【課題】 プロキシミティタイプの露光装置の露光時にマスクの位置合せ用マークと基板の位置合せ用マークとを位置合わせするために用いる顕微鏡の対物レンズ取り付け部材であって、軽量で剛性に優れ、なおかつ熱膨張が小さい露光装置用対物レンズ取り付け部材を提供する。
【解決手段】 プロキシミティタイプの露光装置内に配置される対物レンズ取り付け部材を、Ｓｉマトリックス中にＳｉＣ強化材を３０〜８０体積％含有する金属基複合材料により形成する。このようにして、軽量で剛性に優れ、なおかつ熱膨張が小さい露光装置用対物レンズ取り付け部材を得る。このようにすると従来のアルミニウムを対物レンズ取り付け部材として用いた露光装置よりも高速度で露光を行うことが可能となった。 （もっと読む）

【課題】
ＰＷＭ調光時におけるオーバーシュートを防止する圧電トランス制御回路を提供する。
【解決手段】
制御電圧に応じた発振周波数を有する発振信号を生成する発振手段と、前記発振手段からの発振信号に応じて圧電トランスを駆動する駆動手段と、前記圧電トランスの出力側に接続された負荷の負荷電流を検出し、前記負荷電流を略一定にすべく前記制御電圧を調整して前記発振手段の発振周波数又は振幅を制御する制御手段と、前記圧電トランスを間欠的に駆動するためのパルス発振信号を前記駆動手段に与えるパルス発振回路と、前記圧電トランスが間欠的に駆動されている場合に、前記駆動が停止されている期間では前記発振周波数を所定の周波数よりも高周波側にシフトさせ、前記駆動が再開される際に前記所定の周波数へ戻す発振周波数変調手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 窒化珪素と同等の熱膨張係数を有し、緻密質で最大ボイド径が小さく、窒化珪素よりも加工性が高められたサイアロン焼結体を用いた半導体製造装置用部剤材を提供する。
【解決手段】 半導体製造装置用部材はβ−サイアロン焼結体からなり、その相対密度は９０％以上であり、最大ボイド径が３０μｍ以下であり、ヤング率が２５０ＧＰａ以上であって、室温における熱膨張係数が１．４×１０^-６／℃±０．３０×１０^-６／℃を有し、所定の機械加工速度が所定の緻密な窒化珪素焼結体の１．５倍以上である。このβ−サイアロン焼結体は、比表面積が１４ｍ^２／ｇ以上の窒化珪素粉末に化学式Ｓｉ_６−ＺＡｌ_ＺＯ_ＺＮ_８−ＺにおけるＺ値が２以上３以下となるように酸化アルミニウム粉末を添加混合し、得られた混合粉末を所定の圧力で成形し、１６００〜１８００℃で焼成することにより作製される。 （もっと読む）

【課題】
圧電トランスの出力端における短絡発生時においては圧電トランスを保護しつつ、回路自体を確実に起動させることが可能な圧電トランス制御回路を提供する。
【解決手段】
制御電圧に応じた発振周波数を有する発振信号を生成する発振手段と、前記発振手段からの発振信号に応じて圧電トランスを駆動する駆動手段と、前記圧電トランスの出力側に接続された負荷の負荷電流を検出し、前記負荷電流を略一定にすべく前記制御電圧を調整して前記発振手段の発振周波数又は振幅を制御する制御手段と、前記圧電トランスの出力電圧を検出し、検出された前記出力電圧を第１の所定値と比較する第１の比較手段と、前記制御電圧を第２の所定値と比較する第２の比較手段と、前記出力電圧が前記第１の所定値より小さくなり、かつ、前記制御電圧が前記第２の所定値より大きくなった場合に、前記圧電トランスの駆動を停止させる駆動停止手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 マスクに向かって照射される照明光を間欠的に遮光して照明光量を調節する照明光量調節手段が設けられている露光装置に用いる遮光板であって、軽量で剛性に優れ、なおかつ熱膨張が小さい露光装置用遮光板を提供する。
【解決手段】 露光装置内に配置される遮光板を、Ａｌ合金マトリックス中にＳｉＣ強化材を３０〜８０体積％含有する金属基複合材料により形成する。このようにして、軽量で剛性に優れ、なおかつ熱膨張が小さい露光装置用遮光板を得る。このようにすると従来の鉄により遮光板を用いた露光装置よりも高精度でリソグラフィーを行うことが可能となった。 （もっと読む）

