【構成】半導体シリコンウェーハの洗浄方法であって、アルカリ・過酸化水素・水より成る洗浄液に、0.１乃至１００ppm のコンプレクサン或いはそのカルボン酸基配位子を他の酸基で置換したキレート化剤を添加してシリコンウェーハの洗浄を行い、次いで１ppm 以上のフッ酸が添加された水を用いてリンスを行なうことを特徴とする。
【効果】最小でも６槽の洗浄槽乃至リンス槽を必要としたＲＣＡ処理の洗浄システムに対し、基本的に僅か２槽で全洗浄システムを構成することができ、装置価格、装置所要面積、稼働経費の点ではるかに有利となる。 （もっと読む）

【目的】 シート厚み方向への放熱特性（熱伝導性）がよい放熱シートを提供することを目的としている。
【構成】 熱伝導性織布２単独、或いは前記熱伝導性織布２上に、必要に応じて電気絶縁性の部位を設ける事により、圧縮応力の吸収、電気端子との絶縁を達成させながら、シート厚み方向への放熱特性（熱伝導性）をよくすることができる。 （もっと読む）

【目的】著作権の保護管理が容易なデータ再生管理システムを提供することを目的とする。
【構成】管理コードは、ディスクを制作販売したソフトメーカーのメーカーコード３、記録されている映像ソフトの種類毎に異なるパスワード４、ディスクに対する再生制限の適用を指示する制限適用指示データ５、現在までに登録された再生機器ＩＤの数を示すＩＤ登録数６、再生機器ＩＤを登録しておく機器ＩＤデータ登録エリア７から構成される。ＩＤ登録数については個人ユーザーに支障がないような数であらかじめ上限を規定しておく。 （もっと読む）

【目的】 ゲート電極とソースまたはドレイン電極の重なりによる浮遊容量を減らし得るセルフアラインによるＬＣＤ用ＴＦＴの製造において、ソースとドレイン電極の抵抗を十分小さくできるＴＦＴ製造方法を提供する。
【構成】 基板１１の表面にゲート電極１２を形成し、該電極上に第１の絶縁層ＳｉＮｘ層２１、第１の半導体層ａ−Ｓｉ層２２、さらに第２の絶縁層ＳｉＮｘ層２３を順次形成する。次に第２絶縁層表面にレジストを塗布し、ゲート電極をマスクとして基板裏面からレジストを感光させ、不要部分をエッチング除去してゲート電極上にレジストのマスクを形成する。このマスク上から第２絶縁層２３をエッチングしゲート電極１２上に残置してマスク層３１とし、第１半導体層２２上にそれよりキャリア濃度の高い第２の半導体層ｎ^＋ａ−Ｓｉ層４１、金属層のＷ層４２を、第２の絶縁層から形成したマスク層上以外に選択的に成長させゲート電極に整合させる。 （もっと読む）

【目的】 低電流測定時にも正確な電流と電圧の積を出力することができる乗算装置を提供する。
【構成】 電圧を電流に変換する電圧−電流変換手段５と、電流を流す第一の電流コイル３に加えて電圧−電流変換手段５から出力された電流を流す第二の電流コイル６とを有する磁性体コア４と、ホール素子８の出力電圧のサンプリング値を保持するサンプルホールド手段１０と、ホール素子の出力電圧からサンプルホールド手段１０が保持する電圧を減ずる減算手段とを備える。
【効果】 測定すべき電流の大きさに影響されずに正確な電流と電圧の積を求めることができる。 （もっと読む）

【目的】 内部機構が簡単なトナ−カ−トリッジを用いトナ−クランプによる故障が無く、装置の信頼性を向上し、且つ装置の小型軽量化、低価格化を図る。
【構成】 円筒状のトナ−カ−トリッジ８０の内部機構は、トナ−８３を撹拌搬送するためのスパイラル８７のみとする。又トナ−カ−トリッジ８０を開口８３を上面にした状態で現像剤補給装置７０に挿脱可能とし、装着後は現像剤補給装置７０側に設けられる定量スパイラル７２にトナ−を供給し、更に定量スパイラル７２より現像装置２３にトナ−８３を定量的に補給する。 （もっと読む）

【目的】素子のタ−ンオフ特性を向上させると共に、当該タ−ンオフ特性を低下させることなく、タ−ンオン特性についてもさらに向上させ、オン特性とオフ特性のトレ−ドオフの改善を図る。
【構成】Ｎ^- 型半導体基板１の一方側の主面において、当該基板１中にはＰ型ベ−ス領域２が形成され、Ｐ型ベ−ス領域２中にはＮ型エミッタ領域５が形成される。Ｐ型ベ−ス領域２の近傍にはＰ型ソ−ス領域４が形成される。カソ−ド電極１０は、Ｐ型ソ−ス領域４に接続されると共に、Ｐ型ベ−ス領域２及びＮ型エミッタ領域５に接続されるいわゆるショ−テッド・エミッタ構造を有する。また、Ｐ型エミッタ領域４は、Ｐ型ベ−ス領域２を取り囲むパタ−ンを有しているのがよい。さらに、Ｐ型ベ−ス領域２は、互いに電気的に接続される複数の拡散層から構成されるのがよい。 （もっと読む）

【目的】 本発明は、回転子表面電流による磁極部制動巻線の過熱を抑制することにより、異常時における信頼性を向上しうることを目的とする。
【構成】 磁極部表面の磁極部楔１１の厚さを円筒形回転子１の界磁コイル部２のコイル部楔７の厚さよりも薄くし、回転子表面電流を抑制する磁極部制動巻線１０を磁極部表面方向へ厚くし、かつこの磁極部制動巻線１０の内部に円筒形回転子１の軸方向に抜ける冷却ダクト１２を形成すると共に、この冷却ダクト１２からスロットの開口部側に抜ける複数の排出孔１３を形成し、これら各排出孔１３とスロットの開口部とが連通するように磁極部楔１１に複数の連通孔１４を形成し、かつ回転子１の両端中央部を磁極部制動巻線１０の冷却ダクト１２の両端に個別に連通させる複数の吸気ダクト１６を設け、回転子１の回転により、磁極部制動巻線１０の内部を冷却する回転電機。 （もっと読む）

【目的】 燃料電池のマニホールドの内面に施されたコーティング被膜の剥離を防止することができるようにする。
【構成】 マニホールド１０の側板部１０ａ，周縁部１０ｂ及び素電池積層体の側面に接するフランジ部１０ｃが、金属材を曲げ構成することにより一体に形成されている。そして、周縁部１０ｂの四隅１０ｄが溶接によって接合されている。また、マニホールド１０の内面には、下地処理として金属またはセラミックを溶射処理することによって溶射被膜１１が形成されている。そして、この被膜の上にフッ素樹脂を塗布し、焼付け塗装を施すことによって、フッ素樹脂被膜１２が形成されている。なお、この場合、フランジ部１０ｃ及びその近傍部分のフッ素樹脂被膜１２の厚さに対して、他のマニホールド内面部分の厚さが１／１．５〜１／５となるように形成されている。 （もっと読む）