【課題】 基板表面上に付着した不純物を５００℃以下の低温にて除去し、界面の不純物を限りなく低減した状態で高品質なエピタキシャル膜を形成する。
【解決手段】 エピタキシャルプロセスシーケンスは、それぞれ共通する第１ステップから第３ステップで構成されるクリーニングプロセスＡと、エピタキシャル成長プロセスＢと有する。クリーニングプロセスＡの第１ステップ１０３では、ウェハにモノシランガスを照射する。第２ステップ１０４では、塩素ガスを照射する。第３ステップ１０５では、水素ガスを照射する。第１ステップ１０３と第２ステップ１０４と第３ステップ１０５とを順次１回もしくは複数回繰り返すクリーニングプロセスＡを行うことにより、ウェハ表面上に付着した不純物を除去する。クリーニングプロセスＡを行った後、直ちにジシランガス、塩素ガス、水素ガスを用いて、エピタキシャル成長プロセスＢを行う（ステップ１０６〜１０８）。 （もっと読む）

【課題】 親子局装置の間で授受される監視等の情報のデータ量に応じて変調方式を切替え、適切な伝送レートを設定可能な装置間通信システムを提供する。
【解決手段】 本発明の装置間通信システム１００において、変調方式選択制御部であるＭＰＵ３０，４０が複数の変調部であるＦＳＫ・ＭＯＤ３１，４５およびＡＳＫ・ＭＯＤ３２，４６と、複数の復調部であるＦＳＫ・ＤＥＭ３５，４１およびＡＳＫ・ＤＥＭ３６，４２の中から装置間通信を行うデータ量に適合する変調部と復調部とを選択し、選択した変調部と復調部とを介して装置間通信を行わせることにより、親局装置１２０と子局装置１４１〜１４ｎとの間にそれぞれ最適な伝送レートを設定することができる。
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【課題】入力データの同期コードに基づいて、入力データに対する送信側伝送装置の処理を行うことを目的とする。
【解決手段】所定のワード毎に特定同期コードを有する入力データをデータ並び順の入れ替え処理を施した後、ディジタル変調して伝送する処理機能を有するディジタル伝送装置において、上記入力データから上記特定同期コードを検出し、上記入力データの同期コードの基準タイミングに、上記ディジタル伝送装置の処理基準を一致させるように制御するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】 オペレータ自身による識別子の入力を行うことなく、オペレータに対して特定の操作のみを許可することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 基板処理装置１０は、基板処理装置本体１２と、この基板処理装置本体１２の操作可能な範囲を制御する制御装置１４と、この制御装置１４とオペレータとのインターフェースを構成する表示・入力装置１６と、ＩＤタグ６から無線により識別子を検出するＩＤリーダ４とを有する。制御装置１４は、オペレータごとに割り当てられた識別子と、この識別子に割り当てられた操作権限と、この操作権限に許可された基板処理装置本体１２に対する操作とを記憶している。制御装置１４は、ＩＤリーダ４により検出された識別子に基づいて、基板処理装置本体１２の操作範囲を制御する。 （もっと読む）

複数の反応物の供給工程を複数回繰り返すことにより基板を処理するものにおいて、反応物である原料を無駄に捨てることなく、基板処理のスループットを向上させる。 基板処理装置は、反応物として液体原料を気化した原料ガスを含み、その原料ガスの処理室１内への供給と、その後に行う原料ガスとは異なる反応物の処理室１への供給を複数回繰り返すことにより、基板を処理するものである。液体原料の流量制御は吐出駆動制御機構６によって制御する。吐出駆動制御機構６は、気化器３内に一体的に組込まれた弁体３３を制御することにより、気化器３や気化器３に接続される外部配管ではなく、気化器３中の気化部へ直接流れ込む液体原料の１回の吐出動作における流量を固定化し、液体原料を気化部３１に間欠的に吐出させるようにする。
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【課題】
ビューファインダの角度調節は、容易であるが、位置の変更についてはあまり自由度がない。また、薄型のディスプレイは、視野角が狭いために傾斜したビューファインダとして使用した場合、画像が見にくくなり、撮影画像の確認ができず、撮影者は、撮影に支障をきたす恐れが生じる。
【解決手段】
テレビジョンカメラ装置は、カメラヘッドと、上記カメラヘッドに装着されるビューファインダと、上記ビューファインダを上記カメラヘッドに装着する接続機構部および上記カメラヘッドに上記ビューファインダを装着するハンドルを有し、上記接続機構部は、可動自在の接続アームからなり、上記ビューファインダの支持部が上記接続アームの一端に結合され、上記接続アームの他端が上記ハンドルに結合されるように構成される。 （もっと読む）

【課題】排気配管内に付着する副生成物を効率よくしかも均一性よく除去できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】処理室２０１と、処理室２０１に基板処理用ガスとクリーニングガスをそれぞれ供給する供給手段２３２、２３４と、処理室２０１に連通された排気通路２３１と、基板２００を加熱する加熱手段２０７とを有し、少なくとも排気通路２３１の内部に生成された副生成物を除去するため、クリーニングガスを処理室２０１内に供給し排気通路２３１を介して排出する際、排気通路２３１の途中から不活性ガス供給システム２５１、２５３により高温の不活性ガスを導入する。 （もっと読む）

【課題】 より僅かな受信電界においても受信アンテナの方向調整を可能とする伝送システムおよびそれに用いる送信装置を提供する。
【解決手段】 ガードインターバル期間を含んだＯＦＤＭ信号を送信装置１２で送信し、受信アンテナ２１でＯＦＤＭ信号を受信し、復調装置２２でＯＦＤＭ信号のガードインターバル期間における相関演算を行い、相関演算の結果得られる相関信号に基づき受信アンテナの方向調整用信号を生成し受信アンテナの方向調整を行う伝送システムであって、送信装置１２に、ＯＦＤＭ信号のガードインターバル期間の信号を有効シンボル期間の信号より振幅を大きく設定する手段（６１，６２）を装備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
基板処理装置内に搬入された基板を外気に曝すことなく気密室内で搬送、移載する様にしたものであり、更に気密室でのパーティクル、有機物による汚染を防止する。
【解決手段】
基板３９を基板保持具３５に保持し、該基板保持具を受け台７１に載置して前記基板を処理する処理室と、該処理室に隣接する減圧可能なロードロック室２４とを備え、該ロードロック室内には前記基板保持具を載置可能な置き台３６と、前記受け台と前記置き台との間で前記基板保持具を移動可能な第１の支持体８６と、前記受け台と該受け台から退避する位置及び該退避する位置から前記置き台との間で前記基板保持具を移動可能な第２の支持体８７とを有する。
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【課題】 IFFT演算であっても複素乗算器を使用することにより論理規模が増大してしまうという問題点、また、IFFT演算では、演算の途中結果を記憶させるメモリの容量も分割数に比例して多くなり、更に演算レイテンシーについても分割数に比例して大きくなるという問題点を解決する。
【解決手段】 マッピング信号の位相角に基づいた回転演算を行い、該回転演算は、所定の回転因子テーブルに記憶した回転因子信号の初期位相を開始点として選択し、該選択した初期位相に基づいて（該選択した初期位相を初期値として）回転演算を前記回転因子テーブルを参照することで逆フーリエ変換を行うことを特徴とする。 （もっと読む）