説明

株式会社小松製作所により出願された特許

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【課題】
1バースト期間のうちの不安定期間に出力されるレーザ光のスペクトル幅を目標とするスペクトル幅に近づけて、1バースト期間内でレーザ光のスペクトル幅を安定させることによって、集積回路パターンの品質悪化や生産効率の低下を防止する。
【解決手段】
狭帯域化したレーザ光を連続してパルス発振するバースト期間と発振休止する発振休止期間とを交互に繰り返して動作する狭帯域化レーザにおいて、発振休止期間の長さに応じて発振休止期間中にパルス発振した場合のスペクトル幅を予測してスペクトル幅を変化させるアクチュエータを予め制御する。または、前回以前のバースト初期のスペクトル幅の不安定期間に計測されたスペクトル幅の計測値とそのときのスペクトル幅調整機構の動作指令値といった実績に基づいて不安定期間中にスペクトル幅制御を行う。 (もっと読む)


【課題】EUV光発生チャンバのウインドウの劣化等を容易にチェックすることが可能なEUV光源装置を提供する。
【解決手段】このEUV光源装置は、ドライバーレーザ1と、EUV光発生チャンバ2と、ウインドウ6と、EUV光集光ミラー8と、レーザ光を発散する凹レンズ41と、発散されたレーザ光をコリメートする凸レンズ42と、コリメートされたレーザ光を反射して集光する放物凹面鏡43と、放物凹面鏡43の位置及び角度を調整する放物凹面鏡調整機構44と、EUV光発生時において閉じられ、EUV光非発生時において開かれるゲートバルブ16と、EUV光非発生時にゲートバルブ16を通過したレーザ光の強度を検出するレーザ光検出器61と、レーザ光の強度に基づいて、ウインドウ6及び/又は放物凹面鏡43の劣化を検出するレーザ光光学系劣化チェック処理部80とを具備する。 (もっと読む)


【課題】曲げ加工後における鋼管のスプリングバックを低減して、寸法精度の高い鋼管を成形することが可能な鋼管の曲げ加工方法および曲げ加工装置を提供する。
【解決手段】ストレッチベンド装置50では、異形鋼管Pを曲げ加工用の内金型31の傍にセット(ステップS11)した後、異形鋼管Pの一部に形成された拡管部P1の部分を把持金型32a,32bによって把持した状態(ステップS12,13)で、把持金型32a,32bを引っ張りながら内金型31を押し付けて、異形鋼管Pに対して引っ張り曲げ力を付与して曲げ加工を行う(ステップS14〜S16)。 (もっと読む)


【課題】制御特性を良好にして緻密な制御を行えるとともに、信頼性を向上させることができ、かつ小型化を促進できる可変ターボ過給機を提供すること。
【解決手段】可変ターボ過給機のスイング機構を駆動する油圧サーボ駆動装置30を、スイング機構の駆動シャフト21と連結されたサーボピストン31と、サーボピストン31のセンターホール34内に収容されてパイロット圧によって摺動するパイロットスプール36とで構成し、ハウジング33内には圧油が流入出する第1油圧室47および第2油圧室48をそれぞれ設け、サーボピストン31には、外部からの圧油流入用のプレッシャポート51と、センターホール34および第1油圧室47を連通させる第1ピストンポート53と、センターホール34および第2油圧室48を連通させる第2ピストンポート54と、圧油流出用のリターンポート52とを個別に設けた。 (もっと読む)


【課題】燃料噴射量のバラツキを低減してエンジン性能を向上できる、配管構造の生産性や信頼性を向上できる等の利点を有するエンジン用燃料噴射管の配管構造を提供する。
【解決手段】各シリンダヘッド100a〜100fには、それぞれ燃料噴射弁101a〜101fが設けられている。各燃料噴射弁101a〜101fは、燃料噴射管103a〜103fを介して、列状に延びるコモンレール105内のジョイント105a〜105fに接続されている。この例では、燃料噴射管103b、103c、103d、103eをクロスさせて接続することで、全ての燃料噴射管103a〜103fの等長化が実現されている。これにより、燃料噴射量のバラツキを低減することができるので、エンジン性能を向上できる。 (もっと読む)


