説明

株式会社神戸製鋼所により出願された特許

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【課題】 電気抵抗率が低く、膜の緻密性や絶縁膜との密着性に優れているといった高品質を安定して発揮する信頼性の高い半導体装置用のCu系配線の形成方法を提供する。
【解決手段】 基板1上に形成された凹部を有する絶縁膜2の表面に、CuまたはCu合金(以下「Cu系金属」という)よりなる薄膜5をスパッタリング法で形成した後、高温高圧処理を施して該Cu系金属を上記凹部内に充填して半導体装置の配線を形成する方法であって、上記スパッタリングを下記条件で行なうことを特徴とする半導体装置のCu系配線形成方法。スパッタリングガス種:水素ガスと不活性ガスの混合比率(%)が5:95〜20:80である混合ガス、基板温度:0〜−20℃。 (もっと読む)


【課題】 プレス打ち抜き性に優れた高強度・高導電性銅合金板を得る。
【解決手段】 Fe:0.2〜3.0質量%と、P:0〜0.2質量%及びSi:0.3質量%以下を総量で0.001質量%以上と、Zn:0.05〜1.0質量%を含有し、下記に示すFe量条件式を満足し、残部が実質的にCuと不可避不純物である銅合金からなり、Fe又は/及びFe基の金属間化合物が析出し、圧延表面の板幅方向の平均結晶粒径が3〜60μmで、かつその値の80〜120%の寸法の結晶粒の数が全結晶粒の70%以上である銅合金板。
[Fe]−3.6×([P]−0.18×[Ni]−0.26×[Co]−0.20×[Cr]−0.85×[Mg])≧0.5
ただし、[Fe]、[P]、[Ni]、[Co]、[Cr]、[Mg]は銅合金中の各元素の質量%を表す。 (もっと読む)


【課題】 電源が遮断されたことによって溶接ロボットが停止した後、再起動させる場合に、復旧に要する時間を短縮することができる溶接ロボットの制御方法を提供する。
【解決手段】 ロボット制御装置から溶接ロボットに対して溶接プログラムを送信し、この溶接プログラムに従って溶接ロボットに多重盛溶接を行わせる溶接ロボットの制御方法において、溶接プログラムとして軌跡データとしての教示プログラムに1溶接パスごとの溶接条件を切替える溶接条件テーブルを組み込んだ実行プログラムを各溶接パスごとに送信する。これによって、トラブル等によってロボットが停止した時、停止した溶接パスに相当するプログラムから再開させることができるので、ロボット復旧時間を短縮することができる。 (もっと読む)


【課題】 亀裂伝播性に優れ、安全弁をコイニングで形成する二次電池ケースの封口板として好適に用いることができるアルミニウム合金板を提供する。
【解決手段】 本発明の二次電池ケース封口板用アルミニウム合金板は、必須成分として、Mn:0.8質量%以上1.3質量%以下、Si:0.2質量%以上0.5質量%以下、Fe:0.3質量%以上1.0質量%以下含有し、残部がAlと不可避的不純物からなり、最大長さが0.5μm以上3μm以下のAl(Fe,Mn,Si)系金属間化合物の個数を1mm2当たり5000個以上20000個以下としたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 1つの装置で1GHz以下の周波数帯域を含む広範囲の周波数帯域に渡って連続的に電波の吸収特性を測定でき,特に大きな測定対象物を必要とせず,さらに装置及び信号処理が簡易な電波吸収特性測定を行えること。
【解決手段】 マジックティ12により,信号発生器11により開口(1)から入力された電波を各々逆位相で2分岐させ,その2分岐された電波各々をマジックティ12の開口(2)及び開口(3)の各々へ出力させる。さらに,その出力電波を,前記マジックティ12の開口(2)に接続された導波管21の端部を塞ぐ金属板30と同開口(3)に接続された導波管22の端部を塞ぐ測定対象物40との各々に反射させ,その反射によって開口(2)及び開口(3)の各々に戻ってくる両反射電波の合成電波を開口(4)に出力させ,その出力電波を信号受信器14を通じて測定する。 (もっと読む)


