説明

株式会社日立国際電気により出願された特許

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【課題】ヒータ昇温時に、熱応力に起因する基板載置部の破損を防止することができる半導体製造装置を提供する。
【解決手段】基板を収容し加熱処理を行う基板処理室と、前記基板処理室内に設けられ、その表面に基板を載置する基板載置部と、前記基板載置部内に設けられ、基板を加熱するための第1のヒータと、前記基板載置部内に設けられ、基板を加熱するための第2のヒータと、前記第1のヒータと第2のヒータを加熱制御する制御部であって、前記第1のヒータの加熱制御値に基づいて、第2のヒータの加熱制御値を決定するよう制御する制御部とから半導体製造装置を構成する。 (もっと読む)


【課題】電子シャッタ変更命令を適応し変更した電子シャッタの画像データのみを出力する。
【解決手段】IT−CCDと、VD前に電子シャッタタイミングによって定まる蓄積時間を読み込むタイミング発生部とオーバーフロードレイン掃き捨てと読み出しとを内蔵の垂直転送駆動部と、双方向伝送回路とを有する固体撮像装置において、電子シャッタ変更命令を毎垂直周期ごとに受けつけ該電子シャッタ変更命令が来た次の垂直周期は、画像データの出力または伝送の少なくとも一方を中止し、該電子シャッタ変更命令に対応した電子シャッタパルスをSUBに印加し、該電子シャッタ変更命令が来た次の次の垂直周期に該電子シャッタ変更命令に対応した画像データを出力する。 (もっと読む)


【課題】誘導加熱方式を使用した基板処理装置を構成する被誘導体の破損を抑制できる技術を提供する。
【解決手段】本発明では、サセプタ218Hの上段にさらに、少なくとも、ダミーサセプタDMY1が配置され、または、サセプタ218Lの下段に、さらに、少なくとも、ダミーサセプタDMY3が配置されている。これらのダミーサセプタDMY1、DMY3には、ウェハ200が搭載されておらず、サセプタ218Hもしくはサセプタ218Lに載置されたウェハ200を加熱する。 (もっと読む)


【課題】無線LANでQoSを効率的に行う通信装置を提供する。
【解決手段】
送信するデータに含まれる優先度に関する情報に従い、上位層のスケジューリング手段にて下位層にデータを渡す順序のスケジューリングを行う。このスケジューリングにより計算された新たな優先度に関する情報を、改めてスケジューリング手段がデータに付与する。この上で、下位層では、スケジューリング手段から受け取った優先度の異なるデータを一つの送信キューに記憶する。そして、送信制御手段が、送信キューに記憶されたデータに付与されている新たな優先度に関する情報を基に、データに送信待ち時間を設定する。最終的に、送信制御手段は、設定された送信待ち時間に従って、データの送信制御を行う。 (もっと読む)


【課題】低温での酸化膜形成において、ウエハ面内の膜厚均一性を向上させた基板処理装置を提供する。
【解決手段】複数枚の基板を収容して処理する反応管と、前記反応管内を加熱するヒータと、前記反応管内で前記複数枚の基板を所定の間隔で積層し配列させて保持する基板保持具と、前記反応管内の前記複数枚の基板が配列される基板配列領域に対応する領域に配置され、該領域の基板配列方向における複数箇所から前記反応管内に、酸素含有ガスと水素含有ガスとを混合させて供給するガス供給ノズルと、前記反応管内を排気する排気口と、前記反応管内の圧力が大気圧よりも低い所定の圧力となるように制御する圧力制御部と、を有することを特徴とする基板処理装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】処理ガス供給配管の置換容積を最小限とし、反応室内に供給する処理ガスの切替え速度を向上できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を収容する処理室52と、該処理室内に複数の処理ガスを供給する複数の処理ガス供給手段と、前記処理室内にキャリアガスを供給するキャリアガス供給手段と、前記処理室内の雰囲気を排気する排気手段と、前記複数の処理ガス供給手段と前記キャリアガス供給手段と前記排気手段とを制御する制御手段とを具備し、前記複数の処理ガス供給手段は、処理ガス配管部に上流側から順に設けられた上流側バルブ56,63と流量制御手段57,58,64と下流側第1バルブ59,65と下流側第2バルブ62,67とを有し、前記キャリアガス供給手段は、キャリアガス配管部に設けられたバルブ79,83の下流側で前記下流側第2バルブ62,67と前記処理室52との間にもそれぞれ接続される基板処理装置とする。 (もっと読む)


【課題】実践的な移動物体の監視処理を行うことができる映像記録装置を提供する。
【解決手段】映像信号を取得する取得部(S11)と、取得した映像信号を第1記録媒体に記録する第1記録部(S12)と、映像信号を読み出して選択的に再度記録するための選択条件として移動物体が所定方向に移動することを設定する設定部(S13)と、第1記録部が記録した映像信号から動きのある動き映像信号だけを抽出し、動き映像信号が設定部により設定された選択条件に叶うかどうかを判定し、選択条件に叶うと判定された動き映像信号だけを第2記録媒体に記録する第2記録部(S17)をもつ映像記録装置。 (もっと読む)


【課題】基板の異物付着を低減し、生産性を向上させることができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】処理室内に収納された基板を加熱する加熱部と、加熱部近傍の温度を検出する第1の温度検出部と、第1の温度検出部よりも基板の近傍に位置し、基板近傍の温度を検出する第2の温度検出部と、基板が入炉されてから所定時間内の加熱部の加熱制御を第1の温度検出部の検出温度に基づいて行う制御部とを備える。 (もっと読む)


【課題】効率的に画像検索を行える画像検索装置を提供する。
【解決手段】撮像装置201−1〜201−nからの画像データを記録する画像記録装置202を備える。この上で、類似画像を検索する画像検索装置203を備える。画像特徴量登録部210は、前記画像データの特徴量を計算して登録する。画像特徴量記憶部220は、計算された前記画像データの特徴量を記憶する。また、画像検索部230は、入力された検索条件をもとに、前記画像の特徴量を使用して、画像の検索を行う。さらに、ユーザインタフェース部240は、入力された前記検索条件を画像検索部230に通知し、検索結果を表示する。この上で、画像検索部230は、画像特徴量を使用し、類似の画像検索を行い、検索された類似性の高い画像が検索された回数をカウントする。さらに、あらかじめユーザが指定した条件とカウント回数に応じて、ユーザインタフェース部240に表示を行わせる。 (もっと読む)


【課題】主にマイクロ波帯より移動する送信点からの映像・音声素材を基地局を介して放送局に伝送するシステムにおいて、基地局または放送局における回転受信アンテナ装置により、移動体との伝送路を確立する場合に、低コストで伝送路の確立の時間を短縮する。
【解決手段】基地局は、移動する送信点の方向に旋回させる回転受信アンテナを備えており、さらに、複数の指向性の広い固定受信アンテナを備えている。固定受信アンテナの入力レベルから減衰量の差によって、移動体の受信角度を推定して、回転受信アンテナを推定された角度に向けるようにする。さらに、伝送情報から送信元を識別し、放送局での端末上に、送信元とその伝送情報を表示させるようする。 (もっと読む)


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