説明

株式会社日立国際電気により出願された特許

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【課題】ネットワークシステムに障害が発生した時には、ネットワークシステムを構成するそれぞれのシステムのサーバーと、それぞれのシステムに接続されているPC端末のログとを、別々に解析していた。このため、ネットワークシステム全体を分析するために、非常に時間がかかっていた。
【解決手段】本発明は、LAN(Local Area Network)等のネットワークで構成されたシステムにおいて、あるトリガー発生時に自動的に同ネットワーク内のPC端末に対してディスプレイ表示画面を保存させ、トリガー発生時のPC端末の表示状態を保存できるシステムである。PC端末ディスプレイ上には多くの情報が表示されており、トリガー発生時に全てのPC端末ディスプレイ表示画面を保存することで、様々なシステムの異常発生時の情報を得るものである。 (もっと読む)


【課題】従来のエッチングガス供給の問題を解決し、均一なエッチング、延いては均一な反応管内のクリーニングを行なうこと。
【解決手段】反応室内にクリーニングガスを供給する前の所定時点から反応室内にクリーニングガスを供給開始から数秒経過する時点までに、完全に排気を停止もしくはクリーニングガスの均一な拡散に影響がない程度の排気量で排気させ、反応室内の圧力が10Torr以上となるまでクリーニングガスを供給する第1段階と、反応室内の圧力が下がるよう反応室内を排気する第2段階と、を有し、第1段階と第2段階とを1サイクル以上行う。 (もっと読む)


【課題】基板を加熱するためのランプの寿命を長くする。
【解決手段】基板を処理する受光室と、前記受光室内に設けられ、基板を支持する基板支持部と、ランプ電気配線と、該ランプ電気配線を内包し当該ランプ内の気体を気密に封止する封止部とを有し、前記基板支持部に支持された基板に光を照射するランプと、前記受光室外に設けられ、前記ランプと、前記ランプと連結され前記ランプ電気配線に電流を供給するランプ連結部材と、前記封止部よりも熱伝導率の高い材料で構成され、前記封止部の周囲を覆い前記封止部に接触する吸熱部材と、前記吸熱部材に接触し前記吸熱部材を固定するための基礎部材と、を有するランプ収容部と、前記ランプ連結部材に接続され、前記ランプ連結部材へ電流を供給する外部電気配線と、を備えるように基板処理装置を構成する。 (もっと読む)


【課題】操作画面上の使い勝手を改善し、入力の不便さを軽減した基板処理装置を提供する。
【解決手段】タッチパネルを備えた操作パネルを用いて装置制御のための数値入力を行う場合に、先に入力した数値がそのまま利用可能であれば、該エディットボックスをドラッグして目的のエディットボックスにドロップすることで、装置制御のための数値パラメタをコピーする。これにより、使い勝手を改善するとともに、誤入力を防ぐことが可能となる。 (もっと読む)


【課題】撮影領域内の障害物による死角をカバーして鉄道車輌内を撮影することができる技術を提供する。
【解決手段】カメラ11は、監視空間である車輌を撮影するよう設置されている。鏡12は、吊り広告等の障害物13によるカメラ11の死角になる範囲を映すようにカメラ11の撮影領域内に設置されている。画像処理部は、カメラ11の撮影画像G11から鏡画像G12´を抽出し、反転処理及び拡大処理を行って、撮影画像G11と画像処理後の鏡画像G12を記録部に記録させる。表示制御部は、記録された撮影画像G11と鏡画像G12とを読み出して同期させて再生するとともに、車輌配置図G1にカメラ11の撮影範囲と鏡12の反射範囲とを表示する。 (もっと読む)


【課題】シリコン系ガスとアミン系ガスとを使用してSiC等のSiC系の膜を低温で成膜できる半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】基板200を処理室201内に収容する工程と、加熱された処理室201内へシリコン系ガスとアミン系ガスとを供給して基板200上にシリコンおよび炭素を含む膜を形成する工程と、を有し、シリコンおよび炭素を含む膜を形成する工程は、処理室201内へシリコン系ガスとアミン系ガスとを供給して、シリコン系ガスとアミン系ガスとを処理室201内に封じ込める工程と、シリコン系ガスとアミン系ガスとを処理室201内に封じ込めた状態を維持する工程と、処理室201内を排気する工程と、を有する。 (もっと読む)


【課題】被写体の良好な撮像を行うため、グレースケールチャートを用いずに、検出映像信号バランスの自動調整が可能なテレビジョンカメラ装置を提供する。
【解決手段】グレースケールチャートを使用せず、白色(無彩色)被写体で、検出映像信号バランスの調整を行う。まず、テレビジョンカメラ装置は、白色(無彩色)被写体を撮像する。検出ゲートでG信号レベルを検出し、G信号レベルが所定の信号レベル(レベル71、レベル72、レベル73、およびレベル74)となるようにレンズアイリスを順次自動調整する。そして、各々の信号レベル(レベル71、レベル72、レベル73、およびレベル74)において、G信号に対して、R信号とB信号の信号レベルを合わせることで、検出映像信号バランスの自動調整を行う。 (もっと読む)


【課題】移動局が基地局のエリアを跨いで移動する際に、適切な基地局を自動的に選択することができる無線通信システムを提供する。
【解決手段】移動局と、移動局と同一の送受信周波数により無線接続され移動局からの信号の受信電界強度を測定する複数の基地局と、各基地局と接続され移動局と交信する基地局を選択する回線制御装置と、回線制御装置と接続され基地局を介して移動局と交信する指令台とを備え、複数の基地局から受信電界強度値を取得し、直近に選択していた第1の基地局以外で最も受信電界強度値が大きい第2の基地局が測定した受信電界強度値が、第1の基地局が測定した受信電界強度値よりも所定の差分値以上に大きい状態が、第1の時間継続したときは第2の基地局を選択し、第2の基地局が測定した受信電界強度値が所定の差分値以上に大きい状態が、第1の時間継続しなかったときは第1の基地局を選択する。 (もっと読む)


【課題】基板搬送に関する画像データを効率よく収集・保存し、搬送エラーの解析に利用する。
【解決手段】基板を搬送する搬送手段による搬送エラーが検出されると搬送手段を停止する第1制御手段と、搬送手段による基板の搬送動作を画像データとして記録する記録手段と、画像データを所定の周期で蓄積部に蓄積する第2制御手段と、を備え、第1制御手段は、搬送手段または処理手段から基板の状態を示す情報を取得し、搬送手段が搬送エラーにより停止した旨を第2制御手段に通知し、第2制御手段は、搬送エラーの発生時を含む所定時間分の画像データを蓄積部から読み出してファイルに変換する。 (もっと読む)


【課題】データ伝送の信頼性と伝送速度を両立できるファイル配信システムを提供する。
【解決手段】サーバから複数のクライアント端末へファイルを配信するファイル配信システムにおいて、サーバは、複数のクライアント端末へファイル取得指示情報を送信し、接続要求情報を受信すると、その送信元の一部のクライアント端末へ接続応答情報を送信し、クライアント端末は、サーバ又は他のクライアント端末からファイル取得指示情報を受信すると、その送信元へ所定の間隔で接続要求情報を送信し、接続応答情報を受信すると、その送信元のサーバ又はクライアント端末からファイルを取得するとともに接続要求情報の送信を停止して、他の複数のクライアント端末へファイル取得指示情報を送信し、接続要求情報を受信すると、その送信元の一部のクライアント端末へ接続応答情報を送信する。 (もっと読む)


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