【課題】可動部や物理量検出素子の破損を低減可能な物理量検出器の提供。
【解決手段】加速度検出器１は、ベース部１０と、ベース部１０に継ぎ手部１１を介して接続された板状の可動部１２と、継ぎ手部１１を跨いでベース部１０と可動部１２とに架け渡された加速度検出素子１３と、平面視において、ベース部１０から可動部１２に沿って延びる部位を有した支持部１４と、を備え、可動部１２は、両主面１０ａ，１０ｂに質量部１５が配置され、可動部１２は、主面１０ａと交差する第１方向（Ｚ軸方向）に加わる力に応じて、継ぎ手部１１を支点にして第１方向に変位可能であり、質量部１５は、平面視において、一部が支持部１４と重なるように配置され、質量部１５と支持部１４とが重なる領域では、質量部１５と支持部１４との間に隙間Ｃが設けられ、支持部１４には、Ｚ軸方向の厚さが隣接部よりも薄い肉薄部１４ｃが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】３軸方向の力に対する検出能力に大きな差が出ない力検出装置と、その力検出装置を実現するセンサー素子を提供する。
【解決手段】非圧電性および非導電性を有する基板の少なくとも一方の面に圧電性被膜が形成された圧電体と、導電性を有する電極基板と、を有し、前記基板と前記電極基板との間に前記圧電性被膜が配置されるセンサー素子。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子、センサー素子の製造方法およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、基部２１と、駆動用振動腕２２１、２２２と、駆動用振動腕２２１、２２２の駆動振動に伴って振動する調整用振動腕２４１〜２４４と、駆動用振動腕２２１、２２２に加えられた物理量に応じて電荷を出力する検出用電極と、調整用振動腕２４１、２４２に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、調整用振動腕２４１、２４２の振動に伴って電荷を出力する第１の調整用電極と、調整用振動腕２４３、２４４に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、調整用振動腕２４３、２４４の振動に伴って、第１の調整用電極とは逆極性となる電荷を出力する第２の調整用電極とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、基部２１と、通電により駆動振動する駆動用振動腕２２１、２２２と、駆動用振動腕２２１、２２２に加えられた物理量に応じて第１の方向に振動するとともに、駆動用振動腕２２１、２２２の駆動振動に伴って１の方向とは異なる第２の方向に振動する検出用振動腕２３１、２３２と、検出用振動腕２３１、２３２に設けられ、検出用振動腕２３１、２３２の第１の方向での振動に伴って電荷を出力する検出用電極と、検出用振動腕２３１、２３２に設けられ、検出用電極に逆極性となるように電気的に接続され、検出用振動腕２３１、２３２の第２の方向での振動に伴って電荷を出力する調整用電極とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子、センサー素子の製造方法およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、基部と、前記基部から延出され、通電により駆動振動する駆動用振動腕と、基部から延出され、駆動用振動腕の駆動振動に伴って振動する調整用振動腕２４１と、駆動用振動腕に加えられた物理量に応じて信号を出力する検出用電極と、調整用振動腕２４１に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、振動腕２４１の振動に伴って検出用電極とは逆極性の電荷を出力する調整用電極５５１、５５３とを有し、調整用電極５５１は、検出用電極に電気的に接続された共通部６０と、共通部６０から分岐するとともに調整用振動腕２４１の延出方向に沿って並んで設けられた複数の分岐部６１とを備える。 （もっと読む）

【課題】右眼用画像と左眼用画像との混在が観察者に知覚されることを抑制しながら表示画像の明度を向上させる。
【解決手段】電気光学装置１０は、右眼用画像ＧRと左眼用画像ＧLとを表示期間Ｐi毎に表示する。駆動回路４０は、走査線３２を２本ずつ区分した第１組を順次に選択して奇数行の階調ｄ[2k-1]に応じた階調電位Ｘ[n]を各信号線３４に供給する第１同時選択駆動と、第１組とは相違する第２組を順次に選択して偶数行の階調ｄ[2k]に応じた階調電位Ｘ[n]を各信号線３４に供給する第２同時選択駆動とを各表示期間Ｐiにて実行する。表示制御回路１４２は、表示領域Ａ1の内側の走査線３２と表示領域Ａ1の外側の走査線３２とを含む第２組の選択時に、当該第２組のうち表示領域Ａ1内の走査線３２に対応する指定階調に応じた階調電位Ｘ[n]が各信号線３４に供給されるように駆動回路４０を制御する。 （もっと読む）

【課題】反射膜の帯電を防止可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定基板５１と、可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５４と、可動基板５２に設けられ、固定反射膜５４と反射膜間ギャップＧ１を介して対向する可動反射膜５５と、反射膜間ギャップＧ１を変化させる静電アクチュエーター５６と、可動基板５２にに設けられ、接地された可動電極５６２と、を備え、可動電極５６２は、平面視において、光干渉領域Ａｒ１を覆って可動基板５２に設けられ、可動反射膜５５は、可動電極５６２を介して可動基板５２に設けられ、固定反射膜５４は、可動電極５６２に電気的に接続された。 （もっと読む）

【課題】応答性が良好な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定基板５１と、可動基板５２と、固定基板５１の反射膜固定面５１２Ａに設けられた固定反射膜５４と、可動基板５２の可動面５２１Ａに設けられた可動反射膜５５と、反射膜間ギャップを変化させる静電アクチュエーター５６と、を備え、固定反射膜５４及び可動反射膜５５が対向する反射膜対向領域Ａｒ１には、反射膜固定面５１２Ａ及び可動面５２１Ａが第一ギャップＧ１で対向する第一領域Ａｒ２と、第一ギャップＧ１より第二ギャップＧ２で対向する第二領域Ａｒ３と、が設けられ、固定反射膜５４及び可動反射膜５５は、それぞれ反射膜対向領域Ａｒ１のうち少なくとも第一領域Ａｒ２に設けられ、前記第二領域Ａｒ３を通る光路上に、光を遮光する遮光部５１６が設けられた。 （もっと読む）

【課題】配向状態が乱れたディスクリネーションが表示に影響しない優れた表示品質の表示装置、及び当該表示装置を備えた電子機器を提供すること。
【解決手段】表示領域に配置された第１の画素電極と、非表示領域に配置されたダミー画素電極と、第１の画素電極とダミー画素電極との間に配置された第2の画素電極と、遮光部材とを備え、第２の画素電極のサイズを大きくし、非表示領域側にはみ出させる。ダミー画素電極からの横電界に起因する配向状態が乱れたディスクリネーションを、非表示領域側にはみ出した第２の画素電極上に発生させ、非表示領域に形成した遮光部材と平面的に重ね合わせ、遮光部材によってディスクリネーションを隠すことによって、ディスクリネーションが表示に影響しない優れた表示品質の表示装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】製造効率性の低下を抑え、かつ反射膜の劣化を防止可能な干渉フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５の製造方法は、固定基板５１に固定反射膜５４と第一接合膜５３１とを成膜して、固定基板５１を形成する第一基板形成工程と、可動基板５２に可動反射膜５５と、第二接合膜５３２とを成膜して、可動基板５２を形成する第二基板形成工程と、第一接合膜５３１及び第二接合膜５３２を接合することで、固定基板５１及び可動基板５２を接合する接合工程と、を備え、第一接合膜５３１及び第二接合膜５３２は、シロキサンを含有し、接合工程は、第一接合膜５３１及び第二接合膜５３２に対して、Ｎ_２プラズマ処理またはＡｒプラズマ処理を行って表面を活性化させた後、これらの第一接合膜５３１及び第二接合膜５３２をシロキサン結合により接合する。 （もっと読む）