【課題】
中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御を行えるようにして、見かけ上のスペクトル純度幅の制御を行うことで発生する上記諸問題点を解消する。
【解決手段】
増幅用レーザ装置３００から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅E95をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅E95が、目標スペクトル純度幅E950の許容幅E950±ｄE95内に収まるように、発振用レーザ装置１００で放電を開始してから増幅用レーザ装置３００で放電を開始するまでの放電タイミングを制御することで、スペクトル純度幅E95を安定化制御する。
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【課題】 ダンプボディを上げた状態で、ロックエジェクタが前方向に振れた場合でも、後車輪のハブに当たらないダンプトラックのロックエジェクタ装置を提供すること。
【解決手段】 ダンプトラックのロックエジェクタ装置において、複列に配置された後車輪の間であって後車輪の後部側のすきまに配置されたロックエジェクタを、前後方向に回動自在としてダンプボディに備え、前記ロックエジェクタの前面にロック溝を設け、前記ロックエジェクタの前方にロックレバーを前後方向に回動自在に設け、前記ロックレバーを前記ロックエジェクタ側へ押し付ける付勢手段を備え、前記ダンプボディ上げ時に前記ロックレバーが前記ロック溝に引っ掛ることを特徴とするダンプトラックのロックエジェクタ装置。 （もっと読む）

【課題】
グレーティングの反射面の角度を垂直面内のみで変化させることによって、グレーティングの姿勢を正しく制御する。
【解決手段】
エシェルグレーティングの回転軸は、複数の回折溝に直交し且つ複数の回折溝にそれぞれ形成された反射面と平行する直線と一致するか又は平行する。このような回転軸を設定することによって、反射面の角度は水平面内で変化することなく垂直面内のみで変化する。 （もっと読む）

【課題】 格段に長いパルス幅を持ちながら、高繰り返し動作時でも安定したパルス幅を出力しかつ安定なレーザ発振可能な放電励起ガスレーザ装置。
【解決手段】 一対の長尺の放電電極２、３と放電用コンデンサーＣＰと高電圧パルス発生装置４とを備え、放電電極２、３が高電圧パルス発生装置４に接続されてなる放電励起ガスレーザ装置であり、少なくとも給電側の放電電極２が長手方向に複数の分割電極２₁ 〜２₅ に分割され、複数の分割電極個々が、あるいは、隣接する複数の分割電極がグループ化されてなる電極群個々が、それぞれ単数又は複数の分割コンデンサーＣＰ１〜ＣＰ５の給電側端子に接続され、分割コンデンサーＣＰ１〜ＣＰ５は１個以上の分岐点Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３を介して高電圧パルス発生装置４に相互に並列に接続されており、並列に接続された分割コンデンサーＣＰ１〜ＣＰ５が放電用コンデンサーＣＰを構成している。 （もっと読む）

【課題】 機器のメンテナンスが容易で、しかも組み付けが容易なアーティキュレート式車両の油圧ホース保持装置を提供する。
【解決手段】 回動自在に連結されたフロントフレームとリアフレームとの間に跨って複数の油圧ホースを配設する、アーティキュレート式車両の油圧ホース保持装置において、一側油圧ホース群を束ねてリアフレームの一側の壁及びフロントフレームの他側の壁に沿って固定する結束固定部材と、他側油圧ホース群を束ねてリアフレームの他側の壁及びフロントフレームの一側の壁に沿って固定する結束固定部材とを備え、一側の油圧ホース群が他側の油圧ホース群よりも上方を通るように、フロントフレームとリアフレームとの間で交差させることを特徴とするアーティキュレート式車両の油圧ホース保持装置。 （もっと読む）

