【課題】機械的研磨により厚さが数十μｍとなるまで薄型化されることによって機械的強度が低下した大面積の圧電ウェハを、その後のフォトリソグラフィプロセスによって複数の圧電チップ個片に加工する際のハンドリングによって、圧電ウェハが破損して歩留まりが低下する不具合を解決することができる圧電ウェハの構造を提供する。
【解決手段】薄板領域２と、薄板領域の外周縁部に一体化された厚肉の枠体部３と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】３波長対応光ピックアップ装置用の積層１／２波長板を構成する手段を得る。
【解決手段】複屈折を有する結晶を用いた第１及び第２の波長板を光学軸が交差するように貼り合わせ、全体として１／２波長板として機能する積層波長板であって、所定の波長λに対し、常光線及び異常光線に対する第１及び第２の波長板の位相差をΓ１、Γ２、高次モードの次数を自然数ｎとし、Γ１＝１８０°＋３６０°×ｎ、Γ２＝１８０°＋３６０°×ｎを満足するように高次モード積層１／２波長板を構成する。 （もっと読む）

【課題】短冊状振動子において厚み滑り振動と結合する厚み屈曲振動モードを抑圧する圧電振動子を提供する。
【解決手段】長さＬ１の長手方向をＸ軸、長さＷの幅方向をＺ’軸、厚みＨの厚さ方向をＹ’軸とした圧電基板１のほぼ中央部にＸ軸方向の頂辺の長さをＬ２、該頂辺Ｌ２を望む仰角をそれぞれθ１゜、θ２゜、Ｚ’軸方向の頂辺の長さをＷ、厚さをｔとしたＸＹ’断面が台形状の凸部を形成すると共に、該台形状の凸部上面と、該凸部と対向する圧電基板１の裏面に対向する電極２ａ、２ｂを付着し、電極２ａ、２ｂからそれぞれ圧電基板１の端部に向けてリード電極３ａ、３ｂを延在して圧電振動素子を構成する。 （もっと読む）

【課題】波長板を２枚貼り合わせた１／２波長板において、位相差の温度依存性を小さくした波長板を提供する。
【解決手段】位相差τ₁（ｄｅｇ）、光学軸方位角θ₁（ｄｅｇ）を有する第１の波長板と位相差τ₂（ｄｅｇ）、光学軸方位角θ₂（ｄｅｇ）を有する第２の波長板とを２枚貼り合わせてなる波長板において、第１の波長板の位相差τ₁（ｄｅｇ）及び第２の波長板の位相差τ₂（ｄｅｇ）をτ₁＝τ₂＝３６０ｎ＋１８０（ｎ＝０，１，２…）とし、且つ、入射光と出射光との偏光面のなす角度をθ（ｄｅｇ）とすると、θ₁＝（９０＋θ／２）／２，θ₂＝θ₁＋９０＋θ／２を満足するように第１の波長板と第２の波長板を貼り合わせる。 （もっと読む）

【課題】異方性圧電結晶材料から成る圧電基板面にエッチングによって凹陥部を形成することによって振動部を形成した超小型の圧電基板を、大面積の圧電基板ウェハを用いたバッチ処理により量産する場合に、凹陥部を包囲する環状部の肉厚を十分に確保して分割時のひび割れを防止する。
【解決手段】薄肉の振動部４と、振動部の外周縁を一体的に包囲する厚肉の環状部５と、を備えることにより、少なくとも一方の主面側に凹陥部３を形成した圧電基板２であって、異方性を有した圧電結晶から成るものにおいて、環状部は、一方の結晶軸方向側の内壁５ａが、これと直交する他の結晶軸方向側の内壁よりも緩やかな傾斜角度を備えており、圧電基板の外形寸法は、他の結晶軸方向の基板長さよりも、一方の結晶軸方向の基板長さが長い。 （もっと読む）

【課題】異方性圧電結晶材料から成る圧電基板面にエッチングによって凹陥部を形成することによって振動部を形成した超小型の圧電基板を、大面積の圧電基板ウェハを用いたバッチ処理により量産する場合に、凹陥部を包囲する環状部の肉厚を十分に確保して分割時のひび割れを防止する。
【解決手段】薄肉の振動部４と、振動部の外周縁を一体的に包囲する厚肉の環状部５と、を備えることにより、少なくとも一方の主面側に凹陥部３を形成した圧電基板２であって、異方性を有した圧電結晶から成るものにおいて、環状部は、一方の結晶軸方向側の内壁５ａが、これと直交する他の結晶軸方向側の内壁よりも緩やかな傾斜角度を備えており、圧電基板の外形寸法は、他の結晶軸方向の基板長さよりも、一方の結晶軸方向の基板長さが長い。 （もっと読む）

