【課題】放射性薬液の投与を精度良く行うことができる放射性薬液の投与装置及び注入方法を提供する。
【解決手段】放射性薬液をバイアル６から吸引して蓄え、蓄えた放射性薬液を投与のために排出する吸排手段４５と、吸排手段４５による放射性薬液の吸引と排出とを制御する制御手段３５と、吸排手段４５に蓄えられた放射性薬液の放射能強度を検出する第１検出ユニット３７と、を備え、制御手段３５は、第１検出ユニット３７によって検出された放射能強度に基づいて、吸排手段４５によって吸引される放射性薬液の吸引量を制御し、必要量の放射性薬液を正確に分注して投与する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ノズルと金型との間の距離が短くても温度差を大きくとることのできるホットランナ装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 金型２に取り付けられて、溶融樹脂を金型２のキャビティ６に注入するためのホットランナ装置は、金型２に対して押し付けられながら樹脂を注入するノズル本体２０と、ノズル本体２０と金型２との間に設けられた断熱部材３０，４０，５０とを有する。断熱部材は、第１の接触部においてノズル本体２０と接触し、且つ第２の接触部において金型２と接触する。第１の接触部と第２の接触部の間の断熱部材に沿った伝熱流路の長さは、ノズル本体２０と金型２との間の直線距離より長い。 （もっと読む）

【課題】 レーザ照射による結晶へのダメージを小さくすることが可能な半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 シリコン基板の表層部にイオンを注入してアモルファス化させる。アモルファス化された領域に不純物を注入する。不純物の注入された領域に、波長４００〜６５０ｎｍのパルスレーザビームを入射させて、注入された不純物を活性化させる。 （もっと読む）

【課題】樹脂封止装置全体の生産効率の向上、及び、コンパクト性の向上を図る。
【解決手段】離型フィルムとして所定の大きさに切断した短冊状フィルム１５１を用い、使用後の前記短冊状フィルム１５１を樹脂封止後の成形品１５２から剥がし取る剥がし機構１６１を備えた樹脂封止装置１００であって、前記剥がし機構１６１を、前記成形品１５２を保持して樹脂封止金型内から搬出する基板用ローダ・アンローダ１４０に設けて構成する。 （もっと読む）

【課題】組み立て、または分解の際の作業性を向上できるプラズマガンを提供することを目的とする。
【解決手段】カソードフランジ１２と第１中間電極５との間にガラス管１３が配置されたプラズマガン１において、第１中間電極５のフランジ部５ａに固定されると共に、カソードフランジ１２に形成されたガイド孔１２ｂに挿通されたスタッドボルト２１と、スタッドボルト２１が挿通されたカソードフランジ１２を第１中間電極５側に向けて押圧するスプリング押え機構３５とを備える。このプラズマガン１では、カソードフランジ１２を簡単に位置合わせでき、さらに、カソードフランジ１２はスタッドボルト２１に沿ってガラス管１３を押圧するので、ガラス管１３に対する均一な押圧を行い易く、さらに、第１中間電極５とカソードフランジ１２との間にガラス管１３を挟み付けて簡単に固定できるために、組み立てや分解の際の作業負担が軽減する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でロール状の離型フィルムを案内プレート側に送り出して展開し、切断することのできる離型フィルム供給機構を提供する。
【解決手段】樹脂封止金型１１０に対して離型フィルム１６０を供給する離型フィルム供給機構１５０であって、ロール状に巻回された離型フィルム１６０を所定の長さの短冊状フィルム１６１に切断する切断装置１５１を有し、この切断装置１５１が、ロール状に巻回された離型フィルム１６０を送り出す送りローラ１６３と、該送り出された離型フィルム１６０が案内される案内プレート１５８と、該案内プレート１５８上に送り出された離型フィルム１６０を前記ロール状に巻回された離型フィルム１６０から切り離し可能なフィルムカッター１５４と、を備え、案内プレート１５８の表面に、送り出される離型フィルム１６０に向けてエアを噴出可能なエア噴出機構１５８Ａを備える。 （もっと読む）

【課題】成膜材料を加熱して気化させる際の形状を安定化させ、成膜の効率を向上させることができる成膜装置及び成膜方法を提供する。
【解決手段】プラズマビームＰｂを用いて基板に膜を生成する成膜装置１において、材料ロッドＭを保持するハース２５のガイド部３１は、上端縁部３７の外径が下端部３２側の外径よりも小さく、プラズマビームＰｂの入射範囲Ａは、上端縁部３７の外周内に合わせられている。その結果として、ガイド部３１の上端縁部３７に集中的にプラズマビームＰｂが入射するようになり、ガイド部３１の上端縁部３７の温度を局所的に高めやすくなる。さらに、上端縁部３７から下端部３２にかけての温度勾配が大きくなり、上端縁部３７と下端部３２との間で、成膜材料を溶融させる温度となる範囲が狭くなり、溶融状態の成膜材料が少なくなって形状が安定し、成膜効率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】微細ミストの発生を抑制した乾燥用液体の気化を簡素で且つコンパクトな構成で実現することが可能な乾燥用液体の気化装置を提供する。
【解決手段】乾燥処理対象物の乾燥に用いるＩＰＡ１２を気化させる気化装置１であって、ＩＰＡ１２を貯留する貯槽１０と、ＩＰＡ１２を気化させる空間を有する気化容器２０と、貯槽１０内と気化容器２０内とを接続し、毛細管現象により貯槽１０内のＩＰＡ１２を吸い上げて気化容器２０内に供給する揚液体３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】低温脆性や部材の変形の問題が生じず、クライオパネルを製作する際に、各部材同士を適正に接合することが可能なクライオパネルの製造方法を提供する。
【解決手段】冷媒ガスを高圧にする圧縮機と、２段式の冷却ステージを有する蓄冷式冷凍機とを有するクライオポンプ内の、前記冷却ステージの高温段側に設けられ、外部から流体が進入する際の入熱を抑制する入熱抑制部材が設けられたクライオパネルの製造方法であって、当該製造方法は、前記入熱抑制部材を構成する部品同士を接合するステップを有し、該部品同士を接合するステップは、低融点ろう材を用いて、部品同士の接合を行うステップを有することを特徴とするクライオパネルの製造方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】処理コストが低減される還元処理装置及び還元処理方法を提供する。
【解決手段】亜鉛含有酸化鉄又は酸化亜鉛又は酸化鉄が供給される還元炉２内に、還元材として効果的であると共に還元に必要な熱量を発生し加熱材として機能する廃棄物であるＡＳＲ、家電シュレッダーダスト、廃プラスチック、廃棄物から得られるＲＤＦ、ＲＰＦ、汚泥、油泥、木くず、繊維くず、ゴムくず、動植物性残渣のうちの少なくとも一つを供給し、これを熱源として助燃料を用いない状態で還元処理を行い、処理コストの低減（助燃料を用いない分のランニングコストの低減）を図りつつ、亜鉛を還元し且つ／又は酸化鉄を還元して金属鉄を得る。 （もっと読む）