【課題】簡易な手順にて被評価水の評価を行うことが可能であると共に、基板の分析設備への搬送時における基板表面の変質や汚染を大幅に抑制することが可能な水質評価方法と、この水質評価方法に用いられる基板保持容器とを提供する。
【解決手段】保持容器１０の給水口１４に連なる導入管１８のバルブ２０上流側にサンプリングチューブ３のチューブ継手４が着脱可能に接続されている。導入管１８、導出管１９、排水管１７には開閉バルブとしてボールバルブ２０〜２２がそれぞれ接続されている。給水口１４及び排水口１５と各管１６，１７との接続、並びに各管１８，１９，１７と各バルブ２０〜２２との接続は、いずれも螺じ込みにより行われている。 （もっと読む）

【課題】各濾過ユニットにおいて均一な洗浄効果を得ることができる膜分離装置を提供すること。
【解決手段】濾過ユニット１，２，３を複数段備え、隣接する濾過ユニット１，２，３同士を連結配管４，５で連結し、前段の濾過ユニット１（２）の濃縮水を前記連結配管４（５）を経て後段の濾過ユニット２（３）へ原水として導くよう構成された膜分離装置において、前記各濾過ユニット１，２，３を、その内部での原水の流れ方向が上下方向となるよう配置するとともに、全濾過ユニット１，２，３において原水の流れ方向が上下方向において同じになるよう前記連結配管４，５を接続する。 （もっと読む）

【課題】 洗浄工場において出荷の直前に、イオン交換樹脂または限外ろ過膜の品質の良否を簡易且つ迅速に判定することができるイオン交換樹脂または限外ろ過膜の検査方法を提供する。
【解決手段】 被検体としてのイオン交換樹脂を充填したカラムまたは被検体としての限外ろ過膜を装填した限外膜ろ過装置に、溶存酸素を除去した超純水を供給して通水し、該カラムから流出したカラム流出水をウエハを装填したウエハホルダに供給してウエハと接触させ、接触後のウエハの表面状態を測定することにより、当該被検体としてのイオン交換樹脂または限外ろ過膜の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】オゾンガスによる汚泥改質手段を備える有機性廃液処理装置において、オゾン発生器を冷却するための熱交換器を設け、その冷却媒体として、廃液処理水を用いるに当たり、廃液処理水の貯留槽内に生息する巻貝類や、砂等の固形物が熱交換器に流入することによる熱交換器の閉塞、破損等の問題を防止する装置を提供する。
【解決手段】有機性廃液を生物処理し、生物処理処理液を固液分離し、分離液の少なくとも一部を系外へ排出し、固液分離手段２で分離された濃縮汚泥および／または生物処理槽１から引き抜かれた汚泥を、オゾンガスと接触させて改質する有機性廃液処理装置に、オゾン発生器３２を冷却するための熱交換器３４Ａ、３４Ｂを設け、固液分離手段２で分離された分離液を冷却媒体としてオゾン発生器３２を熱交換器３４Ａ、３４Ｂで冷却する。熱交換器３４Ａ、３４Ｂに送液される分離液中の固形物を、ストレーナ等の固形物捕捉手段５で除去する。 （もっと読む）

【課題】水中に懸濁物質が存在する冷却水系において、懸濁物質に起因したスケールの付着を効果的に抑制する。
【解決手段】水中に懸濁物質が存在する冷却水系に、マレイン酸及び／又はマレイン酸の水溶性塩の重合体と、（メタ）アクリル酸及びこれらの水溶性塩よりなる群から選ばれる単量体成分の１種又は２種以上とモノエチレン性不飽和スルホン酸単量体から選ばれる単量体成分の１種又は２種以上と（メタ）アクリルアミド及び置換(メタ)アクリルアミドよりなる群から選ばれる単量体成分の１種又は２種以上との共重合体と、マレイン酸及び／又はマレイン酸の水溶性塩から選ばれる１種以上とイソブチレンとの共重合体とを含むスケール付着防止剤を添加して、スケールの付着を抑制する。 （もっと読む）

