【課題】ＳｉまたはＳｉＧｅ等の半導体材料が露出している領域直上のみにＳｉやＳｉＧｅ等のシリコン含有膜を選択成長させるのではなく、ＳｉＯ_２やＳｉＮ等が露出している領域上にもＳｉを横方向にせり出させて成長させる成膜工程を備える半導体デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】処理室１０８にウエハ１３０を搬入し、ウエハ１３０を加熱し、処理室１０８にシリコン含有ガス、エッチング性ガス、キャリアガスである水素を同時に供給し、ウエハ１３０上にシリコン膜を選択成長させる際に、水素を、エッチング性ガスの２０倍〜５０００倍の流量で供給する。 （もっと読む）

【課題】携帯電話用中継器等に用いられる歪補償増幅器に関し、特に遅延素子の遅延線を短くして低損失とすると共に小形化を図るものである。
【解決手段】増幅対象となる信号を第１の増幅器１４ａで増幅し、さらに当該第１の増幅器で発生する歪成分を検出する歪検出ループと、該歪検出ループにより検出される歪成分を除去する歪除去ループとを有する歪補償増幅器において、前記第１の増幅器１４ａで増幅された歪成分を含む信号と、前記歪検出ループにより検出された歪成分は、前記歪除去ループのそれぞれ異なる系に入力され、前記歪成分を含む信号は第２の増幅器１４ｂを経由して増幅し、前記歪成分は第３の増幅器１９を経由して増幅し、各々増幅された信号を合成して出力することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】ガスをウエハ面内およびウエハ相互間において均一に接触させる。
【解決手段】ウエハ１群を保持したボート２５を収容して処理する処理室３２を形成したプロセスチューブ３１と、処理室３２に処理ガス６１を供給するガス供給管３５と、処理室３２を排気する排気管３６と、処理室３２の内周面に敷設されてプラズマ室４０を形成した隔壁４１と、隔壁４１に開設された吹出口４２とを備えたバッチ式リモートプラズマＣＶＤ装置において、ガス供給管側流通口５３と排気管側流通口５４とを有する一対の仕切板５２、５２を処理室３２にボート２５と同心円に設置し、排気管側流通口５４は縦に細長い逆台形に形成する。吹出口から吹き出したガスはガス供給管側流通口から両仕切板内に流れ込んで排気管側流通口から均等に排気することで、両仕切板内全体に均等に行き渡るので、ガスはウエハ面内およびウエハ相互間に均一に接触する。
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【課題】 空港などにおける無線端末装置の使い勝手を向上させる。
【解決手段】 無線端末装置では、音声入力手段と、入力音声信号増幅手段と、無線通信処理手段と、モード切替指示受付手段を備え、モード切替指示受付手段によりホットマイクモードへ切り替える指示が受け付けられたことに応じて、入力音声信号増幅利得制御手段が入力音声信号増幅手段の利得を高め、ホットマイク動作手段が他の所定の通信装置と通信接続して音声入力手段から入力されて入力音声信号増幅手段により増幅される音声信号を無線通信処理手段により当該他の所定の通信装置に対して送信することを常時行う。 （もっと読む）

【課題】移動体の詳細な位置決めと、運行支援・管理機能の向上・効率化をはかる。
【解決手段】親局に地図情報を格納し、子局の衛星信号受信機構１２７、ジャイロスコープ１２９からの衛星信号及びジャイロ情報を親局やへ送る。親局では、衛星信号から当該移動体の大まかな位置を検出し、地図と合わせて正確な初期位置を決め、その後はその位置とジャイロ情報とから時系列的に地図上の位置を定め、それを子局へ送る。更に親局では各子局の各時点の位置から道路等に関する情報を収集し、これに基づく道路等の情報を子局へ送信する。 （もっと読む）

