加えられた力学的エネルギーの一部を回収しながら気体を溶解させた気体溶解液の圧力を減少させる減圧部１６を有する。 （もっと読む）

【課題】気体状物質を基質として、微生物を用いて効率的に有価物を生産する技術を提供する。
【解決手段】有価物生産装置１００には、供給気体１０１の基質濃度および流量を測定して基質供給量を得るガス濃度・流量センサ１０９ａが設けられている。また、培養槽１０３内の多孔質膜モジュールから排出される排出気体１０６の基質濃度および流量を測定して基質排出量を得るガス濃度・流量センサ１０９ｂが設けられている。さらに、基質供給量と基質排出量とから求められる基質の除去速度が所定の範囲内になるように、培養槽１０３内の培養液中への供給気体１０１の流量を調整するコントローラ１１０および流量調整バルブ１１１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 Ｚマップの作製を不要とし、高スループットを実現すると共に、高価なステージを必要とせず、また、軸上色収差を補正して大きい開口角を用いた電子光学系を用いてもフォーカスずれを少くして試料の評価ができる電子線装置を提供する。
【解決手段】 試料台を連続移動させパターン評価を行う電子線装置に於て、試料台の連続移動方向と直交する方向にはストライプ幅より大きく、試料台の連続移動方向には上記ストライプ幅の少くとも１／４の視野を有する電子光学系を有し、パターン評価に先立ち、試料台の移動方向にビームを移動させ、合焦条件を測定するための信号波形取得を行い、その結果得られた最適合焦条件でパターン評価を行う。 （もっと読む）

【課題】押圧リングを剛性高く、即ち、十分にしっかりと支持することができるとともに、押圧リングとトップリングの同芯度を精度良く確保することができるポリッシング装置を提供する。
【解決手段】半導体ウエハ４を収容するトップリングの周囲に押圧リング３を上下動自在に配置し、押圧リング３を研磨布６に対して可変の押圧力で押圧する押圧手段を設け、押圧リング３をベアリングを介してトップリングに支持させるように構成し、前記ベアリングは、押圧リング３とトップリング１との相対回転を支持する回転支持用ベアリング３８と、押圧リング３のトップリング１に対する上下動を支持する上下移動用ベアリング３９とからなる。 （もっと読む）

【課題】研磨プラテン上面から研磨パッドを引き剥がすのに、強大な力を必要とすることなく、比較的容易に引き剥がすことができる研磨プラテン、及び該研磨プラテンを用いた研磨装置を提供すること。
【解決手段】研磨プラテン１２を備え、該研磨プラテン１２上面に貼り付けた研磨パッド表面に被研磨基板を押圧し、該研磨プラテンと被研磨基板の相対運動により被研磨基板を研磨する研磨装置において、研磨プラテン１２の上面を鏡面仕上げした鏡面部２１と粗面仕上げした粗面部２２の組合せで構成し、研磨プラテン１２の上面に研磨パッドの裏面を粘着剤（接着テープ）で貼り付けた。 （もっと読む）

【課題】非常用浄水装置のポンプ駆動源としてガソリン等の化石燃料を必要とせずに、災害時確実にポンプを駆動する動力源を得ることができる非常用浄水装置を提供すること。
【解決手段】非飲料用水源１４から水を取水するポンプ１と、該取水した水を飲料用水とするために必要なプレフィルター１１、中空糸膜モジュール１２、活性炭フィルター１３及びその他の機器を備えた非常用浄水装置において、ポンプ１を駆動する動力源として太陽光発電設備を設け、太陽光発電設備は、複数の太陽電池モジュール２とインバータ３と可動式台車を備え、複数の太陽電池モジュール２及びインバータ３は可動式台車に搭載され、複数の太陽電池モジュールで発電された直流電力はインバータにより交流電力に変換されケーブルを通してポンプに供給されるように構成している。 （もっと読む）

【課題】 半導体装置を検査する感度及び速度を向上させること。
【解決手段】 半導体装置Ｓは、第１の層に所定の間隔で行方向に配列された複数の第１の配線１、２、３、６、７、８を含む一対の行配線を備え、第１の配線の端部を、ビア１３を介して、第２の層に所定間隔で配列された第２の配線４、５、９、１０に接続した構造を有し、第１の配線と第２の配線とは同電位である。一対の行配線のうち、一方の行配線において右端に位置する第１の配線は第１の導電部１５と接続され、他方の行配線において左端に位置する第１の配線は第２の導電部１４と接続される。第１の導電部１５と第２の導電部１４を順に電子ビームでスキャンすることにより、これら導電部の電位の差に起因する二次電子放出量の変化を検出し、電気的異常を検出する。 （もっと読む）

【解決課題】海水中から有用金属を捕集した金属捕集材から、できるだけ少ない廃棄物発生量で、捕集された有用金属や有害金属を効率的に分離回収する方法及び装置を提供する。
【解決手段】目的金属及び他の金属を吸着させた金属捕集材に溶離液を接触させる金属捕集材溶離槽１；金属捕集材溶離槽１に第１溶離液を供給する第1溶離液供給機構３；金属捕集材溶離槽１から第１工程溶離済み液を受け取る第１工程溶離済み液貯留槽５；金属捕集材溶離槽１に第2溶離液を供給する第２溶離液供給機構４：金属捕集材溶離槽１から第２工程溶離済み液を受け取る第２工程溶離済み液貯留槽６：第２工程溶離済み液を金属再吸着材料と接触させる金属再吸着材料槽２；金属再吸着材料槽２から溶離済み液を受け取る第３工程再吸着済み廃液貯留槽７を含む金属の溶離回収装置。 （もっと読む）