【課題】 高効率で液滴吐出の良否を検査する。
【解決手段】 基板を保持し水平面内方向に移動させることのできるステージと、絶縁材を吐出しうる複数のノズルを備え、ステージに対向配置される吐出ヘッドと、ノズルから吐出された絶縁材の着弾跡を検出するセンサと、ステージ、吐出ヘッド、センサを制御する制御装置とを備え、ステージは基板を少なくとも一軸方向に移動させることができ、吐出ヘッドの複数のノズルは、水平面内で一軸方向と直交する方向に沿って配置され、センサはステージに対して、水平面内で一軸方向と直交する方向に相対的に移動可能に、ステージに対向配置され、制御装置はステージと吐出ヘッドを制御して、基板に絶縁材を吐出させて描画を行う機能と、ステージとセンサを制御して、吐出された絶縁材の着弾跡を検出する機能とを備え、制御装置は、吐出された絶縁材の着弾跡の検出時に、センサをステージに対して、水平面内で一軸方向と直交する方向に相対的に移動させる液滴吐出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】新たなイオンビーム計測を提供する。
【解決手段】イオンビーム計測装置１０は、イオンビーム１４の経路に向けて測定ビーム１２を放射するための測定ビーム源２０と、イオンビーム１４によって反射された測定ビーム１２、またはイオンビーム１４を透過した測定ビーム１２を検出するための測定ビーム検出器２２と、を備える。イオンビーム計測装置１０は、例えばイオン注入装置に適用することができる。イオンビーム計測装置１０は、イオンビーム１４に関連する出力をイオン注入装置の制御システムに提供してもよい。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波イオン源のプラズマチャンバの例えば真空窓を保護する。
【解決手段】マイクロ波イオン源１０は、マイクロ波を受け入れるための真空窓２４を有するプラズマチャンバ１２と、マイクロ波の伝搬方向またはその逆方向を向く磁場を発生させる電磁石２０と、永久磁石２２と、を含み、電磁石２０による磁場と同一方向を向く合成磁場をプラズマチャンバ１２に発生させる磁場発生器１６と、を備える。永久磁石２２は、合成磁場の強度分布のピークを、電磁石２０による磁場の強度分布のピークよりも真空窓２４に近づけるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 激しく上下に震動する上部旋回体等に取り付けても十分な信頼性を持つ蓄電モジュールが望まれている。
【解決手段】 ｘｙｚ直交座標系を定義したとき、板状の複数の蓄電セルがｚ方向に積層されている。蓄電セルの間に、少なくとも１枚の伝熱板が配置されている。蓄電セルの積層構造の両端に一対の押さえ板が配置されている。押さえ板は、蓄電セルに、蓄電セルの積層方向の圧縮力を加える。第１の壁板及び第２の壁板が、積層体をｙ方向に挟む。伝熱板の位置が、第１の壁板及び第２の壁板に対して拘束されている。 （もっと読む）

【課題】 描画対象物１枚あたりの描画時間を短縮することが望まれている。
【解決手段】 保持機構に保持された描画対象物に、液滴を吐出複数のノズルを有する第１及び第２のノズルユニットが対向する。移動機構が、描画対象物に対して、第１及び第２のノズルユニットを、相対的に、相互に交差する第１の方向及び第２の方向に移動させる。制御装置が、ノズルユニット及び前記移動機構を制御する。第１及び第２のノズルユニットの各々のノズルは、第２の方向に等間隔で配列した着弾点に液滴を着弾させるように配置されている。第１及び第２のノズルユニットは、第２の方向に間隔を隔てて配置されている。間隔調節機構が、制御装置からの制御により、第１及び第２のノズルユニットの間隔を変化させる。 （もっと読む）

【課題】段積み方式による空パレットの保管では、空パレットの取り扱いに手間がかかる。
【解決手段】機械式駐車場１０は、車両２０をパレットに搭載して格納棚に格納する。機械式駐車場１０は、車両２０が搭載されていない複数の空パレット３４を上下方向に離間して収容可能なパレット待機スペース１００を備える。パレット待機スペース１００は、空パレット３４が待機している間はその空パレット３４を支持すると共に空パレット３４の出し入れの際はその空パレット３４を移動させる第３移載装置１０２を空パレット３４ごとに有する。 （もっと読む）

【課題】駆動源を接続した状態においても大きな占有空間を必要とせず、特に、軸方向の長さを短縮できる揺動内接噛合型遊星歯車装置を得る。
【解決手段】内歯揺動体１１６Ａ、１１６Ｂが外歯歯車１１８に対して揺動回転することにより入力軸１０４の回転を減速し、出力軸としての外歯歯車１１８より減速出力を取り出す揺動内接噛合型遊星歯車装置１００において、出力軸と平行に配置された中間軸１０８と、該中間軸１０８と前記入力軸１０４とを直交連結する直交歯車セット１０６とを備え、該入力軸１０４からの動力を、前記中間軸１０８を介して内歯揺動体１１６Ａ、１１６Ｂ側に入力する。 （もっと読む）

【課題】乗降室でパレットを旋回させるための従来の方式では、乗降室の構造は大がかりとなりうる。
【解決手段】機械式駐車場１０は、乗降室１２のパレット３２に乗った車両２０を、パレット３２ごと連通孔２６を経由して格納棚へ移送し、保管する。機械式駐車場１０は、パレット３２が乗降室１２にあるとき、連通孔２６のうちパレット３２によって覆われない部分の少なくとも一部を覆う形で乗員の落下防止を図る安全部材が設けられるとともに、パレット３２が乗降室１２で旋回する際、この安全部材がパレット３２と係合して一体に旋回するよう構成される。 （もっと読む）

【課題】循環電流を抑えつつ、整流時に発生する高調波を抑制できる、射出成形機を提供すること。
【解決手段】モータと、前記モータを駆動する駆動回路と、前記駆動回路に電力を供給する整流器１０２と、前記駆動回路と整流器１０２との間の直流電力を交流電力に変換して出力するブリッジ回路１０４とを備える射出成形機であって、交流電源電圧が一次側に入力される変圧器６７と、ブリッジ回路１０４によって変換された交流電力の電流波形が正弦波になるようにブリッジ回路１０４の動作を制御するコントローラ２６とを有し、変圧器６７の第一の二次巻線の接続先が整流器１０２の入力側であり、変圧器６７の第二の二次巻線の接続先がブリッジ回路１０４の出力側であることを特徴とする、射出成形機。 （もっと読む）

【課題】描画対象物に均一な厚みの材料層を描画する描画装置および描画方法を提供する。
【解決手段】描画対象物５０に描画すべきパターンの液状材料を付着させるべき領域を、主走査方向に直交する仮想直線上に垂直投影した像の連続する部分の長さ、つまり配線領域の長さＬｗに基づいて、ノズルヘッド２３の１回の主走査で描画されるパス領域の幅Ｌｐを、ノズルヘッドに設けられるノズルの配列長さＬａよりも短く設定する。 （もっと読む）