【課題】外部からの衝撃に伴う応力を緩和し、応力に起因する電子素子の特性劣化を抑制しつつ、片持ち支持部分の破損を低減できる電子デバイスの提供。
【解決手段】圧力センサー１は、双音叉素子１５と、枠部１６を有する感圧素子層１０と、感圧素子層１０の一方の主面１１側に積層されたダイヤフラム層２０及び他方の主面１２側に積層されたベース層３０と、平面視において、感圧素子層１０から離れて配置された支持体４０とを備え、双音叉素子１５が、枠部１６に囲まれた開口部１０ａとダイヤフラム層２０及びベース層３０とによって形成された内部空間３に収納され、感圧素子層１０が、感圧素子層１０の一方の側（辺１６ａ側）から延出する梁１８によって支持体４０と接続され、ダイヤフラム層２０及びベース層３０が、平面視において、支持体４０と重なる係止部２４，３３を有し、支持体４０が、圧力センサー１の本体が外部に固定される際の固定部である。 （もっと読む）

【課題】小型で高い感度を有する双音叉型振動片を提供する。
【解決手段】双音叉型振動片１００では、第１振動腕部１０は、第１基端部３０から第２基端部４０に向かう方向に沿って順に並ぶ、第１領域１２、第２領域１４および第３領域１６を有し、第２振動腕部２０は、第１基端部３０から第２基端部４０に向かう方向に沿って順に並ぶ、第４領域２２、第５領域２４および第６領域２６を有し、第１領域１２の表裏面、第２領域１４の両側面、第３領域１６の表裏面、第４領域２２の両側面、第５領域２４の表裏面、および第６領域２６の両側面には、互いに電気的に接続された第１励振電極１１０が形成され、第１領域１２の両側面、第２領域１４の表裏面、第３領域１６の両側面、第４領域２２の表裏面、第５領域２４の両側面、および第６領域２６の表裏面には、互いに電気的に接続された第２励振電極１２０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】より信頼性の高い異常診断が可能な物理量検出装置並びに物理量検出装置の制御方法、異常診断システム及び異常診断方法を提供すること。
【解決手段】角速度検出装置１（物理量検出装置の一例）は、検出電極に、角速度（物理量の一例）の大きさに応じた検出信号とともに駆動信号（方形波電圧信号２２）に基づく振動の漏れ信号を発生させるジャイロセンサー素子１００（物理量検出素子の一例）と、駆動信号を生成する駆動回路２０と、駆動信号に同期した検波信号３４に基づいて、検出信号と漏れ信号を含む被検波信号３６に対して同期検波を行う同期検波回路３５０と、制御信号６４に基づいて、同期検波により漏れ信号の少なくとも一部が出力されるように、被検波信号３６に対する検波信号３４の立ち上がり及び立ち下がりの少なくとも一方の相対的なタイミングを変更する位相変更回路３５２と、を含む。 （もっと読む）

【課題】量産性に優れ、振動部の占有割合の高い逆メサ型の水晶振動片を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための水晶振動片は、水晶素板１２に対し、振動部１６を構成する肉薄部と振動部１６に隣接した肉厚部１４とをウエットエッチングにより形成するものであって、前記水晶素板１２はＡＴカット水晶素板における＋Ｚ′軸をＹ′軸回りに＋Ｘ軸方向へ回転させることを正の回転角として、Ｚ′軸をＹ′軸回りに−１２０°から＋６０°の範囲で回転させて得られるＺ″軸とこれに垂直に交わるＸ′軸とのそれぞれに平行な縁辺を有し、振動部１６の形成は＋Ｙ′軸側主面または−Ｙ′軸側主面のいずれか一方から行い、＋Ｙ′軸側主面からエッチングを行った場合には少なくとも＋Ｚ″軸側端部に肉厚部１４を設け、−Ｙ′軸側主面からエッチングを行った場合には少なくとも−Ｚ″軸側端部に肉厚部１４を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）