【課題】 導体層と樹脂層とが積層された構造を含む加工対象物に形成され、底面に導体層が露出した穴の底面に残留したスミアの除去を容易にすることが可能な、従来とは異なるレーザ加工方法を提供する。
【解決手段】 レーザ加工方法は、（ａ）導体層と樹脂層とが積層された構造を含む加工対象物の、該導体層と該樹脂層とが積層された構造にレーザビームを照射して、該樹脂層を除去し、底面が該導体層に達する穴を形成する工程と、（ｂ）前記穴の底面に、パルス幅が１００ｎｓより長く、前記穴の底面における１パルス当たりのエネルギ密度が１．５Ｊ／ｃｍ^２以上のパルスレーザビームを照射し、前記導体層の表面を溶融させる工程と、（ｃ）前記工程（ｂ）の後、前記穴の底面に残留したスミアを除去する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 ＲＩ／ＲＩ化合物の外部漏洩の可能性が減らされ、信頼性が十分に向上されたＲＩ合成装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 電磁弁設置部の電磁弁設置面１８と電磁弁Ｖ５，Ｖ６の設置面１２とを密着させ、電磁弁Ｖ５，Ｖ６の流入口、流出口と電磁弁設置面部の接続口Ｐ２５，Ｐ２７とを連通させると共に、台座６内部に分岐点を有する孔経路Ｌ８〜Ｌ１０を形成し、配管継手を不要とし、螺合部を無くすと共に接続部自体も減らすことで、ＲＩ／ＲＩ化合物の外部漏洩の可能性を減らす。 （もっと読む）

【課題】 階段状側面に対向する面を平坦にすることが可能な階段状側面を有する部材の製造方法を提供する。
【解決手段】 基板の表層部を、該基板の主表面からエッチングすることにより、少なくとも一方の側面が階段状になった溝または尾根状部分を形成する。この溝または尾根状部分の側面を覆うように、基板の主表面上に被覆膜を形成する。溝の階段状の側面が露出するように被覆膜をパターニングする。この被覆膜の残された部分が、階段状の側面とは反対側の側面を覆い、かつ主表面に対して交差する表面を有する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は高精度に可動されるステージの位置及び傾きを正確に検出することを課題とする。
【解決手段】 透過型検出装置２２は、第１ステージ１４の移動方向に延在形成された透明体角度格子３０と、透明体角度格子３０を垂直状態に保持する透明基板３２と、透明体角度格子３０に向けて複数の平行光を発光する発光部３４と、透明体角度格子３０を透過した複数の平行光を受光する受光部３６とを有する。受光部３６には９個のフォトダイオードが配置され、透明体角度格子３０を透過した複数の平行光の受光強度分布を検出する。そして、受光部３６で検出された強度分布の変化から固定側の透明体角度格子３０に対する発光部３４の位置及び傾き角度を検出することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】下水汚泥を焼却処理し、集塵機で燃焼排ガス中の焼却灰を捕集し、その焼却灰を簡単な操作で、強度の高い安定した固形物とすることが可能な下水汚泥の処理方法および装置を提供する。
【解決手段】下水汚泥とカルシウム含有物質を約８００〜９５０℃の高温に保たれた流動層炉内に供給して、下水汚泥を焼却し、その高温燃焼排ガスを冷却後、排ガス中に存在する焼却灰を集塵機で捕集し、該捕集焼却灰に水を加えて造粒・固化させるようにした。
また、前記流動層炉に供給する前記カルシウム含有物質中のカルシウム成分の量ＭＣ（モル）と、下水汚泥中のケイ素成分の量ＭＳ（モル）と下水汚泥中のアルミニウム成分の量ＭＡ（モル）とを加えたＭＳ＋ＭＡとの比ＭＣ／（ＭＳ＋ＭＡ）が０．１〜２となるように流動層炉に供給するカルシウム含有物質の供給量を制御するようにした。 （もっと読む）

【課題】 搬送容器の落下防止を搬送路の直下領域のスペース利用に制約を生じることなく実現できるような搬送装置を提供する。
【解決手段】 本搬送装置は、物品を収納するための容器であってその上部には搬送方向に対して横向きのフック１ｃを有する搬送容器１を吊り下げ状態で搬送するものであって、搬送容器１の搬送路を規定するレール５に沿ってフック１ｃを掛けるためのキャッチ８を移動させるチェーン７を有する。キャッチ８の移動経路に沿うようにしてその直下域に、フック１ｃを掛けることのできるバー部材１０−１を持つ落下防止部材１０を設置した。 （もっと読む）

【課題】 配分作業者の歩行距離をできるだけ少なくするとともに、コンテナの入替え作業を無くして配分作業時間の短縮と負荷の軽減化及び効率化を実現できる物品配分システムを提供する。
【解決手段】 回転式棚装置１０の直線移動領域の一方が複数の投入間口に分割されて、１つの投入間口内にある複数のコンテナ２０に対して１人の配分作業者が商品の投入を行うようにされる。各投入間口における各コンテナの載置部に対応するように複数のディジタル表示器３０が設置される。各ディジタル表示器には、対応するコンテナへの商品の投入個数と、投入完了を示す押釦スイッチとが設けられる。管理制御部は、各投入間口のすべてのディジタル表示器の押釦スイッチがオンにされると、回転式棚装置を１つの投入間口分だけ回転移動させると共に新たに各投入間口内に位置することとなった載置部に対応するすべてのディジタル表示器の配分数表示部の投入個数表示を変更する。 （もっと読む）

スタンパのパターンの転写性を高くすることができ、成形品の品質を向上させることができるディスク成形用金型、成形品及び成形機を提供することを目的とする。第１、第２の盤状部材の外周縁の近傍において、スタンパ側の盤状部材の媒体流路による冷却能が、非スタンパ側の盤状部材の媒体流路による冷却能より低くされる。スタンパ側におい
て、スタンパ側の盤状部材の外周縁からディスク成形用金型外に放射される熱量を少なくし、スタンパ側の盤状部材が冷えすぎるのを防止することができる。その結果、キャビティ空間（Ｃ）の外周縁の近傍において転写性が局部的に低くなるのを防止することができ、キャビティ空間（Ｃ）の全体にわたって微細なパターンの転写性を向上させることができる。そして、成形品の品質を向上させることができる。 （もっと読む）

本発明は、第１の型ユニットと、第２の型ユニットと、前記第１、第２の型ユニットのうちの一方に配設され、成形材料をキャビティ空間（Ｃ）に充填するためのスプルー（２６）を備えたスプルーブッシュ（２４）と、前記第１、第２の型ユニットのうちの他方に進退自在に配設され、前進させられるのに伴って、成形品の原型に対して所定の加工を行う加工部材と、該加工部材より径方向外方に、加工部材を包囲して配設され、前端の近傍に、温調用の媒体を流すための流路（５５）が形成されたブシュ（４７）とを有する。ブシュ（４７）の前端の近傍に、温調用の媒体を流すための流路（５５）が形成されるので、前記加工部材の前端の近傍に温調用の流路を形成する必要がなくなる。したがって、支持部材を、ブシュ（４７）の前端の近傍に寄せて配設することができるので、加工部材の倒れが発生するのを防止することができる。 （もっと読む）

マルチポートロータリディスクバルブを回転させるのに必要なトルク及び磨耗ダストを低減する改良された方法は、バルブシート及び／又はバルブディスクを、それらが互いに接触しないように、若しくは、互いに軽く接触するように、支持するスラストベアリングを利用する。
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