【課題】膜応力の小さい低誘電率の絶縁膜を形成できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】処理室内へ無機シリコンガスと酸素含有ガスを供給している状態で、励起エネルギーを処理室内へ供給して、基板表面にシリコン酸化膜を形成するシリコン酸化膜形成工程と、処理室内へ有機シリコンガスを供給している状態で、励起エネルギーを処理室内へ供給して、基板表面にシリコン膜を形成するシリコン膜形成工程と、を行うことにより、処理室内の基板表面に絶縁膜を形成するよう、基板処理装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】光を用いて基板を処理する基板処理装置において、処理基板の大型化に対応することのできる技術を提供する。
【解決手段】基板を処理する処理室と、処理室内に設けられ基板を載置した状態で水平回転する基板載置部と、基板載置部に載置された基板に対向するように前記処理室外に設けられ処理室内へ光を照射する発光部と、処理室と発光部の間に設けられ処理室と発光部を隔てる仕切り部と、処理室内へ処理ガスを供給する処理ガス供給部と、処理室内の雰囲気を排気する排気部とを備えた基板処理装置において、仕切り部は、発光部から処理室内へ照射される光を透過する複数の透過窓と、該透過窓と透過窓との間に設けられ透過窓を固定する窓固定部とを備え、複数の透過窓のうち少なくとも１つの透過窓の面積は、基板の面積よりも小さくなるよう構成する。 （もっと読む）

【課題】 伝達遅延や特定の端末へのトラフィック負荷の集中を防ぐことができ、システム全体を効率よく運用することができる無線センサーネットワークシステムを提供する。
【解決手段】 センサー端末が、第１の送信出力で既存のノードを介して管理端末に加入要求を送信し、管理端末が、加入要求の受信経路上のノードのトラフィック負荷を算出し、ホップ数とトラフィック負荷が共に許容範囲内ならば、当該センサー端末の通信経路を当該受信経路とし、ホップ数と負荷の少なくとも一方が許容範囲外であれば、センサー端末に、第１よりも大きい第２の送信出力で、管理端末又はトラフィック負荷の小さい特定のノードに直接接続する指示を出力して通信経路を再構築し、センサー端末が、当該指示を受信した場合には、管理端末宛のデータ送信時に、第２の送信出力で管理端末又は特定のノードに送信する無線センサーネットワークシステムとしている。 （もっと読む）

【課題】処理室へ供給されるガスを充分に加熱することにより、ヘイズやスリップに起因する成膜不良を抑制することができる技術を提供する。
【解決手段】本発明における特徴は、例えば、図２に示すように、処理室２０９の外壁２０５とインナーチューブ２０６の間にガス導入空間２１０を設け、このガス導入空間２１０内に誘導加熱するための加熱体２０７を設けている点にある。これにより、ガス供給部２１１から供給される原料ガスは、まず、処理室２０９の内部に導入される前に先立って、ガス導入空間２１０内に導入され、このガス導入空間２１０に設けられている加熱体２０７によって加熱される。 （もっと読む）

【課題】周波数復調器の出力Ｓ／Ｎに基づき重み付け係数を決定することができるダイバーシチ受信機を提供する。
【解決手段】ブランチ１の周波数復調部出力を、ＢＰＦ部２０２−１を通過させることでｆ_max〜Ｂ／２の帯域の全部または一部を得る。つまり、ＢＰＦ部２０２−１を通過させることでＳ（信号成分）とＮ（雑音成分）を算出する。Ｓ（信号成分）とＮ（雑音成分）を２乗演算部２０３−１、平均化部２０４−１、及びブランチ逆数演算部２０５−１を通過させることで、ＢＰＦ部２０２−１の出力電力の逆数となるブランチ１の周波数復調部出力のＳ／Ｎが得られ、このＳ／Ｎがブランチ１の重み付け係数となる。また、ブランチ２からブランチＭの周波数復調部出力についても、同様にブランチ１からブランチＭの重み付け係数が得られる。 （もっと読む）

【課題】反応室内に収容した複数の基板を、温度を均一に支持しながら短時間で加熱することのできる基板処理装置を提供する。
【解決手段】複数の基板を収容する反応室と、前記反応室に処理ガスを供給するガス供給管と、前記反応室内の雰囲気を排気する排気管と、前記反応室内に設けられた加熱部と、前記反応室内に設けられ、前記反応室内の雰囲気を循環させるファンとから、基板処理装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】電力増幅器が故障した影響を最小限に抑える放送用送信装置を提供する。
【解決手段】第２の電力増幅器１０５が故障すると、第２の電力増幅器１０５から故障情報の監視信号が自動制御装置１１４に出力され、自動制御装置１１４は、内蔵する可変コンデンサ１１５と可変コンデンサ１１６の容量を大きくするための制御信号を生成し、第２のＬＰＦ１０６に出力する。第２のＬＰＦ１０６はこの制御信号により可変コンデンサ１１５と可変コンデンサ１１６の通過特性を変化させることで可変コンデンサ１１５と可変コンデンサ１１６の容量を大きくし、故障した第２の電力増幅器１０５の出力電力における通過帯域の周波数を低く抑え、故障した第２の電力増幅器１０５の減衰量を大きくする。このように減衰量を大きくすることで、合成器１１３の入力端１１３ｂを開放端と見なすことで合成器１１３は第２の電力増幅器１０５を擬似的に切り離す。 （もっと読む）

【課題】基地局を介した移動局間通信や指令台と移動局間の通信において、ハウリングや話し辛さを防止する。
【解決手段】スピーカと小音量のレシーバを有する移動局と、基地局と、基地局を介し移動局と交信しスピーカを有する指令台とを備え、移動局又は指令台が送信する通話信号に送信元の移動局又は指令台を特定する識別子が含まれる無線通信システムにおいて、基地局は、第１周波数により通話信号を送信し第２周波数により通話信号を受信するととともに、指令台からの通話信号を受信中の場合は、指令台からの通話信号を無線送信し、指令台からの通話信号を受信中でない場合は、送信元移動局からの通話信号を折り返して無線送信するように構成され、移動局は、受信した通話信号の識別子が自局と同一である場合はスピーカとレシーバをＯＦＦする。 （もっと読む）

【課題】特に装置出力電力が大きい場合であっても出力端におけるＶＳＷＲ値を精度よく検出できる新規な無線増幅装置のＶＳＷＲ検出回路の提供。
【解決手段】増幅された進行波成分電力を分配する方向性結合器１２と、装置出力端１８にて反射された反射波成分電力を取り出すサーキュレータ１３と、前記分配された進行波成分電力値と反射波成分電力値とに基づいてＶＳＷＲ値を検出するＶＳＷＲ検出手段を備え、当該ＶＳＷＲ検出手段は、前記分配された進行波成分電力の振幅と位相を変化させた電力と前記サーキュレータをリークしてくるリーク進行波成分電力とを合成して当該リーク進行波成分電力を除去すると共に、前記進行波成分電力と反射波成分電力との相対位相差が半波長の整数倍になるように制御する。 （もっと読む）

【課題】作業効率の低下を防止する基板処理システムを提供する。
【解決手段】基板処理を実行する基板処理装置と、前記基板処理装置から、前記基板処理装置に関する情報を一括取得する群管理装置と、前記群管理装置を介して、前記基板処理装置に関する情報を取得する端末装置とからなる基板処理システムであって、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とに基づいて、前記端末装置における前記基板処理に関する情報の表示を制御する制御手段とを有する。 （もっと読む）