【課題】パン調整に伴う取り付け部分での変形の虞がなく、パンの正確な調整が容易に得られるようにした天吊り型カメラ装置を提供すること。
【解決手段】上部材２１とは別体のソケット部保持板８を、上部材２１の下から挿入し、ソケット部２２が開口２１ｃから上に露出した状態にした上で、上側から固定用ビス９、１０を円形孔２１ｄと円弧孔２１ｅに挿入し、雌ネジ孔８ａ、８ｂにねじ込み、ソケット部保持板８が上部材２１に固定され、管状体３の雄ネジ３ａをソケット部２２の雌ネジ２２ａにねじ込み嵌合させ、雌ネジ２２ａに回り止め用のビス７をねじ込み、カメラケース１を管状体３の下端部に保持させたもの。固定用ビス９、１０を緩めるだけでパン調整できる。 （もっと読む）

【課題】複数枚の基板に不純物が均一にドーピングされた炭化珪素膜を成膜することができる半導体製造装置及び基板の製造方法及び基板処理装置を提供する
【解決手段】反応室内に延在されて設けられる第１のガス供給ノズル６０及び第２のガス供給ノズル７０と、第１のガス供給ノズルの基板の主面と平行であって、第２のガス供給ノズルの方向に１以上分岐され1以上の第１のガス供給口６８を有する第１の分岐ノズルと、第２のガス供給ノズルの基板の主面と平行であって、第１のガス供給ノズルの方向に１以上分岐され、1以上の第２のガス供給口７２を有する第２の分岐ノズルとを備え、第１のガス供給口と第２のガス供給口とが基板の積層方向に隣接するように設けられた基板処理装置によって課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】基板処理装置で一括して処理される複数枚の半導体基板上に形成する膜の品質ばらつきを低減することができる技術を提供する。
【解決手段】加熱処理の前段階では、複数のガス供給孔２３２２のそれぞれの形成位置（高さ）が、高さ方向において、隣接するウェハ２００間の中央位置に近い位置からずれるように配置する。これにより、実際に加熱処理が実施された場合、ずらした高さが、加熱処理でのボート２１７とガス供給部２３２１の熱膨張率の相違に起因した伸び代の相違で吸収されて、加熱処理を実施する際には、各ウェハ２００の表面に効率よく、かつ、均一に処理ガスを供給することができる。 （もっと読む）

【課題】一定の電磁波電力を供給して、均一な加熱を可能とする基板処理装置及び基板処理方法を提供する。
【解決手段】ウエハを処理する処理室と、処理室内に設けられウエハを保持するボートと、ボートに保持されたウエハよりも下方に設けられ、このウエハの裏面に向かってガスを導入するガス導入部と、ボートに保持されたウエハよりも上方に設けられ、電磁波を導入する導波口と、を有する。 （もっと読む）

【課題】近赤外照明によっても人間に気付かれ難く、また、鮮明な映像を取得することが可能な撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】待機時（物体非検知時）は９００ｎｍ付近にピーク値を持つ近赤外照明を用いることで、人間の目に見える赤みを低減することができ、必要時（物体検知時）は８５０ｎｍ付近にピーク値を持つ近赤外照明を用いることで、物体の詳細を捉えたい場合には鮮明な映像を取得することができ、更にこのとき、監視対象エリア（近赤外線照明の照射エリア）の外からは人間の目で見た場合に目視困難とすることができる。 （もっと読む）

【課題】表示映像切替操作時から表示映像の切替までの遅延を短くし定常表示時の表示映像の面フリッカを低減する。
【解決手段】飛び越し走査映像信号を双方向に伝送するシステムにおいて、主送信側と主受信側との双方に同期手段とを有し、主送信側に映像を順次走査表示する少なくとも垂直方向に分割されたバックライト付き液晶表示部を有し各フィールドに２回バックライトを点灯し、通常表示時は主送信側映像を順次走査表示して、表示映像切替操作時は、切替操作時後のバックライト輝度を高くしてかつ点灯時間を短くし、切替操作時後の各フィールド単位で液晶表示映像を切替え、表示映像切替後のフィールド映像と該フィールド映像の上下走査線補間または上の走査線複写で順次走査で切替表示し、表示切替した水平走査線部分のバックライトを次の順次走査前までに２回点灯する。 （もっと読む）

【課題】撮像範囲の照度の状況に応じて、監視カメラの撮像範囲の照度の均一化を図り、撮像映像の画質の向上を図ることが可能な監視カメラシステムを提供する。
【解決手段】監視カメラ２の撮像範囲を照明する１ないし複数の照明装置４の配光特性および光量を、監視装置３の照明制御部４０により、監視カメラ２の向きを示す方向情報および撮像範囲における照度を判定するための照度判定用情報に基づき制御する。つまり、監視装置３は、撮像範囲計算部２０により監視カメラ２の撮像部１０が出力する方向情報に基づき監視カメラ２の撮像範囲の位置を計算し、照度計算部３０により撮像部１０が出力する照度判定用情報に基づき撮像範囲の照度を計算した結果を用いて、照明制御部４０により、当該撮像範囲を照明する照明装置４の配光特性および光量を制御するための制御情報を生成し、生成した該制御情報を照明装置４に対して出力する。 （もっと読む）

【課題】発熱体の断線等を抑制し、発熱体の自重等による保持体の変形を抑制できる形状を提供する。
【解決手段】加熱室内に設けられ、基板を処理する処理室と、加熱室内を加熱する加熱装置と、を有し、加熱装置は、上下端のそれぞれに山部４２ａと谷部４２ｂとが複数連なるように形成され、両端が固定される発熱体４２と、加熱室の一部を構成し、前記発熱体４２の外周に設けられる断熱体３３と、該断熱体３３に固定され、前記発熱体４２を保持する保持体４１と、を備え、前記発熱体４２の山部４２ａの少なくとも一部が前記断熱体３３側に折り曲げられ、前記断熱体３３は、前記発熱体４２の谷部４２ａに相対する部分が前記発熱体４２側に向って突き出され、前記保持体４１を支持する突出部５１を備える。 （もっと読む）

【課題】 インピーダンスの可変範囲内の広域にわたって処理速度の制御を容易に行うことを可能とする。
【解決手段】 基板処理装置は、基板を処理する処理室と、処理室内にて基板を支持する基板支持部と、処理室内に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、処理室内に供給された処理ガスをプラズマ状態とするプラズマ生成電極と、プラズマ生成電極に高周波電力を印加する高周波電源と、基板支持部に設けられ基板の電位を制御するインピーダンス可変電極と、インピーダンス可変電極に接続され、プラズマ生成電極のピーク間電圧値の逆数に応じてインピーダンスを変更可能なインピーダンス可変機構と、処理室内の雰囲気を排気する排気部と、少なくともインピーダンス可変機構を制御する制御部と、を備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】太陽光が直接照射される地表付近や海上付近において、遠距離被写体の撮像位置が短時間に不規則に変化することを補正する撮像装置を提供する。
【解決手段】水平走査に同期した水平走査より短い時間、ＬＥＤまたはＬＤを用いた光源から出力された所定の波長帯の光を目標物体に照射し、照射された所定の波長帯の光による目標物体からの反射光を、画面一斉の水平走査に同期した電子シャッタ露光で撮像し、撮像された映像について、前記近赤外光の画面の輪郭成分と可視光画面の輪郭成分との相関を検出し、画面各部の往復分と片道分の差から片道分の地表大気の揺らぎ成分の移動ベクトルを検出し、可視光映像の画面各部ごとに片道分の地表大気の揺らぎの移動ベクトルを補正する。 （もっと読む）