説明

芝浦メカトロニクス株式会社により出願された特許

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【課題】ホースが連結された状態でより安定した姿勢を維持することのできる吸込み浮き具及び吸込む浮き具を提供することである。
【解決手段】上方に向けて開口する吸込み口の形成された吸込み本体部と、該吸込み本体部を挟むように配置され、該本体部に結合された第1フロート体及び第2フロート体とを有し、前記第1フロート体及び前記第2フロート体の浮力によって液中に前記本体部が維持された状態で前記吸込み口から液面部分に浮遊する物を吸い込むようにした吸込み浮き具であって、前記第1フロート体の体積は、前記第2フロート体の体積より大きい構成となる。 (もっと読む)


【課題】基板に貼着された粘着テープから離型テープを迅速に剥離できる貼着装置を提供することにある。
【解決手段】供給リール10から粘着テープ7が貼着された離型テープ9を引き出して送る送り装置37と、送り装置によって供給リールから引き出されて送られる離型テープが基板に対向して走行するようガイドする一対のガイドローラ11a,11bと、離型テープが送り装置によって送られて所定長さに切断された粘着テープが基板に対向するよう位置決めされたとき、粘着テープを離型テープとともに基板に加圧して貼着する加圧ツール21と、加圧ツールが基板から離れる方向に駆動されたとき、送り装置を作動させて離型テープに引張り力を与えると同時に、一方のガイドローラを基板から離れる方向に駆動して剥離テープに作用する送り装置の引張り力を離型テープが基板に貼着された粘着テープから剥離する方向の剥離力に変換させるローラ駆動源43を具備する。 (もっと読む)


【課題】 半導体ウェーハ等の板状部材の外周エッジ部を適切に検査することを可能とした表面検査装置を提供する。
【解決手段】 半導体ウェーハ検査装置10は、半導体ウェーハ100の外周エッジ部分101に対向して配置される撮像レンズ22と、撮像レンズ22を介して半導体ウェーハ100の外周端面に対向して配置される撮像面24と、半導体ウェーハ100の第1外周ベベル面101bの像を撮像レンズ22を介して撮像面24に結像させるミラー12と、半導体ウェーハ100の第2外周ベベル面101cの像を撮像レンズ22を介して撮像面24に結像させるミラー14と、半導体ウェーハ100の外周端面101aの像を撮像レンズ22の中央部を介して撮像面24に結像させる補正レンズ26と、外周端面101aより第1外周ベベル面101b及び第2外周ベベル面101cの方が明るくなるように、これらを照明する照明ライトガイド灯光部18とを有する。 (もっと読む)


【課題】この発明は粘着シートに貼着された半導体チップのピックアップを剥離条件が変化した場合でも、円滑かつ確実に行えるようにしたことにある。
【解決手段】上面が粘着シート2を吸着保持する吸着面に形成され中央部に開口部が形成されたバックアップ体と、バックアップ体内に同心的に設けられた複数の押し上げ体35〜37を有し、所定の高さまで一体的に上昇し、最も外側の押し上げ体が所定の高さまで上昇したときに上昇が制限された後、内側に位置する押し上げ体の方が高く上昇するよう構成された押し上げ手段26と、複数の押し上げ体を上昇方向に駆動して粘着シートのピックアップされる半導体チップが貼着された部分の下面を径方向外側の押し上げ体から内側の上げ体によって順次押し上げて半導体チップの下面周辺部から中心部に向かって上記粘着シートを剥離させるカム体と、複数の押し上げ体を押し上げたとき、径方向の最も外側に位置する押し上げ体の上昇位置を調整するリング状部材41を具備する。 (もっと読む)


【課題】接着剤中に散在する多くの気泡について、精度良くそのサイズを表し得る情報を得ることのできる貼り合せ板状体検査装置を提供することである。
【解決手段】ラインセンサカメラ50と、貼り合せ板状体10を介してラインセンサカメラ50に向けて照明する照明手段51、52と、前記照明手段により照明がなされている状態でラインセンサカメラが前記貼り合せ板状体走査する際に当該ラインセンサカメラから出力される映像信号を処理する処理ユニットとを有し、前記処理ユニットは、前記ラインセンサカメラからの映像信号に基づいて生成される画素単位の濃淡値からなる検査画像情報から得られる暗リングを横切る方向の濃淡値プロファイルから、前記暗リングに対応した2つの暗部間の検査画像上での距離に基づいて気泡サイズ情報を生成する構成となる。 (もっと読む)