【課題】EUV光発生チャンバのウインドウの劣化によるEUV光の発生効率の低下を防止することが可能なEUV光源装置を提供する。
【解決手段】このEUV光源装置は、ドライバーレーザ1と、EUV光発生チャンバ2と、ウインドウ6と、EUV光集光ミラー8と、レーザ光を発散する凹レンズ41と、発散されたレーザ光をコリメートする凸レンズ42と、コリメートされたレーザ光を反射してターゲット物質に集光する放物凹面鏡43と、放物凹面鏡43の位置及び角度を調整する放物凹面鏡調整機構44と、ウインドウ6及び放物凹面鏡43を保護するためのパージガスを供給するパージガス供給部31、33と、パージガスをウインドウ6及び放物凹面鏡43に導くためのパージガス導入路33、34と、ウインドウ6及び放物凹面鏡43を囲むパージガスチャンバ50とを具備する。 (もっと読む)


【課題】複数の焼戻し条件によるデータ採取から最適な焼戻し条件の選定までの処理を効率よく実施することが可能な高周波誘導焼戻し方法および高周波誘導焼戻しプログラムを提供する。
【解決手段】本高周波誘導焼戻し方法は、高周波誘導加熱コイル11を用いてワークWの焼戻し処理を行う方法であって、高周波誘導加熱コイル11によってワークWの熱処理部Waを加熱しながら、熱処理部Waにおける表面と内部との温度を測定し、予め設定された表面温度の上限値・下限値に応じて、表面と内部の温度が均一になるまで高周波誘導加熱コイル11のON/OFF制御を行う。このような焼戻し処理を、複数の焼戻し条件によって実施した後、これらの条件を記憶するとともに、所定の条件に基づいて最適な焼戻し条件の選定を行う。 (もっと読む)


【課題】自励発振光を抑制し、レーザ光の増幅を効率的に行うことができ、装置のサイズを小さくすることが可能な極端紫外光源装置用ドライバーレーザを提供する。
【解決手段】このドライバーレーザ1は、レーザ光を発振して出力する発振器41と、発振器41から出力されたレーザ光を増幅して出力する増幅器42とを具備する。増幅器42は、放電により励起された媒体のエネルギーを用いてレーザ光を増幅する放電部52と、放電部52から出力されたレーザ光を放電部52に入力するフィードバックミラー55と、発振器41から出力されたレーザ光を放電部52に出力するとともに、放電部52から出力されたレーザ光を所定の方向に反射する偏光子51と、放電部52から出力された自励発振光を減衰させる自励発振光フィルタ53とを含む。 (もっと読む)


【課題】EUV光発生チャンバのウインドウの劣化によるEUV光の発生効率の低下を防止することが可能なEUV光源装置を提供する。
【解決手段】このEUV光源装置は、ドライバーレーザ1と、EUV光発生チャンバ2と、ウインドウ6と、EUV光集光ミラー8と、レーザ光を発散する凹レンズ41と、発散されたレーザ光をコリメートする凸レンズ42と、コリメートされたレーザ光を反射してターゲット物質に集光する放物凹面鏡43と、放物凹面鏡43の位置及び角度を調整する放物凹面鏡調整機構44と、ウインドウ6及び放物凹面鏡43を保護するためのパージガスを供給するパージガス供給部31、33と、パージガスをウインドウ6及び放物凹面鏡43に導くためのパージガス導入路33、34と、ウインドウ6及び放物凹面鏡43を囲むパージガスチャンバ50とを具備する。 (もっと読む)


【課題】構造的に耐振性を向上させずらく、磨耗が進行し折損しやすく、ばね力の設定に制約があり、部品の精度が必要でコストがかかるという問題点のすべてを解決するヒータ装置を提供する。
【解決手段】ヒータ装置1は、内側を吸気が通過するフレーム2と、板を折り返して形成されてなるヒータエレメント10と、ヒータエレメントを電気絶縁部材20を介してフレームに保持する保持手段30とを備えている。折り返し部11を挟んで対向する内側の形状および/または電気絶縁部材の保持部21が両板部10a、10bの隙間に、板幅方向Cに向けて入り込むことで、両板部が互いに板厚方向Bに離反するような形状に、形成されている。これにより両板部を互いに板厚方向Bに離反しつつ、保持部21と両板部が噛み合う。 (もっと読む)


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