説明

株式会社日立国際電気により出願された特許

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【課題】 各ウエハの処理/未処理だけでなく、処理が正常に終了したかどうかを表示して、正常ウエハと不良ウエハの区別を明確にし、正常ウエハと不良ウエハの混同を防ぐことができ、また、ウエハカセットの有無を表示してオペレータがウエハカセットを確実に搭載することができる半導体製造装置における表示方法及び半導体製造装置を提供する。
【解決手段】 少なくともカセットを格納するカセット室5と、処理を行うプロセスチャンバと、カセット内のウエハをプロセスチャンバ6へ搬送するための搬送室7とを備える半導体製造装置の表示部17に、上から見た当該半導体製造装置イメージを描画し、カセットの有無を表示する表示エリア8が設けられ、表示エリア8には、カセット室内にカセットが存在するかどうかが表示される半導体製造装置である。 (もっと読む)


【課題】センター局装置と端末局装置とが無線により通信するに際して、端末局装置において不要な通報の再生を回避し、効果的な通報を行うことができる無線通信システムを提供する。
【解決手段】報知情報を出力可能な端末局と、無線により端末局と接続されるセンター局とを備え、センター局から端末局へ報知情報を送信し、端末局が受信した報知情報を出力する無線通信システムを、センター局は、端末局へ報知する報知情報を作成する報知情報作成部を備え、端末局は、端末局無線部で受信した報知情報を読出して出力する読出し出力部と、読出し出力部で読出した報知情報を記録する記録部と、記録部に記録した報知情報を再生出力する再生部と、端末局に設定された判定条件に基づいて、記録部に記録した報知情報を再生するか否かを判定する再生可否判定部とを備えるように構成する。 (もっと読む)


【課題】携帯無線機本体に接続されたスピーカマイクを保持、固定することで、携帯無線機を充電する際の省スペース化を図る携帯無線機の充電器構造を提供する。
【解決手段】ケーブル7を介してスピーカマイク6と接続された携帯無線機1を充電する充電器8であって、該充電器にマイク保持部13を設け、前記スピーカマイクを前記マイク保持部により固定、保持する。 (もっと読む)


【課題】初期費用を低減すると共に、小ロット生産に対して容易に対応可能なポール取付け金具を提供する。
【解決手段】被取付け部材をポールに取付けるポール取付け金具1であって、上端部及び下端部が屈曲され第1屈曲部13が形成されると共に、該第1屈曲部13の中央に所要の角度を有し、前記ポールが嵌合するV字状の第1切欠き部14が形成された第1板金部材11と、上端部及び下端部が屈曲され第2屈曲部17が形成されると共に、該第2屈曲部17の中央に前記第1切欠き部14とは異なる角度を有し、前記ポールが嵌合するV字状の第2切欠き部18が形成された第2板金部材12とを具備し、前記第1板金部材11と前記第2板金部材12とを貼合せて一体化した。 (もっと読む)


【課題】第1の移動端末の使用者が存在する領域に第2の移動端末の使用者が所定期間以上存在することを、第1の移動端末に関する端末に通知することが可能な端末監視システムを提供する。
【解決手段】監視サーバ4は、無線端末2−1〜2−Nから、無線端末2−1〜2−Nそれぞれの位置情報を、時刻とともに受信する。また、監視サーバ4は、各無線端末2の位置情報と時刻とに基づいて、ある無線端末2と同じ所定の範囲内の場所に、所定期間存在している別の無線端末2を特定する。さらに、監視サーバ4は、無線端末#1に対し、無線端末#2が特定された場合に、その旨を示す通知を送信する。 (もっと読む)