【課題】 熱伝導性が高く、ガスの流通性が良く、構造が単純で軽量である水素貯蔵容器および水素貯蔵装置を提供する。
【解決手段】 連通孔を有する多孔質金属により構成されたハニカム構造体（２）と、ハニカム構造体（２）の空隙に充填される水素貯蔵体（３）と、ハニカム構造体（２）および水素貯蔵体（３）を収容する収容器（４）と、収容器（４）の外側から間接的に水素貯蔵体（３）を加熱し、またはハニカム構造体（２）を加熱することにより間接的に水素貯蔵体（３）を加熱する加熱部（９）と、を備える。
ハニカム構造体（２）が多孔質金属により構成されるため、高い熱伝導性を維持しつつ水素ガスの通気性を良くすることができる。 （もっと読む）

【課題】 電極に用いやすく、強度が高い多孔質構造体とその製造方法を提供する。
【解決手段】 ３次元的な網目構造を形成する骨格部４と、骨格部４の表面に設けられ、網目構造の空隙の全部または一部を塞ぐ封止材５と、を備え、骨格部４または封止材５は、実質的にセラミックス、炭素またはこれらのうち少なくとも一方と金属とからなる複合材料により構成される。これにより、封止材５により空隙を塞がれた部分に導電体を接合する際の接触面積を大きくして、接合を容易にし、容易に多孔質構造体１を電極に用いることができる。また、封止材５により空隙を塞がれた部分は骨格が太くなるか、完全に空隙が閉ざされるため、多孔質構造体１の強度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】３価の砒素の含有量が多い汚染土壌に対しても、土壌からの砒素の溶出を低減することができる砒素含有土壌の処理方法を提供する。
【解決手段】砒素を含有する土壌に、酸化剤及びセメントを添加する砒素含有土壌の処理方法。酸化剤及びセメントの添加に当たっては、土壌からの砒素の溶出の低減の観点から、土壌に酸化剤を添加した後セメントを添加することが好ましい。
上記セメントは、該セメント中の２水石膏及び半水石膏の合量に対する半水石膏の割合がSO₃換算で40質量％以上であることが好ましく、ケイ酸率（S.M.）は1.3〜2.7であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】
従来、塩素含有率の高い廃棄物をキルンで処理する場合に、前処理としての塩素を水洗を必要とせず、消火用薬剤の再利用と、セメント製造における廃棄物前処理の簡略化の問題点を解決するために、比較的高濃度の塩素化合物が含まれている廃棄物を原料としながらも高品質のセメントを安定して製造でき、しかも、消火用薬剤の処理方法ともなる方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
セメントキルンを用いた消火用薬剤の処理方法であって、消火器から取り出した炭酸水素アルカリ塩及び炭酸アルカリ塩を含む消火用薬剤及び塩素化合物を含む廃棄物をセメントキルン内に投入し、セメントキルン内で気化した塩素を含むキルン排ガスをセメントキルン外へ抽気し、抽気したキルン排ガスを塩素化合物の融点以下の温度に急冷却することにより水溶性の塩素化合物を生成して除去することを特徴とする消火用薬剤の処理方法、を提供する。 （もっと読む）

【課題】乾燥雰囲気を所望の状態に保ちながら運転コストを低減することができる、圧力容器を用いた乾燥装置を提供する。
【解決手段】乾燥装置１は、被乾燥物１３を収容する圧力容器３と、過熱蒸気を循環させる循環パイプ５と、循環パイプに設けられた蒸気過熱器７及び循環装置２１と、圧力容器から過熱蒸気を排棄する減圧ポンプ３７とを備える。循環パイプを介して圧力容器に対して過熱蒸気を循環させながら、減圧ポンプによって圧力容器内を一定圧力に維持する。 （もっと読む）