【課題】この発明は太陽電池モジュールに用いられる複数の半導体セルをリード線によって接続する際に、半導体セルが損傷したり、熱によって変形やひずみが生じるのを防止するためのリード線接続装置を提供することにある。
【解決手段】半導体セルの上面と下面に粘着性の導電性テープを同時に貼着するテープ貼着手段13と、半導体セルの上面と下面に貼着された上下一対の導電性テープにリード線を同時に仮圧着する仮圧着手段15と、半導体セルの上面と下面に仮圧着された上下一対のリード線を同時に本圧着する本圧着手段16を具備する。 (もっと読む)


【課題】この発明はTCPの幅寸法が変更になっても、その幅寸法に対応することができる吸着ヘッドを提供することにある。
【解決手段】下面に粘着テープが貼着されたTCPの上面を吸着保持して搬送する吸着ヘッドであって、
TCPの上面を吸着する吸着面77を有するヘッド本体71と、吸着面に開口形成された吸着孔78と、吸着面のほぼ全体に吸着孔に連通して形成され吸着孔に生じる吸引力を吸着面に分散させる連通溝79を具備する。 (もっと読む)


【課題】液体に対する気体の溶解効率を向上させる。
【解決手段】気液混合器4は、絞り部を有するベンチュリ管4aと、ベンチュリ管4a内に液体を旋回させて流入させる液体流入部4bと、ベンチュリ管4a内を旋回して流れる液体の旋回方向に合わせて絞り部内に気体を流入させる気体流入部4cとを備える。これにより、液体及び気体を同方向に旋回させて旋回流の乱れを抑止し、その旋回によるキャビテーションを積極的に発生させることによって、絞り部の減圧効果により生じた気泡を細かく分断することが可能となるので、液体に対する気体の溶解効率を向上させることができる。 (もっと読む)


【課題】基板に半導体チップを実装ヘッドに設けられた加圧体によって実装する際、基板を支持する実装ステージに対して加圧体を平行に傾動させることができるようにする。
【解決手段】上下方向に駆動される実装ヘッド11と、実装ヘッドの下面側に弾性支持手段13によって弾性的に変位可能に設けられ吸着部25bに半導体チップを吸着保持する加圧体14と、実装ヘッドを下降方向に駆動して加圧体の吸着部に吸着保持された半導体チップを基板に実装させ加圧用駆動源を具備し、
弾性支持手段は、平行に対向する2組の側面を有し、実装ヘッドと加圧体の間に配置される可動ブロック体16と、可動ブロック体の一方の組の一対の側面に一端が取付けられた一対の連結ばね体17の他端を実装ヘッドに連結した第1の連結体21と、可動ブロック体の他方の組の一対の側面に一端が取付けられた一対の連結ばね体の他端を加圧体に連結した第2の連結体22とによって構成されている。 (もっと読む)


【課題】 塗布液の消費を極力抑制しつつ吐出孔からの塗布液の吐出状態の良否を判定し、良好な塗布状態を維持可能な塗布液の塗布装置を提供する。
【解決手段】 塗布ヘッド7の吐出面7aに一列に配列されて設けられた複数の吐出孔7bから、それぞれの吐出孔7bに対応して設けられた圧電素子7eの駆動によって各吐出孔7bから塗布液の液滴を吐出させ基板W等の塗布対象物上に塗布液を塗布する塗布液の塗布装置において、所定周波数の振動を発生させる発振装置としての超音波発振装置8と、この超音波発振装置8の発振に伴って圧電素子7eから出力される出力信号に基づいて吐出孔7bからの塗布液の液滴の吐出状態の良否を判定する制御装置13とを備える。 (もっと読む)


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