【課題】従来のような二流体ノズルや高圧ジェットを用いた場合、たとえば、パターン等が形成された基板を洗浄する場合、洗浄液の供給される力によって、基板上に形成されたパターンに損傷が生じる場合があり、一方、損傷を防止するために供給する力を抑制すれば、洗浄を十分に行えないという問題があった。
【解決手段】微細気泡を含む洗浄液を用いて基板の洗浄を行う。洗浄液を供給するノズルの先端を、基板上に形成された液膜の液面より低い位置に配置し、ノズルの先端部分付近（微細気泡発生領域）を洗浄液が通過する際に、洗浄液中に微細気泡が発生するように構成する。 （もっと読む）

【課題】配線膜を良好に形成する。
【解決手段】配線基板の製造装置１は、基板Ｋ上に所定の配線パターンの配線膜を形成して配線基板を製造する配線基板の製造装置であって、基板Ｋに非導通の金属膜を形成する金属膜の形成装置２と、基板Ｋに形成された非導通の金属膜上に、導電性インクの液滴を吐出して配線膜を形成する配線膜の形成装置３とを備える。これにより、導電性インク中の金属粒子が非導通の金属膜に密着して固定されるため、加熱などによる乾燥後も基板上の配線膜の形状を維持することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】貼り合せ板状体における板状体の縁端と接着剤の縁端との間の間隔を比較的容易に検査することのできる貼り合せ板状体検査装置を提供する。
【解決手段】ラインセンサカメラ５０と、照明手段５１と、照明手段５１により照明がなされている状態で貼り合せ板状体１０を走査するラインセンサカメラ５０から出力される映像信号を処理する処理ユニットとを有し、処理ユニットは、映像信号に基づいて画素単位の濃淡値からなる検査画像情報を生成する検査画像情報生成手段と、検査画像情報から得られる第１板状体１１の縁端を横切る検査ライン上の濃淡値プロファイルに基づいて、検査ライン上での第１板状体１１の縁端と接着剤１３の縁端との間隔を表す縁端間距離情報を生成する縁端間距離情報生成手段とを有し、縁端間距離情報に基づいた検査結果を提供する。 （もっと読む）

【課題】接着剤を介して貼り合わされたワーク間において、所定の領域に気泡の残留がなく、良品率の高い貼合構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ワークＳ１における視野範囲Ｗの周囲に、接着剤により形成されたシール部３、シール部３内に接着剤を充填した接着剤充填部４、シール部３及び接着剤充填部４に貼り合わされたワークを有する。シール部３は、視野範囲Ｗを囲む線上に、ワークＳ１の平坦面から隆起した土手部３１と、土手部３１の一部が欠如した切欠部３１ａ、切欠部３１ａから流出した接着剤の流動方向を変換する第１の変換部３２及び第２の変換部３３、接着剤の流路を延長する延長部３４を有する。 （もっと読む）

【課題】接着剤を介して貼り合わされたワーク間において、所定の領域に気泡の残留がなく、良品率の高い貼合構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】一部に平坦面を有するワークＳ１と、ワークＳ１の平坦面における視野範囲Ｗの周囲に、平坦面から隆起するように、接着剤により形成されたシール部３と、シール部３によって囲まれた領域に接着剤が充填された接着剤充填部４と、シール部３及び接着剤充填部４に対して貼り合わされた第２のワークとを有する。シール部３は、ワークＳ１の平面側から見て、シール部３の内縁の一部を、視野範囲Ｗの外方へ拡大させた拡張部３１を有する。 （もっと読む）