【課題】ケイ素元素を含むウェハとレジストとの密着性を高めることが可能な表面処理液及び表面処理方法を提供すること。
【解決手段】ウェハ表面にケイ素元素含有ウェハ用表面処理液を接触させて、該ウェハ表面を疎水化する、表面処理工程、前記ウェハ表面から前記処理液を除去する、処理液除去工程、前記ウェハ表面にレジストを成膜する、レジスト成膜工程を含み、表面処理工程において下記一般式［１］で表されるケイ素化合物と、酸と、希釈溶媒とを含むケイ素元素含有ウェハ用表面処理液を用いる。
Ｒ^１_ａＳｉＸ_４−ａ ［１］
［式［１］中、Ｒ^１は、それぞれ互いに独立して、水素基、又は炭素数が１〜１８の炭化水素基であり、該炭化水素基の水素原子はハロゲン原子で置換されていてもよい。Ｘは、それぞれ互いに独立して、ケイ素元素と結合する元素が窒素である１価の官能基であり、ａは１〜３の整数である。］ （もっと読む）

【課題】不燃性かつ環境への負荷が小さく、熱サイクル特性を更に改良した、新規な熱サ
イクル用作動媒体を提供する。
【解決手段】一般式（１）Ｃ_ａＨ_ｂＦ_ｃ−Ｏ−Ｃ_ｄＨ_ｅＦ_ｆ （ １ ）（ 式中、ａ＋ｄが２〜８、ｂ＋ｅ＞ １ かつｂ＋ｅ ＜ｃ＋ｆ となるような水素原子とフッ素原子の組み合わせを示す）で表されるフッ素化エーテルよりなる群からから選択される少なくとも１種類の化合物を、少なくとも５０質量％以上含む、熱サイクル用作動媒体。 （もっと読む）

【課題】表面に金属系元素で凹凸パターンが形成されたウェハのパターン倒れを改善する撥水性保護膜形成用薬液を提供する。
【解決手段】ウェハ１の洗浄工程の後、乾燥工程の前において、少なくとも凹部４を含む表面を一般式［１］で示される撥水性保護膜形成用薬液で置換する。


（Ｒ^１は一部又は全ての水素元素がフッ素元素に置き換えられていても良い炭素数が１〜１８の１価の炭化水素基、Ｒ^２はそれぞれ互いに独立して一部又は全ての水素元素がフッ素元素に置き換えられていても良い炭素数が１〜１８の炭化水素基を含む１価の有機基、ａは０〜２の整数である。） （もっと読む）

【課題】縮合物の保存安定性と、該縮合物を加熱焼成し膜とした際、鉛筆硬度５Ｈ以上の硬質な膜を得、かつ膜厚３．０μｍ以上の膜にクラックを発生させない、シラン系組成物、およびその硬化膜を提供する。
【解決手段】一般式（１）：（ＣＨ_３）Ｓｉ（ＯＲ^１）_３で表されるアルコキシシランＡと、一般式（２）：（Ｐｈ）Ｓｉ（ＯＲ^１）_３で表されるアルコキシシランＢと、一般式（３）：（ＣＨ_３）_２Ｓｉ（ＯＲ^１）_２で表されるアルコキシシランＣとをモル比で表して、アルコキシシランＡ：アルコキシシランＢ：アルコキシシランＣ＝３０〜７０：１０〜５０：２０〜６０の範囲で縮合させたアルコキシシラン縮合物、およびポリエーテル変性ポリジメチルシロキサンを含む組成物。 （もっと読む）

【課題】極めて微細且つ高精度パターンを洗浄乾燥するための、フッ素イオンを遊離せず、且つ引火点を持たない洗浄乾燥剤、および基板の洗浄乾燥方法を提供する。
【解決手段】本発明の洗浄乾燥剤は、一般式（１）


