説明

株式会社小松製作所により出願された特許

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【課題】ターゲット物質又はプラズマによって反射されてドライバレーザに戻る反射光(戻り光)によるドライバレーザの故障を防止する極端紫外光源装置を提供する。
【解決手段】この極端紫外光源装置は、チャンバ内にターゲットを供給するターゲット供給部と、ドライバレーザから出射されるレーザ光をターゲットに集光することによってプラズマを発生させるレーザ集光光学系と、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するEUV集光光学系と、所定の光路を通過したレーザ光の第1の直線偏光成分を円偏光成分に変換しながら反射し、集光されたレーザ光がターゲット又はプラズマによって反射されて生じた戻り光の円偏光成分を第2の直線偏光成分に変換しながら反射するリターダーと、レーザ光の光路に配置され、第1の直線偏光成分を反射して第2の直線偏光成分を吸収するコーティングミラーとを具備する。 (もっと読む)


【課題】支持構造に潤滑油を確実に供給でき、異物が支持構造内部に入り込むことを防止できる建設機械を提供すること。
【解決手段】建設機械であるダンプトラックでは、フロントフレーム11に搭載されたキャブ30と、フレーム11とキャブ30との間に設けられてキャブ30を回動可能に支持するリア側支持構造100Bとを備え、キャブ30には、支持構造100Bを上方から覆うカバー部材300が設けられ、支持構造100Bの回動部位には、潤滑油を供給するための給脂ニップル200が設けられ、カバー部材300は、キャブ30に取り付けられる支持ブラケット310と、支持ブラケット310に対して開閉自在に設けられた開閉部材320とを備え、給脂ニップル200は、キャブ300が下側に回動したとき、および上側に回動したときの双方において、開閉部材320を開けることで外部に露出する位置に設けられている。 (もっと読む)


【課題】LPP型EUV光源装置において、簡単な構成によりプラズマ発生室内の真空度や清浄度を高める。
【解決手段】液滴生成室100と、該液滴生成室と開口部101aを介して接続されているプラズマ発生室110と、プラズマ生成室内にターゲット物質を供給するノズル102と、ノズルから供給される溶融金属のターゲット物質に基づいて、繰り返し滴下する溶融金属の液滴108を生成するピエゾ素子103及びピエゾドライバ106と、生成されたターゲット物質の液滴108aが、開口部を通過するのを妨げる液滴遮断ユニット107と、液滴遮断ユニットが所定のタイミングで動作するように制御する制御部115と、レーザ光を出射するレーザ光源111と、レーザ光源から出射したレーザ光を、液滴生成室において生成され、開口部を通過してプラズマ発生室に導入されたターゲット物質の液滴108bに照射させるレンズ112とを含む。 (もっと読む)


【課題】 キャブの支持構造を簡素化できる建設機械を提供すること。
【解決手段】 建設機械は、車体フレーム11と、車体フレーム11に搭載されたマウント装置110と、マウント装置110上に連結ピン150を介して回動自在に連結されたキャブとを備え、車体フレーム11には、連結ピン150が挿通される挿通孔143を有したストッパ140が設けられ、ストッパ140の挿通孔143と連結ピン150との間には、連結ピン150の径方向への所定以上の変位量を規制する隙間144が形成され、連結ピン150は、軸線方向に沿って移動自在に設けられ、連結ピン150の外周には、該連結ピン150の移動に伴って隙間144に対して挿抜される隙間埋め部材200が一体に設けられている。 (もっと読む)


【課題】車内スペースの狭小化及び最低地上高の低下を抑えると共に、車両下方からの爆風によるダメージを軽減することができる装甲車を提供する。
【解決手段】装甲車は、車両本体と、車輪と、インホイールモータとを備える。車両本体は、底面を含む。底面は、車両前後方向に垂直な断面視において、V字形の形状を有する。車輪は、車両本体に対して回転可能に設けられる。インホイールモータは、車輪内に配置され、車輪を駆動する。車両本体の底面は、第1底面部と第2底面部とを有する。第1底面部は、装甲車の重心位置と上下方向に並んで配置される。第2底面部は、車両前後方向において第1底面部から離れている。第2底面部のV字形の角度θ2fは、第1底面部のV字形の角度θ1よりも小さい。 (もっと読む)


