【課題】 ガス供給ノズル内の反応生成物の堆積レートを遅くして、ガス供給ノズルのメンテナンスサイクルを、処理室内の他の構成部材と同程度に延ばすことができるようにする。
【解決手段】 反応管（処理室）を構成するインナチューブ２０４の内側に沿ってロングノズル（ガス供給ノズル）２３２が延在される。Ｌ字型のロングノズル２３２は、立上り部分内に圧力差が生じない程度に、立上り部分に十分大きな口径を持ち、それにより立上り部分内の圧力が処理室内の圧力と略同等となるように構成される。例えば、立上り部分の口径（φ）が４ｍｍと小さいと、その部分のノズル２３２内の圧力差が大きく、その部分のノズル内の圧力は処理室内の圧力と略同等とならないが、立上り部分の口径がφ１２ないしφ１６ｍｍと大きくなると、その部分のノズル内の圧力差が小さく、ノズル内の圧力は処理室内の圧力と略同等となる。 （もっと読む）

【課題】管理者自身の記憶等の人為的手段に頼ることなく他の情報伝送装置との間の接続関係を常に正確に把握できるようにし、これにより例えばメンテナンスの作業効率及び信頼性の向上を可能にする。
【解決手段】親局装置Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，Ｍｄ，Ｍｅを光ケーブルＣａｂ，Ｃｂｃ，Ｃｃｄ，Ｃｄｅを介して接続したシステムにおいて、各親局装置Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，Ｍｄ，Ｍｅに接続情報テーブル１３２をそれぞれ設けている。そして、親局装置Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，Ｍｄ，Ｍｅごとに、接続先の他の親局装置との間で通信を行うことで他の親局装置との間の接続関係を表す情報を取得し、この取得された情報を上記各接続情報テーブル１３２に格納するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】 事前にユーザリソースの正常性を確認することによって、システム保守管理に優れた無線基地局を提供することを目的とする。
【解決手段】 呼処理におけるユーザリソース状態を監視し、異常が発生した場合に呼処理制御部に通知するリソース状態監視手段を有する無線基地局装置において、前記リソース状態監視手段は、空きリソースを用いて確認用擬似信号による上り信号を折り返して下り信号としてユーザリソースの確認を行うと共に、異常を検出した場合は、異常発生箇所と対応手段を特定する。 （もっと読む）

【課題】構成回路の特定を簡易的な手段によって防止でき、かつ、必要作業発生時に困難を生ずる物理的な隠匿を回避できる回路構成特定防止方法を提供する。
【解決手段】ＦＰＧＡ１２内の動作設定用の内部レジスタ群には、ＭＰＵからアドレス信号及びデータ信号が与えられると共に、選択信号がゲート回路２２を介して入力される。ＦＰＧＡ１２内の許可キー設定レジスタ２３には、ＭＰＵ等の外部回路によって許可キーが設定され、認証キー設定レジスタ２４にはＭＰＵによって認証キーが設定される。キー一致検出回路２５は、許可キー設定レジスタ２３に設定された許可キーと、認証キー設定レジスタ２４に設定された認証キーとを比較し、不一致の場合にはゲート回路２２を閉じて内部レジスタ群２１のアクセスを禁止する。これにより第三者による回路の動作特定を困難とし、回路構成の特定及び不正コピーを防止する。 （もっと読む）

【課題】 起動時並びに復旧時にラッシュカレント、およびそれによるノイズを発生させない無停電電源装置を提供する。
【解決手段】 この発明の無停電電源装置１０は、充電制御装置を商用電源認識部１３と、充電制御部１８と、出力制御部２１とから構成し、商用電源認識部が商用交流電源の供給または供給停止を認識し、商用電源認識部の認識に基づいて、充電制御部がバッテリ２０への充電を緩やかに行うように制御し、出力制御部２１が商用電源認識部の認識に基づいて、バッテリから整流器１４への放電を負荷装置２３への交流電源ＭＡの供給に不足がないように制御する。したがって、整流器出力にラッシュカレントを発生させず、負荷装置２３への交流電源に重畳されるノイズを低減することができる。
（もっと読む）

