昭和電工株式会社により出願された特許

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【目的】 気相法により膜状ダイヤモンドを合成する。
【構成】 基板表面に炭素質微粒を含むエステル溶液を塗布し、加熱した後に原ダイヤモンド合成原料を供給して気相法ダイヤモンド合成反応を行わせる。 (もっと読む)


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