表面に研磨クロス２５を貼付した定盤２４と、ウェーハ３０の一面を保持して研磨クロス２５に当接させるチャック１９と、チャック１９の外周に同心状に配置された円環状のリテーナリング２３を有する。リテーナリング２３はチャック１９に対して揺動及び上下動可能であり、粗研磨工程ではリテーナリング２３により研磨クロス２５を押圧し、仕上げ研磨工程ではリテーナリング２３を上方に退避させ、粗砥粒の仕上げ研磨ステージへの持込を防止して、粗研磨と仕上げ研磨を同じ研磨ヘッドで連続して行う。これにより、粗研磨における粗砥粒を仕上げ研磨ステージに持ち込ませず、粗研磨と仕上げ研磨を同じ研磨ヘッドで連続して行うことにより装置のコストダウンが可能になる。
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【課題】作業機による作業部位が高所であっても、その作業部位をオペレータの視野に収
まる範囲とすることが可能であり、しかも、十分な剛性を確保することが可能な建設機械
のキャブを提供する。
【解決手段】一対の側面パネル１、２と、上部位置に窓取付部１３が形成された前面パネル３と、前面パネル３の窓取付部１３に隣接して天井パネル接続部１４が形成された天井パネルとを備えた建設機械のキャブは、天井パネル接続部１４に沿ってキャブ室内側に延設され、一対の側面パネル間を連結する筒状連結体３３を備え、筒状連結体３３は、該筒状連結体３３の延出方向端面でそれぞれの側面パネルと接合され、前面パネル３は、筒状連結体３３の延出方向端部近傍で該筒状連結体３３に接合されている。 （もっと読む）

【課題】
エキシマレーザ装置の発振動作正常・異常に関わらず、半導体ウェーハの露光異常の原因を早期に且つ容易に発見し、以後の露光処理での露光異常を回避する。
【解決手段】
ある指令値が設定されて動作するレーザ装置を用いて半導体ウェーハの露光を行う際に、半導体ウェーハを特定する情報、例えばロット番号の情報、及びその半導体ウェーハ上の露光位置を特定する情報、例えば集積回路チップ位置の情報、と、その露光位置をレーザ光で露光した時のレーザ装置の動作情報、例えばパルス毎の出力光エネルギーやパルス毎の発振中心波長やパルス毎の線幅の情報等と、を関連付けて記憶する。露光後に半導体ウェーハ上の集積回路チップを検査し、パターン不良が発見された場合は、記憶した情報の中から不良が発見された半導体ウェーハのロット番号の情報及び集積回路チップ位置の情報に対応するパルス毎の動作情報を取得する。そしてこれらの動作情報に基づいて集積回路チップにパターン不良が生じないようにレーザ装置の指令値を調整する。
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【課題】 エネルギ消費が少なく、製造コストの低減を図れるプレス機械のワーク搬送装置を提供すること目的とする。
【解決手段】 プレス機械のワーク搬送装置において、フィード方向に平行に設けられた左右一対のトランスファバー１３，１３と、前記それぞれのトランスファバー１３をフィード方向に移動自在で、かつリフト方向に拘束する支持部材１９と、この支持部材１９と前記トランスファバー１３との間に介在し、前記トランスファバー１３を前記支持部材１９に対してフィード方向に移動自在に駆動するリニアモータ１６と、前記支持部材１９をリフト方向に移動させるリフト装置４１と、前記トランスファバー１３に着脱自在に装着され、ワーク６を保持するワーク保持具１５とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
ログデータの収集や運転パラメータの変更といったレーザ装置の操作を、公衆回線又は専用回線からなるネットワークを介して行えるようにする。
【解決手段】
レーザ装置の所定動作を指示する指示データはネットワークを介してレーザ指示装置からサーバ装置へ送信される。サーバ装置では指示データが一時的に保存される。本システムではネットワークを介してレーザ監視装置からサーバ装置へ指示データの保存状況を照会する指示データ照会信号が送信される。サーバ装置で指示データ照会信号が受信された時点で、サーバ装置に指示データが保存されていると、指示データがネットワークを介してサーバ装置からレーザ監視装置へ転送され、さらにレーザ装置に転送される。こうしてレーザ装置は指示データの内容に応じて動作する。
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