説明

株式会社日立国際電気により出願された特許

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【課題】高周波電力の印加に伴って発生するノイズを低減することができる基板処理装置及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置は、ウエハが搬入される処理室と、この処理室内にガスを供給するガス供給部と、処理室内を排気する排気部と、処理室内に高周波電力を印加する高周波印加部と、高周波印加部から発生するノイズを検出するノイズ検出部と、ノイズ検出部の検出結果に基づいて、前記高周波印加部から発生するノイズの逆位相の高周波を出力する逆位相出力部と、を有する。 (もっと読む)


【課題】監視システムの動作状態に関する試験(動作試験)を自動的に実施する手段を提供し、実際に人を侵入させて行う試験を必要とせず、動作試験およびパラメータ調整の作業を自動化する。
【解決手段】別途擬似的に入力映像に物体が侵入したように見える合成映像を作成する。動作確認試験時は、PTZ撮像装置より得られた映像の代わりに疑似映像を物体検出装置に入力し、入力映像と擬似物体画像を合成した位置の座標情報と物体検出装置で検出した位置の座標情報を比較し、その結果により該物体検出装置の動作が正常かどうかを自動的に判別する。更に、試験を複数の画像処理パラメータの組み合わせで自動的に実施し、ユーザの要求に従って最適なパラメータを自動的に決定する。 (もっと読む)


【課題】表示部に接続された複数の制御部のうち、表示部に表示される表示対象を制御することができる基板処理装置、及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置は、基板処理装置を操作する作業者が操作する操作部342と、操作部342に接続され、前記基板処理装置を制御する少なくとも2つ以上の制御部302,304,312と、制御部302,304,312が出力する信号を表示する少なくとも1つ以上の表示部342と、前記基板処理装置の起動時に、前記少なくとも2つ以上の制御部302,304,312のうち、少なくとも2つ以上の制御部302,304,312の起動時間を異ならせるように制御部302,304,312への電源の投入時機を制御する起動時間制御部344と、を有する。 (もっと読む)


【課題】装置自体の有する能力を超えた処理条件が設定されるのを防止することができる基板処理装置及び半導体装置の製造方法を提供するを提供する。
【解決手段】基板処理装置は、ウエハを格納し、真空排気可能な少なくとも1つの真空容器と、この真空容器にガスを供給するガス供給部と、開度を調整することにより真空容器内からの排気量を制御するAPCバルブと、真空容器内の圧力を、ガス供給部によるガス供給量とAPCバルブの開度とに対応付けて記憶する記憶部と、操作者から所定の圧力、ガス供給量、及び開度に関する指示を受付ける受付部と、受付部が受付けたガス供給量の範囲及び開度の範囲のうち、受付部が受付けた所定の圧力に対応する記憶部が記憶するガス供給量の範囲及び開度の範囲に含まれる範囲を算出する算出部と、算出部が算出した範囲を表示する表示部と、を有する。 (もっと読む)


【課題】経時変化により熱電対素線が断線することや、熱電対接合部の位置ずれを抑制することができる温度検出装置を提供する。
【解決手段】鉛直方向に延在するように設置され鉛直方向の貫通穴を有する絶縁管と、上端に熱電対接合部を有する熱電対素線であって前記絶縁管の貫通穴に挿通され前記絶縁管の下端から出た鉛直方向の部分が水平方向に向きを変える熱電対素線と、前記絶縁管の下方に設けられた空間であって前記絶縁管の下端から出た熱電対素線の熱膨張が拘束されることを抑制するバッファエリアとを有し、前記熱電対素線の上部又は鉛直方向における中間部を前記絶縁管に支持されるように温度検出装置を構成する。 (もっと読む)


【課題】移動局が基地局通信中であるビジー状態において、他の移動局が通信を行う。
【解決手段】複数の移動局が無線で基地局と接続され、基地局を介して移動局と移動局又は指令台との間で通信、又は基地局を介さずに移動局間の直接通信を行う無線通信システムにおいて、基地局は、移動局から受信中であることを示すビジー信号を第1の周波数を用いて送信し、移動局は、ビジー信号受信中に送信ボタンが押下され続けた状態において、第1の時間以内にビジー信号を受信中でなくなった場合は、送信可能音を鳴動するとともに入力された音声信号を送信し、第1の時間ビジー信号を受信し続けた場合は送信不可能音を鳴動し、第1の時間ビジー信号を受信し続けた後、第2の時間以内にビジー信号を受信中でなくなった場合、および第2の時間ビジー信号を受信し続けた場合は、送信可能音を鳴動するとともに入力された音声信号を送信する。 (もっと読む)


【課題】ネットワークシステムに障害が発生した時には、ネットワークシステムを構成するそれぞれのシステムのサーバーと、それぞれのシステムに接続されているPC端末のログとを、別々に解析していた。このため、ネットワークシステム全体を分析するために、非常に時間がかかっていた。
【解決手段】本発明は、LAN(Local Area Network)等のネットワークで構成されたシステムにおいて、あるトリガー発生時に自動的に同ネットワーク内のPC端末に対してディスプレイ表示画面を保存させ、トリガー発生時のPC端末の表示状態を保存できるシステムである。PC端末ディスプレイ上には多くの情報が表示されており、トリガー発生時に全てのPC端末ディスプレイ表示画面を保存することで、様々なシステムの異常発生時の情報を得るものである。 (もっと読む)


【課題】従来のエッチングガス供給の問題を解決し、均一なエッチング、延いては均一な反応管内のクリーニングを行なうこと。
【解決手段】反応室内にクリーニングガスを供給する前の所定時点から反応室内にクリーニングガスを供給開始から数秒経過する時点までに、完全に排気を停止もしくはクリーニングガスの均一な拡散に影響がない程度の排気量で排気させ、反応室内の圧力が10Torr以上となるまでクリーニングガスを供給する第1段階と、反応室内の圧力が下がるよう反応室内を排気する第2段階と、を有し、第1段階と第2段階とを1サイクル以上行う。 (もっと読む)


【課題】基板を加熱するためのランプの寿命を長くする。
【解決手段】基板を処理する受光室と、前記受光室内に設けられ、基板を支持する基板支持部と、ランプ電気配線と、該ランプ電気配線を内包し当該ランプ内の気体を気密に封止する封止部とを有し、前記基板支持部に支持された基板に光を照射するランプと、前記受光室外に設けられ、前記ランプと、前記ランプと連結され前記ランプ電気配線に電流を供給するランプ連結部材と、前記封止部よりも熱伝導率の高い材料で構成され、前記封止部の周囲を覆い前記封止部に接触する吸熱部材と、前記吸熱部材に接触し前記吸熱部材を固定するための基礎部材と、を有するランプ収容部と、前記ランプ連結部材に接続され、前記ランプ連結部材へ電流を供給する外部電気配線と、を備えるように基板処理装置を構成する。 (もっと読む)


【課題】操作画面上の使い勝手を改善し、入力の不便さを軽減した基板処理装置を提供する。
【解決手段】タッチパネルを備えた操作パネルを用いて装置制御のための数値入力を行う場合に、先に入力した数値がそのまま利用可能であれば、該エディットボックスをドラッグして目的のエディットボックスにドロップすることで、装置制御のための数値パラメタをコピーする。これにより、使い勝手を改善するとともに、誤入力を防ぐことが可能となる。 (もっと読む)


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