【課題】
１バースト期間のうちの不安定期間に出力されるレーザ光のスペクトル幅を目標とするスペクトル幅に近づけて、１バースト期間内でレーザ光のスペクトル幅を安定させることによって、集積回路パターンの品質悪化や生産効率の低下を防止する。
【解決手段】
狭帯域化したレーザ光を連続してパルス発振するバースト期間と発振休止する発振休止期間とを交互に繰り返して動作する狭帯域化レーザにおいて、発振休止期間の長さに応じて発振休止期間中にパルス発振した場合のスペクトル幅を予測してスペクトル幅を変化させるアクチュエータを予め制御する。または、前回以前のバースト初期のスペクトル幅の不安定期間に計測されたスペクトル幅の計測値とそのときのスペクトル幅調整機構の動作指令値といった実績に基づいて不安定期間中にスペクトル幅制御を行う。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光発生チャンバのウインドウの劣化等を容易にチェックすることが可能なＥＵＶ光源装置を提供する。
【解決手段】このＥＵＶ光源装置は、ドライバーレーザ１と、ＥＵＶ光発生チャンバ２と、ウインドウ６と、ＥＵＶ光集光ミラー８と、レーザ光を発散する凹レンズ４１と、発散されたレーザ光をコリメートする凸レンズ４２と、コリメートされたレーザ光を反射して集光する放物凹面鏡４３と、放物凹面鏡４３の位置及び角度を調整する放物凹面鏡調整機構４４と、ＥＵＶ光発生時において閉じられ、ＥＵＶ光非発生時において開かれるゲートバルブ１６と、ＥＵＶ光非発生時にゲートバルブ１６を通過したレーザ光の強度を検出するレーザ光検出器６１と、レーザ光の強度に基づいて、ウインドウ６及び／又は放物凹面鏡４３の劣化を検出するレーザ光光学系劣化チェック処理部８０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】曲げ加工後における鋼管のスプリングバックを低減して、寸法精度の高い鋼管を成形することが可能な鋼管の曲げ加工方法および曲げ加工装置を提供する。
【解決手段】ストレッチベンド装置５０では、異形鋼管Ｐを曲げ加工用の内金型３１の傍にセット（ステップＳ１１）した後、異形鋼管Ｐの一部に形成された拡管部Ｐ１の部分を把持金型３２ａ，３２ｂによって把持した状態（ステップＳ１２，１３）で、把持金型３２ａ，３２ｂを引っ張りながら内金型３１を押し付けて、異形鋼管Ｐに対して引っ張り曲げ力を付与して曲げ加工を行う（ステップＳ１４〜Ｓ１６）。 （もっと読む）

【課題】制御特性を良好にして緻密な制御を行えるとともに、信頼性を向上させることができ、かつ小型化を促進できる可変ターボ過給機を提供すること。
【解決手段】可変ターボ過給機のスイング機構を駆動する油圧サーボ駆動装置３０を、スイング機構の駆動シャフト２１と連結されたサーボピストン３１と、サーボピストン３１のセンターホール３４内に収容されてパイロット圧によって摺動するパイロットスプール３６とで構成し、ハウジング３３内には圧油が流入出する第１油圧室４７および第２油圧室４８をそれぞれ設け、サーボピストン３１には、外部からの圧油流入用のプレッシャポート５１と、センターホール３４および第１油圧室４７を連通させる第１ピストンポート５３と、センターホール３４および第２油圧室４８を連通させる第２ピストンポート５４と、圧油流出用のリターンポート５２とを個別に設けた。 （もっと読む）

