説明

住友重機械工業株式会社により出願された特許

1,021 - 1,030 / 2,241


【課題】荷電粒子線の線量分布における辺縁部のむらや低下を簡易に抑制することができる荷電粒子線照射装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子線照射装置1は、荷電粒子線Rを走査するための走査電磁石5a,5bと、走査電磁石5a,5bの動作を制御する制御装置6と、を備えている。荷電粒子線照射装置1では、制御装置6が、照射ラインに沿って荷電粒子線Rを照射するときの走査速度を、荷電粒子線Rの線量分布における辺縁部が補正されるように変更する。つまり、線量分布の辺縁部が補正されるように荷電粒子線Rの照射時間が長く又は短くされることになる。よって、荷電粒子線Rの強度を制御することなく線量分布の辺縁部が制御され、線量分布の辺縁部のむらや低下が簡易に抑制される。 (もっと読む)


【課題】定盤を小さくすると共に装置の小型化を図ることのできるXYステージ装置を提供する。
【解決手段】吸着盤リフトエアベアリング44が石定盤3,4の上面を滑走面として吸着盤11を支持し、更に、Y軸リフトエアベアリング14,16も石定盤3,4の上面を滑走面としてY軸スライダ12,13をそれぞれ支持する。このように、石定盤3,4をY軸スライダ12,13のガイドとして用いることによって、Y軸リフトエアベアリング14,16と吸着盤リフトエアベアリング44とで滑走面を共有させる。これによって、Y軸スライダ12,13専用のガイドを石定盤3,4の上面に設けることを不要とする。 (もっと読む)


【課題】ワークの大型化に対応させ易くしたリフトピンユニット及びそれを具備したXYステージ装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るリフトピンユニット50は、ワークを搭載させるための吸着盤10の裏面に固定可能な取付けプレート51と、取付けプレート51に固定されるモータ54と、吸着盤10を貫通して上下方向に延在するピン穴70内に挿入される複数のリフトピン67と、モータ54の回転をリフトピン67の上下運動に変換する運動変換手段Sと、を備え、運動変換手段Sは、モータ54の出力軸54aとして延在するネジ軸57と、ネジ軸57に螺合されたナット部58と、ナット部58に連結されたカム板63と、カム板63に形成されたカム溝63aに沿って移動すると共に、リフトピン67を支持するリフトピンベース66に連結された従動ローラ64と、を有する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、ヘッド部を支持するサポート部材の設計や位置決めを容易にすることができる冷凍機用コールドヘッドを提供する。
【解決手段】 本発明に係る冷凍機用コールドヘッド3は、シリンダ13と、シリンダ13内で往復動し冷媒ガスを膨張させ冷熱を発生させるディスプレーサ12と、シリンダ13の先端側に設けられて発生した冷熱を被冷却物17に伝達するコールドチップ16を有するヘッド部と、ヘッド部の外側面の一部であるコールドチップ16の外側面16aを支持する支持面20cを有するサポート部材20と、を備え、コールドチップ16の外側面16aは、その外形が基端側から先端側に向かって細くなるように傾斜しており、コールドチップ16の外側面16aとサポート部材20の支持面20cとは、非冷却時において接触している。 (もっと読む)


【課題】本発明は、膜質の向上を図りつつ、長時間にわたり連続して成膜作業を行うことを可能とする成膜装置及び成膜方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る成膜装置1は、真空容器10内でプラズマビームPにより成膜材料Maを蒸発させ、被処理物としての基板11に付着させて膜を生成する成膜装置であって、成膜材料Maを保持すると共に、プラズマビームPを誘導する主陽極3と、主陽極3を囲むように配置されると共に、主陽極3によるプラズマビームPの誘導を補助する環状の補助陽極4と、補助陽極4の位置を調整する位置調整装置6と、を備え、真空容器10は、真空容器10の内外を連通させる貫通孔10f〜10jを有しており、位置調整装置6は、貫通孔10f〜10jを通じて、真空容器10の外側から補助陽極4の位置を調整するための調整部70と、貫通孔のシール性を維持するベローズ80とを有する。 (もっと読む)


