説明

株式会社日立国際電気により出願された特許

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【課題】遠隔地の無線通信装置に障害が発生した場合、外部から無線による外部リセット信号を無線通信装置に送信するが、外部リセット信号を受信する無線部や制御部に障害が発生している場合には、リセットが実行できないという課題を解決する。
【解決手段】無線通信装置を、外部から無線により受信した外部リセット信号に基づき、制御部リセット信号を作成して制御部へ出力し、電源部リセット信号を作成して電源部へ出力する無線部と、無線部からの制御部リセット信号に基づきリセット状態にされる制御部と、無線部と前記制御部へ電源を供給するとともに、前記無線部からの電源部リセット信号に基づきリセット状態にされる電源部とから構成し、無線部は、外部リセット信号を受信すると、制御部リセット信号を制御部へ出力し、該制御部リセット信号に対して制御部がリセットされない場合に、電源リセット信号を電源部へ出力するように構成する。 (もっと読む)


【課題】例えばGaN等の結晶を成長させる場合において、多数の基板を効率的に切り出せる結晶を短時間で製造させ、結晶製造の生産性を向上させることが可能な結晶製造装置及び結晶製造方法を提供する。
【解決手段】棒状に形成された種結晶材200を保持する種結晶材保持台217と、種結晶材保持台217に保持された種結晶材200が搬入され、種結晶材200の表面に結晶を成長させる処理室201と、処理室201の外側に配置され、処理室201内を加熱する加熱部206と、処理室201内に所定のガスを供給する原料ガス供給部と、処理室内の雰囲気を排出するガス排出部231と、を備える。 (もっと読む)


【課題】カメラ用DSP( Digital Signal Processor )を用いたEM−CCD( Electron Multiplying Charge Coupled Device )等の電子増倍型撮像素子を用いたカメラ装置では、高感度時に撮像素子の赤色の感度が高いために転送効率の悪い画素が現われ、そこに点々と赤色のノイズが現われることがある。その赤色のノイズの補正を行なう。
【解決手段】本発明は、高感度時に点々と赤色のノイズが現われるのに対して、転送効率の悪い画素を対象画素としてメモリに保存し、対象画素に鮮明な赤色がきた場合、赤色レベルに比例した逆極性の補正信号を転送効率の悪い画素に加えて補正するものである。 (もっと読む)


【課題】基板処理室内に石英部材を用い、高温時よりも低温時の方が石英部材のエッチング速度が大きいクリーニングガスを使用する基板処理装置において、クリーニングガスの加熱を安定して行う加熱機構を用いた基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置を次のように構成する。すなわち、基板を収容し処理を行う基板処理室と、基板処理室内に連通するクリーニングガス供給管を経由して、前記基板処理室内にクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給系と、クリーニングガス供給管内に連通する不活性ガス供給管を経由してクリーニングガス供給管内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給系と、基板処理室外に設けられ、不活性ガス供給管からクリーニングガス供給管内に供給される不活性ガスを加熱する不活性ガス加熱部とを備え、基板処理室内をクリーニングする際は、クリーニングガスと不活性ガス加熱部により加熱された不活性ガスとを混合して基板処理室内に供給する。 (もっと読む)


【課題】迅速で効率的な原価設計支援を行うことができる原価設計支援システム。
【解決手段】複数のサプライヤ毎に部品情報を予め記憶する記憶手段3と、製品を構成する部品情報を入力する入力手段5と、入力手段から入力された部品情報に対応した、複数のサプライヤ毎の部品情報を記憶手段から読み出し、部品情報を複数のサプライヤ毎に評価した評価値を算出する算出手段2と、製品の原価の設計を支援すべく、算出した複数のサプライヤ毎の部品情報の評価値を表示する表示手段5をもつ原価設計支援システム。 (もっと読む)


【課題】OFDM方式により送信側装置1から受信側装置2へ信号を通信するOFDM送受信装置で、送信側の直交変調器12や受信側の直交復調器23で発生する振幅や位相に関する誤差を効果的に補正する。
【解決手段】送信側装置では、切り替え手段14〜16が、通常の通信信号(変調信号)を送信する状態と、テスト信号を送信する状態を切り替える。受信側装置では、補正手段33が補正係数を用いて直交復調結果の信号に対してOFDMの各サブキャリア毎に補正を行い、補正係数演算手段36、37がテスト信号の直交復調結果の信号に基づいて補正係数をOFDMの各サブキャリア毎に演算する。 (もっと読む)


【課題】高融点金属においても金属薄膜の膜質を向上させることが可能な基板処理装置及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】被エッチング部材18及び基板を支持する基板支持部を有する処理室1と、前記処理室内の前記被エッチング部材にハロゲンガスを晒すように供給するガス供給部と、前記供給されたガスをプラズマ状態とするプラズマ生成部と、前記被エッチング部材である固体金属に直流電流を印加する電源とを有する。 (もっと読む)


【課題】車携帯アダプタにおいて、車携帯アダプタの複数個所にアンテナを保持するアンテナ保持部と、車携帯アダプタにアンテナ保持具が保持される複数個所のアンテナ取り付け部と、を有し、アンテナ保持部は、複数個所のアンテナ取り付け部のいずれかに取り付けられ、取り外し可能である車携帯アダプタの提供。
【解決手段】車携帯アダプタ6において、車携帯アダプタの複数個所にアンテナを保持するためのアンテナ保持部7を設け、車携帯アダプタ6にアンテナ保持具が保持される複数個所のアンテナ取り付け部9を有し、アンテナ保持部7は複数個所のアンテナ取り付け部9のうちいずれか一方に取り付けられ、取り外し可能である。 (もっと読む)


【課題】半導体装置の製造方法としてALD法を用いる際に、良好な膜質、均一性を維持しつつ、成膜速度を向上させる。
【解決手段】半導体装置の製造方法を次のように構成する。すなわち、基板を収容した基板処理室内に原料ガスを供給する原料ガス供給工程と、前記原料ガス供給工程後に、基板処理室内の原料ガスを排気する原料ガス排気工程と、前記原料ガス排気工程後に、基板処理室内に、水素含有ガスとプラズマ励起された酸素含有ガスを供給する酸化ガス供給工程と、前記酸化ガス供給工程後に、基板処理室内の酸化ガスを排気する酸化ガス排気工程とを備え、前記原料ガス供給工程、前記原料ガス排気工程、前記酸化ガス供給工程、前記酸化ガス排気工程を少なくとも1回行うことにより、基板表面に酸化膜を形成する。 (もっと読む)


【課題】処理室内へのガス流量を均等にすると共に、質量流量計の数を低減させる。
【解決手段】 複数の基板を収容する処理室と、ガス供給源に接続されるガス供給管と、ガス供給管に接続され、ガス供給管からのガスを処理室内にそれぞれ供給する複数の分岐管と、分岐管にそれぞれ設けられる差圧生成部と、を備え、差圧生成部は、分岐管から処理室内に供給されるガスの流量が、複数の分岐管の間で均等になるように、差圧生成部より上流側の分岐管内と、差圧生成部より下流側の分岐管内と、の間にそれぞれ差圧を生じさせる。 (もっと読む)


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