【課題】 複数の入出力系統が帯域を共有することにより帯域の未使用時間の減少を実現することのできる送出バンクシステムの実現。
【解決手段】 複数の素材の収録、送出を行う送出バンクシステムにおいて、複数の入出力系統に帯域使用の優先順位を設け、優先順位の高い入出力系統が帯域を使用する場合、優先順位の低い入出力系統に対し帯域を開放するよう制御することにより帯域を共有する送出バンクシステムにおける帯域共有方法であり、これにより複数の入出力系統が帯域を共有し帯域の未使用時間を減少することができる。 （もっと読む）

【課題】 半導体ＢＵ−６１５５３，ＢＵ−６１５８０の何れが選択されても同一基板上でＣＰＵがこれらを制御できるバス制御用論理回路を提供する。
【解決手段】 バス制御用論理回路がＢＵＳ#ＣＳ信号と、ＡＤＤＲＥＳＳ信号と、ＲＥＡＤＹ信号と、ＶＲＡＭ#ＳＥＬ信号とから選択使用されるバス制御半導体ＢＵ−６１５５３またはＢＵ−６１５８０のためのＲＥＡＤＹ信号をバスセレクタ６５から出力することにより、ＣＰＵの外部バスサイクルに関し、対応が異なる２種類のバス制御用半導体ＢＵ−６１５５３と半導体ＢＵ−６１５８０のいずれをも自由に選択使用することができる。
（もっと読む）

【課題】基板処理時に生成する副生成物がロードロック室に残留する水分と接触し化学反応することを抑制することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】処理室２０１と、開口１６１と開口（ウエハ搬送口）１２５とを有したロードロック室１０２であって、開口１６１を介し処理室２０１と連通し、ウエハ搬送口１２５を介し大気雰囲気空間と連通するロードロック室と、ロードロック室内の水分濃度を測定するセンサ３０１と、開口１６１を気密に閉塞するシールキャップ２１９およびゲートバルブ２４４とウエハ搬送口１２５を気密に閉塞するロードロックドア１２３と、センサ３０１の測定結果が予め定めた規定値以下になった際に、シールキャップ２１９またはゲートバルブ２４４を制御して処理室２０１とロードロック室とを連通させるように制御する制御装置１６２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 演算量が少なくて済む周波数偏差検出方法を提供すること。
【解決手段】 全周波数成分の電力和ｐを全電力算出回路１２４で時間領域信号の電力和から演算し、ＦＦＴ演算は行わず、その代りにＤＦＴ演算回路１２６、１２７により、プリアンブルの２つの周波数成分のみについてＤＦＴ演算を行い、これら２成分の電力ｐ₁、ｐ₂ を求め、電力比(ｐ₁＋ｐ₂)／ｐを算出してプリアンブルパターン識別に用いるようにする。このため、自己相関演算回路１２１と位相検出回路１２２、減算器１２９、それに乗算器１２３で周波数偏差Δｆを演算し、それを周波数偏差補正回路１２８に入力して、周波数偏差を補正している。
（もっと読む）

【課題】ＳｉまたはＳｉＧｅ等の半導体材料が露出している領域直上のみにＳｉやＳｉＧｅ等のシリコン含有膜を選択成長させるのではなく、ＳｉＯ_２やＳｉＮ等が露出している領域上にもＳｉを横方向にせり出させて成長させる成膜工程を備える半導体デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】処理室１０８にウエハ１３０を搬入し、ウエハ１３０を加熱し、処理室１０８にシリコン含有ガス、エッチング性ガス、キャリアガスである水素を同時に供給し、ウエハ１３０上にシリコン膜を選択成長させる際に、水素を、エッチング性ガスの２０倍〜５０００倍の流量で供給する。 （もっと読む）