【課題】 アルミニウム合金押出材からなるバンパーリインフォース9にタイダウン用のフックブラケット1を固定する場合において、下向きの荷重を支え、かつフックブラケット1に衝突荷重が掛かったときにバンパーリインフォース9が潰れてエネルギー吸収が行われるようにする。
【解決手段】 バンパーリインフォースの前壁9a及び後壁9bにフックブラケットの軸部2が嵌入する穴11,12を形成し、軸部を後方側から両穴に嵌入し、フックブラケットの左右に突出するつば3〜6を、前記穴の周縁に背面側から当接させる。バンパーリインフォースの前方側上方のコーナー部と後壁側を斜めに連結する補強板21を設置し、後方側の延長部21cと前方側の延長部21eを前記穴に嵌入する。前壁にフックブラケットと補強板を溶接し、後壁にフックブラケットを溶接する。後壁側の溶接部15の接合強度は、衝突時に優先的に破断する程度に弱く設定する。 (もっと読む)


【課題】 電波吸収特性測定における送信アンテナと受信アンテナの被測定物に対する位置決めの対応関係のずれを確認でき,各アンテナの位置決めを容易化できること。
【解決手段】 送信アンテナ1,受信アンテナ2のいずれから電波を出射させるかをスイッチ21,22により切り替え可能とし,各々から電波を出射させたときの被測定物の設置面4における受信電波の強度分布を,その設置面4に配列された複数の平面アンテナ素子3各々による受信信号に基づいて測定する。さらに,2つのアンテナ各々から電波が出射された各々の場合について測定した強度分布の両測定結果を比較して,各アンテナの位置ずれを補正する。 (もっと読む)


【課題】 シリコンウエハの表面上の一部又は全域に形成された酸化シリコン膜又は窒化シリコン膜からなる電気的絶縁膜の上に、ダイヤモンド膜が、高密着性で、かつ低コストで気相合成されたダイヤモンド積層シリコンウエハ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 シリコンウエハ(半導体シリコン基板10)の表面の全域又は一部の領域上に、酸化シリコン又は窒化シリコンからなる電気的絶縁膜11、13を形成し、電気的絶縁膜上又はシリコンウエハ及び電気的絶縁膜上にダイヤモンド膜12、14をマイクロ波化学気相成長法により成膜する。マイクロ波化学気相成長法によるダイヤモンド膜の成膜条件は、マイクロ波投入電力密度がシリコンウエハ表面の単位面積当たり3乃至10kJ/mm、総投入量が50MJ以上である。 (もっと読む)


【課題】 構造が比較的簡単で組立・分解作業が容易な上に、鋳造ラインに組込まれた状態でのメンテナンス性のよい連続鋳造設備における鋳片案内装置を提供する。
【解決手段】 鋳型より引抜かれた鋳片13を、一対のロール2、3を複数備えたロール間を通して案内する連続鋳造設備における鋳片案内装置において、各対のロール2、3を軸受10を介して軸受箱4、5に軸支させ、一方のロール2の軸受箱4を基準側軸受箱4としてその複数の基準側軸受箱4を共通フレーム1に締結具14を介して着脱自在に設ける一方、他方のロール3の軸受箱5を反基準側軸受箱5として前記基準側軸受箱4に締結具22を介して着脱自在に連結させ、更に、前記共通フレーム1を連続鋳造設備の基準側フレームに設けてなる。
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【課題】 往復動圧縮機のシリンダの構造を簡略化し、不必要な圧力損失による消費動力の損失を低減することができる往復動圧縮機を提供する。
【解決手段】 内部にピストン2が収容され、圧縮室3が形成されるシリンダ10を備え、シリンダ10内におけるピストン2の往復動作によって圧縮室3の吸込口から吸込まれたガスを圧縮してその圧縮室3の吐出口より吐出する往復動圧縮機において、吸込口および吐出口が、シリンダ10に設けられ圧縮室3の内外を連通させる連通口10aと、連通口10aの両端の間の一方の流れのみを許容する構造を有し,連通口10aに嵌装されて係合する吸込弁4および吐出弁6と、これら吸込弁4および吐出弁6のそれぞれをシリンダ10の軸に向かって押圧して連通口10aに嵌装される弁抑え部材20から構成する。 (もっと読む)


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