【課題】繰り返しの樹脂投入でも樹脂の噛み込み等による動作不良を起こすことがなく、簡易且つ正確に樹脂を投入することが可能な樹脂投入機構を提供する。
【解決手段】皿部102に収容されている樹脂110を下型130へと投入する樹脂投入装置100であって、皿部102を反転させることが可能な容器反転機構104を備え、反転させる際の少なくとも一定の時間、皿部102に収容されている全ての樹脂110に対して皿部102の底面側に向かう押圧力が発生するように反転させる。 (もっと読む)


【課題】汚泥細胞の破壊を確実に行い、汚泥の減容を十分に行うことや容易に脱水を行うことを可能とする汚泥処理装置及び汚泥処理方法を提供すること。
【解決手段】ガス溶解手段13によって、スラリー状の汚泥に加圧条件下でガスを溶解させた後、破壊手段14によって、当該スラリー状の汚泥を加圧条件下の圧力より低い圧力の下で破砕する。これにより、汚泥細胞内に溶解していたガスを圧力差(加圧条件下と当該加圧条件下の圧力より低い圧力下との圧力差)により気泡として汚泥細胞を膨らんだ状態とし、この膨らんだ又は膨らみつつあり細胞壁の弾性力が小さい状態(細胞壁がパンパンに張った状態)で破砕し、汚泥細胞の破壊を確実に行う。 (もっと読む)


【課題】感度の大幅な向上を図ることにより、被検査体から漏出する検査用ガスが微少量であっても検出することが可能なリークテスト装置を提供する。
【解決手段】リークテスト装置1は、金属層を有するフィルム10と、複数のフィルム12〜12と、金属管14と、マスフローコントローラ16と、ヘリウムガスの有無を検出するリークディテクタ20とを備える。金属管14は、主管部14aと、主管部14aから分岐して延びる複数の分岐管部14b〜14bとを有する。金属管14は、フィルム10,12〜12とリークディテクタ20とを連結する流路を構成している。マスフローコントローラ16は、主管部14aと分岐管部14b〜14bとのいずれの合流点よりも下流側に配置されており、自身とリークディテクタ20との間におけるガスの流量が所定の範囲内となるように調整する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、回生電力によるバッテリの過充電を防止したハイブリッド式建設機械を提供することを課題とする。
【解決手段】 油圧発生機14は、エンジン11の出力を油圧に変換し油圧駆動部に供給する。電動発電機12はエンジンに接続され、電動機及び発電機の両方として機能する。蓄電器19は、電動発電機12に電力を供給して電動機として機能させる。電気駆動部は、蓄電器19及び電動発電機12からの電力により駆動され、且つ回生電力を発生して蓄電器19及び電動発電機12の少なくとも一方に供給する。電気遮断装置40は、電動発電機12と蓄電器19との間に設けられ、制御部30により開閉制御される。 (もっと読む)


【課題】亜鉛精錬のための亜鉛総量の低減を防止できる還元処理装置及び還元処理方法を提供する。
【解決手段】亜鉛含有酸化鉄及び還元材を加熱処理することで亜鉛含有酸化鉄を還元して亜鉛濃縮物を含む排ガスを排出するロータリーキルン2と、ロータリーキルン2から排出される排ガスに対して所定の処理を施す排ガス処理装置3とを備えた還元処理装置1において、ロータリーキルン2及び排ガス処理装置3に、水酸化ナトリウム水溶液を噴霧する噴霧部を兼ねる水噴霧部2g,4a,6aと廃液注入部4bとを設け、これらの噴霧部から亜鉛濃縮物を含む排ガスに対して、水酸化ナトリウム水溶液を所定量噴霧する。これにより、塩素分が低減された高濃度の酸化亜鉛を含有する亜鉛濃縮物を得ることができる。 (もっと読む)


1,021 - 1,030 / 2,241