【課題】有機物を含有する廃水を、非生物担体を保持する反応槽に通水して該担体に付着した嫌気性微生物により生物学的に処理する方法において、運転開始に際して担体への微生物の付着を促進して担体表面に活性の高い生物膜を早期に形成させることにより、装置の立ち上げに要する時間を大幅に短縮すると共に、装置の立ち上げ後においても効率的な処理を行う。
【解決手段】反応槽の立ち上げに際して、反応槽に非生物担体とメタン菌グラニュールとを、担体とメタン菌グラニュールの体積比が１００：５〜１００：５００の範囲で存在させた状態で有機性廃水の通水を開始し、その後、有機性廃水の通水を継続することにより、反応槽内のメタン菌グラニュールの少なくとも一部を解体、分散化させる。 （もっと読む）

【課題】リンス処理によって静電気が発生して静電破壊が発生したり、洗浄したシリコンウェハ表面に静電気によってゴミが付着したりすることがなく、シリコンウェハのリンス処理時における金属不純物の付着を防止することができるとともに、コストにも配慮しつつ、更には、残渣が生じる懸念のないクリーンなリンス液を用いたリンス処理を行うことのできるシリコンウェハ清浄化方法及びシリコンウェハ清浄化装置を提供する。
【解決手段】洗浄液により洗浄したシリコンウェハを、炭酸水によりリンスする。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェハの処理表面の性状に応じたリンス処理に好適なリンス液の調製方法を提供する。
【解決手段】汚染防止物質を超純水に添加して調製されるリンス液における超純水に添加する汚染防止物質の量を、所定の条件におけるシリコンウェハ表面に存在する吸着活性点の量の分析値と、所定の条件におけるシリコンウェハ表面を洗浄した際の金属不純物の吸着量と、条件変更後のシリコンウェハ表面に存在する吸着活性点の量の分析値とからシリコンウェハへの金属不純物の予想吸着量を算出し、この予想吸着量に応じて決定する。 （もっと読む）

【課題】冷凍機のように冷却水の温度を厳密に制御する必要のある冷却対象設備に対して設定温度の冷却水を安定して供給する。
【解決手段】塔内に設けられた充填材１５に被冷却水を散水すると共に、送風ファン１３により空気を流通させることにより、該被冷却水を冷却し、冷却水を塔下部のピット１７に受ける冷却塔において、ピット１７内の冷却水の温度を測定する温度センサー３１と、温度センサー３１の検出値に基いて送風ファン１３の発停を制御する制御手段３２とを有する冷却塔１０Ａ。温度センサー３１は、充填材１５の直下に位置するピット１７内に設けられている。 （もっと読む）

【課題】比較的簡易な構成で精度よく迅速に微生物の増減傾向をモニタリングすることができる微生物汚れモニターを用いた薬注装置、循環冷却システム及び膜分離システムを提供する。
【解決手段】プロトン透過性を有した非導電性の隔膜２と、該隔膜２の一方の面に設けられた、被検液が接触する第１の導電体（負極６）と、該隔膜２の他方の面に設けられた、塩化第２鉄水溶液などの電子受容体含有流体が接触する第２の導電体（正極５）とを備えてなる微生物汚れモニターの電位差又は電流値が経時的に増加するときには薬注量を増加させ、電位差又は電流値が経時的に減少するときには薬注量を減少させるように薬注制御を行う。 （もっと読む）

【課題】液体クロマトグラフィーの操作性、信頼性、経済性、分離精製効率を向上させることができる可動栓と、この可動栓を備えたクロマトカラムを提供する。
【解決手段】可動栓コア２０と、環状のスクレーパ３０と、該可動栓コア２０の基端側が内嵌した凹所４１を有するベース４０と、該スクレーパと３０該ベース４０との間に設けられたシールリング（スクレーパ押圧手段）５０と、可動栓コア２０を引き付けるボルト６０とを備えてなり、可動栓コアのフランジ部２２にスクレーパ３０が係合している可動栓１０。スクレーパ３０及び可動栓コア２０のフランジ部２２にテーパ面３１，２２ａが設けられている。スクレーパ３０は、該シールリング５０と該フランジ部２２とによって狭圧されたときに拡径方向に変形可能である。 （もっと読む）

【課題】簡便な方法で、十分な処理効果を得ることができるフォトリソグラフィー工程排水の処理方法を提供する。
【解決手段】フォトリソグラフィー工程排水に疎水性官能基を有するカチオン性有機高分子凝集剤を添加した後、固液分離処理を行う。 （もっと読む）

【課題】難脱水性の有機性汚泥をも効率的に脱水処理して低含水率の脱水ケーキを得ることを目的とする。
【解決手段】特定の構造式で表されるアミジン単位、或いは下式で表されるビニルアミン単位を繰り返し単位として有するカチオン性ポリマーＡと、特定の構造式で表されるベンジル系カチオン単位を繰り返し単位として有するカチオン性ポリマーＢとを含む汚泥脱水剤、及び、この汚泥脱水剤を汚泥に添加して脱水する汚泥脱水方法。
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【課題】比較的簡易な構成で精度よくスライムをモニタリングすることができるスライムモニターと、このスライムモニターを用いたスライムのモニタリング方法及びコントロール方法を提供する。
【解決手段】プロトン透過性を有した非導電性の隔膜２と、該隔膜２の一方の面に設けられた、被検液が接触する第１の導電体（負極６）と、該隔膜２の他方の面に設けられた、塩化第２鉄水溶液などの電子受容体含有流体が接触する第２の導電体（正極５）とを備えてなるスライムモニター本体と、該被検液を脱気処理する脱気手段Ｄとを備えたスライムモニター。このモニターの検出値に基づいてスライムコントロール剤の添加量を制御する。 （もっと読む）

【課題】通水差圧を十分に小さくすることができる電気脱イオン装置の洗浄方法を提供する。
【解決手段】陽極１，陰極２の間に複数のアニオン交換膜３及びカチオン交換膜４を交互に配列して濃縮室５と脱塩室６とを交互に形成し、脱塩室６にイオン交換樹脂１０が充填されている。脱塩室５の通水差圧が上昇してきた場合、電極への電圧印加を停止した後、流出口から流入口へ向う方向に逆洗水を通水する。この逆洗水としては、純水、超純水、又は脱塩室処理水のイオン濃度以下の清浄水が用いられる。 （もっと読む）