【課題】燃料噴射量のバラツキを低減してエンジン性能を向上できる、配管構造の生産性や信頼性を向上できる等の利点を有するエンジン用燃料噴射管の配管構造を提供する。
【解決手段】各シリンダヘッド１００ａ〜１００ｆには、それぞれ燃料噴射弁１０１ａ〜１０１ｆが設けられている。各燃料噴射弁１０１ａ〜１０１ｆは、燃料噴射管１０３ａ〜１０３ｆを介して、列状に延びるコモンレール１０５内のジョイント１０５ａ〜１０５ｆに接続されている。この例では、燃料噴射管１０３ｂ、１０３ｃ、１０３ｄ、１０３ｅをクロスさせて接続することで、全ての燃料噴射管１０３ａ〜１０３ｆの等長化が実現されている。これにより、燃料噴射量のバラツキを低減することができるので、エンジン性能を向上できる。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光発生チャンバのウインドウの劣化によるＥＵＶ光の発生効率の低下を防止することが可能なＥＵＶ光源装置を提供する。
【解決手段】このＥＵＶ光源装置は、ドライバーレーザ１と、ＥＵＶ光発生チャンバ２と、ウインドウ６と、ＥＵＶ光集光ミラー８と、レーザ光を発散する凹レンズ４１と、発散されたレーザ光をコリメートする凸レンズ４２と、コリメートされたレーザ光を反射してターゲット物質に集光する放物凹面鏡４３と、放物凹面鏡４３の位置及び角度を調整する放物凹面鏡調整機構４４と、ウインドウ６及び放物凹面鏡４３を保護するためのパージガスを供給するパージガス供給部３１、３３と、パージガスをウインドウ６及び放物凹面鏡４３に導くためのパージガス導入路３３、３４と、ウインドウ６及び放物凹面鏡４３を囲むパージガスチャンバ５０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】複数の焼戻し条件によるデータ採取から最適な焼戻し条件の選定までの処理を効率よく実施することが可能な高周波誘導焼戻し方法および高周波誘導焼戻しプログラムを提供する。
【解決手段】本高周波誘導焼戻し方法は、高周波誘導加熱コイル１１を用いてワークＷの焼戻し処理を行う方法であって、高周波誘導加熱コイル１１によってワークＷの熱処理部Ｗａを加熱しながら、熱処理部Ｗａにおける表面と内部との温度を測定し、予め設定された表面温度の上限値・下限値に応じて、表面と内部の温度が均一になるまで高周波誘導加熱コイル１１のＯＮ／ＯＦＦ制御を行う。このような焼戻し処理を、複数の焼戻し条件によって実施した後、これらの条件を記憶するとともに、所定の条件に基づいて最適な焼戻し条件の選定を行う。 （もっと読む）

【課題】自励発振光を抑制し、レーザ光の増幅を効率的に行うことができ、装置のサイズを小さくすることが可能な極端紫外光源装置用ドライバーレーザを提供する。
【解決手段】このドライバーレーザ１は、レーザ光を発振して出力する発振器４１と、発振器４１から出力されたレーザ光を増幅して出力する増幅器４２とを具備する。増幅器４２は、放電により励起された媒体のエネルギーを用いてレーザ光を増幅する放電部５２と、放電部５２から出力されたレーザ光を放電部５２に入力するフィードバックミラー５５と、発振器４１から出力されたレーザ光を放電部５２に出力するとともに、放電部５２から出力されたレーザ光を所定の方向に反射する偏光子５１と、放電部５２から出力された自励発振光を減衰させる自励発振光フィルタ５３とを含む。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光発生チャンバのウインドウの劣化によるＥＵＶ光の発生効率の低下を防止することが可能なＥＵＶ光源装置を提供する。
【解決手段】このＥＵＶ光源装置は、ドライバーレーザ１と、ＥＵＶ光発生チャンバ２と、ウインドウ６と、ＥＵＶ光集光ミラー８と、レーザ光を発散する凹レンズ４１と、発散されたレーザ光をコリメートする凸レンズ４２と、コリメートされたレーザ光を反射してターゲット物質に集光する放物凹面鏡４３と、放物凹面鏡４３の位置及び角度を調整する放物凹面鏡調整機構４４と、ウインドウ６及び放物凹面鏡４３を保護するためのパージガスを供給するパージガス供給部３１、３３と、パージガスをウインドウ６及び放物凹面鏡４３に導くためのパージガス導入路３３、３４と、ウインドウ６及び放物凹面鏡４３を囲むパージガスチャンバ５０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】高繰返し化（１０ＫＨｚ以上）、高出力化、超狭帯域化（０．１ｐｍ以下）を実現することが可能な露光装置用レーザ装置を提供すること。
【解決手段】ＬＭＮ３を有する狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０と、光安定共振器を配置した増幅段レーザ（ＰＯ）２０とからなる注入同期式レーザ装置において、発振段レーザ光を増幅段レーザ２０の光安定共振器内に注入する高効率な注入装置４を設ける。発振段レーザ１０には放電電極１ａが配置され、放電電極１ａを放電させるための１２ｋＨｚ電源１５が接続され、また、増幅段レーザ２０の光共振器内には複数組のペアの放電電極２ａ，２ｂが配置され、それぞれの電極ペア２ａ，２ｂを放電させるための６ｋＨｚ電源２５ａ，２５ｂが接続される。そして、２組のペア電極２ａ，２ｂに、前記注入光と同期させて交互に放電電圧を印加して放電させる。 （もっと読む）