説明

株式会社島津製作所により出願された特許

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【課題】半導体膜の表面欠陥の発生を抑制する半導体膜蒸着装置および半導体膜蒸着方法を提供する。
【解決手段】
半導体原料を収容するるつぼ2と、るつぼ2と対向して基板5を支持する基板支持器6と、るつぼ2と基板5との間でるつぼ2の開口を覆って配置されるマスク4と、るつぼ2およびマスク4を加熱する加熱器3と、るつぼ2、基板支持器6、およびマスク4を収容する真空チャンバ7とを備える半導体膜蒸着装置。るつぼ2から飛散した半導体分子はマスク4内部を衝突しながら通過することで基板5上に表面欠陥が抑制された状態で成膜される。 (もっと読む)


【課題】 負荷機構の駆動制御を高精度に行うことが可能な材料試験機を提供する。
【解決手段】 制御機構では、目標値とストローク検出器34の検出値との偏差が求められ、第1調節部51において、この偏差に対して予め設定した定数Dを乗算することにより、弁開度指令値の計算値a(t)が得られる。ラムシリンダ25の変位量または変位速度とサーボバルブ43の弁開度との関係から比率Kを逐次計算し、第2調節部52において比率Kを用いて計算値a(t)を補正して得た弁開度指令値b(t)をサーボバルブ34に供給する。 (もっと読む)


【課題】 試験片の破断ショックによるピニオン軸両端部への負荷に耐えることが可能なピニオン軸固定構造を備えた材料試験機を提供する。
【解決手段】 ピニオン軸41を中心に向かって互いに付勢する一対の皿ばね46を押さえる押さえ部材70は、上クロスヘッド23にボルト71により固定される。押さえ部材70には、ピニオン軸41の端部の太さに対応する孔部が形成され、この孔部にピニオン軸41の端部が挿入される。このため、押さえ部材70で、ピニオン軸41の端部の周りに配設された皿ばね46を押さえるだけでなく、ピニオン軸41を回転自在な状態で上クロスヘッド23に固定することができる。 (もっと読む)


【課題】骨梁の状態を正確に定量できる骨梁解析装置を提供する。
【解決手段】従来装置によれば、単純撮影により取得される透過像を用いて骨梁解析を行っている。この様な解析は必ずしも正確な結果が取得できるわけではない。透過画像には骨梁同士が重なり合って不鮮明に写り込んでいるからである。そこで、本発明によれば、断層画像Dに対して骨梁解析が行われる。断層画像Dには網目状の骨梁が重ならずに鮮明に写り込んでいるので、骨梁解析による骨梁の定量はより正確なものとなる。 (もっと読む)


【課題】 アクセサリーの固定状況を確実に認識することが可能なアクセサリー装着装置およびこのアクセサリー装着装置を備えたアクセサリーを提供する。
【解決手段】 踏み台を天板に装着するときには、固定部材52を揺動させて係合位置に移動させる。これにより、固定部材52の先端に配設されたピン51が天板に形成された固定用凹部に係合する。このときには、表示領域101がロック状態表示窓48を介して外部から視認される。一方、固定部材52が移動可能な非ロック状態においては、表示領域102がロック状態表示窓48を介して外部から視認される。 (もっと読む)


【課題】電源投入時に結露が生じていても結露の消失を待つことなく始動することが可能なターボ分子ポンプ用の電源装置を提供する。
【解決手段】電源装置50は、周縁部51aの内周側に凹部51bを有するベース部材51と、ベース部材51の凹部51b側に取り付けられた覆い部材52を有する。ベース部材51の凹部51b内には、高電圧が入出力される電力系ユニット70が配置され、覆い部材52の内面側には制御系ユニット80が配置される。電力系ユニット70を構成する回路基板71の配線および電子部品72、73の端子部72a、73a等の導電部は、樹脂モールド等の保護材料55で被覆されている。 (もっと読む)


【課題】 アクセサリーの固定状況を確実に認識することが可能なアクセサリー装着装置およびこのアクセサリー装着装置を備えたアクセサリーを提供する。
【解決手段】 踏み台を天板に装着するときには、固定部材52を揺動させて係合位置に移動させる。これにより、固定部材52の先端に配設されたピン51が天板に形成された固定用凹部に係合する。そして、移動規制部材43を揺動させて規制位置に移動させる。さらに、ロック用ピン42を下方に移動させ、移動規制部材43の揺動動作を規制する。 (もっと読む)


【課題】放射線源を支持する支柱の撓みにより生じるFPDと照射範囲との位置ズレを取り除くことにより、診断に適した画像を取得しつつ、被検体の無用な被曝を避けることができる放射線撮影装置を提供する。
【解決手段】本発明によれば、X線管3を支持する支柱5の撓みにより生じるFPD4の検出面4aとX線の照射範囲との位置のズレを確実に取り除くことが可能なX線撮影装置1を提供できる。すなわち、本発明によれば、支柱5の傾斜に応じてFPD4の検出面4aと照射範囲との位置関係を天板2の長手方向について調整するようになっている。この様にすると、FPD4の検出面4aとX線の照射範囲との位置のズレが確実に取り除かれ、診断に適した画像が取得できる。また、本発明によれば、被検体Mの無用な被曝を避けることができる。 (もっと読む)


【課題】
従来の表面反射鏡では、ガスセルの気密保持のため表面反射鏡とガスセル外囲器の間に挿入されるガスケットと、表面反射鏡反射面にコーティングされる薄膜との親和性により、使用中にガスケットと薄膜表面が融着し、保守点検などで表面反射鏡を取り外す際に前記薄膜が反射面から不均一に剥離する事故が発生し、表面反射鏡の再利用が困難であった。
【解決手段】
反射率向上または反射面保護のために、セルCNの開閉蓋2または開閉蓋3の内方に配設された平面鏡4または平面鏡5の基板4aまたは基板5aに、反射率向上または反射面保護のためにコーティングされる薄膜4bまたは薄膜5bのコーティング範囲を、適切なマスキングによってセルCNの気密保持のため挿入されるOリング8RまたはOリング8Lと基板4aまたは基板5aが接触する領域を除いた領域に限定し、各薄膜表面と各Oリングの融着を防止する。 (もっと読む)


【課題】複数の溶媒や複数のカラムの中から選択した任意の溶媒及びカラムを用いてクロマトグラフ分析を行う場合において、使用する溶媒やカラムの種類を正しく選択することができる液体クロマトグラフを提供する。
【解決手段】本発明は、送液ポンプの送出側にカラム切替バルブを介して接続された複数のカラムと、送液ポンプの吸引側に溶媒切替バルブを介して接続された複数の溶媒容器から溶媒を吸引するための複数の溶媒流路と、送液ポンプによって溶媒が吸引される溶媒容器、及び移動相が導入されるカラムをユーザに選択させる条件選択手段と、条件選択手段による選択内容に基づいて溶媒切替バルブ及びカラム切替バルブを制御する制御手段とを備える。条件選択手段は、少なくとも複数の溶媒容器、及び複数のカラムを示すシンボルを用いた条件選択画面を表示する表示手段を備える。各シンボルは互いに異なる色で表示される。 (もっと読む)


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