【課題】 内管及び外管の着脱を効率良く行うことができ、使用する着脱治具のコストを低減できる。
【解決手段】 着脱工程は、外管の下端外縁を覆うように設けられた第1台座を蓋体上に載置し、蓋体を昇降させることで外管を着脱させる工程と、支持部に内管を支持させ、支持部の下端外縁を覆うように設けられた第2台座を蓋体上に載置し、蓋体を昇降させることで内管及び支持部を着脱させる工程と、を有し、外管を着脱させる工程と、内管及び支持部を着脱させる工程と、では、蓋体の軸心と同心状に配置するよう構成される第1台座又は第2台座に対し、第1台座の下側面の少なくとも一部を共通着脱治具の上面の少なくとも一部に重ね、第2台座の下側面の少なくとも一部を共通着脱治具の一部に重ね、共通着脱治具を介して第1台座又は第2台座を蓋体上に載置する。 (もっと読む)


【課題】複信通話における音声送信中の不快な「ブツブツ音」の対策を行う無線機及び無線機の音声制御方式を提供する。
【解決手段】VOX56は、音声コーデック70aの受信音声出力部71から出力される音声信号の有無を検出する機器である。また、レシーバAMP52aは、常にレシーバ51に対してミュート信号を出力する機器である。VOX56が音声信号を検出すると、VOX56はレシーバAMP52aにミュート解除信号を出力する。ヘッドセット50のレシーバAMP52aは、VOX56からのミュート解除信号を入力すると、レシーバ51対する音声出力のミュートを解除する。VOX56が音声信号を検出しないときは、VOX56はレシーバAMP52aにミュート解除信号を出力しない。ヘッドセット50のレシーバAMP52aは、VOX56からのミュート解除信号を入力しないときには、レシーバ51に対する音声出力のミュート信号を出力する。 (もっと読む)


【課題】処理室内の雰囲気を排気する真空ポンプが動作する際に、排気管内に存在する大気が、処理室内に拡散や逆流することを抑制し、処理室内を汚染することを抑制することのできる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を収容し処理する処理室と、処理室内に処理ガスを供給する処理ガス供給管と、処理室内から処理ガスを排気する排気管と、基板処理を制御する制御部とを備えた基板処理装置であって、前記排気管には、処理ガスの排気される方向において、上流側より順に、開閉弁と、排気管内の圧力を検出する圧力計と、処理室内の雰囲気を排気する排気装置とが設けられ、前記制御部は、前記圧力計の検出値が所定の閾値以下であり、かつ、排気装置が動作中である場合に、前記開閉弁を開放可能とするよう制御する。 (もっと読む)


【課題】複数周波数を用いた同報通信を行なう際に、送信局が受信局からの誤りパケット情報を迅速に受信することができる無線通信システムを提供する。
【解決手段】複数の受信局1−2、1−3、1−4へ同一の送信データをそれぞれ送信する送信局1−1を含む無線通信システムであって、送信局は、送信データを複数に分割して、当該分割した送信データをそれぞれ異なる周波数F1,F2,F3を用いて複数の受信局へそれぞれ並行して送信し、受信局は、送信局から送信された送信データに対する誤り応答パケットを返送し、この際の誤り応答パケットは、複数の異なる周波数毎に当該周波数を用いて送信された送信データに対する誤りパケット応答情報を時分割で送信局に返送する方法と、複数の異なる周波数を用いてそれぞれ送信された複数の送信データに対応する複数の誤りパケット応答情報を、複数の異なる周波数の内の一つを用いて送信局に返送する方法の少なくとも一方の方法で返送される無線通信システム。 (もっと読む)


【課題】ドハティ増幅器においては、キャリア増幅器が飽和になった時直ぐにピーク増幅器が動作させるのではなく、キャリア増幅器が飽和する前から既に多少ピーク増幅器を動作させている。キャリア増幅器の飽和領域付近において、増幅器全体としての効率を向上させる。
【解決手段】増幅素子をAB級又はB級で動作させる第1の増幅回路の出力と、増幅素子をB又はC級で動作させる第2の増幅回路の出力を合成して出力とするドハティ増幅器において、前記第2の増幅回路の増幅素子のドレイン電圧を当該増幅器への入力電力に対応するように制御する制御部を備え、前記制御部における入力電力とドレイン電圧との対応は、前記第2の増幅回路の増幅素子の動作点付近における効率が最大となるように対応付けられる。 (もっと読む)


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