【課題】 モータグレーダにおける前方視界及び作業視界を充分に確保することができ、特に、フロア前端部の下方にある作業機部分を見る領域を増大させることのできるモータグレーダのキャブを提供する。
【解決手段】 一対のＡピラー26の上端部間にフロア幅に近い幅を有する上部前面窓30を配設し、フロア22が矩形形状の左右両先端部における角部をカットした形状に構成する。Ａピラー26の下端部は、前記カット部の後方側の部位と連結する。各カット部に沿って左右一対の下部前面窓32の下部窓枠をそれぞれ配設する。隣接する各下部前面窓32の側部窓枠を縦桟38として構成し、上部前方窓30の下部窓枠としての横桟38と各下部前面窓32の上部窓枠33aとで囲繞される領域に上部板35を配設する。これにより、キャブ20内からフロア22の前方下方部における前方視界を良好に得ることができる。
（もっと読む）

【課題】コレクタミラーの冷却機構と回転機構とを両立させることにより、コレクタミラーの寿命を伸長させる。
【解決手段】極端紫外光を反射する反射面が形成されており、プラズマから放射された極端紫外光を反射して所定の方向に導くコレクタミラー１０と、該コレクタミラーの背面側に配置された冷却媒体用流路２３と、該冷却媒体用流路に冷却媒体を導入する配管２１と、冷却媒体用流路から冷却媒体を導出する配管２２とを含む冷却装置２０と、コレクタミラーを円周方向に回転させる回転装置３０と、コレクタミラーの反射面における損耗量に関連付けられた値に基づいて、回転装置によってコレクタミラーを回転させるタイミングと回転角度とを決定する制御装置１００とを有する。 （もっと読む）

【課題】作業機と運転室との干渉を防止するとともに、運転室の近傍においても良好な作業性を得ることができる作業機干渉防止方法およびその制御方法を提供する。
【解決手段】作業機のブーム回転角、オフセット回転角、アーム回転角および作業機の寸法情報を用いて計算した作業機の先端位置を、作業機と運転室との干渉の有無に応じて定められる領域区分と照合して作業機の先端位置が属する領域を判定するとともに、作業機の先端位置から計算した作業機と運転室との距離に基づいてブーム上げ速度の上限値を計算し、このブーム上げ速度の上限値およびアーム回転角を用いてブーム上げ速度の上限値を再設定し、再設定したブーム上げ速度の上限値および作業機の先端位置が属する領域区分に応じて求められるブームの制御電流を少なくとも計算して出力する。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で安価に製作することができるとともに、キャブフレームに作用する過大荷重に対抗することができる建設機械におけるキャブ支持装置を提供する。
【解決手段】車体フレーム１１にダンパ１６を介してキャブフレーム１４を支持するように構成する。ダンパ１６内には、車体フレーム１１に固定されるとともに、キャブフレーム１４に固定した被規制部材としての減衰板３４を受けてキャブフレーム１４の上方移動範囲を規制する第１規制部材としての規制板２４を設ける。ダンパ１６の外側における車体フレーム１１とキャブフレーム１４との間には、キャブフレーム１４の下方移動範囲を規制する第２規制部材としての規制体４１を設ける。 （もっと読む）

【課題】露光装置の指令によりレーザ運転の全時間に対するパルスレーザ光の発振時間が変化しても、ビームダイバージェンスの大きさとビームポインティングの角度変化を基準レベル以内に収めることができるＭＯＰＯシステムを有する露光装置用のレーザ装置を提供する。
【解決手段】露光装置用のレーザ装置において、ＭＯＰＯシステムの発振段と増幅段の間に、出射されたレーザ光のビームダイバージェンスの大きさおよびビームポインティングの角度変化を基準レベル以下に収めるような拡大率に設定されたビームエキスパンダを設ける。 （もっと読む）

【課題】ＬＰＰ式ＥＵＶ光源装置において、安定したターゲット物質の流れの形成を妨げることなく、プラズマの熱からターゲットノズルを保護できるノズル保護装置を提供する。
【解決手段】ターゲット物質１を通過させる開口１５５が形成されており、且つ、内部に冷却媒体を循環させる流路が設けられている水冷ジャケット１５３と、水冷ジャケットをターゲット物質の軌道から退避させる第１の状態、又は、水冷ジャケットにおけるターゲット物質の通路を確保しつつ、水冷ジャケットによりターゲットノズル１２２に対するプラズマ２の熱放射を遮蔽する第２の状態となるように、水冷ジャケットを移動させ、又は、水冷ジャケットの形状を変化させるアクチュエータ１５２とを含む。 （もっと読む）

【課題】ＬＰＰ型ＥＵＶ光源装置において、コレクタミラーのメンテナンスのコストを低減する。
【解決手段】ターゲット物質にレーザビームを照射して該ターゲット物質をプラズマ化することにより極端紫外光を生成する極端紫外光源装置において、極端紫外光を集光する際に用いられるコレクタミラー１０であって、極端紫外光を反射する反射面が複数の領域に分割されており、複数の領域の内の一部の領域を含む交換用ミラー１２と、複数の領域の内の他の領域を含むコレクタミラー本体１１とを有し、交換用ミラー１２がコレクタミラー本体１１に対して取り外し可能となっている。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光発生チャンバのウインドウの劣化等を容易に検出することが可能なＥＵＶ光源装置を提供する。
【解決手段】このＥＵＶ光源装置は、ドライバーレーザ１と、ＥＵＶ光発生チャンバ２と、レーザ光をＥＵＶ光発生チャンバ２内に透過させるウインドウ６と、ＥＵＶ光集光ミラー８と、レーザ光をターゲット物質の軌道上に集光させるレーザ光集光光学系４と、ウインドウ６の温度を検出する温度センサ８２と、極端紫外光の発生が行われるときに、温度センサ８２によって検出されたウインドウ６の温度に基づいて、ウインドウ６の劣化を判定するレーザ光光学系劣化チェック処理部８０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】出力が比較的大きい露光用の極端紫外光源装置において、一旦発生したデブリを処理するのではなく、発生するデブリを極力抑制する。
【解決手段】この極端紫外光源装置は、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、チャンバ内の所定の位置に固体の錫又はリチウムをターゲットとして供給するターゲット供給手段と、ターゲット供給手段によって供給されるターゲットに対して、パルス動作によりレーザビームを照射することによってプラズマを生成するＣＯ_２レーザと、反射面に多層膜を有し、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するコレクタミラーとを具備する。 （もっと読む）

【課題】コースエリアの形状変更や移動目的位置の変更に対応した誘導コースを容易に作成し、かつ、無人車両がコースエリアの境界や切り羽面に干渉することを防止する。
【解決手段】走行位置計測手段で計測される無人車両の走行位置と、無人車両の誘導コースを規定するコースデータとに基づいて、無人車両を誘導コースに沿って誘導走行させる無人車両の誘導装置であって、コースエリアの形状を入力する手段と、移動起点の位置と無人車両の方向および移動目的点の位置と車両進行方向とをそれぞれ指示する手段と、移動起点および移動目的点において、指示された位置と車両進行方向が満足されるコースデータを作成する手段と、作成されたコースデータで無人車両を走行させた場合の無人車両とコースエリアの干渉を推認する手段と、干渉が推認された場合に、コースデータを変更するコースデータ変更手段と、を備える。 （もっと読む）