で表される含フッ素３級アルコールまたは一般式（２）


で表される含フッ素３級ジオールを含む。 （もっと読む）

【課題】太陽電池用のカバーガラスにおいて、広い幅の黒色セラミック層が形成された風冷強化ガラスとし、カバーガラスの反り量を抑制せしめたものを提供する。
【解決手段】太陽光の受光側面を第１面、その裏面を第２面とする平面状の風冷強化されたガラス板と、ガラス板の第２面上で太陽電池素子とは対向しない部位に形成される黒色セラミック層とを有し、該黒色セラミック層は、黒色顔料を含む低融点ガラスを前記第２面上に風冷強化前の加熱によって焼成して形成したものであり、前記黒色セラミック層の幅は、前記ガラス板の外縁部から、５ｍｍ〜２００ｍｍであり、前記ガラス板は厚さ２ｍｍ〜４ｍｍであり、反り量が０．５％以下であり、破砕した場合の単位面積（１００ｍｍ×１００ｍｍ）あたりの破片数が黒色セラミック層に接する部位で且つ太陽電池素子とは対向する部位で４０〜８００個であり、ガラス板中央部で１６０〜８００個である、カバーガラス。 （もっと読む）

【課題】本発明は、太陽電池用カバーガラスに適した高い透過率を有し、さらに風冷強化時に反りの発生を抑制し易いガラスを提供することを課題とする。
【解決手段】太陽電池用カバーガラスであり、該太陽電池用カバーガラスは平面状で厚さ２ｍｍ〜４ｍｍのソーダ石灰系ガラスからなり、成分として、質量％で、
Ａｌ_２Ｏ_３を１．１〜１．６、ＣａＯを９〜１１、ＭｇＯを２．５〜３．５、全アンチモン酸化物をＳｂ_２Ｏ_３換算で０．１〜０．５、鉄酸化物をＦｅ_２Ｏ_３に換算で０．００５〜０．０２有し、Ｆｅ^２＋が（Ｆｅ^２＋＋Ｆｅ^３＋）の２〜９％を占め、実質的に酸化セリウム及び酸化鉄以外の着色成分を含んでいないソーダ石灰系ガラスからなることを特徴とする太陽電池用カバーガラス。 （もっと読む）

【課題】
３−クロロ−１，１，１，３−テトラフルオロプロパン（ＨＣＦＣ−２４４ｆａ）を含む（Ｚ）−１−クロロ−３，３，３−トリフルオロプロペン（ＯＦ−１２３３Ｚ）から実質的にＨＣＦＣ−２４４ｆａを含まないＯＦ−１２３３Ｚを効率的に製造する。
【解決手段】
ＨＣＦＣ−２４４ｆａを含むＯＦ−１２３３Ｚ組成物をトリエチルアミンなどの第三アミンと接触させてアミン処理組成物とする工程を含むＯＦ−１２３３Ｚの製造方法。また、ＯＦ−１２３３Ｚ組成物が２−クロロ−１，１，１，３，３−ペンタフルオロプロパンを含む組成物であるときは、第三アミンでアミン処理した後、さらに水酸化ナトリウムなどの無機塩基と接触させる工程を含むＯＦ−１２３３Ｚの製造方法。これらの処理生成物は、さらに蒸留により精製する。 （もっと読む）

【課題】ヘキサフルオロリン酸リチウムやヘキサフルオロリン酸リチウムを有機溶媒に溶解させた電解液を製造するに際し、発生する廃水中のフッ素濃度およびリン濃度を、僅かな希釈で海等へ放流できるレベルまで、エネルギーロスが少なく、容易なプロセスで低減させること。
【解決手段】フルオロリン酸化合物を含む廃水中に塩化水素を濃度が１１〜２５質量％となるように含有させ、該廃水を５０℃以上、８０℃未満で加熱することによりフルオロリン酸化合物を分解する、分解工程、
分解工程後の廃水にカルシウム化合物を加えて該廃水のｐＨを６以上とし廃水中のフッ素およびリンを固定化する、固定化工程、
固定化工程で固定化された固形物を除去して、フッ素、およびリンの濃度を低減させた廃水を得る、固液分離工程
を有することを特徴とする、フルオロリン酸化合物を含む廃水の処理方法。 （もっと読む）

【課題】不燃性かつ環境への負荷が小さく、熱サイクル特性を更に改良した、新規な熱サイクル用作動媒体を提供する。
【解決手段】１，２−ジクロロ−３，３，３−トリフルオロプロペン、１，３−ジクロロ−３，３−ジフルオロプロペン、２−クロロ−３，３，３−トリフルオロプロペン、シス−１−クロロ−３，３，３−トリフルオロプロペン、からなる群より選ばれる少なくとも１種からなる化合物を、少なくとも５０質量％以上含む、熱サイクル用作動媒体。 （もっと読む）