【課題】車両速度の推定にあたり、実際の車両速度との誤差が生じた場合であっても、適切に制御することができるトラクションコントロール装置を提供すること。
【解決手段】車両速度推定装置及び駆動力制御装置を備えたトラクションコントロール装置は、駆動力制御装置を構成し、回転速度検出手段で検出された回転速度から各車輪のスリップ率を算出して、算出されたスリップ率が一定の目標値に収束するように、制動機構の制御を行う制動機構制御手段84と、車両速度推定装置で推定された建設車両の車両速度、及び、制動機構制御手段84で算出されたスリップ率に基づいて、駆動力制御装置による駆動力制御のバランス状態の適否を判定する車両状態判定手段815と、バランス状態が不適であると判定されたら、駆動力制御装置による駆動力制御の状態を変更する駆動力制御変更手段816とを備えている。 (もっと読む)


【課題】本発明の課題は、インホイールモータの径方向寸法及び軸方向寸法を小型化することにある。
【解決手段】インホイールモータは、第1ロータ15と、ブレーキディスク22と、連結部材18と、第1ステータ16と、ブレーキキャリパ23とを備える。ブレーキディスク22は、第1ロータ15に対して径方向に間隔をおいて配置される。連結部材18は、第1ロータ15とブレーキディスク22とを連結する。第1ステータ16は、径方向において第1ロータ15とブレーキディスク22との間に配置される。ブレーキキャリパ23は、ディスク側部分233とステータ側部分234とを有する。ディスク側部分233は、軸方向においてブレーキディスク22と並んで配置される。ステータ側部分234は、第1ステータ16と周方向に並んで配置される。 (もっと読む)


【課題】本発明の課題は、車体を大型化させずに車体内のスペースを拡大することができると共に、車輪の操舵に要する力の増大を抑えることができる走行車両を提供することにある。
【解決手段】走行車両において、第1ハウジング部17は、車輪12内に配置される。第2ハウジング部18は、第1ハウジング部17の車幅方向における内方に配置され、第1ハウジング部17の外径よりも小さな外径を有する。モータ部14は、第1ハウジング部17内に配置される。ブレーキ装置15は、モータ部14の外径よりも小さな外径を有する。ブレーキ装置15は、第2ハウジング部18内においてモータ部14の車幅方向における内方に配置される。サスペンション装置6は、第2ハウジング部18の径方向における外方に配置される支持部61を有する。サスペンション装置6は、支持部61においてモータハウジング13を支持する。 (もっと読む)


【課題】ほぼ均一な強度で所望のパルス幅を実現できるドライバレーザを用いて、効率的にEUV光を得ることができる極端紫外光源装置を提供する。
【解決手段】この極端紫外光源装置は、ターゲットにレーザビームを照射することにより極端紫外光を発生するレーザ生成プラズマ型極端紫外光源装置であって、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、チャンバ内の所定の位置に液体又は固体の金属ターゲットを供給するターゲット供給手段と、互いに異なる遅延を伴う複数のパルスレーザビームを合成して強度が略均一の単一パルスレーザビーム又はパルス列レーザビームを生成し、ターゲット供給手段によって供給されるターゲットに該レーザビームを照射することによりプラズマを生成するレーザビーム生成部と、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するコレクタミラーとを具備する。 (もっと読む)


【課題】エンジンフード本体が第1の開放位置から第2の開放位置へと不意に開くのを防ぐことのできる建設機械のエンジンフードを提供する。
【解決手段】ステー31の支持軸31bが案内部34に形成された第1の掛止部に掛け止められてエンジンフード本体21を第1の所定角度の位置まで開いた第1の開放位置と、ステー31の支持軸31bが案内部34に形成された第2の掛止部に掛け止められてエンジンフード本体21を第1の所定角度よりも大きい第2の所定角度まで開いた第2の開放位置とに開放可能な建設機械のエンジンフード12において、エンジンフード本体21が第1の開放位置から第2の開放位置に向けて開かれる際にステー31の支持軸31bの案内部34での移動を制限するストッパプレート42を備えるものとする。 (もっと読む)


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