【課題】第１及び第２の波長板を光学軸を互いに交差させて重ね合わせた積層波長板において、４００〜８００ｎｍの広帯域の波長範囲全体で変換効率の劣化を最小限に抑制し、１又は１に近い良好な変換効率を実現する。
【解決手段】第１及び第２の波長板１２，１３の設計波長λ_０に対する位相差をΓ_１＝Γ_２＝１８０°、光学軸の面内方位角をθ_１，θ_２、積層１／２波長板１１に入射する直線偏光の偏光方向と出射する直線偏光の偏光方向とがなす角度をψ、光学軸調整量をａとしたとき、θ_１＝ψ／４＋ａ、θ_２＝３ψ／４−ａ、０＜ａ＜ａ_ｍａｘであり、光学軸調整量最大値ａ_ｍａｘが、設計波長λ_０に応じて所定の多項式を満足するように構成する。 （もっと読む）

【課題】輪郭振動片における振動漏れを大幅に低減させてＱ値及びＣＩ値の向上を実現する。
【解決手段】輪郭圧電振動片１１は、接続部１３ａ〜１３ｄが正方形の振動部１２の４つの角部から左右各辺に沿って外向きに延長し、その先端が、接続部の幅より縦寸法が大きく高い面内剛性を有する矩形の中間剛性部１４ａの両端に結合している。中間剛性部の上辺中央にそれより十分に狭幅で縦方向に真直ぐに延長する連結部１５ａが結合され、その先端が、連結部の幅より幅寸法が大きく高い面内剛性を有する矩形の支持部１６ａに結合されている。 （もっと読む）

【課題】被加工物表面をより少ない回数の走査で所望のプロファイルに効率良く加工するエッチングノズル及びエッチング装置を提供する。
【解決手段】エッチングノズル４１は、被加工物に対して相対的に移動させながら、エッチング液を内側管４２の内側開口４４から被加工物表面に供給し、かつ外側管４３の外側開口４５から吸引回収することによりエッチング加工を行う。外側開口４５の外周縁形状は、エッチングノズルの移動方向に沿った第１方向の寸法と該移動方向に直交する第２方向の寸法とを有し、第１方向の寸法を第２方向に沿って、被加工物の加工前における断面プロファイルと目的の断面プロファイルとの差である加工プロファイルに対応するように変化させる。 （もっと読む）

【課題】小型で力検出感度の高い力センサー装置を得る。
【解決手段】力センサー装置は、振動部２０ａ、２０ｂを有する振動素子２０と、この振
動素子２０の対向する２つの端を連結する固定部２５ａ、２５ｂとを備える力センサー素
子５と、ベース基板１０と、一端が固定部に夫々接続され、他端が前記ベース基板に接続
された弾性力を有する架線部材１３と、備えている。そして、振動部２０ａ、２０ｂを挟
む少なくとも２箇所にそれぞれ一端がベース基板１０に固定された架線部材１３の他端を
接続した構成とする。 （もっと読む）

【課題】圧力センサーを用いた各種認証装置が提案されており、認証対象となる被検出物がいずれの部屋に位置するのかを検出したいという要求がある。
【解決手段】端末装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃは、取り付けられている人物Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３の位置する室内Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３の気圧情報を検出する気圧情報検出部と、気圧情報を情報処理装置２０へ送信する気圧情報送信部とを有する。そして、情報処理装置２０は、気圧情報を受信する気圧情報受信部と、室内と当該室内に設定された気圧とを対応付ける室内気圧対応情報を記憶する記憶部と、気圧情報及び室内気圧対応情報に基づいて、人物Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３が位置する室内Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３を識別する室内情報を生成する室内情報生成部とを有する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板等の薄い基板上に形成される薄膜の内部応力に起因する薄い基板の反りの発生を防止する成膜方法を提供すること。
【解決手段】大板１に成膜し、この成膜後の大板１を切断分割して複数の短冊の基板とする成膜方法であって、前記大板１とこの大板１を保持するための保持部材２とを前記大板１の少なくとも外周縁より内側に配置した接合部３で接合する接合工程と、この接合した前記大板１を前記保持部材２とともに成膜装置内に配置される被装着部材６の窓部６１に取り付ける取付工程と、前記窓部６１に取り付けた前記大板１に成膜する成膜工程と、この成膜した前記大板１を切断して前記短冊の基板に分割するとともに、前記短冊の基板と前記保持部材２とを分離する切断分割工程と、を実施する。 （もっと読む）

【課題】品質の向上が図れるとともに歩留まりの低下を防止して製造コストを向上させるプリズムの製造方法の提供。
【解決手段】複数の接合部１３が板面に対してそれぞれ４５°傾斜して設けられる光学素子ブロック１１Ｂを形成し、光学素子ブロック１１Ｂを個々のプリズム１に分離する。分離工程では、光学素子ブロック１１Ｂの接合部１３に近接して板厚方向にレーザー光を照射して罫書きするレーザースクライブ形成手順を実施し、光学素子ブロック１１Ｂのスクライブ１Ｂが形成された箇所に衝撃力を付与する衝撃力付与手順を実施する。従来必要であった鏡面研磨工程を不要にできるから、プリズムを効率よく製造できる。 （もっと読む）

【課題】単結晶材料で構成されたワークの被処理面の形状が目的とする形状になるように、被処理面に効率よく修正加工を施すことができる加工方法および加工装置を提供すること。
【解決手段】本発明の加工方法は、結晶性材料からなるワーク１０に対して、結晶性材料の結晶軸と被処理面１０１とのなす角度（カット角）が、目的とする角度（目的とするカット角）に修正されるよう、プラズマエッチング加工を施す方法であって、結晶性材料の結晶軸と被処理面１０１とのなす角度をＸ線回折装置で測定し、この角度に基づいて、エッチング加工における被処理面１０１の各部の加工量を求め、加工計画データを作成する。そして、この加工計画データに基づいてワーク１０を加工する。なお、目的とする角度とは、例えばワーク１０がＡＴカットの水晶ウエハである場合、ｚ軸に対して３５度１５分とされる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理の工程数削減および処理時間短縮を図ることができるとともに、第１の被処理面および第２の被処理面に対して所望のプラズマ処理を行うことができるプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】プラズマ処理装置１は、対向配置された上部電極２１および下部電極２２と、第１、第２の被処理面１０１、１０２を有するワーク１０を載置する載置部と、第１の被処理面１０１および第２の被処理面１０２に処理ガスを供給する処理ガス供給手段３と、上部電極２１および下部電極２２間へ通電する通電手段４とを有する。このようなプラズマ処理装置１は、第１の被処理面１０１側に発生したプラズマにより第１の被処理面１０１をプラズマ処理しつつ、第２の被処理面１０２側に発生したプラズマにより第２の被処理面１０２をプラズマ処理する。 （もっと読む）

【課題】高周波圧電振動子の輪郭形状を小型化する手段を得る。
【解決手段】圧電基板１の一方の主表面に凹陥部２を形成し、凹陥部２の周縁を保持する環状囲繞部の一辺の厚肉部αを他の辺に比べて極めて小さく形成し、その反対の平面側のほぼ中央に電極３を配置すると共に、該電極３から圧電基板１の端部に向けてリード電極４を延在し、水晶基板１の環状囲繞部の厚肉部に設けたパッド電極５と接続し、圧電基板１の凹陥側には全面電極６を付着した構成とする。 （もっと読む）