説明

株式会社島津製作所により出願された特許

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【課題】コントロールユニット内への塵等の侵入を防止しつつ、送風ファンによって電子部品を効果的に冷却することができる一体型ターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ポンプユニット20はモータ6のモータステータが設けられたポンプベース4を有し、コントロールユニット30は、モータステータが設けられたポンプベース4との間に隙間領域Sを形成するようにポンプベース4の底面に固定されたケース(ベース板32およびケーシング33)を有している。電子部品304が実装された基板301,302は、隙間領域Sに対面するケース壁部であるベース板32の内周面に固定されている。そして、ファン34により隙間領域Sに冷却風を送風することで、電子部品で発生した熱は隙間領域に面したベース板32の部分から効果的にケース外に放熱される。 (もっと読む)


【課題】ウィンドウの表面を清浄に保持することでガス濃度の測定精度を長期的に安定して得ることができるガス濃度測定装置。
【解決手段】レーザ光を発光する光源部200と、レーザ光を受光する受光部300と、光源部と受光部との間で且つレーザ光が通過する位置に配置された光学素子6と、光源部と受光部と光学素子とを連結する連結管5a,5bと、光源部と受光部との間で且つ連結管に接続され、測定対象ガスが存在する煙道1と、連結管の内の煙道付近に取り付けられ、パージガスを導入するための第1パージガス導入口7cと、連結管の内の光学素子付近に取り付けられ、パージガスを導入するための第2パージガス導入口7bとを有する。 (もっと読む)


【課題】測定情報画像上において位置決めを行い易くすることができる測定システムに用いられる表示装置、表示方法並びに表示プログラムを提供することを目的とする。
【解決手段】測定対象の血液中に含まれているβ線の測定情報を有したIP(イメージングプレート)画像を表示し、血液を収容する円板の設計情報に基づくガイドGをIP画像に付加して表示することで、本来であればガイドが反映されないIP画像にガイドGを付加して表示することにより、設計情報に基づく基準位置(例えば円板の中心位置)がIP画像上で視覚的にわかる。その結果、基準位置(円板の中心位置)を示すガイドGに基づいてIP画像上で位置決めを行い易くすることができる。 (もっと読む)


【課題】ターボ分子ポンプに一体的に取り付けられる制御ユニットを小型化し、または製造コストを低減する。
【解決手段】上ケース12はフランジ12aの貫通孔51に挿通された締結部材61により外部装置の第1の取付部材91に締結される。上ケース12に締結された第1のベース14はフランジ14bの貫通孔52に挿通された締結部材63により外部装置の第2の取付部材92に締結される。制御ユニット70は締結部材65により第2のベース15に締結される。締結部材65にはロータ30の破壊時のトルクが作用しないので、締結部材65および制御ユニット70のケースを、強度が小さいものとすることができる。 (もっと読む)


【課題】電気的検査と光学像による観察とを行うTFT液晶基板検査において、装置構成を小型化し、基板アレイ検査のスループットを向上させる。
【解決手段】TFT液晶基板検査装置は、検査チャンバーから電気的検査によって欠陥位置を取得したTFT液晶基板を、検査チャンバーから基板交換チャンバーに搬出する際に、TFT液晶基板上の欠陥位置に撮像装置を移動させて光学像を取得する構成とすることによって、光学像を取得的するために要するスペースを不要として装置構成を小型化すると共に、TFT液晶基板の搬出と同時に光学像を取得することによって、光学像のみを取得するための時間を不要としてTFT液晶基板検査のスループットを向上させる。 (もっと読む)


【課題】撮像装置とキャリブレーションマークとの位置関係に係わらず、撮像装置をキャリブレーションするに十分な、キャリブレーションマークの撮像画像を取得する。
【解決手段】単一のキャリブレーションマークを複数回撮像することによって、複数の基準マークが配置されたキャリブレーションを撮像したときと同様の画像マークを取得し、この画像マークに基づいて撮像装置について中心位置、取り付け角度、分解能等のキャリブレーションを行う。単一のキャリブレーションマークを異なる撮像位置で複数回撮像して画像マークを取得する撮像工程と、複数回の撮像で取得したキャリブレーションマークの各画像マークを用いて、複数個の画像マークを有した撮像画像を形成する撮像画像形成工程と、撮像画像の画像マークの位置と撮像画像上の基準位置とに基づいて、撮像装置のキャリブレーション情報を算出するキャリブレーション情報算出工程とを備える。 (もっと読む)


【課題】1つの装置で、分析目的に応じた高感度の測定と測定質量範囲の広い測定とを自由に選択可能とする。
【解決手段】四重極電源部4において、高周波電源401による高周波電圧の周波数を切り替え可能とするとともに、四重極マスフィルタ2の浮遊容量に並列に可変コンデンサ402、403を設ける。感度優先の高感度モードでは質量範囲の広さを優先する高質量モードよりも、高周波電圧の周波数を高くするとともに、可変コンデンサ402、403の容量値を大きくする。LC共振回路を形成する容量値が大きくなることでLC共振条件に基づく周波数が上がり、高い周波数の高周波電圧をLC共振させて振幅を増幅することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】 エジェクタや吸引パイプやエアロゾル移送パイプ等の吸入管を取り外すことなく、容易に洗浄できる粒度分布測定装置の洗浄方法及びその洗浄方法が用いられる粒度分布測定装置を提供する。
【解決手段】 被測定物Sが収容されるサンプル供給装置30と、光強度分布取得部41と、光強度分布取得部41で取得された光強度分布を用いて、被測定物Sに含まれる被測定粒子群の粒度分布を算出する粒度分布算出部43とを備え、測定空間の一端部は、吸入管24a、24b、24fを介してサンプル供給装置30と連結されるとともに、測定空間の他端部は、排出管91と連結されている粒度分布測定装置1の洗浄方法であって、サンプル供給装置30に洗浄用粒子群を含む被測定物Sを収容する収容工程と、洗浄用粒子群を含む被測定物Sを、吸入管24a、24b、24fと測定空間と排出管91とを通過させる通過工程とを含む。 (もっと読む)


【課題】TFTアレイ検査装置において、基板内で絶縁破壊(ESD)を生じさせることなく、基板に帯電した電荷を放電する。
【解決手段】プローバーを基板に配置し、プローバーを介して検査信号を基板に供給し、基板上に形成されたTFTアレイを検査するTFTアレイ検査装置において、TFTアレイ検査時にプローバーを基板に配置した際に、基板をプローバーを介して接地された高抵抗の放電用抵抗に接続することによって、基板に帯電する電荷をプローバーおよび放電用抵抗を介して放電させる。基板に帯電する電荷を、基板からプローバーを介して放電用抵抗に導くことによって、TFTアレイ検査装置内において格別な機構を設けることなく基板に帯電する電荷を放電することができる。 (もっと読む)


【課題】体幹部由来の放射線を確実に遮蔽し、かつ乳房を検出器リングに挿入するときの邪魔とならない遮蔽プレートを備えた乳房検診用放射線撮影装置を提供する。
【解決手段】本発明における遮蔽プレート13は、部位によって厚さが異なる。すなわち、本発明の遮蔽プレート13は、検出器リングの中心軸方向に肉厚の肉厚部13aと、肉薄の肉薄部13bとを有している。この様な遮蔽プレート13における肉厚部13aでは、被検体の心臓などから多く発する放射線を確実に吸収することができる。また、肉薄部13bでは、被検体と検出器リングとの距離をより近づけることができる。したがって、本発明の装置によれば、鮮明で乳房全体を写し込んだ断層画像が取得できる。 (もっと読む)


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