【課題】逆浸透膜供給水の良否を短時間で簡易にかつ的確に評価することにより、逆浸透膜装置を含む水処理装置を長期にわたって安定に運転する。
【解決手段】逆浸透膜装置に供給される水の逆浸透膜供給水としての良否を評価する方法であって、該逆浸透膜供給水の蛍光強度を測定し、該蛍光強度の測定結果に基づいて評価することを特徴とする逆浸透膜供給水の評価方法。この評価結果に基いて逆浸透膜装置を含む水処理装置の運転管理を行う。 （もっと読む）

【課題】有機物含有排水をＲＯ膜分離装置を用いて処理・回収する際、ＲＯ膜分離装置内での有機物の膜面付着によるフラックスの低下、バイオファウリングを防止すると共に、ＲＯ濃縮水のＣＯＤ値を効率的に低減して、ＲＯ濃縮水の排水処理等への悪影響を防止する。
【解決手段】有機物含有排水に、スケール防止剤を添加すると共に、アルカリを添加してｐＨを９．５以上に調整してＲＯ膜分離装置２に通水する。ＲＯ濃縮水にペルオキシド基を含む硫黄化合物を添加すると共にＵＶ照射して酸化処理する。ＲＯ給水のｐＨを９．５以上にすることによりＲＯ膜分離装置でのバイオファウリングを防止し、非イオン性界面活性剤の膜面付着を防止してフラックスの低下を防止する。スケール防止剤の添加により、高ｐＨ条件での炭酸カルシウムスケールによる膜面閉塞を抑制する。硫黄化合物添加とＵＶ照射で酸化力が非常に高い硫酸ラジカルを発生させ、濃縮水中の有機物を炭酸ガスや窒素ガスにまで分解し、水中から除去する。 （もっと読む）

【課題】耐圧強度を高めて耐久性向上を図ることができるスパイラル型膜モジュールを提供すること。
【解決手段】内部に原水が供給される内部流路が形成された複数の分離膜２をコアバー（中心軸）回りに巻回し、各分離膜２の内部に矩形シート状の内部流路材５を配置するとともに、隣り合う分離膜２間に形成される外部流路に矩形シート状の外部流路材３を配置して成るスパイラル型膜モジュールにおいて、前記各分離膜２を、矩形の膜シート１を折り返してその端部１ａ同士を封じることによって筒状に成形し、前記端部ａをコアバー（中心軸）に固定するとともに、該分離膜２の折り返し部の１辺を除く他の３辺を前記外部流路部材３と共に隣り合う分離膜２と接着する。 （もっと読む）

【課題】ボンベ型のイオン交換樹脂装置について、内部構造に簡単な工夫を加えることで充填樹脂量あたりの採水量を増加させる。
【解決手段】イオン交換樹脂５０が充填される容器１０内部に、集水器３０の周囲を覆うカバー４０を設ける。容器１０内部に導入され集水器３０近傍に達した水は、カバー４０に沿ってより下方へ流れ、底面近傍まで達する。底面近傍の水は、カバー４０の開口部分からカバー４０の内側に流入し、集水器３０内部に入り、脱イオン水として集水管２０から容器１０外へ取り出される。このように本発明によれば、容器１０底部での水の流れを変化させ、水の流れが悪い停滞部を解消できる。 （もっと読む）

【課題】有機物含有水を濾過した分離膜を膜洗浄することにより濾過性能が確実かつ十分に回復する膜分離装置及び膜分離方法を提供する。
【解決手段】原水を一次側から供給し、分離膜を透過した透過水を二次側から排出する膜分離手段に洗浄流体を供給して分離膜を洗浄するに当たり、透過水中の有機物濃度を測定し、その測定値に基づいて、洗浄流体の供給速度を制御する。透過水の有機物濃度に基いて洗浄流体の供給速度を制御することにより、原水及び透過水水質に対応した適正な洗浄条件を採用することができ、この結果、水回収率を高く維持した上で膜の透過流束を高い値で安定化させることができる。 （もっと読む）