【課題】
プロセステーブル等、気密容器に収納される基板載置台に傾斜が発生しない様にした昇降機構を具備する半導体製造装置を提供する。
【解決手段】
基板処理室３０と、該基板処理室内に設けられ基板２５を保持する基板載置台３１と、該基板載置台に連結され昇降可能な昇降ベース６４と、該昇降ベースを昇降させる昇降駆動部６６，６７，６８と、該昇降駆動部と前記昇降ベースを連結する連結部材６９とを具備し、該連結部材は前記昇降ベースに少なくとも傾斜方向の自由度を有する様に連結された。
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【課題】地域の子供を地域で守るための防犯システムを提供する。
【解決手段】
被救援者が所持する測位機能及び緊急発報機能を有する携帯機２ａからの発報を受信すると、救援を要請する緊急連絡メールを送信するセンタ装置１を備える。センタ装置は、携帯機から発報された位置情報を、住所（地区）を示す文字情報に変換するための経緯度住所変換手段と、近隣住民のメールアドレスと前記近隣住民の住所とを対応付けて記憶する住民登録テーブルと、携帯機を特定する情報と被救援者の個人情報を対応付けて記憶する被救援者登録テーブルと、緊急メールを一斉送信する近隣地区を記憶する近隣設定テーブルと、を備え、携帯機を特定する情報により特定された被救援者からの緊急発報を受信すると、携帯機から発報された位置情報に対応する住所に対応する近隣住民宛てに、その住所を示す文字情報を含み画像情報を含まない緊急メールを作成する。 （もっと読む）

【課題】処理炉に開口した基板搬入出口を気密に閉塞する閉塞手段に副生成物が堆積するのを抑制または防止できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】ウエハ２００を収容し処理する処理炉２０２にウエハ２００が収容されていない時に、処理炉２０２の下側のウエハ搬入出口１３１を気密に閉塞する炉口シャッタ１１６を設け、この炉口シャッタ１１６を加熱する加熱ヒータ１３２を設けて、ウエハ２００が処理炉２０２に収容されていない時に、炉口シャッタ１１６を加熱する。 （もっと読む）

【課題】 スペクトラム拡散通信装置を短期間で開発する。
【解決手段】 複数ビットのＩ，Ｑを夫々保持するデータレジスタと、１ビットのＩ，Ｑを夫々保持するコードレジスタと、データレジスタとコードレジスタの出力を複素乗算する複素乗算器と、からなるタップＭ個と、Ｍ個のタップ出力を加算する加算器と、加算器出力を格納する出力レジスタと、からなる同一構成の信号合成手段をＮ＋１個（ＮはＭ以下）備え、１個の信号合成手段に他の信号合成手段の出力を入力する２段構成とする。
初段の信号合成手段には、データレジスタに送信電力ゲインを入力し、コードレジスタのにシンボルデータをチャネライゼーション・コードで拡散したデータを入力する。各初段の信号合成手段には、同一のスクランブリング・コードを用いるチャネルを纏めて割当て、後段の信号合成手段のコードレジスタにはそのスクランブリング・コードを入力する。 （もっと読む）

【課題】温度計用保護管を処理室にシールを確保しつつ着脱可能に設置する。
【解決手段】熱電対６１が挿入される石英製の保護管６２をエルボ管形状に形成する。石英製のプロセスチューブ３１の炉口３３付近の側壁に開設された取付孔６３に石英製のスペーサ６４とパイプ６５を溶着し、パイプ６５に保護管６２の屈曲下端部をプロセスチューブ３１の内側から挿入する。パイプ６５にスペーサ６６とシールリング６７が収納されたキャップ６８を嵌合し、パイプ６５の外側端部に異径ウルトラトール６９を嵌合し、異径ウルトラトール６９の外側端部にスペーサ７０とシールリング７１が収納されたキャップ７２を嵌合する。一対の保護管６２、６２を連結棒７３で連結し、両保護管のプロセスチューブ３１の内周面との間に当てブロック７４、７４を挟み込む。保護管を石英製のプロセスチューブに着脱可能に取り付けることで、メンテナンス作業を向上できる。
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